CN220084884U - 一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台 - Google Patents

一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台 Download PDF

Info

Publication number
CN220084884U
CN220084884U CN202321632164.7U CN202321632164U CN220084884U CN 220084884 U CN220084884 U CN 220084884U CN 202321632164 U CN202321632164 U CN 202321632164U CN 220084884 U CN220084884 U CN 220084884U
Authority
CN
China
Prior art keywords
tetrafluoro
semiconductor
ring
peltier effect
connection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202321632164.7U
Other languages
English (en)
Inventor
高凯
王军
龙海洋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Sibi Semiconductor Technology Co ltd
Original Assignee
Shanghai Sibi Semiconductor Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Sibi Semiconductor Technology Co ltd filed Critical Shanghai Sibi Semiconductor Technology Co ltd
Priority to CN202321632164.7U priority Critical patent/CN220084884U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN220084884U publication Critical patent/CN220084884U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Devices That Are Associated With Refrigeration Equipment (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,包括旋转限位连接座,所述旋转限位连接座顶端连接设置有支撑垫板,所述支撑垫板顶端连接设置有四氟套,所述四氟套内一侧连接设置有四氟垫圈,所述四氟垫圈顶端连接设置有云母,所述云母顶端连接设置有加热板,所述加热板顶端连接设置有水冷盘,所述水冷盘顶端连接设置有半导体,所述半导体顶端连接设置有四氟圆环,所述四氟圆环中心部连接设置有吸盘,所述四氟垫圈、云母、加热板、水冷盘、半导体和四氟圆环均位于所述四氟套内部。本实用新型便于检测待测物品在低温或者高温状态下的变化,通过温度传感器可以监测温度情况,便于了解待测物品在不同温度下的状态变化,进一步满足实验需求。

Description

一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台
技术领域
本实用新型涉及载物台技术领域,具体为一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台。
背景技术
探针台可以用来进行各种实验测量,例如电子显微镜、扫描探针显微镜、原子力显微镜等。这些实验测量可以用于研究材料的结构、形态、表面性质、电学性质等方面的信息。
探针台的载物台是指用于固定待测样品的平台,一般由金属材料制成,可以承载不同形状和大小的样品,载物台的主要作用是固定样品,以确保探针在样品表面的位置和角度不变,从而保证测试的准确性和可重复性。
目前的载物台在使用时无法对物品温度进行控制,从而无法了解物品在极低温度下的状态,降低了对待测物品的研究范围,为此提出一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:包括旋转限位连接座,所述旋转限位连接座顶端连接设置有支撑垫板,所述支撑垫板顶端连接设置有四氟套,所述四氟套内一侧连接设置有四氟垫圈,所述四氟垫圈顶端连接设置有云母,所述云母顶端连接设置有加热板,所述加热板顶端连接设置有水冷盘,所述水冷盘顶端连接设置有半导体,所述半导体顶端连接设置有四氟圆环,所述四氟圆环中心部连接设置有吸盘。
优选的,所述四氟垫圈、云母、加热板、水冷盘、半导体和四氟圆环均位于所述四氟套内部。
优选的,所述支撑垫板顶端连接设置有安装架,且安装架一侧连接设置有导线和温度传感器,所述导线一端与所述半导体呈电性连接。
优选的,所述温度传感器检测端与所述四氟圆环连接设置。
优选的,所述水冷盘一侧连接设置有进水管和出水管。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型通过开启温度控制设备,通过导线向半导体输出电流,根据帕尔贴效应,半导体顶面形成低温区,底面形成高温区,高温区将热能传递至水冷盘内的液体,开启制冷设备,将水冷盘内的液体抽出冷却再循环排至水冷盘内,从而为高温区降温,由于高温区温度一直处于未饱和状态,低温区则会持续降温,形成极低温度区,同时也可以改变电流方向,启动加热板,从而可以改变高低温的区域,此时半导体顶端形成高温,底面形成低温,持续为底面提供温度,从而保证顶面温度的上升,将待测物品放置在吸盘顶端,以便于检测待测物品在低温或者高温状态下的变化,通过温度传感器可以监测温度情况,便于了解待测物品在不同温度下的状态变化,进一步满足实验需求;
2、本实用新型同时还通过四氟套、四氟垫圈、云母、四氟圆环,可以有效的起到隔热效果,可有效的保证实验安全性,避免人员操作时发生误触,造成安全隐患。
附图说明
图1为本实用新型一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台整体结构示意图;
图2为本实用新型一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台侧剖结构示意图;
图3为本实用新型一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台仰视结构示意图。
图中:1、旋转限位连接座;2、支撑垫板;3、四氟套;4、四氟垫圈;5、云母;6、加热板;7、水冷盘;8、半导体;9、四氟圆环;10、吸盘;11、导线;12、温度传感器。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:包括旋转限位连接座1,旋转限位连接座1顶端连接设置有支撑垫板2,支撑垫板2顶端连接设置有四氟套3,四氟套3内一侧连接设置有四氟垫圈4,四氟垫圈4顶端连接设置有云母5,云母5顶端连接设置有加热板6,加热板6顶端连接设置有水冷盘7,水冷盘7顶端连接设置有半导体8,半导体8顶端连接设置有四氟圆环9,与四氟套3和四氟垫圈4形成一个隔热层,包裹着内部载物台,避免高低温造成人员受伤,四氟圆环9中心部连接设置有吸盘10,便于对待测物品的固定效果,保证使用稳定性。
四氟垫圈4、云母5、加热板6、水冷盘7、半导体8和四氟圆环9均位于四氟套3内部,形成一个隔温层,避免工作人员在操作时误触,发生安全隐患;支撑垫板2顶端连接设置有安装架,且安装架一侧连接设置有导线11和温度传感器12,导线11一端与半导体8呈电性连接,且导线11另一端连接设置有温度控制设备,便于对温度情况控制,从而满足实验需求;温度传感器12检测端与四氟圆环9连接设置,可以进一步的检测温度情况,便于操作;水冷盘7一侧连接设置有进水管和出水管,便于对温度持续控制。
工作原理:该实用新型在使用时,开启温度控制设备,通过导线11向半导体8输出电流,根据帕尔贴效应,半导体8顶面形成低温区,底面形成高温区,高温区将热能传递至水冷盘7内的液体,开启制冷设备,将水冷盘7内的液体抽出冷却再循环排至水冷盘7内,从而为高温区降温,由于高温区温度一直处于未饱和状态,低温区则会持续降温,形成极低温度区,同时也可以改变电流方向,启动加热板,从而可以改变高低温的区域,此时半导体8顶端形成高温,底面形成低温,持续为底面提供温度,从而保证顶面温度的上升,将待测物品放置在吸盘10顶端,以便于检测待测物品在低温或者高温状态下的变化,通过温度传感器12可以监测温度情况,便于了解待测物品在不同温度下的状态变化。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,包括旋转限位连接座(1),其特征在于:所述旋转限位连接座(1)顶端连接设置有支撑垫板(2),所述支撑垫板(2)顶端连接设置有四氟套(3),所述四氟套(3)内一侧连接设置有四氟垫圈(4),所述四氟垫圈(4)顶端连接设置有云母(5),所述云母(5)顶端连接设置有加热板(6),所述加热板(6)顶端连接设置有水冷盘(7),所述水冷盘(7)顶端连接设置有半导体(8),所述半导体(8)顶端连接设置有四氟圆环(9),所述四氟圆环(9)中心部连接设置有吸盘(10)。
2.根据权利要求1所述的一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,其特征在于:所述四氟垫圈(4)、云母(5)、加热板(6)、水冷盘(7)、半导体(8)和四氟圆环(9)均位于所述四氟套(3)内部。
3.根据权利要求2所述的一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,其特征在于:所述支撑垫板(2)顶端连接设置有安装架,且安装架一侧连接设置有导线(11)和温度传感器(12),所述导线(11)一端与所述半导体(8)呈电性连接。
4.根据权利要求3所述的一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,其特征在于:所述温度传感器(12)检测端与所述四氟圆环(9)连接设置。
5.根据权利要求1所述的一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台,其特征在于:所述水冷盘(7)一侧连接设置有进水管和出水管。
CN202321632164.7U 2023-06-26 2023-06-26 一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台 Active CN220084884U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202321632164.7U CN220084884U (zh) 2023-06-26 2023-06-26 一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202321632164.7U CN220084884U (zh) 2023-06-26 2023-06-26 一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN220084884U true CN220084884U (zh) 2023-11-24

Family

ID=88824195

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202321632164.7U Active CN220084884U (zh) 2023-06-26 2023-06-26 一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN220084884U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104215661B (zh) 基于超磁致伸缩智能材料的固体界面接触热阻测试装置
CN109870405A (zh) 一种冰粘附强度测量装置及测量方法
CN220084884U (zh) 一种基于帕尔贴效应的探针台的制冷载物台
CN112485198A (zh) 一种高低温原位光谱反应池
CN102455211B (zh) 石英晶体微量天平性能测试系统
CN206348298U (zh) 一种变温下测量击穿电压的实验装置
CN203849193U (zh) 一种室内岩样导热系数测试装置
JPH0697246A (ja) 低温における半導体材料の性質を試験する装置および方法
CN209878636U (zh) 一种热电参数测试装置
CN104236158A (zh) 一种测量过冷点或冰点的半导体制冷装置
CN211045405U (zh) 一种用于半导体动态参数测试的工装夹具
CN213148791U (zh) 一种门窗传热系数检测装置
CN211785920U (zh) 一种低温探针台及其测试腔组件
CN204380715U (zh) 一种用于低频力学谱测试实验的低温致冷装置
JP2014167394A (ja) 四端子抵抗測定装置および四端子測定用プローブ
CN106768169A (zh) 一种高温导电液体的液位测量装置、方法
CN110117776A (zh) 一种实时间接测量溅射靶材温度装置
CN204925182U (zh) 一种高温四探针测量系统
CN213600826U (zh) 在真空条件下半导体材料的性能参数测试装置
CN213600239U (zh) 一种快速测试制冷器温差的测试装置
CN206696103U (zh) 一种用于热电复合场下电迁移的装置
CN215493275U (zh) 一种聚醚转子冷却液生产检测用实验装置
CN206177861U (zh) 加热管用检测工装
CN219552317U (zh) 一种基于半导体制冷技术的导热系数测定装置
CN220983014U (zh) 一种粘度检测设备

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant