CN220166328U - 一种硅外延设备用温度均匀性测量机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，包括安装座和固定仓，所述固定仓的底部设置有测温探头，所述安装座上设置有检测组件，所述固定仓上设置有固定组件，所述固定组件包括与固定仓右侧转动连接的蜗杆，所述固定仓的内部转动连接有数量为两个的转动杆，所述转动杆的外侧固定连接有蜗轮，所述转动杆的外侧固定连接有活动板。该硅外延设备用温度均匀性测量机构，通过设置固定组件，在对固定仓拆卸时，只需转动蜗杆即可取消对测温探头的限制，能够完成快速对测温探头进行安装和拆卸，使得在对测温探头拆卸进行检修或更换时较为简便，不影响测温探头对硅外延设备的检测，提高工作人员的工作效率。

Description

一种硅外延设备用温度均匀性测量机构

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种硅外延设备用温度均匀性测量机构。

背景技术

硅外延工艺不仅要在衬底表面生长一层与衬底晶格结构完全一致的外延层，还要对外延层进行掺杂，形成P型或N型有源层，硅外延工艺在高温下进行，并采取保温和隔热措施，而外延片厚度和掺杂均匀性都受到温度均匀性的影响，在外延工艺过程中需对衬底表面温度进行实时测量，从而确保工艺过程中衬底表面温度保持一致。

例如公告号CN217180676U，提出了一种硅外延设备用温度均匀性测量装置，包括支架及用于测量外延片衬底表面温度的测温组件，所述支架上设有导向件、用于驱动测温组件在导向件上往复移动的驱动机构及用于检测测温组件在导向件上位置的位置检测件，但是该实用新型测温探头为固定设置，测温探头一般多为螺栓进行固定安装，工作人员不便于对测温探头进行安装和拆卸，使得在对测温探头拆卸进行检修或更换时较为繁琐，降低了工作人员的工作效率，故而提出一种硅外延设备用温度均匀性测量机构来解决上述所提出的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，具备方便拆装等优点，解决了在对测温探头拆卸进行检修或更换时较为繁琐，降低了工作人员的工作效率的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，包括安装座和固定仓，所述固定仓的底部设置有测温探头，所述安装座上设置有检测组件，所述固定仓上设置有固定组件；

所述固定组件包括与固定仓右侧转动连接的蜗杆，所述固定仓的内部转动连接有数量为两个的转动杆，所述转动杆的外侧固定连接有蜗轮，所述转动杆的外侧固定连接有活动板，所述固定仓的内部固定连接有滑动杆，所述滑动杆的外侧滑动连接有数量为两个的移动块，所述移动块的正面固定连接有活动轴，所述滑动杆的外侧套接有数量为两个的弹簧，所述移动块的底部固定连接有卡板，所述测温探头的顶部固定连接有数量为两个的连接板。

进一步，所述检测组件包括固定安装在安装座右侧的电机，所述电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述安装座的内部固定连接有限位杆，所述螺纹杆的外侧螺纹连接有活动块，所述活动块的正面固定连接有控制器。

进一步，所述活动块的内部开设有与螺纹杆螺纹连接的螺纹通孔，所述活动块的内部开设有与限位杆大小相适配的限位通孔。

进一步，所述蜗杆与蜗轮互相啮合，所述蜗杆两端的旋向相反。

进一步，所述活动板的内部开设有与活动轴滑动连接的活动通孔，所述移动块的内部开设有与滑动杆大小相适配的滑动通孔。

进一步，两个所述弹簧的一端分别与固定仓的左右两侧内壁固定连接，两个所述弹簧的另一端分别与两个移动块相背的一侧固定连接。

进一步，所述连接板的内部开设有与卡板大小相适配的限位通孔。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该硅外延设备用温度均匀性测量机构，通过设置固定组件，在对固定仓拆卸时，只需转动蜗杆即可取消对测温探头的限制，能够完成快速对测温探头进行安装和拆卸，使得在对测温探头拆卸进行检修或更换时较为简便，不影响测温探头对硅外延设备的检测，提高工作人员的工作效率。

2、该硅外延设备用温度均匀性测量机构，通过设置检测组件，由控制器控制电机的启停，进而将测温探头移动至对应硅外延片衬底不同位置进行温度测量，保证在对硅外延设备温度测量时的均匀性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处结构放大图；

图3为本实用新型结构正视图。

图中：1安装座、2固定仓、3测温探头、4螺纹杆、5活动块、6限位杆、7控制器、8连接板、9滑动杆、10电机、11转动杆、12活动板、13蜗轮、14蜗杆、15移动块、16活动轴、17卡板、18弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例一：请参阅图1-3，本实施例中的一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，包括安装座1和固定仓2，安装座1通过螺栓固定安装在对应位置，固定仓2的底部设置有测温探头3，安装座1上设置有检测组件，固定仓2上设置有固定组件。

固定组件包括与固定仓2右侧转动连接的蜗杆14，固定仓2的内部转动连接有数量为两个的转动杆11，转动杆11的外侧固定连接有蜗轮13，蜗杆14与蜗轮13互相啮合，蜗杆14两端的旋向相反，转动杆11的外侧固定连接有活动板12，固定仓2的内部固定连接有滑动杆9，滑动杆9的外侧滑动连接有数量为两个的移动块15，移动块15的内部开设有与滑动杆9大小相适配的滑动通孔，移动块15的正面固定连接有活动轴16，活动板12的内部开设有与活动轴16滑动连接的活动通孔，滑动杆9的外侧套接有数量为两个的弹簧18，两个弹簧18的一端分别与固定仓2的左右两侧内壁固定连接，两个弹簧18的另一端分别与两个移动块15相背的一侧固定连接，通过弹簧18的设置，能够提高测温探头3安装的稳定性，移动块15的底部固定连接有卡板17，测温探头3的顶部固定连接有数量为两个的连接板8，连接板8的内部开设有与卡板17大小相适配的限位通孔。

需要说明的是，通过设置固定组件，在对固定仓2拆卸时，只需转动蜗杆14即可取消对测温探头3的限制，能够完成快速对测温探头3进行安装和拆卸，使得在对测温探头3拆卸进行检修或更换时较为简便，不影响测温探头3对硅外延设备的检测，提高工作人员的工作效率。

实施例二：请参阅图1，在实施例一的基础上，检测组件包括固定安装在安装座1右侧的电机10，电机10的输出轴固定连接有螺纹杆4，安装座1的内部固定连接有限位杆6，螺纹杆4的外侧螺纹连接有活动块5，活动块5的内部开设有与螺纹杆4螺纹连接的螺纹通孔，活动块5的内部开设有与限位杆6大小相适配的限位通孔，活动块5的正面固定连接有控制器7。

需要说明的是，通过设置检测组件，由控制器7控制电机10的启停，进而将测温探头3移动至对应硅外延片衬底不同位置进行温度测量，保证在对硅外延设备温度测量时的均匀性。

上述实施例的工作原理为：

该硅外延设备用温度均匀性测量机构，在对硅外延设备温度进行测量时，由控制器7控制电机10的启停，电机10启动时，电机10的输出轴带动螺纹杆4转动，由限位杆6对活动块5进行限制，带动活动块5底部的测温探头3水平移动，将测温探头3移动至对应温度测量点处，对硅外延设备进行测温，测温完毕后，电机10继续驱动测温探头3移动至下一个温度测量点，从而保证在对硅外延设备温度测量时的均匀性，在需要对测温探头3进行拆卸时，通过转动蜗杆14，使与蜗杆14啮合的蜗轮13通过转动杆11转动，带动活动板12旋转，活动轴16通过活动通孔在活动板12的内部滑动，推动移动块15在滑动杆9外侧滑动，对弹簧18进行挤压，移动块15带动卡板17从连接板8内部的限位通孔内脱离，取消对测温探头3的限制，进而便于将测温探头3拆卸对其进行检修，方便使用者的使用。

文中出现的电器元件均与控制器及电源电连接，本实用新型的控制方式是通过控制器来控制的，控制器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，包括安装座(1)和固定仓(2)，其特征在于：所述固定仓(2)的底部设置有测温探头(3)，所述安装座(1)上设置有检测组件，所述固定仓(2)上设置有固定组件；

所述固定组件包括与固定仓(2)右侧转动连接的蜗杆(14)，所述固定仓(2)的内部转动连接有数量为两个的转动杆(11)，所述转动杆(11)的外侧固定连接有蜗轮(13)，所述转动杆(11)的外侧固定连接有活动板(12)，所述固定仓(2)的内部固定连接有滑动杆(9)，所述滑动杆(9)的外侧滑动连接有数量为两个的移动块(15)，所述移动块(15)的正面固定连接有活动轴(16)，所述滑动杆(9)的外侧套接有数量为两个的弹簧(18)，所述移动块(15)的底部固定连接有卡板(17)，所述测温探头(3)的顶部固定连接有数量为两个的连接板(8)。

2.根据权利要求1所述的一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，其特征在于：所述检测组件包括固定安装在安装座(1)右侧的电机(10)，所述电机(10)的输出轴固定连接有螺纹杆(4)，所述安装座(1)的内部固定连接有限位杆(6)，所述螺纹杆(4)的外侧螺纹连接有活动块(5)，所述活动块(5)的正面固定连接有控制器(7)。

3.根据权利要求2所述的一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，其特征在于：所述活动块(5)的内部开设有与螺纹杆(4)螺纹连接的螺纹通孔，所述活动块(5)的内部开设有与限位杆(6)大小相适配的限位通孔。

4.根据权利要求1所述的一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，其特征在于：所述蜗杆(14)与蜗轮(13)互相啮合，所述蜗杆(14)两端的旋向相反。

5.根据权利要求1所述的一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，其特征在于：所述活动板(12)的内部开设有与活动轴(16)滑动连接的活动通孔，所述移动块(15)的内部开设有与滑动杆(9)大小相适配的滑动通孔。

6.根据权利要求1所述的一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，其特征在于：两个所述弹簧(18)的一端分别与固定仓(2)的左右两侧内壁固定连接，两个所述弹簧(18)的另一端分别与两个移动块(15)相背的一侧固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种硅外延设备用温度均匀性测量机构，其特征在于：所述连接板(8)的内部开设有与卡板(17)大小相适配的限位通孔。