CN220170189U - 检测承载装置及台阶仪 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种检测承载装置及台阶仪，检测承载装置包括：样品台、移动扫描台及Z轴升降调节台。样品台用于放置待检样品。样品台处于主摄像件的下方。移动扫描台连接于样品台与基面之间。移动扫描台用于在扫描检测阶段带动样品台沿预定方向相对基面移动。Z轴升降调节台用于在扫描检测阶段前带动样品台沿竖直方向相对主摄像件升降移动。在扫描检测阶段，移动扫描台带动样品台相对基面精确移动，从而能获得待检样品的轮廓特征。通过Z轴升降调节台带动样品台升降调节移动，还能够使不同待检样品的上表面的高度统一保持于指定的高度，从而能避免台阶仪的其他检测部件需要进行较大幅度的高度调整，有利于保证台阶仪的检测效率。

Description

检测承载装置及台阶仪

技术领域

本申请涉及检测仪器技术领域，特别是涉及一种检测承载装置及台阶仪。

背景技术

台阶仪是一种可用于对材料表面进行纳米级形貌表征的检测仪器，目前广泛应用于电子器件、半导体、电池、高亮度发光二管以及其他材料科学领域。现有的台阶仪通常包括探头和探针，探针夹持安装于探头上。当探针沿被测表面滑过时，被测表面上的微小峰谷可使探针在滑行的同时，还沿峰谷作上下运动，即探针可相对探头伸缩运动；探针的运动情况就反映了被测表面的轮廓。

台阶仪一般还设置有显微镜部件和检测载台。样品放置在检测载台上。显微镜部件用于辅助观察检测载台上的样品。为实现显微镜部件的调焦操作，让显微镜部件的焦点对准样品，台阶仪一般在显微部件与支撑架体之间设置升降调节结构，以调整显微镜部件的焦点与样品之间的距离。然而，由于不同样品的厚度不一致，当前后检测的样品的厚度差异较大时，除需要利用升降调节结构调整显微部件的高度外，台阶仪的其他检测部件也需要同时进行较大幅度的高度调整，以适应两种样品表面明显的高度变化，不利于保证台阶仪的检测效率。

发明内容

基于此，有必要针对设置在显微部件与支撑架体之间的升降调节结构仅能对显微镜部件的焦点相对样品的距离进行调节，无法起到额外的用途、不利于提高台阶仪的紧凑性或效率的问题，提供一种检测承载装置及台阶仪。

一种检测承载装置，安装于基面，所述检测承载装置处于主摄像件的下方，包括：

样品台，用于放置待检样品；所述样品台处于所述主摄像件的下方；

移动扫描台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述移动扫描台用于在所述待检样品的扫描检测阶段带动所述样品台沿预定方向相对所述基面移动；及

Z轴升降调节台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述Z轴升降调节台用于带动所述样品台沿竖直方向相对所述主摄像件升降移动。

上述检测承载装置，待检样品放置于样品台，样品台处于主摄像件的下方。在将待检样品放置到样品台上后，在扫描检测阶段，移动扫描台带动样品台相对基面精确移动，结合探针的活动，从而能获得待检样品的轮廓特征。在扫描检测阶段前，由于Z轴升降调节台连接于样品台与基面之间，Z轴升降调节台通过调整样品台相对于基面的高度，能调整待检样品与主摄像件焦点之间的距离。通过Z轴升降调节台带动样品台升降调节移动，还能够使不同待检样品的上表面的高度统一保持于指定的高度，从而能避免台阶仪的其他检测部件需要进行较大幅度的高度调整，有利于保证台阶仪的检测效率。

在其中一个实施例中，所述Z轴升降调节台及所述移动扫描台依次连接在所述样品台与所述基面之间。

在其中一个实施例中，所述Z轴升降调节台包括连接于所述基面的Z轴座体、沿所述竖直方向滑动连接于所述Z轴座体的升降板、沿水平方向滑动连接于所述Z轴座体的斜推块及连接于所述Z轴座体的平移驱动件；所述升降板连接于所述样品台；所述平移驱动件用于驱动所述斜推块相对所述Z轴座体移动；所述升降板与所述斜推块之间沿斜向路径相对滑动设置。

在其中一个实施例中，所述斜向路径与预定平面之间的夹角小于45度。

在其中一个实施例中，所述Z轴升降调节台还包括斜向滑轨，所述斜向滑轨连接在所述斜推块与所述升降板之间，所述斜向滑轨平行于所述斜向路径。

在其中一个实施例中，所述Z轴升降调节台还包括竖向滑轨，所述竖向滑轨平行于所述竖直方向；所述竖向滑轨连接于所述升降板与所述Z轴座体之间。

在其中一个实施例中，所述样品台设有若干吸孔，所述吸孔用于对所述待检样品施加真空吸力。

一种台阶仪，包括检测承载装置。

在其中一个实施例中，所述台阶仪还包括主摄像件，所述主摄像件设置于所述检测承载装置上方；所述主摄像件用于获取所述样品台上的待检样品的影像信息。

在其中一个实施例中，所述台阶仪还包括微动力台及连接于所述微动力台的探针；所述微动力台用于带动所述探针相对所述待检样品移动，直至所述探针与所述待检样品接触。

附图说明

图1为本申请的一实施例的台阶仪的立体示意图。

图2为图1所示的台阶仪的局部分解示意图，工作台已局部隐藏。

图3为图2所示的台阶仪的A处放大图。

图4为图2所示的台阶仪中的检测承载装置的分解示意图。

图5为图4所示的台阶仪中的Z轴升降调节台的分解示意图。

图6为图4所示的台阶仪中的Z轴升降调节台在另一角度的分解示意图。

附图标记：100、台阶仪；20、检测承载装置；21、样品台；211、吸孔；212、旋转座体；213、样品载板；214、旋转驱动件；22、初步调节台；23、移动扫描台；230、基板；231、滑动板；232、侧板；233、同步带；24、Z轴升降调节台；241、Z轴座体；242、升降板；243、斜推块；244、平移驱动件；245、传动模组；246、斜向滑轨；247、竖向滑轨；248、水平滑轨；30、主摄像件；31、感光端；40、工作台；41、支架；42、基面；50、微动力台；501、探针；51、粗调组件；52、细调组件；60、副摄像件。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，若有出现这些术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等，这些术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，若有出现这些术语“第一”、“第二”，这些术语仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，若有出现术语“多个”，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等，这些术语应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，若有出现第一特征在第二特征“上”或“下”等类似的描述，其含义可以是第一和第二特征直接地接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接地接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，若元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。若一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。如若存在，本申请所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

下面结合附图介绍本申请实施例提供的技术方案。

结合图1至图6所示，本申请提供一种台阶仪100。

在一些实施方式中，台阶仪100用于对待检样品表面进行纳米级的形貌表征。在一些实施方式中，台阶仪100能够精确地测量出待检样品表面的形状轮廓。

在一些实施方式中，结合图1至图3所示，台阶仪100包括检测承载装置20及主摄像件30。检测承载装置20处于主摄像件30的下侧。检测承载装置20用于放置待检样品。主摄像件30用于获取检测承载装置20上的待检样品的影像信息。具体地，主摄像件30通过透光镜片的组合而获取待检样品放大后的影像信息。在一些实施方式中，主摄像件30的感光端31正对于检测承载装置20，以从垂直的角度获取待检样品的影像信息。在一些实施方式中，主摄像件30包显微镜或CCD相机。

在一些实施方式中，台阶仪100的使用过程包括移样阶段、观察阶段及扫描检测阶段。

在移样阶段，检测承载装置20带动待检样品在放样位置与载样位置之间移动。其中，放样位置为从检测承载装置20取放待检样品的位置。载样位置为对待检样品进行观察或检测的位置范围。在一个实施方式中，载样位置处于主摄像件30的正下方。

在观察阶段，可以利用主摄像件30对检测承载装置20上的待检样品进行观察。同时可以通过台阶仪100的控制模块来控制检测承载装置20，使待检样品平行于预定平面移动或旋转。主摄像件30与台阶仪100的控制模块的配合还能用于规划的待检样品扫描路径。在一个实施方式中，检测承载装置20与台阶仪100的控制模块配合，让待检样品与主摄像件30的距离自动调整，实现主摄像件30的自动调焦。在一个实施方式中，台阶仪100的控制模块可理解为计算机。在另外一个实施方式中，台阶仪100的控制模块可理解为计算机中所安装的软件程序。

在扫描检测阶段，检测承载装置20带动待检样品沿扫描路径的预定方向F1移动，结合探针501对待检样品的反复下压接触及探针501的活动反馈，从而获得待检样品纳米级的形貌特征。

在一些实施方式中，结合图1及图2所示，台阶仪100还包括工作台40，工作台40设有基面42。工作台40主要对台阶仪100的其他组成部件提供支撑。进一步地，工作台40具有一定的平面度。在一些实施方式中，主摄像件30安装于工作台40。进一步地，台阶仪100还包括连接于工作台40的支架41，主摄像件30通过支架41连接于工作台40。

在一些实施方式中，结合图2及图3所示，台阶仪100还包括微动力台50及连接于微动力台50的探针501。微动力台50用于带动探针501相对待检样品移动，直至探针501与待检样品接触。具体地，微动力台50控制探针501的下压距离和力度，微动力台50通过感应探针501与待检样品之间的作用力变化，从而能确定探针501与待检样品之间是否发生接触并能确认探针501的下压距离。对应于待检样品的不同接触点，探针501对应有不同的下压距离。在探针501的初始参考位置相对的情况下，根据探针501的下压距离的变化，可确定待检样品表面的轮廓变化。

在一些实施方式中，结合图2及图3所示，微动力台50包括连接于工作台40的粗调组件51及连接于粗调组件51的细调组件52。探针501连接于细调组件52。粗调组件51用于相对粗略地调整针尖到检测承载装置20上样品的位置。粗调组件51可以采用压电陶瓷驱动，也可以采用电机驱动形式驱动。

在一些实施方式中，细调组件52包括力传感器及位移传感器。在探针501的针尖下降到一定位置后，力传感器和位移传感器控制针尖的进一步下移，直至针尖接触样品，保持mg级的恒力不动。具体地，力传感器用来控制针尖接触样品的力度，可稳定在mg级或者更高。在一些实施方式中，力传感器可以采用电容传感器、LVDT传感器或激光干涉等形式。位移传感器用来根据力度的反馈，来调整针尖的上下位置，维持针尖压力的恒定不变。在一些实施方式中，位移传感器可以采用电容传感器、LVDT传感器或激光干涉形式。

在一些实施方式中，结合图2及图3所示，台阶仪100还包括连接于工作台40的副摄像件60，副摄像件60用于观察探针501的针尖以及检测承载装置20上的待检样品。进一步地，副摄像件60具有电动聚焦功能。进一步地，副摄像件60通过支架41连接于工作台40。在一些实施方式中，副摄像件60用于观察扫描过程中出现的情况并根据需要进行调整。进一步地，副摄像件60具有手动聚焦功能。在一个实施方式中，副摄像件60具有手动调焦结构或手动调节结构。手动调焦结构用于调整副摄像件60的焦点与待检样品之间的位置关系，手动调节结构用于沿水平方向调整副摄像件60的位置。

在一些实施方式中，台阶仪100还包括保护罩，用于形成围蔽空间，以减小待检样品在扫描检测阶段所受到的影响。

结合图3至图6所示，本申请提供一种检测承载装置20。

在一些实施方式中，结合图1及图2所示，检测承载装置20安装于基面42。

在一些实施方式中，结合图2及图4所示，检测承载装置20包括：样品台21、移动扫描台23及Z轴升降调节台24。样品台21用于放置待检样品。样品台21处于主摄像件30的下方。移动扫描台23连接于样品台21与基面42之间。移动扫描台23用于在扫描检测阶段带动样品台21沿预定方向F1相对基面42移动。Z轴升降调节台24连接于样品台21与基面42之间。Z轴升降调节台24用于在扫描检测阶段前带动样品台21沿竖直方向F2相对主摄像件30升降移动。

具体地，待检样品放置于样品台21，样品台21处于主摄像件30的下方。在将待检样品放置到样品台21上后，在扫描检测阶段，移动扫描台23带动样品台21相对基面42精确移动，结合探针501的活动，从而能获得待检样品的轮廓特征。在扫描检测阶段前，由于Z轴升降调节台24连接于样品台21与基面42之间，Z轴升降调节台24通过调整样品台21相对于基面42的高度，能调整待检样品与主摄像件30焦点之间的距离。通过Z轴升降调节台24带动样品台21升降调节移动，还能够使不同待检样品的上表面的高度统一保持于指定的高度，从而能避免台阶仪100的其他检测部件需要进行较大幅度的高度调整，有利于保证台阶仪100的检测效率。

在一个实施方式中，不同待检样品的上表面的高度统一保持于指定的高度，能避免台阶仪100的微动力台50及探针501针对待检样品的上表面位置作出过大的位置调节。进一步地，主摄像件30的感光端31正对于样品台21。

在一些实施方式中，结合图2及图4所示，检测承载装置20还包括初步调节台22，初步调节台22连接于样品台21与基面42之间。初步调节台22用于移样阶段或观察阶段带动样品台21沿预定平面相对基面42做精度相对较低的移动，以方便在样品台21取放待检样品，或者使待检样品能够从水平方向大致正对主摄像件30的下方。

在一些实施方式中，预定平面平行于水平面。

在一些实施方式中，结合图4所示，样品台21设有若干吸孔211，吸孔211用于对待检样品施加真空吸力。具体地，吸孔211的上端朝向于待检样品的底部，吸孔211的下端通过管体连通至外部的真空气源装置。真空气源装置所产生的负压经管体及吸孔211传递至待检样品的底部，从而使待检样品可靠地贴合至样品台21的表面，让待检样品与样品台21同步移动或旋转。在一个实施方式中，若干吸孔211沿周向分布设置于样品台21。

在一些实施方式中，结合图4所示，样品台21包括连接于Z轴升降调节台24的旋转座体212、转动连接于旋转座体212的样品载板213及连接于样品载板213的旋转驱动件214。样品载板213用于放置待检样品。旋转驱动件214用于驱动样品载板213相对旋转座体212转动，从而能调整待检样品的放置角度。在一个实施方式中，吸孔211设置于样品载板213。

在一些实施方式中，移动扫描台23用于配合微动力台50进行扫描过程中的待检样品的移动。更具体地，在通过移样阶段及观察阶段将待检样品移动至载样位置、并规划好扫描路径后，移动扫描台23带动样品台21沿预定方向F1相对基面42移动。

在一些实施方式中，结合图4至图6所示，移动扫描台23包括基板230、与基板230滑动配合的滑动板231、连接于滑动板231的传动组件及连接于传动组件的扫描驱动件。

进一步地，基板230的上侧连接有超精密平板。超精密平板为滑动表面达到纳米级精度的平板，且摩擦系数较小。超精密平板可选用玻璃等材质。超精密平板与基板230的固定方式可根据需要选择侧面固定、正面压紧或粘胶。在一个实施方式中，基板230连接于初步调节台22。在一个实施方式中，基板230的两侧连接有侧板232，以对超精密平板的滑动方向进行限定。

进一步地，滑动板231连接有摩擦片，摩擦片用于与超精密平板接触。摩擦片还可以用于与基板230或侧板232接触。摩擦片选用机械滑动轨道可实现无油润滑的耐磨防粘不留痕材料。摩擦片与超精密平板、侧板232的接触可为点接触，亦可为面接触。但都需保证所有滑动面的平整度。侧板232可选用常见的金属材质。

在一些实施方式中，传动组件包括转动连接于基板230的主动轮、转动连接于基板230的从动轮及连接于主动轮的同步带233。扫描驱动件连接于主动轮。同步带233连接于主动轮与从动轮之间，同步带233还连接于滑动板231。在扫描驱动件带动主动轮转动时，主动轮能同时带动滑动板231转动，从而能使滑动板231相对基板230转动。

在一些实施方式中，结合图1及图2所示，Z轴升降调节台24及移动扫描台23依次连接在样品台21与基面42之间。在一个实施方式中，结合图2所示，样品台21、Z轴升降调节台24及移动扫描台23连接在初步调节台22的上侧，因而初步调节台22能同时带动样品台21、Z轴升降调节台24及移动扫描台23沿预定平面相对基面42移动。由于初步调节台22用于在扫描观察阶段前使待检样品大致处于主摄像件30的摄像范围内，因而对初步位置调节阶段的精度要求相对降低。当承载着样品台21、Z轴升降调节台24及移动扫描台23移动时，初步调节台22不会由于负载较大而无法满足初步位置调节阶段的精度要求。

具体地，移动扫描台23及初步调节台22处于Z轴升降调节台24的下侧，因而能降低了Z轴升降调节台24的负载，从而有利于Z轴升降调节台24带动样品台21及待检样品相对主摄像件30精确移动，让待检样品能更精确地适应主摄像件30的焦点范围。

在另外一些实施方式中，Z轴升降调节台24、移动扫描台23及初步调节台22还可以是以其他连接顺序连接在样品台21与基面42之间。

在一些实施方式中，结合图5及图6所示，Z轴升降调节台24包括连接于基面42的Z轴座体241、沿竖直方向F2滑动连接于Z轴座体241的升降板242、沿水平方向滑动连接于Z轴座体241的斜推块243及连接于Z轴座体241的平移驱动件244。升降板242连接于样品台21。平移驱动件244用于驱动斜推块243相对Z轴座体241移动。升降板242与斜推块243之间沿斜向路径相对滑动设置。

具体地，由于斜推块243沿水平方向相对Z轴座体241滑动设置，升降板242沿竖直方向F2相对Z轴座体241滑动设置，斜推块243与升降板242之间形成相对水平方向倾斜的斜向路径，因而斜推块243的水平移动能够引起升降板242的升降移动。由于Z轴座体241连接于基面42，而升降板242连接于样品台21，当升降板242相对Z轴座体241升降移动时，则能使样品台21相对于基面42的高度发生变化。由于主摄像件30相对于基面42的高度固定，从而能使待检样品相对于主摄像件30的距离发生调整，让待检样品移动至主摄像件30的焦点范围。

在一些实施方式中，结合图5所示，Z轴升降调节台24还包括安装于Z轴座体241的传动模组245，传动模组245连接于平移驱动件244与斜推块243之间，以将平移驱动件244的动力传递至斜推块243。在一些实施方式中，平移驱动件244包括伺服电机、步进电机或其他能够驱动斜推块243相对Z轴座体241滑动的驱动器件。在一些实施方式中，传动模组245包括丝杆副或其他能向斜推块243传递驱动力的器件。在一个实施方式中，丝杆副的螺杆部转动安装于Z轴座体241，且丝杆副的一端连接于平移驱动件244的输出轴。丝杆副的螺母部连接于斜推块243。

更具体地，结合图2及图4所示，Z轴座体241通过移动扫描台23及初步调节台22连接至基面42。由于升降板242的上侧连接样品台21，从而能降低Z轴升降调节台24，有利于提高Z轴升降调节台24的调节精度。

在一些实施方式中，斜向路径与预定平面之间的夹角小于45度。具体地，由于升降板242与斜推块243之间沿斜向路径形成相对滑动，当斜向路径与预定平面之间的夹角小于45度时，则在相同时间内，升降板242在竖直方向F2上的位移量将小于斜推块243在水平方向上的位移量，从而能更精确地控制样品台21相对于主摄像件30的升降移动，有利于将待检样品移动至与主摄像件30的焦点对应。在一些实施方式中，斜向路径与预定平面之间的夹角为5度、15度、25度、35度或45度。

在一些实施方式中，结合图5所示，Z轴升降调节台24还包括斜向滑轨246，斜向滑轨246连接在斜推块243与升降板242之间，斜向滑轨246平行于斜向路径。因而斜向滑轨246相对预定平面倾斜设置，从而使升降板242与斜推块243之间沿斜向路径相对滑动设置。进一步地，斜向滑轨246包括交叉滚子导轨。

在另外一些实施方式中，斜推块243与升降板242的其中一个或两个设有斜向抵顶面，斜推块243与升降板242通过斜向抵顶面相抵接触，斜向抵顶面平行于斜向路径，从而使升降板242与斜推块243之间沿斜向路径相对滑动设置。

在一些实施方式中，结合图5所示，Z轴升降调节台24还包括竖向滑轨247，竖向滑轨247平行于竖直方向F2。竖向滑轨247连接于升降板242与Z轴座体241之间。具体地，通过在升降板242与Z轴座体241之间设置竖向滑轨247，从而能限定升降板242与Z轴座体241之间的滑动方向。由于竖向滑轨247平行于竖直方向F2，使升降板242与Z轴座体241之间能够沿竖向顺畅地相对滑动。在一个实施方式中，竖向滑轨247包括交叉滚子导轨。

在一些实施方式中，结合图5及图6所示，Z轴升降调节台24还包括水平滑轨248，水平滑轨248平行于水平面。水平滑轨248连接于斜推块243与Z轴座体241之间，因而使斜推块243与Z轴座体241之间能够沿水平方向顺畅地相对滑动。

在一个实施方式中，在移样阶段前，将台阶仪100的保护罩的投递口打开，使用控制模块控制初步调节台22移动，使样品台21移动到放样位置。然后，将待检样品放置在样品台21上，根据需要选择打开真空吸附功能。关闭保护罩的投递口，使用控制模块初步调节台22移动样品台21到载样位置。

其后，观察主摄像件30的图像界面，使用控制模块控制初步调节台22移动到主摄像件30的中心，用户根据主摄像件30的界面的图像情况来使用控制模块控制升降板242上下移动，使得主摄像件30调焦到清晰位置，实时观察扫描情况，判断测试的位置是否正确、探针501下压是否过冲等现象。

在主摄像件30的界面中，移动光标，控制初步调节台22精确移动，选取纠偏参考点和对齐点。在主摄像件30界面中，移动光标，选取待检样品的扫描起始点，画出扫描线段或多个扫描点。移动扫描台23在扫描起始点待机。微动力台50在原点待机。点击控制模块中的扫描功能。微动力台50控制探针501的针尖下压，以一定的压力接触待检样品。移动扫描台23按照扫描路径依次完成扫描动作。

在扫描过程中，主摄像件30的界面可切换成副摄像件60观察扫描过程，判断是否需要切换模式、更换扫描点等工作，直至移动扫描台23完成扫描动作。

移动扫描台23完成扫描动作后，微动力台50控制针尖抬升到原点位置。移动扫描台23回到扫描起始点。控制模块的软件数据分析界面处理，得到台阶等数据，并可选择保存数据和图片等格式。同时，使用控制模块控制初步调节台22移动样品台21到放样位置，打开保护罩的投递口，取下待检样品。将待检样品放到样品盒。关闭保护罩的投递口，使用控制模块控制台阶仪100整体回归初始位置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种检测承载装置，安装于基面，所述检测承载装置处于主摄像件的下方，其特征在于，包括：

样品台，用于放置待检样品；所述样品台处于所述主摄像件的下方；

移动扫描台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述移动扫描台用于在所述待检样品的扫描检测阶段带动所述样品台沿预定方向相对所述基面移动；及

Z轴升降调节台，连接于所述样品台与所述基面之间；所述Z轴升降调节台用于带动所述样品台沿竖直方向相对所述主摄像件升降移动。

2.根据权利要求1所述的检测承载装置，其特征在于，所述Z轴升降调节台及所述移动扫描台依次连接在所述样品台与所述基面之间。

3.根据权利要求1所述的检测承载装置，其特征在于，所述Z轴升降调节台包括连接于所述基面的Z轴座体、沿所述竖直方向滑动连接于所述Z轴座体的升降板、沿水平方向滑动连接于所述Z轴座体的斜推块及连接于所述Z轴座体的平移驱动件；所述升降板连接于所述样品台；所述平移驱动件用于驱动所述斜推块相对所述Z轴座体移动；所述升降板与所述斜推块之间沿斜向路径相对滑动设置。

4.根据权利要求3所述的检测承载装置，其特征在于，所述斜向路径与预定平面之间的夹角小于45度。

5.根据权利要求3所述的检测承载装置，其特征在于，所述Z轴升降调节台还包括斜向滑轨，所述斜向滑轨连接在所述斜推块与所述升降板之间，所述斜向滑轨平行于所述斜向路径。

6.根据权利要求3所述的检测承载装置，其特征在于，所述Z轴升降调节台还包括竖向滑轨，所述竖向滑轨平行于所述竖直方向；所述竖向滑轨连接于所述升降板与所述Z轴座体之间。

7.根据权利要求1所述的检测承载装置，其特征在于，所述样品台设有若干吸孔，所述吸孔用于对所述待检样品施加真空吸力。

8.一种台阶仪，其特征在于，包括如权利要求1至7任意一项所述的检测承载装置。

9.根据权利要求8所述的台阶仪，其特征在于，所述台阶仪还包括主摄像件，所述主摄像件设置于所述检测承载装置上方；所述主摄像件用于获取所述样品台上的待检样品的影像信息。

10.根据权利要求8所述的台阶仪，其特征在于，所述台阶仪还包括微动力台及连接于所述微动力台的探针；所述微动力台用于带动所述探针相对所述待检样品移动，直至所述探针与所述待检样品接触。