CN220168809U - 密封结构、尾排装置及加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体或光伏设备技术领域，公开了一种密封结构、尾排装置及加工设备，该密封结构用于炉体尾端盖的安装部与尾排管之间的密封，该密封结构包括接头，接头用于将尾排管紧固在安装部上，接头与安装部之间设有第一密封件；第一密封件用于密封接头与安装部之间的配合间隙。通过上述的结构，第一密封件密封接头与安装部之间的配合间隙，在保证密封的基础上，使第一密封件脱离接触尾排管，避免尾排管的热量对第一密封件造成影响，延长第一密封件的使用寿命。

Description

密封结构、尾排装置及加工设备

技术领域

本实用新型涉及半导体或光伏设备技术领域，尤其涉及一种密封结构、尾排装置及加工设备。

背景技术

半导体或光伏设备热制程过程需在相对真空环境中进行，且反应后的废弃物也需要通过排废的方式抽走，这样就需要抽排管，俗称尾排管。由于热制程属于高温低压环境，且金属离子加入会对硅片产生污染，故往往尾排管会采用非金属材质。尾排管通过连接在炉体尾端盖的安装部上进行固定，而后伸入到炉体内部，尾排管负责抽真空，保持炉内低压环境，故有炉内大量热气通过尾排管，导致尾排管温度进一步升高。

由于炉腔内属于真空环境，故对尾排管与炉体尾端盖的安装部之间的防泄漏率要求很高。而常规方式都是采用密封件与尾排管直接接触，导致尾排管的热气侵蚀密封件，大大降低了密封件使用的寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封结构，避免密封件与尾排管直接接触，延长密封件的使用寿命。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

密封结构，用于炉体尾端盖的安装部与尾排管之间的密封，包括：

接头，连接所述安装部，所述接头用于将所述尾排管紧固在所述安装部上，所述接头与所述安装部之间设有第一密封件；所述第一密封件用于密封所述接头与所述安装部之间的配合间隙。

作为优选，所述接头包括主体部，所述主体部具有用于收纳所述尾排管的容置腔，所述尾排管露出所述尾排管的端部插接于所述容置腔内。

作为优选，所述主体部朝靠近所述安装部的一端延伸形成连接部，所述连接部具有与所述容置腔连通的安装腔，所述安装部至少部分容置于所述安装腔中；所述第一密封件设置于所述连接部与所述安装部之间。

作为优选，所述接头还包括抵顶部，所述抵顶部套接于所述安装部，所述抵顶部设置于所述连接部与所述安装部之间，且所述抵顶部抵顶所述第一密封件。

作为优选，所述接头还包括固定部，所述固定部套接于所述安装部上，以抵顶所述抵顶部远离所述第一密封件的端部。

作为优选，所述接头还包括紧固部，所述紧固部设置于所述容置腔内，所述紧固部套接在所述尾排管露出所述安装部的一侧。

作为优选，所述容置腔的腔壁设置有环状凸台，所述环状凸台与所述安装部的端面共同抵接所述紧固部。

作为优选，所述紧固部包括拼接相连的第一紧固环部与第二紧固环部，所述第一紧固环部与所述第二紧固环部共同限定出用于夹持所述尾排管的夹持空间。

本实用新型还提供一种尾排装置，包括如上所述的密封结构和所述尾排管，所述尾排管与所述安装部通过所述密封结构密封连接，且所述尾排管伸入炉体的炉腔中。

作为优选，所述接头远离所述炉体尾端盖的一端连接有冷凝瓶，所述接头与所述冷凝瓶之间设有第二密封件，所述第二密封件用于密封所述接头与所述冷凝瓶之间的配合间隙，所述冷凝瓶的内腔与所述尾排管连通。

本实用新型还提供一种加工设备，包括上述的尾排装置和炉体，所述炉体的尾端盖设置有所述安装部。

作为优选，所述安装部设有用于对第一密封件冷却的冷却结构。

本实用新型的有益效果：

通过第一密封件密封接头与安装部之间的配合间隙，在保证密封的基础上，使第一密封件脱离接触尾排管，避免尾排管的热量对第一密封件造成影响，延长第一密封件的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型密封结构连接安装部的示意图；

图2是本实用新型密封结构密封尾排管与安装部的爆炸图；

图3是本实用新型密封结构密封尾排管与安装部的剖面图；

图4是本实用新型中接头的示意图；

图5是本实用新型中接头的剖面图；

图6是本实用新型中固定部的示意图；

图7是本实用新型中紧固部的示意图；

图8是本实用新型尾排装置连接冷凝瓶的示意图；

图9是本实用新型尾排装置连接冷凝瓶的剖面图。

图中：

1、安装部；2、尾排管；

3、接头；30、主体部；31、容置腔；32、连接部；33、安装腔；34、抵顶部；35、固定部；351、压紧环部；352、压紧盖部；36、紧固部；361、第一紧固环部；362、第二紧固环部；37、环状凸台；38、限位阶梯；

4、第一密封件；

5、冷凝瓶；51、进管；

6、第二密封件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1-9所示，本实施例提供一种密封结构，该密封结构用于炉体尾端盖的安装部1与尾排管2之间的密封，该密封结构包括接头3，接头3用于将尾排管2紧固在安装部1上，接头3与安装部1之间设有第一密封件4；第一密封件4用于密封接头3与安装部1之间的配合间隙。

通过上述的结构，第一密封件4密封接头3与安装部1之间的配合间隙，在保证密封的基础上，使第一密封件4脱离接触尾排管2，避免尾排管2的热量对第一密封件4造成影响，延长第一密封件4的使用寿命。

下面详细介绍本实施例，如图1-图5所示，密封结构包括接头3和第一密封件4，接头3用于将尾排管2紧固在炉体尾端盖的安装部1上。炉体尾端盖的安装部1为炉体尾端盖的进口管，进口管开设有通孔，尾排管2插接于进口管的通孔中并伸入炉体的炉腔中。第一密封件4设置于连接部32与安装部1之间，第一密封件4用于密封接头3与安装部1之间的配合间隙。采用上述结构一方面第一密封件4脱离了尾排管2，避免尾排管2的热量对第一密封件4造成影响。此外，炉体尾端盖的安装部1具有冷却功能。示例地，安装部1开设有用于接纳冷却介质的冷却腔，冷却腔与外部的冷却源连通，通过冷却源向冷却腔提供冷却介质，通过冷却介质，使得安装部1具备冷却功能。上述设置能对第一密封件4进行进一步地冷却，延长第一密封件4的使用寿命。本实施例中，第一密封件4采用的是密封圈。

接头3包含主体部30，主体部30具有用于收纳尾排管2的容置腔31，尾排管2露出安装部1的部分插接于容置腔31内。主体部30朝靠近安装部1的一端延伸形成连接部32，连接部32具有与容置腔31连通的安装腔33，安装部1至少部分容置于安装腔33中，即尾排管2和安装部1由安装腔33的一端共同穿入接头3内部。通过上述结构，有利于更好地实现安装部1、尾排管2以及接头3三者之间的连接，能够使尾排管2通过接头3固定于安装部1上。

如图3至图5所示，接头3还包括抵顶部34，本实施例中抵顶部34为环状结构，抵顶部34套接在安装部1上，抵顶部34设置于连接部32与安装部1之间，且抵顶部34抵顶第一密封件4。具体的，安装腔33的内壁有环形的限位阶梯38，本实施例中，安装腔33的内径由安装腔33靠近炉体尾端盖一侧的端口向内由大变小而形成大径段与小径段，其中大径段与小径段的连接处形成上述的限位阶梯38。限位阶梯38面向抵顶部34，抵顶部34的第一端插接在连接部32与安装部1之间，即抵顶部34的一端插入到大径段内，以使抵顶部34的第一端的端面与限位阶梯38共同夹持第一密封件4，使第一密封件4稳固。进一步地，限位阶梯38面向第一密封件4的一面为倾斜面，从而第一密封件4在被固定时限位阶梯38对第一密封件4产生斜向下的压紧力，使第一密封件4进一步地稳固。

如图3和图6所示，为了限制抵顶部34沿插接的方向移动，从而保证密封的紧密性，接头3还包括固定部35，固定部35套接于安装部1上，以抵顶抵顶部34远离第一密封件4的端部。具体的，固定部35包括压紧环部351，压紧环部351的一端封闭有压紧盖部352，压紧盖部352上设置有贯穿孔，固定部35通过贯穿孔套接在安装部1上，抵顶部34的第二端的端面抵接压紧盖部352，从而能够使抵顶部34的两端夹持在第一密封件4与压紧盖部352之间，从而限制抵顶部34在插接方向上的移动。进一步地，为了连接的稳定性，压紧环部351的内壁与连接部32的外壁设置有能够互相螺接的螺纹，从而能够通过螺纹连接压紧环部351与接头3，从而使接头3的固定更加稳固，也进一步使第一密封件4的密封效果增强。

如图3和图7所示，在现有技术中，尾排管2的材质一般为石英材质，并且长度较长。在进行安装时，一般需要保证尾排管2与腔体尾盖的安装部1之间同轴插接，从而能够避免尾排管2在进行固定时与安装部1之间接触，也避免尾排管2倾斜从而避免与炉体内的其他部件发生接触，从而避免尾排管2的损坏。由此在本实施例中，接头3还包括紧固部36，紧固部36套接在尾排管2露出安装部1的一侧，紧固部36设置在接头3的容置腔31内。采用上述的紧固部36一方面保证了尾排管2与安装部1同轴，另一方面也避免了采用复杂的工艺对尾排管2的过度加工，尾排管2直接采用直通管即可，节约成本。此外，采用上述的紧固部36还能够调节尾排管2伸出安装部1的长度，方便尾排管2后续的连接操作。

具体的，紧固部36包括拼接相连的第一紧固环部361与第二紧固环部362，第一紧固环部361与第二紧固环部362共同限定出用于夹持尾排管2的夹持空间。更为具体的，第一紧固环部361与第二紧固环部362为半弧形，第一紧固环部361与第二紧固环部362相对设置，第一紧固环部361的第一端与第二紧固环部362的第一端由外周向内周部分相连，第一紧固环部361的第二端与第二紧固环部362的第二端之间具有间隙，为了方便进行安装，第一紧固环部361与第二紧固环部362合并后的内径略大于尾排管2的外径，从而方便进行插接安装。为了保证第一紧固环部361与第二紧固环部362共同抱紧尾排管2，第一紧固环部361的第二端与第二紧固环部362的第二端设置同轴的螺孔，以能够通过旋紧件旋紧连接第一紧固环部361的第二端与第二紧固环部362的第二端。从而通过上述第一紧固环部361与第二紧固环部362共同夹紧尾排管2。本实施例中旋紧件采用螺栓或者螺钉。

为了限制尾排管2沿其长度方向移动，容置腔31的腔壁设置有环状凸台37，紧固部36设置在尾排管2与环状凸台37之间，以使环状凸台37与安装部1的端面共同抵接紧固部36。其他实施例中紧固部36可以为其他类似的卡箍件，以能够抱紧在尾排管2的外侧。

如图8和图9所示，本实施例提供一种尾排装置，尾排装置包括上述的密封结构和尾排管2，尾排管2与炉体尾端盖的安装部1通过密封结构密封连接，且尾排管2伸入炉体的炉腔中。进一步的，接头3远离炉体尾端盖的一端连接有冷凝瓶5，具体的，冷凝瓶5具有进管51，进管51插入接头3远离炉体尾端盖的一端的容置腔31内，并且与尾排管2连通。示例性的，进管51与尾排管2可以采用插接。接头3与冷凝瓶5之间设有第二密封件6，第二密封件6用于密封接头3与冷凝瓶5之间的配合间隙。

在一些实施例中，接头3远离炉体尾端盖的一端同样设置连接部32、安装腔33、固定部35，固定部35与第二密封件6之间设置抵顶部34，其中具体连接结构同接头3与安装部1之间的连接结构相同，此处不再进行赘述。此结构大大缩短了安装空间，并且有利于高温尾气直接从冷凝瓶5抽走。此外高温气体直接抽离，没有大量热气接触接头3，到了一定的保护作用，有利于延长接头3使用寿命。

本实施例还提供一种加工设备，包括上述的尾排装置和炉体，炉体的尾端盖设置有安装部1，尾排管2与炉体尾端盖的安装部1通过密封结构密封连接，且尾排管2伸入炉体的炉腔中。该密封结构包括接头3，接头3用于将尾排管2紧固在安装部1上，接头3与安装部1之间设有第一密封件4；第一密封件4用于密封接头3与安装部1之间的配合间隙。

在一些实施例中，安装部1设有冷却结构，该冷却结构能够对第一密封件4进行冷却处理。例如，冷却结构为收纳有冷却介质的冷却腔，安装部1开设有冷却腔，冷却腔与外部的冷却源连通，通过外部的冷却源，能够向冷却腔中提供冷却介质。上述设置能对第一密封件4进行进一步地冷却，延长第一密封件4的使用寿命。可选地，冷却介质为冷却水。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (12)

1.密封结构，用于炉体尾端盖的安装部(1)与尾排管(2)之间的密封，其特征在于，包括：

接头(3)，连接所述安装部(1)，所述接头(3)用于将所述尾排管(2)紧固在所述安装部(1)上，所述接头(3)与所述安装部(1)之间设有第一密封件(4)；所述第一密封件(4)用于密封所述接头(3)与所述安装部(1)之间的配合间隙。

2.根据权利要求1所述的密封结构，其特征在于，所述接头(3)包括主体部(30)，所述主体部(30)具有用于收纳所述尾排管(2)的容置腔(31)，所述尾排管(2)露出所述安装部(1)的部分插接于所述容置腔(31)内。

3.根据权利要求2所述的密封结构，其特征在于，所述主体部(30)朝靠近所述安装部(1)的一端延伸形成连接部(32)，所述连接部(32)具有与所述容置腔(31)连通的安装腔(33)，所述安装部(1)至少部分容置于所述安装腔(33)中；所述第一密封件(4)设置于所述连接部(32)与所述安装部(1)之间。

4.根据权利要求3所述的密封结构，其特征在于，所述接头(3)还包括抵顶部(34)，所述抵顶部(34)套接于所述安装部(1)，所述抵顶部(34)设置于所述连接部(32)与所述安装部(1)之间，且所述抵顶部(34)抵顶所述第一密封件(4)。

5.根据权利要求4所述的密封结构，其特征在于，所述接头(3)还包括固定部(35)，所述固定部(35)套接于所述安装部(1)上，以抵顶所述抵顶部(34)远离所述第一密封件(4)的端部。

6.根据权利要求2所述的密封结构，其特征在于，所述接头(3)还包括紧固部(36)，所述紧固部(36)设置于所述容置腔(31)内，所述紧固部(36)套接在所述尾排管(2)露出所述安装部(1)的一侧。

7.根据权利要求6所述的密封结构，其特征在于，所述容置腔(31)的腔壁设置有环状凸台(37)，所述环状凸台(37)与所述安装部(1)的端面共同抵接所述紧固部(36)。

8.根据权利要求6所述的密封结构，其特征在于，所述紧固部(36)包括拼接相连的第一紧固环部(361)与第二紧固环部(362)，所述第一紧固环部(361)与所述第二紧固环部(362)共同限定出用于夹持所述尾排管(2)的夹持空间。

9.尾排装置，其特征在于，包括如权利要求1-8任一所述的密封结构和所述尾排管(2)，所述尾排管(2)与所述安装部(1)通过所述密封结构密封连接，且所述尾排管(2)伸入炉体的炉腔中。

10.根据权利要求9所述的尾排装置，其特征在于，所述接头(3)远离所述炉体尾端盖的一端连接有冷凝瓶(5)，所述接头(3)与所述冷凝瓶(5)之间设有第二密封件(6)，所述第二密封件(6)用于密封所述接头(3)与所述冷凝瓶(5)之间的配合间隙，所述冷凝瓶(5)的内腔与所述尾排管(2)连通。

11.加工设备，其特征在于，包括如权利要求9或10任一所述的尾排装置和炉体，所述炉体的尾端盖设置有所述安装部(1)。

12.根据权利要求11所述的加工设备，其特征在于，所述安装部(1)设有用于对所述第一密封件(4)冷却的冷却结构。