CN220155493U - 一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及太阳能电池加工领域，具体为一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，包括刻蚀槽、以及顶板，所述刻蚀槽的顶部两侧分别转动设置有连接轴，两组所述连接轴上均固定连接有盖板，所述顶板上滑动设置有补液喷头，所述顶板的顶端设置有储液桶。本实用新型通过控制补液喷头向下移动伸入刻蚀槽的内部进行补液的同时，两组盖板可以转动并相互扣合对刻蚀槽的顶部起到封闭遮挡的作用，可有效防止在补液过程中刻蚀槽内部的刻蚀液飞溅出来对周围造成污染，此外补液完毕时可以控制补液喷头滑动使其远离刻蚀槽，在此过程中两组盖板会相互分离展开，使得刻蚀槽的顶端不在受到遮挡作用，进而补液喷头以及盖板也不会对刻蚀作业的进行产生影响。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池加工领域，具体为一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置。
背景技术
在太阳能电池硅片的生产加工过程中，需要对硅片材料进行刻蚀处理，刻蚀分为干法刻蚀和湿法刻蚀，其中湿法刻蚀通常是将硅片置于存有化学刻蚀液的刻蚀槽内进行。
中国专利(CN202164353U)所公开的一种太阳电池硅片湿法刻蚀补液装置，其虽然实现了在刻蚀过程中向硅片补加新的酸液而来降低刻蚀速率，从而较好地控制刻蚀工艺点，确保刻蚀更加均匀，但是并未解决现有的刻蚀装置中通常是通过固定的喷头向刻蚀槽内进行补液，然而当喷头的位置较高时，由于喷头内喷出的刻蚀液水压较大，刻蚀槽也缺乏遮挡措施，进而容易导致刻蚀液飞溅出来，使得有腐蚀性的刻蚀液对周围造成污染，当喷头的位置设置较低时，在进行刻蚀作业时，容易受到喷头的遮挡，进而影响刻蚀作业的进行。
实用新型内容
基于上述背景技术中所提到的现有技术中的不足之处，本实用新型提供了一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置。
本实用新型通过采用如下技术方案克服以上技术问题，具体为：
一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，包括刻蚀槽、以及顶板，所述刻蚀槽的顶部两侧分别转动设置有连接轴，两组所述连接轴上均固定连接有盖板，所述顶板上滑动设置有补液喷头，所述顶板的顶端设置有储液桶，所述补液喷头与所述储液桶之间连接有连通管，所述顶板的顶端还安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴一端连接有第一转轴；
其中，所述顶板与所述补液喷头之间设置有供所述补液喷头滑动的导向组件，所述第一转轴与所述补液喷头之间设置有用于控制所述补液喷头上下滑动的升降组件，所述第一转轴与两组所述连接轴之间设置有作用于两组连接轴的反向驱动组件。
作为本实用新型进一步的方案：所述导向组件包括固定于所述顶板上的滑套、以及滑动设置于所述滑套内部并与所述补液喷头固定连接的滑竿。
作为本实用新型再进一步的方案：所述升降组件包括套接于所述第一转轴上的第一圆齿轮、以及固定连接于所述补液喷头上并与所述第一圆齿轮相啮合的齿条。
作为本实用新型再进一步的方案：所述反向驱动组件包括转动设置于所述顶板上的两组第二转轴、套接于两组所述第二转轴底端的第一锥齿轮、分别套接于两组所述连接轴一端并与所述第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮、套接于两组所述第二转轴顶端的第二圆齿轮、以及转动设置于所述顶板顶端的双向丝杆；
其中，所述双向丝杆的两端螺纹方向相反，所述双向丝杆的两端分别与两组所述第二圆齿轮相配合，所述第一转轴与所述双向丝杆之间设置有作用于所述双向丝杆的动力组件。
作为本实用新型再进一步的方案：所述动力组件包括套接于所述第一转轴上的第三圆齿轮、套接于所述双向丝杆上的第四圆齿轮、以及设置于所述第三圆齿轮与所述第四圆齿轮之间的皮带。
作为本实用新型再进一步的方案：所述刻蚀槽的侧壁上设置有透明玻璃、所述透明玻璃上设置有刻度线。
采用以上结构后，本实用新型相较于现有技术，具备以下优点：通过控制补液喷头向下移动伸入刻蚀槽的内部进行补液的同时，两组盖板可以转动并相互扣合对刻蚀槽的顶部起到封闭遮挡的作用，可有效防止在补液过程中刻蚀槽内部的刻蚀液飞溅出来对周围造成污染，此外补液完毕时可以控制补液喷头滑动使其远离刻蚀槽，在此过程中两组盖板会相互分离展开，使得刻蚀槽的顶端不在受到遮挡作用，进而补液喷头以及盖板也不会对刻蚀作业的进行产生影响。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为本实用新型中反向驱动组件的结构示意图。
图3为本实用新型中补液喷头和齿条的结构示意图。
图4为本实用新型中盖板和透明玻璃的结构示意图。
图中：1、刻蚀槽；2、顶板；3、连接轴；4、盖板；5、补液喷头；6、储液桶；7、连通管；8、伺服电机；9、第一转轴；10、滑套；11、滑竿；12、第一圆齿轮；13、齿条；14、第二转轴；15、第一锥齿轮；16、第二锥齿轮；17、第二圆齿轮；18、双向丝杆；19、第三圆齿轮；20、第四圆齿轮；21、皮带；22、透明玻璃；23、刻度线。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例1
请参阅图1～4，本实用新型实施例中，一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，包括刻蚀槽1、以及顶板2，所述刻蚀槽1的顶部两侧分别转动设置有连接轴3，两组所述连接轴3上均固定连接有盖板4，所述顶板2上滑动设置有补液喷头5，所述顶板2的顶端设置有储液桶6，所述补液喷头5与所述储液桶6之间连接有连通管7，所述顶板2的顶端还安装有伺服电机8，所述伺服电机8的输出轴一端连接有第一转轴9；
其中，所述顶板2与所述补液喷头5之间设置有供所述补液喷头5滑动的导向组件，所述第一转轴9与所述补液喷头5之间设置有用于控制所述补液喷头5上下滑动的升降组件，所述第一转轴9与两组所述连接轴3之间设置有作用于两组连接轴3的反向驱动组件；
伺服电机8的输出轴可以带动第一转轴9旋转，此时升降组件可以对补液喷头5产生向上或向下的驱动作用，补液喷头5在此驱动作用下沿着导向组件的方向保持垂直向上或向下滑动而不会偏移，在第一转轴9旋转的同时反向驱动组件可以控制两组连接轴3同时向着相反的方向进行旋转，进而使得两组盖板4在连接轴3的带动下通过反向旋转扣合在一起或者相互远离展开，补液喷头5上设置有电磁阀，当需要对刻蚀槽1内部的刻蚀液进行补充时，可以通过启动伺服电机8的输出轴带动第一转轴9旋转，进而控制补液喷头5向下滑动使其靠近刻蚀槽1的内部，在此过程中两组盖板4可以通过反向转动相互扣合在一起，两组盖板4上设置有豁口，因此其在相互扣合时也不会与补液喷头5相接触，此时通过控制补液喷头5上的电磁阀，储液桶6内部的刻蚀液可以通过靠近刻蚀槽1内部的补液喷头5被喷到刻蚀槽1的内部进行补液，同时相互扣合的盖板4可以对刻蚀槽1的顶部起到封闭遮挡的作用，进而防止在补液过程中刻蚀槽1内部的酸液飞溅出来，反之当补液完毕时，关闭补液喷头5的电磁阀并启动伺服电机8的输出轴带动第一转轴9旋转，可以控制补液喷头5滑动使其远离刻蚀槽1，在此过程中相互扣合的两组盖板4会通过反向转动相互分离展开，使得刻蚀槽1的顶端不在受到遮挡作用，使用刻蚀槽1进行刻蚀作业的同时不会受到补液喷头5以及两组盖板4的影响。
实施例2
在本实用新型的一个实施例中，所述导向组件包括固定于所述顶板2上的滑套10、以及滑动设置于所述滑套10内部并与所述补液喷头5固定连接的滑竿11；
当补液喷头5受到向上或向下的驱动作用时，滑竿11会在补液喷头5的带动下沿着滑套10的内部保持垂直向上或向下滑动，此时补液喷头5会在滑套10和滑竿11的限制作用下沿着滑套10的方向保持垂直滑动而不会偏移。
在本实用新型的另一个实施例中，所述升降组件包括套接于所述第一转轴9上的第一圆齿轮12、以及固定连接于所述补液喷头5上并与所述第一圆齿轮12相啮合的齿条13；
当第一转轴9进行旋转的同时，第一转轴9会带动第一圆齿轮12旋转，由于第一圆齿轮12与齿条13之间的啮合关系，旋转的第一圆齿轮12会对齿条13产生向上或向下的驱动力，进而使得补液喷头5受到向上或向下的驱动作用。
在本实用新型的又一个实施例中，所述反向驱动组件包括转动设置于所述顶板2上的两组第二转轴14、套接于两组所述第二转轴14底端的第一锥齿轮15、分别套接于两组所述连接轴3一端并与所述第一锥齿轮15相啮合的第二锥齿轮16、套接于两组所述第二转轴14顶端的第二圆齿轮17、以及转动设置于所述顶板2顶端的双向丝杆18；
其中，所述双向丝杆18的两端分别与两组所述第二圆齿轮17相配合，所述第一转轴9与所述双向丝杆18之间设置有作用于所述双向丝杆18的动力组件；
第一转轴9旋转的同时，双向丝杆18会在动力组件的作用下进行旋转，此时双向丝杆18两端会对与其相配合的两组第二圆齿轮17产生反向的驱动作用，使得两组第二圆齿轮17同时分别驱动两组第二转轴14反向旋转，两组第一锥齿轮15会在第二转轴14的带动下反向旋转，由于第一锥齿轮15与第二锥齿轮16之间的啮合关系，最终使得两组连接轴3分别在两组第二锥齿轮16的带动下反向旋转。
在本实用新型的又一个实施例中，所述双向丝杆18的两端螺纹方向相反，所述动力组件包括套接于所述第一转轴9上的第三圆齿轮19、套接于所述双向丝杆18上的第四圆齿轮20、以及设置于所述第三圆齿轮19与所述第四圆齿轮20之间的皮带21；
第一转轴9旋转时可带动第三圆齿轮19旋转，此时通过皮带21的传动作用会带动第四圆齿轮20旋转，进而双向丝杆18在第四圆齿轮20的带动下进行旋转。
在本实用新型的又一个实施例中，所述刻蚀槽1的侧壁上设置有透明玻璃22、所述透明玻璃22上设置有刻度线23；
人们可以通过透明玻璃22和刻度线23直观的看到刻蚀槽1内部刻蚀液的容量，便于及时对刻蚀槽1内部的刻蚀液进行补充。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。
Claims (6)
1.一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，包括刻蚀槽(1)、以及顶板(2)，其特征在于，所述刻蚀槽(1)的顶部两侧分别转动设置有连接轴(3)，两组所述连接轴(3)上均固定连接有盖板(4)，所述顶板(2)上滑动设置有补液喷头(5)，所述顶板(2)的顶端设置有储液桶(6)，所述补液喷头(5)与所述储液桶(6)之间连接有连通管(7)，所述顶板(2)的顶端还安装有伺服电机(8)。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，其特征在于，所述伺服电机(8)的输出轴一端连接有第一转轴(9)，所述顶板(2)与所述补液喷头(5)之间设置有供所述补液喷头(5)滑动的导向组件，所述第一转轴(9)与所述补液喷头(5)之间设置有用于控制，所述补液喷头(5)上下滑动的升降组件，所述第一转轴(9)与两组所述连接轴(3)之间设置有作用于两组连接轴(3)的反向驱动组件所述导向组件包括固定于所述顶板(2)上的滑套(10)、以及滑动设置于所述滑套(10)内部并与所述补液喷头(5)固定连接的滑竿(11)。
3.根据权利要求2所述的一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，其特征在于，所述升降组件包括套接于所述第一转轴(9)上的第一圆齿轮(12)、以及固定连接于所述补液喷头(5)上并与所述第一圆齿轮(12)相啮合的齿条(13)。
4.根据权利要求2所述的一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，其特征在于，所述反向驱动组件包括转动设置于所述顶板(2)上的两组第二转轴(14)、套接于两组所述第二转轴(14)底端的第一锥齿轮(15)、分别套接于两组所述连接轴(3)一端并与所述第一锥齿轮(15)相啮合的第二锥齿轮(16)、套接于两组所述第二转轴(14)顶端的第二圆齿轮(17)、以及转动设置于所述顶板(2)顶端的双向丝杆(18)；
其中，所述双向丝杆(18)的两端螺纹方向相反，所述双向丝杆(18)的两端分别与两组所述第二圆齿轮(17)相配合，所述第一转轴(9)与所述双向丝杆(18)之间设置有作用于所述双向丝杆(18)的动力组件。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，其特征在于，所述动力组件包括套接于所述第一转轴(9)上的第三圆齿轮(19)、套接于所述双向丝杆(18)上的第四圆齿轮(20)、以及设置于所述第三圆齿轮(19)与所述第四圆齿轮(20)之间的皮带(21)。
6.根据权利要求1所述的一种太阳能电池硅片湿法刻蚀补液装置，其特征在于，所述刻蚀槽(1)的侧壁上设置有透明玻璃(22)、所述透明玻璃(22)上设置有刻度线(23)。
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