CN220086003U - 一种片篮翻转装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种片篮翻转装置，其包括翻转组件，所述翻转组件包括翻转平台、翻转轴和第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述翻转轴转动，以带动所述翻转平台翻转；升降组件，设于所述翻转组件的底部，用以升降所述翻转组件；其中，所述翻转轴与所述升降组件转动连接。本实用新型通过所述升降组件对所述翻转组件位置的提升，使得满载的硅片篮在方向翻转过程中，完全处于空气中，翻转完成后才降低使硅片垂直入水，能够减小入水时的水流波动，减小水流波动对硅片的冲击，且硅片垂直入水时受浮力作用而上下滑动，减少了硅片沿水平方向移动并与硅片篮产生磕碰的几率及力度，可降低碎片率和废片率，提高成片合格率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，尤其是涉及一种片篮翻转装置。
背景技术
清洗是硅片生产过程中最重要的工序之一，在清洗前首先需要利用插片机将硅片水平插放至硅片篮中，然后将满载的硅片篮运送至清洗机。在硅片篮进入清洗机之前，需要将硅片篮的方向翻转90°，以使硅片篮的开口朝上、硅片竖直，防止清洗过程中硅片水平滑出，造成碎片、废片。参考本申请的说明书附图1，为保证进入清洗槽体后，硅片完全浸没在水中，目前常用的翻转机构包括呈“几”字形分布的转轴和翻转平台，在第一驱动件的驱动下，转轴带动翻转平台及其上放置的硅片篮转动，翻转平台及硅片篮靠近转轴的一个侧边先入水，其相对的侧边再随着转轴的旋转而逐渐入水。由于硅片篮和硅片倾斜入水水流波动大，提高了硅片入水部分和水中部分受力不均匀度，增大硅片与硅片篮卡槽产生磕碰的几率和磕碰力度，硅片受损率高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种片篮翻转装置，以解决上述背景中的问题。
本实用新型采用的技术方案是：一种片篮翻转装置，包括：
翻转组件，包括翻转平台、翻转轴和第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述翻转轴转动，以带动所述翻转平台翻转；
升降组件，设于所述翻转组件的底部，用以升降所述翻转组件；
其中，所述翻转轴与所述升降组件转动连接。
进一步的，所述翻转轴的轴线垂直与所述升降组件的升降方向。
进一步的，所述升降组件包括第二驱动件、传动螺杆和升降架，所述升降架顶部设有所述翻转组件；所述传动螺杆与所述升降架螺接，所述第二驱动件驱动所述传动螺杆转动，以带动所述升降架沿所述传动螺杆的轴线方向移动。
进一步的，所述升降架包括传动板、高程杆和安装板，所述高程杆的顶部固连所述安装板，底部固连所述传动板；所述传动螺杆贯穿所述传动板并与其螺接。
进一步的，所述安装板上设有竖板，所述翻转轴贯穿所述竖板，与所述第一驱动件连接。
进一步的，所述升降组件还包括限位顶板、限位底板和限位滑杆，所述限位滑杆两端分别与所述限位顶板、限位底板固连，并与所述传动板滑动连接；所述传动螺杆贯穿所述限位底板，连接所述第二驱动件。
进一步的，所述高程杆贯穿所述限位顶板，并与其滑动连接。
进一步的，所述传动螺杆的顶端与所述限位顶板转动连接。
进一步的，所述限位滑杆、所述高程杆与所述传动螺杆平行设置，并沿所述传动螺杆的周向均匀分布。
进一步的，所述翻转平台固连第一联动板，所述翻转轴固连第二联动板；所述第一联动板与所述第二联动板平行，二者通过第三联动板固连；所述翻转平台与所述第三联动板之间的距离大于所述翻转轴与所述第三联动板之间的距离。
本实用新型具有的有益效果是：(1)通过所述升降组件对所述翻转组件位置的提升，使得满载的硅片篮在方向翻转过程中，完全处于空气中，翻转完成后才降低所述翻转组件使硅片垂直入水，能够减小入水时的水流波动，减小水流波动对硅片的冲击，且硅片垂直入水时受浮力作用而上下滑动，与现有技术相比，减少了硅片沿水平方向移动并与硅片篮产生磕碰的几率及力度，可降低碎片率和废片率，提高成片合格率。(2)设置的所述限位滑杆和所述高程杆，使本翻转机构具有较高的结构稳定性和传动顺畅性，适于工业生产使用及推广至自动化生产线之中。
附图说明
图1是本申请中背景技术的示意图；
图2是本实用新型实施例的结构图。
图中：
10、翻转组件；11、翻转平台；12、翻转轴；13、第一驱动件；14、第一联动板；15、第二联动板；16、第三联动板；
20、升降组件；21、第二驱动件；22、传动螺杆；23、升降架；23a、传动板；23b、高程杆；23c、安装板；24、竖板；25、限位底板；26、限位滑杆；27、限位顶板；
30、硅片篮。
具体实施方式
下面通过附图对本实用新型实施例的技术方案进行详细说明。
在本实用新型实施例的描述中，需要理解的是，术语“顶部”、“底部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
参考附图2，一种片篮翻转装置，其特征在于，包括：翻转组件10和升降组件20，升降组件20设于翻转组件10的底部，用以升降翻转组件10。翻转组件10包括翻转平台11、翻转轴12和第一驱动件13，第一驱动件13驱动翻转轴12转动，以带动翻转平台11翻转；翻转轴12与升降组件20转动连接，翻转轴12的轴线垂直于升降组件20的升降方向。使用本翻转机构时，通过机械手将满载的硅片篮30放置在翻转平台11上，启动升降组件20将翻转平台11向远离清洗槽的方向移动，移动的距离应保证整个翻转过程中硅片篮30都不会与清洗槽中的水接触；启动第一驱动件13以驱动翻转轴12旋转，进而带动翻转平台11及其上放置的硅片篮30旋转90°，使硅片篮30开口朝上，其中的硅片竖直放置；启动升降组件20将翻转平台11向靠近清洗槽的方向移动，至硅片完全浸没在水中，继续进行后续的清洗操作即可。
采用上述技术方案，使得满载的硅片篮30在方向翻转过程中，完全处于空气中，翻转完成后硅片才垂直入水，能够减小入水时的水流波动，减小水流波动对硅片的冲击，且硅片垂直入水时受浮力作用而上下滑动，与现有技术相比，减少了硅片沿水平方向移动并与硅片篮30产生磕碰的几率及力度，可降低碎片率和废片率。
上述的翻转平台11固连第一联动板14，翻转轴12固连第二联动板15，第一联动板14与第二联动板15平行，二者通过第三联动板16固连，翻转平台11与第三联动板16之间的距离大于翻转轴12与第三联动板16之间的距离，使得硅片篮30开口竖直时，第三联动板16刚好搭在清洗槽体壁的顶部，翻转轴12位于清洗槽体外部并连接升降机构，二者均不沾水，延长使用寿命并方便维修；翻转平台11位于清洗槽体内部并浸没于水中，使硅片完成清洗工序。
升降组件20包括第二驱动件21、传动螺杆22和升降架23，升降架23顶部设有竖板24，翻转轴12的端部贯穿竖板24后连接第一驱动件13；传动螺杆22与升降架23螺接，第二驱动件21驱动传动螺杆22转动，以带动升降架23沿传动螺杆22的轴线方向移动。通过传动螺杆22与升降架23配合，实现翻转组件10的升降，螺接的传动稳定性高。
上述的第一驱动件13和第二驱动件21均可选用驱动电机。
在一些可行的实施例中，上述的升降架23包括传动板23a、高程杆23b和安装板23c，高程杆23b的顶部固连安装板23c，底部固连传动板23a；传动螺杆22贯穿传动板23a并与其螺接；竖板24设于安装板23c上。由于生产线上各机器的尺寸不一，而传动螺杆22的长度越长，其稳定性越差，故设置高程杆23b使翻转组件10具有一固定的最小高度，以配合清洗槽体的高度尺寸，使得在满足上述升降距离的前提下，尽量缩短传动螺杆22的尺寸，提高整个机构的稳定性。
高程杆23b的数量在此不做具体限制，在一些较优的实施方案中，高程杆23b设有四个，并沿传动螺杆22的周向均匀分布，以使传动板23a和安装板23c在移动过程中，保持平衡状态，若其歪斜，则会导致螺纹传动的顺畅性变差，严重时还会加重构件的磨损，降低使用寿命。
为进一步提高结构稳定性和传动顺畅性，上述的升降组件20还配置有限位底板25、限位滑杆26和限位顶板27，限位滑杆26的两端分别与限位顶板27和限位底板25固连，且限位滑杆26与传动板23a滑动连接；传动螺杆22贯穿限位底板25后，连接第二驱动件21；限位底板25的两侧分别固连第二驱动件21的外壳和限位滑杆26；限位滑杆26与传动螺杆22平行设置，并与传动板23a滑动连接。限位滑杆26一方面用于平衡传动板23a，另一方面用于帮传动螺杆22分担升降架23的重量，使升降组件20更坚固耐用。限位滑杆26的数量不做具体限制，在一些较优的实施方案中，限位滑杆26设有四个，并沿传动螺杆22的周向均匀分布。
为进一步提高结构稳定性和传动顺畅性，高程杆23b贯穿限位顶板27，并与其滑动连接，通过限位顶板27对高程杆23b的周向限位，可防止高程杆23b歪斜致使整个升降架23歪斜。传动螺杆22的顶端与限位顶板27转动连接，可防止转动过程中传动螺杆22的顶端歪斜致使升降架23移动卡顿。
本实用新型通过升降组件20对翻转组件10位置的提升，使得满载的硅片篮30在方向翻转过程中，完全处于空气中，翻转完成后才降低翻转组件10使硅片垂直入水，能够减小入水时的水流波动，减小水流波动对硅片的冲击，且硅片垂直入水时受浮力作用而上下滑动，与现有技术相比，减少了硅片沿水平方向移动并与硅片篮30产生磕碰的几率及力度，可降低碎片率和废片率，提高成片合格率。设置的限位滑杆26和高程杆23b，使本翻转机构具有较高的结构稳定性和传动顺畅性，适于工业生产使用及推广至自动化生产线之中。
以上是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种片篮翻转装置，其特征在于，包括：
翻转组件，其包括翻转平台、翻转轴和第一驱动件，所述第一驱动件驱动所述翻转轴转动，以带动所述翻转平台翻转；
升降组件，设于所述翻转组件的底部，用以升降所述翻转组件；
其中，所述翻转轴与所述升降组件转动连接。
2.根据权利要求1所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述翻转轴的轴线垂直于所述升降组件的升降方向。
3.根据权利要求1或2所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述升降组件包括第二驱动件、传动螺杆和升降架，所述升降架顶部设有所述翻转组件；所述传动螺杆与所述升降架螺接，所述第二驱动件驱动所述传动螺杆转动，以带动所述升降架沿所述传动螺杆的轴线方向移动。
4.根据权利要求3所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述升降架包括传动板、高程杆和安装板，所述高程杆的顶部固连所述安装板，底部固连所述传动板；所述传动螺杆贯穿所述传动板并与其螺接。
5.根据权利要求4所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述安装板上设有竖板，所述翻转轴贯穿所述竖板，与所述第一驱动件连接。
6.根据权利要求4或5所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述升降组件还包括限位顶板、限位底板和限位滑杆，所述限位滑杆两端分别与所述限位顶板、限位底板固连，并与所述传动板滑动连接；所述传动螺杆贯穿所述限位底板，连接所述第二驱动件。
7.根据权利要求6所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述高程杆贯穿所述限位顶板，并与其滑动连接。
8.根据权利要求6所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述传动螺杆的顶端与所述限位顶板转动连接。
9.根据权利要求6所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述限位滑杆、所述高程杆与所述传动螺杆平行设置，并沿所述传动螺杆的周向均匀分布。
10.根据权利要求1-2、4-5、7-9任一项所述的一种片篮翻转装置，其特征在于，所述翻转平台固连第一联动板，所述翻转轴固连第二联动板；所述第一联动板与所述第二联动板平行，二者通过第三联动板固连；所述翻转平台与所述第三联动板之间的距离大于所述翻转轴与所述第三联动板之间的距离。
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