CN220151569U - 仪器用多翼型转子分子泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种仪器用多翼型转子分子泵，包括：转子组件、泵壳、内外螺旋级结构、内螺旋级结构以及定子组件；所述内外螺旋级结构设置在所述泵壳上，所述内螺旋级结构设置在所述内外螺旋级结构内；所述转子组件和所述定子组件设置在内外螺旋级结构内；所述泵壳上设置有进气口，所述转子组件通过所述进气口进行抽气；所述内外螺旋级结构和所述内螺旋级结构上均设置有出气孔，所述内外螺旋级结构上设置有排气口，所述排气口与所述出气孔连通设置。本实用新型采用微小间隙的结构设计，使得分子泵的抽气结构异常紧凑，从而能够实现小体积下的大抽速和高压缩比，可用于小型科学仪器、便携式仪器的抽真空。

Description

仪器用多翼型转子分子泵

技术领域

本实用新型涉及真空技术领域，具体地，涉及一种仪器用小型分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，目前分子泵的尺寸和重量均偏大，并不适用于小型或便携式仪器。

现有的分子泵存在体积和重量不适用于小型或便携式仪器，一些分子泵虽然能够实现小型化，但存在小型化后的分子泵的抽速和压缩比难以达到快速抽真空的技术问题，是分子泵的常规结构设计布局形式导致了该技术问题。

公开号为CN208634065U的专利文献公开了一种抗振动分子泵，其提出了一种耐受环境振动的结构，分子泵的动叶轮组件两端由球轴承组件支撑，通过支撑参数优化，降低了径向跳动和轴向窜动，提高了抗环境振动的能力，还采用了双涡轮结构，提高了抽气性能。但该专利文献并没有对分子泵的抽气和压缩结构的实际效果进行说明，难以满足高启动压强时的快速抽气要求。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种仪器用多翼型转子分子泵。

根据本实用新型提供的一种仪器用多翼型转子分子泵，包括：转子组件、泵壳、内外螺旋级结构、内螺旋级结构以及定子组件；

所述内外螺旋级结构设置在所述泵壳上，所述内螺旋级结构设置在所述内外螺旋级结构内；所述转子组件和所述定子组件设置在内外螺旋级结构内；

所述泵壳上设置有进气口，所述转子组件通过所述进气口进行抽气；所述内外螺旋级结构和所述内螺旋级结构上均设置有出气孔，所述内外螺旋级结构上设置有排气口，所述排气口与所述出气孔连通设置。

优选的，所述内外螺旋级组件包括第一内外螺旋级和第二内外螺旋级；

所述第一内外螺旋级和所述第二内外螺旋级分别安装在所述泵壳的两侧；

所述内螺旋级组件包括第一内螺旋级和第二内螺旋级；

第一内螺旋级和第二内螺旋级位于所述泵壳内，所述第一内螺旋级安装在所述第一内外螺旋级的内侧，所述第二内螺旋级安装在所述第二内外螺旋级的内侧。

优选的，所述第一内外螺旋级远离所述泵壳的一端设置有第一轴承座和第一轴承座端盖，所述第一轴承座位于所述第一内外螺旋级和所述第一轴承座端盖之间；

所述第二内外螺旋级远离所述泵壳的一端设置有第二轴承座和第二轴承座端盖，所述第二轴承座位于所述第二内外螺旋级和所述第二轴承座端盖之间。

优选的，所述第一内外螺旋级、所述第一内螺旋级以及所述泵壳之间安装有第一密封圈；

所述第二内外螺旋级、所述第二内螺旋级以及所述泵壳之间安装有第二密封圈。

优选的，所述转子组件包括多翼型叶轮轴、电机转子以及碳纤维管组件，所述电机转子和所述碳纤维管组件设置在所述多翼型叶轮轴上；

所述多翼型叶轮轴的两端分别设置有第一轴承和第二轴承；所述第一轴承与所述第一轴承座装配连接，所述第二轴承与所述第二轴承座装配连接；

所述第一轴承上设置有第一轴承锁止螺母，所述第一轴承通过所述第一轴承锁止螺母进行固定；

所述第二轴承上设置有第二轴承锁止螺母，所述第二轴承通过所述第二轴承锁止螺母进行固定。

优选的，所述碳纤维管组件包括外碳纤维管和内碳纤维管；

所述内碳纤维管设置在所述多翼型叶轮轴上，所述多翼型叶轮轴与所述内碳纤维管的内侧壁相连接；

所述外碳纤维管设置在所述内碳纤维管上，所述外碳纤维管的内侧壁与所述内碳纤维管的外侧壁相连接。

优选的，所述第一轴承座内设置有第一油棉，所述第二轴承座内设置有第二油棉，所述第一油棉和所述第二油棉用于在旋转过程中实现吸油和回油。

优选的，所述第一轴承座内设置有第一波形弹簧和第一减振圈；

所述第一减振圈与所述第一轴承的径向侧壁相连接，所述第一波形弹簧与所述第一轴承的轴向侧壁相连接；

所述第二轴承座内设置有第二波形弹簧和第二减振圈；

所述第二减振圈与所述第二轴承的径向侧壁相连接，所述第二波形弹簧与所述第二轴承的轴向侧壁相连接。

优选的，所述第一轴承座内设置有第一调整垫片，所述第一调整垫片与所述第一轴承的轴向侧壁相连接；

所述第二轴承座内设置有第二调整垫片，所述第二调整垫片与所述第二轴承的轴向侧壁相连接；

所述第一调整垫片和所述第二调整垫片用于调节所述转子组件的轴向窜动量。

优选的，还包括分子泵驱动器，所述分子泵驱动器驱动所述电机转子转动。

与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：

1、本实用新型采用多翼型转子的结构设计，使得分子泵的结构紧凑，能够放置在小型、便携式仪器的内部，用于仪器的抽真空；

2、本实用新型的转子结构能够使分子泵在较高的前级压强(约2500Pa)下可靠工作，具有由于10E7的压缩比，能搭配小型前级泵使用；

3、本实用新型采用精确计算的减振结构，分子泵正常工作时振动不平衡量小于0.1微米，并具有一定的抗冲击能力；

4、本实用新型的电机定子固定在内外螺旋级内，电机转子固定在多翼型叶轮轴上，通过分子泵驱动器进行驱动，实现转子的超高速运转；

5、本实用新型采用微小间隙的结构设计，使得分子泵的抽气结构异常紧凑，从而能够实现小体积下的大抽速和高压缩比，可用于小型科学仪器、便携式仪器的抽真空。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本实用新型的仪器用多翼型转子分子泵的剖面图一；

图2为本实用新型的转子组件的结构示意图一；

图3为本实用新型的分子泵驱动器的结构示意图一；

图4为本实用新型的仪器用多翼型转子分子泵的剖面图二；

图5为本实用新型的转子组件的结构示意图二；

图6为本实用新型的分子泵驱动器的结构示意图二。

图中示出：

转子组件1 第一轴承座端盖12

泵壳2 定子组件13

第一内外螺旋级3 排气口14

第二内外螺旋级4 第一密封圈15

第一内螺旋级5 分子泵驱动器16

第二内螺旋级6 多翼型叶轮轴17

第一轴承座7 外碳纤维管18

第一油棉8 内碳纤维管19

第二波形弹簧9 电子转子20

第二调整垫片10 轴承21

第二减振圈11 轴承锁止螺母22

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。

实施例1：

如图1～6所示，本实施例提供一种仪器用多翼型转子分子泵，包括：转子组件1、泵壳2、内外螺旋级结构、内螺旋级结构以及定子组件13，内外螺旋级结构设置在泵壳2上，内螺旋级结构设置在内外螺旋级结构内，转子组件1和定子组件13设置在内外螺旋级结构内，泵壳2上设置有进气口，转子组件1通过进气口进行抽气，内外螺旋级结构和内螺旋级结构上均设置有出气孔，内外螺旋级结构上设置有排气口14，排气口14与出气孔连通设置。

内外螺旋级组件包括第一内外螺旋级3和第二内外螺旋级4，第一内外螺旋级3和第二内外螺旋级4分别安装在泵壳2的两侧，内螺旋级组件包括第一内螺旋级5和第二内螺旋级6，第一内螺旋级5和第二内螺旋级6位于泵壳2内，第一内螺旋级5安装在第一内外螺旋级3的内侧，第二内螺旋级6安装在第二内外螺旋级4的内侧。

第一内外螺旋级3、第一内螺旋级5以及泵壳2之间安装有第一密封圈15，第二内外螺旋级4、第二内螺旋级6以及泵壳2之间安装有第二密封圈。

第一内外螺旋级3远离泵壳2的一端设置有第一轴承座7和第一轴承座端盖12，第一轴承座7位于第一内外螺旋级3和第一轴承座端盖12之间，第二内外螺旋级4远离泵壳2的一端设置有第二轴承座和第二轴承座端盖，第二轴承座位于第二内外螺旋级4和第二轴承座端盖之间。

转子组件1包括多翼型叶轮轴17、电机转子20以及碳纤维管组件，电机转子20和碳纤维管组件设置在多翼型叶轮轴17上，多翼型叶轮轴17的两端分别设置有第一轴承21和第二轴承；第一轴承21与第一轴承座7装配连接，第二轴承与第二轴承座装配连接，第一轴承21上设置有第一轴承锁止螺母22，第一轴承21通过第一轴承锁止螺母22进行固定，第二轴承上设置有第二轴承锁止螺母，第二轴承通过第二轴承锁止螺母进行固定。

本实施例的仪器用多翼型转子分子泵还包括分子泵驱动器16，分子泵驱动器16驱动电机转子20转动。

碳纤维管组件包括外碳纤维管18和内碳纤维管19，内碳纤维管19设置在多翼型叶轮轴17上，多翼型叶轮轴17与内碳纤维管19的内侧壁相连接，外碳纤维管18设置在内碳纤维管19上，外碳纤维管18的内侧壁与内碳纤维管19的外侧壁相连接。

第一轴承座7内设置有第一波形弹簧和第一减振圈，第一减振圈与第一轴承21的径向侧壁相连接，第一波形弹簧与第一轴承21的轴向侧壁相连接，第二轴承座内设置有第二波形弹簧9和第二减振圈11，第二减振圈11与第二轴承的径向侧壁相连接，第二波形弹簧9与第二轴承的轴向侧壁相连接。

第一轴承座7内设置有第一调整垫片，第一调整垫片与第一轴承21的轴向侧壁相连接，第二轴承座内设置有第二调整垫片10，第二调整垫片10与第二轴承的轴向侧壁相连接，第一调整垫片和第二调整垫片10用于调节转子组件1的轴向窜动量。

第一轴承座7内设置有第一油棉8，第二轴承座内设置有第二油棉，第一油棉和第二油棉用于在旋转过程中实现吸油和回油。

第一油棉8和第二油棉均由大油棉、小油棉和导油柱组成。

多翼型叶轮轴17上沿其轴向设置有多个环向螺纹孔，用于转子组件1的动平衡调整。

第一内外螺旋级3、第二内外螺旋级4、第一内螺旋级5以及第二内螺旋级6均为多头方形螺纹，且螺纹的旋向两两相反。

所述减振圈11使用邵氏硬度在NBR60的耐油丁腈橡胶，其径向压缩率在50％～65％。

实施例2：

本领域技术人员可以将本实施例理解为实施例1的更为具体的说明。

本实施例提供一种仪器用多翼型转子分子泵，包括：转子组件1、泵壳2、第一内外螺旋级3、第二内外螺旋级4、第一内螺旋级5、第二内螺旋级6、轴承座、油棉、波形弹簧、调整垫片、减振圈、轴承座端盖、电机定子13、排气口14、密封圈、分子泵驱动器16。

所述第一内外螺旋级3、第二内外螺旋级4安装在泵壳2的两侧，第一内外螺旋级3的内侧安装第一内螺旋级5，第二内外螺旋级4的内侧安装第二内螺旋级6，用密封圈15与泵壳2实现密封。

所述轴承座共两个，分别安装在第一内外螺旋级3和第二内外螺旋级4的外侧凹槽内，轴承座的内部安装波形弹簧、调整垫片、减振圈、油棉以及轴承。

所述转子组件1包括多翼型叶轮轴17、外碳纤维管18、内碳纤维管19、电机转子20、轴承、轴承锁止螺母。所述转子组件1两端的轴承与轴承座进行装配，轴承与波形弹簧和减振圈实现接触和压缩，使用调整垫片调节转子组件的轴向窜动量。

所述电机定子13安装在第一内外螺旋级3的电机槽内，使用乐泰导热胶和紧定螺钉进行固定，用带外螺纹的密封盖板进行封真空，电机定子内置温度传感器，与固定在轴承座上的温度传感器一起与分子泵驱动器连接。

所述轴承座端盖共2个，分别安装在第一内外螺旋级3和第二内外螺旋级4的最外侧，使用密封圈实现密封防止漏气。

所述泵壳2上开设DN25的进气口，与多翼型叶轮轴17的多翼型叶轮对齐，实现抽气。所述排气口14与第一内外螺旋级3和第二内外螺旋级4的出气孔进行对接安装，实现排气。

所述多翼型叶轮轴17为铝合金与合金钢镶套结构，两端装轴承的凸台部分为合金钢，中间部分为高强度铝合金，中间部分的多翼型结构为两圈多孔型叶轮结构，能够以紧凑的体积实现抽气的功能。

所述油棉由大油棉、小油棉和导油柱组成，能够配合轴承锁止螺母在旋转过程中实现吸油和回油。

所述轴承锁止螺母分为左旋螺母和右旋螺母，表面进行DLC类金刚石镀膜工艺处理，增强耐磨性。

所述多翼型叶轮轴17在轴向设计有四处环向螺纹孔，用于转子组件1的动平衡调整。

所述第一内外螺旋级3、第二内外螺旋级4、第一内螺旋级5、第二内螺旋级6为多头方形螺纹，且螺纹的旋向两两相反。

所述轴承座7的外表面进行化学镀镍处理，提高整体的耐磨性。

所述减振圈11使用邵氏硬度在NBR60的耐油丁腈橡胶，其径向压缩率控制在50％～65％。

实施例3：

本领域技术人员可以将本实施例理解为实施例1的更为具体的说明。

本实施例提供的一种分子泵，包括：转子组件、泵壳、第一内外螺旋级、第二内外螺旋级、第一内螺旋级、第二内螺旋级、轴承座、油棉、波形弹簧、调整垫片、减振圈、轴承座端盖、电机定子、排气口、密封圈、分子泵驱动器；其中转子组件还包括多翼型叶轮轴、外碳纤维管、内碳纤维管、电机转子、轴承、轴承锁止螺母。

进一步的，第一内外螺旋级、第二内外螺旋级安装在泵壳的两侧，第一内外螺旋级的内侧安装第一内螺旋级，第二内外螺旋级的内侧安装第二内螺旋级，分别用密封圈与泵壳实现密封。

进一步的，2个轴承座分别安装在第一内外螺旋级和第二内外螺旋级的外侧凹槽内，轴承座的内部安装波形弹簧、调整垫片、减振圈、油棉以及轴承。轴承座的外表面进行化学镀镍处理，提高整体的耐磨性。

进一步的，转子组件两端的轴承与轴承座进行装配，轴承与波形弹簧和减振圈实现接触和压缩，使用调整垫片调节转子组件的轴向窜动量；轴承座内装减振圈的凹槽进行精确加工，以控制减振圈的压缩率。减振圈使用邵氏硬度在NBR60的耐油丁腈橡胶，其径向压缩率控制在50％～65％。

进一步的，电机定子安装在第一内外螺旋级的电机槽内，使用乐泰导热胶和紧定螺钉进行固定，用带外螺纹的密封盖板进行封真空；电机定子内置温度传感器，与固定在轴承座上的温度传感器一起与分子泵驱动器连接。

进一步的，2个轴承座端盖分别安装在第一内外螺旋级和第二内外螺旋级的最外侧，使用密封圈实现密封防止漏油和漏气。

进一步的，排气口与第一内外螺旋级和第二内外螺旋级的出气孔进行对接安装，实现排气；泵壳上开设DN25的进气口，与多翼型叶轮轴的多翼型叶轮对齐，实现抽气。

进一步的，多翼型叶轮轴为铝合金与合金钢镶套结构，两端装轴承的凸台部分为合金钢，中间部分为高强度铝合金。中间部分的多翼型结构为两圈多孔型叶轮结构，能够以紧凑的体积实现抽气的功能。多翼型叶轮轴在轴向设计有4处环向螺纹孔，用于转子组件的动平衡调整。

进一步的，油棉由大油棉、小油棉和导油柱组成，能够配合轴承锁止螺母在旋转过程中实现吸油和回油。轴承锁止螺母分为左旋螺母和右旋螺母，表面进行DLC类金刚石镀膜工艺处理，增强耐磨性。

进一步的，第一内外螺旋级、第二内外螺旋级、第一内螺旋级、第二内螺旋级为多头方形螺纹，且螺纹的旋向两两相反。

实施例4：

本领域技术人员可以将本实施例理解为实施例1的更为具体的说明。

本发明提供一种仪器用多翼型转子分子泵，包括：转子组件1、泵壳2、第一内外螺旋级3、第二内外螺旋级4、第一内螺旋级5、第二内螺旋级6、轴承座、油棉、波形弹簧、调整垫片、减振圈、轴承座端盖、电机定子13、排气口14、密封圈、分子泵驱动器16，其中，转子组件1还包括多翼型叶轮轴17、外碳纤维管18、内碳纤维管19、电机转子20、轴承、轴承锁止螺母。

其中，泵壳2的截面为中间圆型通孔的正方形，中间位置为DN25的进气口，泵壳2的左侧安装第一内外螺旋级3、第一内螺旋级5，右侧安装第二内外螺旋级4、第二内螺旋级6，均使用密封圈与泵壳2实现封真空。电机定子13安装在第一内外螺旋级3的电机安装槽中，并使用紧定螺钉进行固定，使用封板封真空。

进一步的，转子组件1为组合体，将外碳纤维管18、内碳纤维管19通过过盈安装的方式装入多翼型叶轮轴17上，并要求保证全跳动公差小于0.02mm。电机转子20使用胶接的方式安装在多翼型叶轮轴17的左端，电机转子20的外部再过盈安装一个保护套。一对深沟球轴承分别有序安装在多翼型叶轮轴17的两端，并使用旋向相反的一对轴承锁止螺母进行固定。

进一步的，一对轴承座安装在第一内外螺旋级3和第二内外螺旋级4的外侧凹槽中，转子组件1两端的轴承安装在轴承座内，通过套环的方式进行整体装配。轴承座与轴承之间会使用减振圈对轴承进行减振，且轴承座上安装减振圈的凹槽经过准确计算，保证减振圈的压缩率控制在50％～65％。两轴承的外侧有波形弹簧对转子组件1的轴向窜动进行限位，并提供一定的预压力，与减振圈一并对转子组件1进行减振。考虑到各零件的加工误差，为保证装配完成后转子组件1在分子泵内部的轴向窜动量在一个固定值的公差范围内，在轴承和轴承座之间使用非金属的调整垫片进行间隙的调整。

进一步的，多翼型叶轮轴17上还有4圈用于动平衡调试的螺纹孔，在转子组件1完成部件装配后，使用专用的动平衡仪对其进行配平，最终获得9万rpm转速下小于0.1微米的不平衡量。多翼型叶轮轴17本体为7075T651高强度铝合金材料，其两端镶套合金钢，以提高两端的刚度和强度。

进一步的，第一内外螺旋级3、第二内外螺旋级4、第一内螺旋级5和第二内螺旋级6的螺旋槽为多头方形螺纹槽，且旋向两两相反，即第一内螺旋级5为左旋，第二内螺旋级6为右旋，第一内外螺旋级3外侧螺纹为右旋，内侧螺纹为左旋，第二内外螺旋级4外侧螺纹为左旋，内侧螺纹为右旋。转子组件1的外碳纤维管18与第一内螺旋级5、第二内螺旋级6的内圈，以及第一内外螺旋级3、第二内外螺旋级4的外圈相邻，转子组件1旋转时，气体分子被碳纤维管拖动，并沿着螺旋槽定向流动，最终从进气口强迫压缩到排气口14，并通过排气口14排出分子泵进入前级泵。

进一步的，油棉安装在轴承座内，油棉分大油棉、小油棉和带尖油棉三款，两片大油棉和一片带尖油棉组合使用，带尖油棉的尖部与轴承锁止螺母接触，在转子组件1开始旋转后可以从油棉处吸油给轴承进行润滑。小油棉安装在轴承的另一侧，流过轴承的油会被小油棉收集，并通过导油柱重新回到大油棉处，实现油路的循环。

工作原理：

分子泵驱动器在收到控制指令后驱动电机进行旋转，多翼型转子的圆筒型涡轮叶片高速旋转将气体分子打入内螺旋级，内螺旋级是分子泵的第一级螺旋槽，内外螺旋级是分子泵的第二级和第三级螺旋槽。转子组件的大碳纤维管在高速旋转状态下，对气体分子进行“牵引”，使气体分子沿第一级螺旋槽做定向流动,第一级螺旋槽行程结束后，气体分子转向沿着第二级螺旋槽继续流动，待第二级螺旋槽行程结束后，气体分子在小碳纤维管的“牵引”下，沿着第三级螺旋槽继续流动，并到达内外螺旋级上的出气孔，从排气口排出分子泵。分子泵有2组三级螺旋槽结构，其气流的流向关于中心对称。

气体分子从进气口进入后，在碳纤维管的牵引下沿着第一级、第二级、第三级柱状螺旋槽运动，经过3次往复弯折，不断地被压缩，通过对碳纤维管和螺旋槽之间的间隙的精确控制，使得分子泵的压缩比能由于10E7。

本实用新型采用微小间隙的结构设计，使得分子泵的抽气结构异常紧凑，从而能够实现小体积下的大抽速和高压缩比，可用于小型科学仪器、便携式仪器的抽真空。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。

Claims (10)

1.一种仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，包括：转子组件(1)、泵壳(2)、内外螺旋级结构、内螺旋级结构以及定子组件(13)；

所述内外螺旋级结构设置在所述泵壳(2)上，所述内螺旋级结构设置在所述内外螺旋级结构内；所述转子组件(1)和所述定子组件(13)设置在内外螺旋级结构内；

所述泵壳(2)上设置有进气口，所述转子组件(1)通过所述进气口进行抽气；所述内外螺旋级结构和所述内螺旋级结构上均设置有出气孔，所述内外螺旋级结构上设置有排气口(14)，所述排气口(14)与所述出气孔连通设置。

2.根据权利要求1所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述内外螺旋级结构包括第一内外螺旋级(3)和第二内外螺旋级(4)；

所述第一内外螺旋级(3)和所述第二内外螺旋级(4)分别安装在所述泵壳(2)的两侧；

所述内螺旋级结构包括第一内螺旋级(5)和第二内螺旋级(6)；

第一内螺旋级(5)和第二内螺旋级(6)位于所述泵壳(2)内，所述第一内螺旋级(5)安装在所述第一内外螺旋级(3)的内侧，所述第二内螺旋级(6)安装在所述第二内外螺旋级(4)的内侧。

3.根据权利要求2所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述第一内外螺旋级(3)远离所述泵壳(2)的一端设置有第一轴承座(7)和第一轴承座端盖(12)，所述第一轴承座(7)位于所述第一内外螺旋级(3)和所述第一轴承座端盖(12)之间；

所述第二内外螺旋级(4)远离所述泵壳(2)的一端设置有第二轴承座和第二轴承座端盖，所述第二轴承座位于所述第二内外螺旋级(4)和所述第二轴承座端盖之间。

4.根据权利要求2所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述第一内外螺旋级(3)、所述第一内螺旋级(5)以及所述泵壳(2)之间安装有第一密封圈(15)；

所述第二内外螺旋级(4)、所述第二内螺旋级(6)以及所述泵壳(2)之间安装有第二密封圈。

5.根据权利要求3所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述转子组件(1)包括多翼型叶轮轴(17)、电机转子(20)以及碳纤维管组件，所述电机转子(20)和所述碳纤维管组件设置在所述多翼型叶轮轴(17)上；

所述多翼型叶轮轴(17)的两端分别设置有第一轴承(21)和第二轴承；所述第一轴承(21)与所述第一轴承座(7)装配连接，所述第二轴承与所述第二轴承座装配连接；

所述第一轴承(21)上设置有第一轴承锁止螺母(22)，所述第一轴承(21)通过所述第一轴承锁止螺母(22)进行固定；

所述第二轴承上设置有第二轴承锁止螺母，所述第二轴承通过所述第二轴承锁止螺母进行固定。

6.根据权利要求5所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述碳纤维管组件包括外碳纤维管(18)和内碳纤维管(19)；

所述内碳纤维管(19)设置在所述多翼型叶轮轴(17)上，所述多翼型叶轮轴(17)与所述内碳纤维管(19)的内侧壁相连接；

所述外碳纤维管(18)设置在所述内碳纤维管(19)上，所述外碳纤维管(18)的内侧壁与所述内碳纤维管(19)的外侧壁相连接。

7.根据权利要求5所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述第一轴承座(7)内设置有第一油棉(8)，所述第二轴承座内设置有第二油棉，所述第一油棉和所述第二油棉用于在旋转过程中实现吸油和回油。

8.根据权利要求5所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述第一轴承座(7)内设置有第一波形弹簧和第一减振圈；

所述第一减振圈与所述第一轴承(21)的径向侧壁相连接，所述第一波形弹簧与所述第一轴承(21)的轴向侧壁相连接；

所述第二轴承座内设置有第二波形弹簧(9)和第二减振圈(11)；

所述第二减振圈(11)与所述第二轴承的径向侧壁相连接，所述第二波形弹簧(9)与所述第二轴承的轴向侧壁相连接。

9.根据权利要求5所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，所述第一轴承座(7)内设置有第一调整垫片，所述第一调整垫片与所述第一轴承(21)的轴向侧壁相连接；

所述第二轴承座内设置有第二调整垫片(10)，所述第二调整垫片(10)与所述第二轴承的轴向侧壁相连接；

所述第一调整垫片和所述第二调整垫片(10)用于调节所述转子组件(1)的轴向窜动量。

10.根据权利要求5所述的仪器用多翼型转子分子泵，其特征在于，还包括分子泵驱动器(16)，所述分子泵驱动器(16)驱动所述电机转子(20)转动。