CN220166270U - 一种用于真空镀膜设备上的门阀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，包括箱体及门阀机构，箱体包括进料仓、真空箱及设于所述真空箱上供工件进出的进料口，密封进料组件能密封进料口，使得进料仓的内部与真空箱内部能相互独立，进料仓能独立破空，有助于缩短破空时间，提高镀膜效率，此外密封进料组件能在驱动部件的驱动下在真空箱内上下移动，使得密封进料组件能带动工件往返于进料仓与传动机构之间；相比现有的门阀装置而言，本实用新型的密封进料组件不仅能密封进料口，使得真空箱内能保持密封状态，而且能在真空箱内上下移动，以此带动工件往返于进料仓与传动机构之间，使得密封进料组件增加传输功能，提高密封板的实用性。

Description

一种用于真空镀膜设备上的门阀装置

技术领域

本实用新型涉及门阀装置领域，具体是一种用于真空镀膜设备上的门阀装置。

背景技术

真空镀膜设备包括进料仓、真空箱及门阀装置，通过门阀装置隔绝进料仓及真空箱，使得进料仓与真空箱能处于不同的状态下；而现有的门阀装置功能性单一，门阀装置只具备真空密封隔断的功能，当工件需要在进料仓与真空箱之间进行移动时，需要额外在进料仓及真空箱之间设置传输机构，通过传输机构带动工件往返进料仓及真空箱之间。

本实用新型即是针对现有技术的不足而研究提出。

实用新型内容

针对上述提到的现有技术中的阀门装置的功能性单一，只具备真空密封隔断的功能的问题。

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案是：

一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，包括箱体及门阀机构，所述箱体包括进料仓、真空箱及设于所述真空箱上供工件进出的进料口，所述进料仓设于所述进料口上并能与真空箱形成密封配合，所述门阀机构包括能与进料口相互配合的密封进料组件及驱动部件，所述驱动部件与所述密封进料组件相连接，并带动所述密封进料组件在真空箱内上下移动，所述真空箱内设有传动机构，所述传动机构位于所述进料口的下方，当工件置于所述密封进料组件上时，工件能在所述驱动部件的作用下，往返于进料仓与传动机构之间。

为了便于工件在进料仓与真空箱之间移动，可选地，所述密封进料组件包括用于放置工件的承接件及用于密封进料口的密封板，所述承接件能通过所述进料口，在进料仓与传动机构之间移动。

为了确保承接件与密封板之间能相互配合工作，可选地，所述密封板上设有向上延伸的连接件，所述密封板通过所述连接件与所述承接件相连接，使得密封板与承接件之间能形成间距。

为了确保工件能在承接件与传动机构之间，可选地，所述传动机构上设有转接部件，当所述转接部件位于所述进料口的下方，且承接件相对转接部件向下移动时，工件能落在转接部件上。

为了确保工件能在承接件与转接部件之间移动，可选地，所述转接部件包括第一转接件和第二转接件，所述第一转接件与所述第二转接件分设在承接件的两侧，所述第一转接件上设有第一凸起，所述第二转接件上设有第二凸起，所述第一凸起与所述第二凸起对应设置，使得承接件从第一转接件和第二转接件之间向下移动时，工件能落在所述第一凸起和所述第二凸起上。

为了确保承接件从第一转接件和第二转接件之间向下移动时，工件能落在所述第一凸起和所述第二凸起上，可选地，所述第一转接件和所述第二转接件之间的间距大于所述承接件的尺寸，使得承接件能从第一转接件和第二转接件之间穿过。

为了确保密封板能密封进料口，可选地，所述密封板的尺寸大于所述进料口的尺寸，使得密封板能密封所述进料口。

为了确保进一步确保密封板能密封进料口，可选地，所述密封板上设有第一密封结构，所述第一密封结构用于与所述真空箱相配合，密封所述进料口。

为了确保进料仓能与真空箱形成密封配合，可选地，所述进料仓上设有第二密封结构，所述第二密封结构用于与所述真空箱相配合，使得进料仓能与真空箱形成密封配合。

为了确保进料仓置于进料口上时能与真空箱形成密封配合，可选地，所述真空箱与所述进料仓之间设有抽气机构，当进料仓置于真空箱上时，所述抽气机构与所述进料仓的内部相连通。

本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型的密封进料组件能密封进料口，使得进料仓的内部与真空箱内部能相互独立，进料仓能独立破空，有助于缩短破空时间，提高镀膜效率，此外密封进料组件能在驱动部件的驱动下在真空箱内上下移动，当进料仓内部环境与真空箱内部环境一致时，密封进料组件能带动工件往返于进料仓与传动机构之间；相比现有的门阀装置而言，本实用新型的密封进料组件不仅能密封进料口，使得真空箱内能始终保持密封状态，而且能在真空箱内上下移动带动工件往返于进料仓与传动机构之间，使得密封进料组件增加传输功能，提高密封板的实用性。

2、本实用新型的密封进料组件通过密封板密封进料口，并且在密封板上设有用于放置工件的承接件，通过连接件使得承接件与密封板之间能形成间距，一方面承接件能贯穿进料口置于进料仓的空腔内，便于工人放置工件，另一方面避免工件在移动的过程中发生偏移，对密封板的密封效果造成影响；此外密封进料组件向下移动时，工件能从承接件落在转接部件上，密封进料组件向上移动时，工件能从转接部件移回承接件上，密封组件继续上行密封进料口并将工件移至进料仓内；使得密封进料组件不仅能具有密封功能，而且还能带动工件移动，具有传输功能，并且密封进料组件与传动机构结构简单，不仅操作方便，而且有助于工人后期对其进行维护。

下面将结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的俯视图；

图3为图2沿A-A线的剖视图；

图4为图3的C区放大图；

图5为图2沿A-A线的剖视图；

图6为图5的E区放大图；

图7为图2沿B-B线的剖视图；

图8为图7的F区放大图；

图9为图5的D区放大图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的实施方式作详细说明。

如图1-9所示，所述箱体包括进料仓1、真空箱2及设于所述真空箱2上供工件进出的进料口3，所述进料仓1设于所述进料口3上并能与真空箱2形成密封配合，所述门阀机构包括能与进料口3相互配合的密封进料组件4及驱动部件5，所述驱动部件5与所述密封进料组件4相连接，并带动所述密封进料组件4在真空箱2内上下移动，所述真空箱2内设有传动机构6，所述传动机构6位于所述进料口3的下方，当工件置于所述密封进料组件4上时，工件能在所述驱动部件5的作用下，往返于进料仓1与传动机构6之间；在本实施方式中，真空镀膜设备包括箱体及门阀装置，所述箱体包括进料仓1、真空箱2及进料口3，所述真空箱2内设有能处于真空状态的真空腔21及镀膜部件，所述镀膜部件置于所述真空腔21内，使得工件10能在真空腔21内进行真空镀膜，所述进料口3位于所述真空箱2上与所述真空腔21相连通，使得工件10能通过进料口3进出所述真空腔21，所述进料仓1包括空腔11，所述进料仓1置于所述进料口3上时，所述进料仓1能与所述真空箱2形成密封配合，使得空腔11能与外界相互隔绝，进而使得空腔11能形成真空环境，并且所述空腔11通过进料口3与所述真空腔21相连通，工件10能放置在进料仓1的空腔11内，当空腔11内的环境与真空腔21内的环境一致，均处于真空状态时，工件10能通过进料口3从空腔11进入到真空腔21内，所述门阀机构包括能与进料口3相互配合的密封进料组件4及驱动部件5，所述驱动部件5与所述密封进料组件4相连接，使得密封进料组件4能在所述驱动部件5的作用下在真空腔21内上下移动，所述真空箱2内设有传动机构6，所述传动机构6置于所述真空腔21内用于将工件10移动镀膜部件处进行镀膜，所述传动机构6位于所述进料口3的下方，当工件10置于所述密封进料组件4上时，工件10能在所述密封进料组件4的作用下，往返于进料仓1与传动机构6之间；具体而言，当工件10需要进行真空镀膜时，所述密封进料组件4在驱动部件5的驱动下上移密封所述进料口3，使得真空箱2内的真空腔21能与进料仓1的空腔11相互隔绝，保持真空状态，接着打开进料仓1，工件10放置在密封进料组件4上，然后将进料仓1置于进料口3上，此时工件10位于进料仓1的空腔11内，当进料仓1内的空腔11环境与真空箱2内的真空腔21环境一致时，密封进料组件4在驱动部件5的驱动下向下移动，带动工件10从进料仓1移至位于进料口3下方的传动机构6上，工件在传动机构6的作用下移至镀膜部件处进行镀膜，当镀膜工序完成后，传动机构6将工件10移回密封进料组件4上，密封进料组件4在驱动部件5的驱动下带动工件10上行，当密封进料组件4移动到进料口3处时，由于工件10的尺寸T2小于进料口3的尺寸T1，使得工件10能通过进料口3进入到进料仓1的空腔11内，位于工件10下方的密封进料组件4密封进料口3，使得进料仓1的空腔11与真空箱2的真空腔21相互隔开，使得进料仓1内的空腔11能独立破空，当进料仓1内的空腔11环境与外界环境一致时，打开进料仓1取出工件，以此工件10完成镀膜工艺；相对现有的门阀装置而言，本实用新型的密封进料组件能密封进料口，使得进料仓的内部与真空箱内部能相互独立，进料仓能独立破空，便于拿放工件，此外密封进料组件能在驱动部件的驱动下在真空箱内上下移动，当进料仓内部环境与真空箱内部环境一致时，密封进料组件能带动工件往返于进料仓与传动机构之间；相比现有的门阀装置而言，本实用新型的密封进料组件不仅能密封进料口，使得真空箱内能保持密封状态，而且能在真空箱内上下移动将工件从进料仓移至真空箱内的传动机构上，使得密封进料组件增加传输功能，提高密封板的实用性。

如图3、图4、图8所示，所述密封进料组件4包括用于放置工件的承接件41及用于密封进料口3的密封板42，所述承接件41能通过所述进料口3，在进料仓1与传动机构6之间移动；进一步地，所述密封板42上设有向上延伸的连接件43，所述密封板42通过所述连接件43与所述承接件41相连接，使得密封板42与承接件41之间能形成间距；为了便于工件在进料仓与真空箱之间移动，在本实施方式中，所述密封进料组件4包括用于放置工件的承接件41及用于密封进料口3的密封板42，所述密封板42上设有向上延伸的连接件43，密封板42通过连接件43与承接件41相连接，使得密封板42和承接件41之间能间隔开一端距离，形成间距，所述承接件41的尺寸T4小于进料口的尺寸T1，使得承接件41能穿过进料口3，从进料口3的一侧移至另一侧，当密封板42密封进料口3时，所述承接件41置于所述进料仓1的空腔11内，便于工人打开进料仓1，将工件10放置在承接件41上，在合上进料仓1，当进料仓1和真空箱2之间处于密封配合，且进料仓1与真空箱2内的环境一致时，密封板42在驱动部件5的驱动下向下移动时，承接件41跟随密封板42向下移动，将工件10从进料仓1移至真空箱2内，同理可得，工件10完成真空镀膜后移回至承接件41上时，密封板42向上移动带动承接件41向上移动，将工件10从真空箱2移至进料仓1内；密封进料组件通过密封板密封进料口，并且在密封板上设有用于放置工件的承接件，通过连接件使得承接件与密封板之间能形成间距，一方面承接件能贯穿进料口置于进料仓的空腔内，便于工人放置工件，另一方面避免工件在移动的过程中发生偏移，对密封板的密封效果造成影响。

如图3-8所示，所述传动机构6上设有转接部件，当所述转接部件位于所述进料口3的下方，且承接件41相对转接部件向下移动时，工件能落在转接部件上；进一步地，所述转接部件包括第一转接件61和第二转接件62，所述第一转接件61与所述第二转接件62分设在承接件41的两侧，所述第一转接件61上设有第一凸起611，所述第二转接件62上设有第二凸起621，所述第一凸起611与所述第二凸起621对应设置，使得承接件41从第一转接件61和第二转接件62之间向下移动时，工件能落在所述第一凸起611和所述第二凸起621上；在本实施方式中，所述传动机构6包括运输线63和转接部件，所述运输线63至少包括两条平行设置的第一运输件631及第二运输件632，所述第一运输件631及第二运输件632分别设于位于门阀装置的前后两侧，并且第一运输件631及第二运输件632之间的间隔大于密封板42的尺寸T5，使得密封板42能从第一运输件631及第二运输件632之间穿过，此外第一运输件631和第二运输件632能相对门阀装置横向移动，带动工件在真空箱2内移动，所述转接部件设于所述运输线63的上端，用以承接工件，在密封组件4下移的过程中，转接部件会沿运输线63横向移动一段距离，为密封组件4让位，防止密封组件4下移时，被转接部件所阻挡，此外，所述转接部件包括第一转接件61和第二转接件62，所述第一转接件61设于第一运输件631上并朝第二运输件632方向延伸，所述第二转接件62设于第二运输件632上并朝第一运输件631方向延伸，使得第一转接件61和第二转接件62能分设在承接件41的前后两侧，并且在所述第一转接件61上设有第一凸起611，所述第二转接件62上设有第二凸起621，所述第一凸起611与所述第二凸起621对应设置，此外第一凸起611与所述第二凸起621的间距T3大于承接件41的尺寸T4且小于工件的尺寸T2，使得第一转接件61和第二转接件62位于对接位置时，承接件41向下移动能从第一转接件61和第二转接件62之间穿过，工件能落在所述第一凸起611和所述第二凸起621上，使得工件能从承接件41移动到转接部件上，传送机构通过转接部件带动工件在真空箱2内移动进行真空镀膜工序；需要补充说明的是，由于工件10需要通过进料口3进入到真空箱2内，所以工件10的尺寸T2要小于进料口3的尺寸T1，而密封板42的尺寸T5与进料口3的尺寸T1相匹配，因此密封板42下移的过程中，第一转接件61和第二转接件62会对其下移造成阻碍，因此密封板42下移前，第一转接件61和第二转接件62在传动机构6的驱动下横向移动一段距离，以此避免密封板42下移时第一转接件61和第二转接件62会对其下移造成影响，并且当密封板42下移到第一转接件61和第二转接件62的下端时，第一转接件61和第二转接件62会对其下移造成阻碍，因此为了让密封板42能顺利向下移动，在密封板42向下移动到第一转接件61和第二转接件62的上端面前，第一转接件61和第二转接件62在传动机构6的驱动下横向移动一段距离，使得第一转接件61和第二转接件62远离密封板42的移动路径上，以此避免密封板42在向下移动时第一转接件61和第二转接件62会对其下移造成影响，并且当第一转接件61和第二转接件62高于密封板42且低于承接件41时，第一转接件61和第二转接件62在传动机构6的驱动下横向移动回到对接位置，等待承接件41下移；同样地，在密封组件4上移的过程中，第一转接件61和第二转接件62在对接位置上，等待承接件41向上移动上移顶起工件10，当承接件41顶起工件10，工件10移动到承接件41后，在密封板42高于第一转接件61和第二转接件62前，第一转接件61和第二转接件62在传动机构6的驱动下横向移动一段距离，使得第一转接件61和第二转接件62远离密封板42的移动路径上，以此避免密封板42在向上移动时第一转接件61和第二转接件62会对其上移造成影响；通过上述结构使得工件能在承接件与转接部件之间移动，使得密封进料组件不仅能具有密封功能，而且还能带动工件移动，具有传输功能，并且密封进料组件与传动机构结构简单，不仅操作方便，而且有助于工人后期对其进行维护。

在一些实施例中，所述转接部件可为位于所述进料口的下方机械抓手，通过机械抓手将工件夹起，并将工件放置在传送机构上，以此使得工件能从承接件上移至传动机构上。

如图9所示，所述密封板42上设有第一密封结构7，所述第一密封结构7用于与所述真空箱2相配合，密封所述进料口2；所述进料仓1上设有第二密封结构8，所述第二密封结构8用于与所述真空箱2相配合，使得进料仓1能与真空箱2形成密封配合；为了确保进料仓内能进行真空密封和独立破空，在本实施方式中，在密封板42上设有第一密封结构7，所述第一密封结构7优选为设于所述密封板42上端面上的第一凹槽71及设于所述第一凹槽71内的第一密封圈72，当密封板42在驱动部件5的作用下上移贴合真空箱2的内顶壁密封所述进料口3时，所述第一密封圈72与所述真空箱2的内顶壁相抵接，以此密封进料口3，防止进料仓1合在进料口3上进行独立破空时，空气从进料口3与密封板42之间的缝隙通过，导致真空箱2内的真空腔21的真空状态受到影响；此外，所述进料仓1上设有第二密封结构8，所述第二密封结构8优选为设于所述进料仓1底部的第二凹槽81及设于所述第二凹槽81内的第二密封圈82，当所述进料仓1置于进料口3上时，所述第二密封圈82与所述真空箱2相接触，以此密封进料仓1的底部，防止空气从进料仓1与真空箱2之间的缝隙通过，以此确保进料仓1内的空腔11能形成真空状态。

如图5、图9所示，所述真空箱2与所述进料仓1之间设有抽气机构9，当进料仓1置于进料口3上时，所述抽气机构9与所述进料仓1的内部相连通，为了确保进料仓置于进料口上时能与真空箱形成密封配合，在本实施方式中，真空箱2与进料仓11之间设有抽气机构9，所述抽气机构9包括抽气管，优选地，所述抽气管贯穿所述真空箱2与所述进料仓1内的空腔11相连通，当进料仓1置于进料口3上时，所述抽气管的输出端与进料仓1内的空腔11相连通，通过抽气管将空腔11内的空气抽出，使得空腔11内能形成真空状态。

如图1、图3所示，所述驱动部件5包括联动杆51及液压气缸52，所述联动杆51的一端贯穿所述真空箱2底部与所述密封进料组件4相连接，另一端与液压气缸52的输出端相连接，液压气缸52通过联动杆51带动密封进料组件4在真空箱2内上下移动，进一步地，所述联动杆51上套设有波纹管53，所述波纹管53一端与真空箱2的底部相连接，另一端与所述液压气缸52相连接；为了确保驱动部件能带动密封进料组件在真空箱内上下移动，在本实施方式中，所述驱动部件5包括联动杆51及液压气缸52，所述联动杆51的一端贯穿所述真空箱2底部与真空箱2内的密封进料组件4相连接，所述联动杆51的另一端与所述液压气缸52的输出端相连接，使得液压气缸52能通过联动杆51驱动密封进料组件4在真空箱2内上下移动，为了避免联动杆51带动密封进料组件4在真空箱2内上下移动时，对真空箱2内的真空状态造成影响，所述真空箱2的底部设有法兰22，所述联动杆51通过所述法兰22贯穿所述真空箱2与所述密封进料组件4相连接，所述联动杆51置于真空箱2外的一端上套设有波纹管53，所述波纹管53一端与真空箱的法兰22密封连接，另一端与所述液压气缸52密封连接，以此确保真空箱2内的真空腔21能保持真空状态。

如上是结合具体内容提供的实施方式，并不认定本申请的具体实施只局限于这些说明。凡与本申请的方法结构等近似雷同，或是对于本申请构思前提下做出若干技术推演或替换，都应当视为本申请的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，包括箱体及门阀机构，其特征在于：所述箱体包括进料仓(1)、真空箱(2)及设于所述真空箱(2)上供工件进出的进料口(3)，所述进料仓(1)设于所述进料口(3)上并能与真空箱(2)形成密封配合，所述门阀机构包括能与进料口(3)相互配合的密封进料组件(4)及驱动部件(5)，所述驱动部件(5)与所述密封进料组件(4)相连接，并带动所述密封进料组件(4)在真空箱(2)内上下移动，所述真空箱(2)内设有传动机构(6)，所述传动机构(6)位于所述进料口(3)的下方，当工件置于所述密封进料组件(4)上时，工件能在所述驱动部件(5)的作用下，往返于进料仓(1)与传动机构(6)之间。

2.根据权利要求1所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述密封进料组件(4)包括用于放置工件的承接件(41)及用于密封进料口(3)的密封板(42)，所述承接件(41)能通过所述进料口(3)，在进料仓(1)与传动机构(6)之间移动。

3.根据权利要求2所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述密封板(42)上设有向上延伸的连接件(43)，所述密封板(42)通过所述连接件(43)与所述承接件(41)相连接，使得密封板(42)与承接件(41)之间能形成间距。

4.根据权利要求3所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述传动机构(6)上设有转接部件，当所述转接部件位于所述进料口(3)的下方，且承接件(41)相对转接部件向下移动时，工件能落在转接部件上。

5.根据权利要求4所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述转接部件包括第一转接件(61)和第二转接件(62)，所述第一转接件(61)与所述第二转接件(62)分设在承接件(41)的两侧，所述第一转接件(61)上设有第一凸起(611)，所述第二转接件(62)上设有第二凸起(621)，所述第一凸起(611)与所述第二凸起(621)对应设置，使得承接件(41)从第一转接件(61)和第二转接件(62)之间向下移动时，工件能落在所述第一凸起(611)和所述第二凸起(621)上。

6.根据权利要求5所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述第一转接件(61)和所述第二转接件(62)之间的间距大于所述承接件(41)的尺寸(T4)，使得承接件(41)能从第一转接件(61)和第二转接件(62)之间穿过。

7.根据权利要求2所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述密封板(42)的尺寸大于所述进料口(3)的尺寸，使得密封板(42)能密封所述进料口(3)。

8.根据权利要求7所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述密封板(42)上设有第一密封结构(7)，所述第一密封结构(7)用于与所述真空箱(2)相配合，密封所述进料口(3)。

9.根据权利要求1所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述进料仓(1)上设有第二密封结构(8)，所述第二密封结构(8)用于与所述真空箱(2)相配合，使得进料仓(1)能与真空箱(2)形成密封配合。

10.根据权利要求1所述一种用于真空镀膜设备上的门阀装置，其特征在于，所述真空箱(2)与所述进料仓(1)之间设有抽气机构(9)，当进料仓(1)置于真空箱(2)上时，所述抽气机构(9)与所述进料仓(1)的内部相连通。