CN219318228U

CN219318228U - 一种双电磁阀冗余控制系统

Info

Publication number: CN219318228U
Application number: CN202320809880.1U
Authority: CN
Inventors: 邹力; 黄晓岗; 徐海军
Original assignee: Jiangsu Zhengfan Semiconductor Equipment Co ltd; SHANGHAI GENTECH CO Ltd
Current assignee: Jiangsu Zhengfan Semiconductor Equipment Co ltd; SHANGHAI GENTECH CO Ltd
Priority date: 2023-04-12
Filing date: 2023-04-12
Publication date: 2023-07-07
Anticipated expiration: 2033-04-12

Abstract

本申请公开了一种双电磁阀冗余控制装置，涉及气体运输的技术领域，其中，一种双电磁阀冗余控制系统，包括：第一电磁阀、第二电磁阀、梭阀、气动阀、第一连接管路、第二连接管路、第三连接管路，梭阀具有第一进气口、第二进气口、第三出气口，第一电磁阀的第一出气口通过第一连接管路与梭阀的第一进气口连接，第二电磁阀的第二出气口通过第二连接管路与梭阀的第二进气口连接，梭阀的第三出气口通过第三连接管路与气动阀连接，本申请在对电磁阀进行维修时，不需要设备停机，因此具有可靠性高、维护性好的优点。

Description

一种双电磁阀冗余控制系统

技术领域

本申请涉及气体运输的技术领域，具体涉及一种双电磁阀冗余控制系统。

背景技术

在半导体行业中，气体化学品输送设备需要具备较高的可靠性和可维护性，现有技术中，一般采用单电磁阀控制系统实现气体化学品的存储和运输，但现有的单电磁阀控制系统具有以下缺点：如果发生故障，需要设备停机才能维修，且维修的难度大；如果单电磁阀控制系统出现故障，由于没有信号反馈，发现问题的时间滞后，再加上可维护性比较低的话，设备停机后造成的损失就会比较大。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种双电磁阀冗余控制系统，应用于气体运输设备，从而提高电磁阀控制系统及气体运输设备的可靠性和可维护性。

第一方面，本申请实施例首先提供了一种双电磁阀冗余控制系统，包括：第一电磁阀、第二电磁阀、梭阀、气动阀、第一连接管路、第二连接管路、第三连接管路，所述第一电磁阀具有第一出气口，所述第二电磁阀具有第二出气口，所述梭阀具有第一进气口、第二进气口、第三出气口，所述第一出气口通过所述第一连接管路与所述第一进气口连接，所述第二出气口通过所述第二连接管路与所述第二进气口连接，所述第三出气口通过所述第三连接管路与所述气动阀连接。

可选的，还包括：第一测压原件、第二测压原件，所述第一测压原件与所述第一出气口相连，用于检测所述第一电磁阀的第一出气压力，所述第二测压原件与所述第二出气口相连，用于检测所述第二电磁阀的第二出气压力。

可选的，所述第一测压原件为压力表、压力开关、压力变送器中的任意一种。

可选的，所述第二测压原件为压力表、压力开关、压力变送器中的任意一种。

可选的，所述第一电磁阀、所述第二电磁阀与PLC模块电连接，在所述PLC模块的控制信号下进行所述第一电磁阀和所述第二电磁阀的开启或关闭。

可选的，所述第一电磁阀、所述第二电磁阀与一路气源相通。

可选的，所述第一电磁阀、所述第二电磁阀分别与两路气源相通。

可选的，所述第一连接管路、所述第二连接管路、所述第三连接管路的直径均为3～8毫米。

可选的，所述气动阀为流量控制阀、方向控制阀、压力控制阀中的任意一种。

可选的，所述第一电磁阀、第二电磁阀的型号相同。

综上所述，本申请实施例的有益效果在于：

本申请实施例提供了一种双电磁阀冗余控制系统，通过设置有第一电磁阀、第二电磁阀、梭阀、气动阀、连接管路的结构，从而实现在对电磁阀进行维修时，不需要设备停机，也能对气动阀进行供气，大大提高了电磁阀控制系统、气体运输设备的可靠性和可维护性。

为让本申请的上述和其它目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1为本申请一实施例的一种双电磁阀冗余控制系统的结构示意图；

图2为本申请一实施例中梭阀的工作原理示意图；

图3为本申请一实施例的一种双电磁阀冗余控制系统的结构示意图。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员的理解，下面将结合具体实施例对本申请作进一步详细描述。

本申请实施例提供了一种双电磁阀冗余控制系统，可应用于气体运输设备中，以实现在对电磁阀进行维修时，无需设备停机维护。

请参考图1，为本申请一实施例提供的一种双电磁阀冗余控制系统的结构示意图，该双电磁阀冗余控制系统包括：第一电磁阀10、第二电磁阀20、梭阀30、气动阀40、第一连接管路50、第二连接管路60、第三连接管路70。

其中，第一电磁阀10具有第一出气口，第二电磁阀20具有第二出气口，电磁阀的出气口分别通过对应的连接管路与梭阀30连接，其中，第一电磁阀10的第一出气口，通过第一连接管路50与梭阀30的第一进气口IN1相连接，第二电磁阀20的第二出气口，通过第二连接管路60与梭阀30的第二进气口IN2相连接。

一实施例中，第一连接管路50、第二连接管路60的直径为3～8毫米，以便更高效、流畅地在电磁阀与梭阀之间输送气体。

图2为本申请一实施例中梭阀的工作原理示意图，梭阀30具有第一进气口IN1、第二进气口IN2、第三出气口OUT，梭阀30内部还具有一阀芯，第一进气口IN1、第二进气口IN2都可以与第三出气口OUT相通，但第一进气口IN1、第二进气口IN2间互不相通。

请参考图2(a)，当气体从第一进气口IN1进入梭阀30内部时，阀芯右移，封住第二进气口IN2，使第一进气口IN1与第三出气口OUT相通，气体从第三出气口OUT流出梭阀30。

请参考图2(b)，当气体从第二进气口IN2流入时，阀芯左移，封住第一进气口IN1，使第二进气口IN2与第三出气口OUT相通，气体从第三出气口OUT流出梭阀30。

当第一进气口IN1、第二进气口IN2都有气体流入，阀芯就可能停在靠近第一进气口IN1、第二进气口IN2的任意一边，具体取决于第一进气口IN1、第二进气口IN2的气体压力大小。

如果第一进气口IN1、第二进气口IN2的压力不相同，则高压口的通道会被打开，低压口的通道会被封闭，气体会从第三出气口OUT流出梭阀30，并通过与第三出气口OUT相通的第三连接管路70流入气动阀40。

一实施例中，第三连接管路70的直径均为3～8毫米，以便更高效、流畅地在梭阀与气动阀之间传输气体。

气动阀40又被称为气动控制阀，是用来控制气体的压力、流量、流动方向的元件，本实施例中的气动阀40可以是流量控制阀、方向控制阀、压力控制阀中的任意一种。此外，气动阀40还具有多种不同形态，包括但不限于：蝶阀、球阀等。

一实施例中，一种双电磁阀冗余控制系统，还包括：第一测压原件80和第二测压原件90。

请参考图3，为本申请一实施例的一种双电磁阀冗余控制系统的结构示意图。

其中，第一测压原件80与第一电磁阀10的第一出气口相连，用于检测第一电磁阀10的第一出气压力，第二测压原件80与第一电磁阀20的第二出气口相连，用于检测第二电磁阀20的第二出气压力。

一实施例中，第一测压原件80可以是压力表、压力开关、压力变送器中的任意一种。相应的，第二测压原件80也可以是压力表、压力开关、压力变送器中的任意一种。

一实施例中，第一电磁阀10、第二电磁阀20还与PLC模块电连接，PLC模块可对第一电磁阀、第二电磁阀的开关进行控制。例如，可通过PLC模块同时给第一电磁阀10、第二电磁阀20进行上电，第一电磁阀10、第二电磁阀20得电后可同时开启工作。

一实施例中，第一电磁阀10、第二电磁阀20与一路气源相通，接收一路气源的供气，在另一实施例中，第一电磁阀10、第二电磁阀20分别与两路不同的气源相通，以适应气体存储的不同需要。

本申请实施例一种双电磁阀冗余控制系统的工作过程如下：

第一电磁阀10、第二电磁阀20得电后，第一电磁阀10、第二电磁阀20处于开阀输出状态，进入第一电磁阀10、第二电磁阀20后的气体，分别通过第一进气口IN1、第二进气口IN2进入梭阀30。

本申请实施例的一种双电磁阀冗余控制系统，第一电磁阀10、第二电磁阀20均正常工作时，第一出气口与第二出气口处的出气压力相同，梭阀30的阀芯根据气体通入的先后顺序改变其位于梭阀内的位置，以实现双电磁阀冗余控制。

例如，可先打开第一电磁阀10，后打开第二电磁阀20，以通过第一电磁阀10给气动阀40供气；相应的，当需要第二电磁阀20给气动阀40供气时，可先打开第二电磁阀20，后打开第一电磁阀10。

本申请实施例的一种双电磁阀冗余控制系统，当第一电磁阀10、第二电磁阀20中的任意一个电磁阀发生故障时，发生故障电磁阀的出气压力异常，且小于正常工作电磁阀的出气压力，此时，梭阀30中的阀芯处于压力更低一侧，从而高压口的通道被打开，低压口的通道被封闭。

与之对应的，出现故障的电磁阀的气流传输被阻断，只保留正常工作电磁阀的气流传输路径，在维修发生故障电磁阀期间，正常工作电磁阀可正常给气动阀供气，不影响化学品输送设备正常运行。

本申请实施例的一种双电磁阀冗余控制系统，还可以通过第一测压原件80、第二测压原件90来检测第一电磁阀10、第二电磁阀20的出气压力的大小，并根据检测值确定出现故障的电磁阀。

当第一电磁阀10、第二电磁阀20中的任意一个电磁阀发生故障时，第一测压原件80、第二测压原件90中相应的一个测压原件检测到出气压力明显低于正常值，此时该测压原件发出故障信号，该故障信号可被传输至PLC模块中，PLC模块在接收到故障信号后，会在触摸屏上显示对应的电磁阀出现故障，并通过上位机监控系统，将故障点反馈给系统监控人员，方便及时维修。

综上所述，本申请实施例提供的一种双电磁阀冗余控制系统，应用于气体运输设备中，通过设置第一电磁阀、第二电磁阀、梭阀、气动阀、连接管路的相应结构，以实现在对电磁阀进行维修时，不需要设备停机，也能对气动阀进行供气，大大提高了电磁阀控制系统和气体运输设备的可靠性和可维护性。

本申请实施例提供的一种双电磁阀冗余控制系统，还具有能快速地发现故障的电磁阀的优点。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

上述实施例是对本申请的说明，不是对本申请的限定，任何对本申请简单变换后的方案均属于本申请的保护范围。以上所述仅是本申请的优选实施方式，本申请的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本申请内思路下的技术方案均属于本申请的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理前提下的若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims

1.一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，包括：第一电磁阀、第二电磁阀、梭阀、气动阀、第一连接管路、第二连接管路、第三连接管路，所述第一电磁阀具有第一出气口，所述第二电磁阀具有第二出气口，所述梭阀具有第一进气口、第二进气口、第三出气口，所述第一出气口通过所述第一连接管路与所述第一进气口连接，所述第二出气口通过所述第二连接管路与所述第二进气口连接，所述第三出气口通过所述第三连接管路与所述气动阀连接。

2.根据权利要求1所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，还包括：第一测压原件、第二测压原件，所述第一测压原件与所述第一出气口相连，用于检测所述第一电磁阀的第一出气压力，所述第二测压原件与所述第二出气口相连，用于检测所述第二电磁阀的第二出气压力。

3.根据权利要求2所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述第一测压原件为压力表、压力开关、压力变送器中的任意一种。

4.根据权利要求2所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述第二测压原件为压力表、压力开关、压力变送器中的任意一种。

5.根据权利要求1所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述第一电磁阀、所述第二电磁阀与PLC模块电连接，在所述PLC模块的控制信号下进行所述第一电磁阀和所述第二电磁阀的开启或关闭。

6.根据权利要求1所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述第一电磁阀、所述第二电磁阀与一路气源相通。

7.根据权利要求1所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述第一电磁阀、所述第二电磁阀分别与两路气源相通。

8.根据权利要求1所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述第一连接管路、所述第二连接管路、所述第三连接管路的直径均为3～8毫米。

9.根据权利要求1所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述气动阀为流量控制阀、方向控制阀、压力控制阀中的任意一种。

10.根据权利要求1所述的一种双电磁阀冗余控制系统，其特征在于，所述第一电磁阀、第二电磁阀的型号相同。