CN220020097U - 一种光刻胶烘烤单元的排风机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种光刻胶烘烤单元的排风机构，涉及光刻胶烘烤技术领域。该光刻胶烘烤单元的排风机构，包括安装板、排风结构和安装结构，所述安装板的顶部固定连接有烘烤箱，烘烤箱的前侧铰接安装有活动门，所述排风结构位于烘烤箱的内部，所述安装结构位于盖板上，安装结构为两组且为对称设置，烘烤箱的顶部开设有第一开口，烘烤箱的上方设置有盖板。该光刻胶烘烤单元的排风机构，通过电机、转杆、第一齿轮、连接杆、第二齿轮、转轴和扇叶的配合使用，从而实现对烘烤箱内部进行排风，一方面避免过高的温度会导致机械零部件的失效，另一方面有利于提高排风的均匀性，且通过滤网的使用，保障排出风的质量，防止对空气造成污染。

Description

一种光刻胶烘烤单元的排风机构

技术领域

本实用新型涉及光刻胶烘烤技术领域，具体为一种光刻胶烘烤单元的排风机构。

背景技术

光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，在半导体器件的制备过程中，需在晶圆表面涂敷光刻胶并进行烘烤，使光刻胶中的溶剂受热挥发以便于对晶圆进行曝光和显影。

申请号CN202222461504.6，一种光刻胶烘烤装置，包括：顶针座；顶针，多个所述顶针竖直安装在所述顶针座上，多个所述顶针均匀排列为顶针阵列，所述顶针阵列顶端用于放置晶圆；第一加热板，所述第一加热板上开设有与所述顶针阵列对应的开孔，所述顶针活动穿设在所述开孔中；导热片，放置在所述顶针与所述晶圆的间隙处；驱动件，与所述顶针座底部相连接，用于驱动所述顶针座沿竖直方向运动。

该装置利用底座和保温壳形成的密封空间来改善加热空间中空气介质热量的分布均匀性，缩小翘曲处晶圆与未翘曲处晶圆对应的光刻胶溶剂烘烤温度差异；但是该装置没有设置排风结构，过高的温度会导致机械零部件的失效，因此需要加以改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种光刻胶烘烤单元的排风机构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种光刻胶烘烤单元的排风机构，包括安装板、排风结构和安装结构：

所述安装板的顶部固定连接有烘烤箱，烘烤箱的前侧铰接安装有活动门；

所述排风结构位于烘烤箱的内部；

所述安装结构位于盖板上，安装结构为两组且为对称设置，烘烤箱的顶部开设有第一开口，烘烤箱的上方设置有盖板。

优选的，所述排风结构包括电机、转杆、第一齿轮、连接杆、第二齿轮、转轴和扇叶，烘烤箱的一侧外壁固定安装有电机，烘烤箱的相邻内壁转动安装有转杆，电机的输出轴通过联轴器和转杆固定连接，转杆上焊接安装有两组第一齿轮，烘烤箱的内侧底部转动安装有两组连接杆，连接杆的自由端焊接安装有第二齿轮，连接杆上安装有转轴，转轴上安装有扇叶，扇叶为若干组设置，提高排风的均匀性。

优选的，所述第一齿轮和第二齿轮为啮合设置。

优选的，所述盖板上安装有滤网，可对空气进行过滤。

优选的，所述安装结构包括卡块、卡槽、第二开口、螺钉和螺帽，烘烤箱的顶部固定安装有卡块，盖板上开设有卡槽，卡槽和卡块为卡接连接设置，可进行拆卸，方便对滤网清理。

优选的，所述卡槽和卡块的连接处开设有第二开口，第二开口内贯穿有螺钉，螺钉上转动安装有螺帽，提高卡接连接的效果。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)、该光刻胶烘烤单元的排风机构，通过电机、转杆、第一齿轮、连接杆、第二齿轮、转轴和扇叶的配合使用，从而实现对烘烤箱内部进行排风，一方面避免过高的温度会导致机械零部件的失效，另一方面有利于提高排风的均匀性，使用效果好。

(2)、该光刻胶烘烤单元的排风机构，通过滤网的使用，保障排出风的质量，防止对空气造成污染。

(3)、该光刻胶烘烤单元的排风机构，通过卡块、卡槽和第二开口的使用，可实现对盖板的取出，方便对滤网上的灰尘进行处理，保障了滤网的使用效果，通过螺钉和螺帽的配合使用，提高卡接连接效果。

附图说明

图1为本实用新型中的结构示意图；

图2为本实用新型中的盖板和烘烤箱的安装示意图；

图3为本实用新型中的A部放大示意图；

图4为本实用新型中的B部放大示意图；

图5为本实用新型中的主视示意图。

图中：1安装板、2烘烤箱、3活动门、4第一开口、5排风结构、6盖板、7滤网、8安装结构；

501电机、502转杆、503第一齿轮、504连接杆、505第二齿轮、506转轴、507扇叶；

801卡块、802卡槽、803第二开口、804螺钉、805螺帽。

具体实施方式

本部分将详细描述本实用新型的具体实施例，本实用新型之较佳实施例在附图中示出，附图的作用在于用图形补充说明书文字部分的描述，使人能够直观地、形象地理解本实用新型的每个技术特征和整体技术方案，但其不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

实施例一：

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种光刻胶烘烤单元的排风机构，包括安装板1、排风结构5和安装结构8，安装板1的顶部固定连接有烘烤箱2，烘烤箱2的前侧铰接安装有活动门3，烘烤箱2的顶部开设有第一开口4，排风结构5位于烘烤箱2的内部。

进一步的，烘烤箱2的上方设置有盖板6，盖板6上安装有滤网7，排出的风通过第一开口4流通，通过滤网7过滤后排出，保障排出风的质量，防止对空气造成污染。

实施例二：

请参阅图1-5，在实施例一的基础上，排风结构5包括电机501、转杆502、第一齿轮503、连接杆504、第二齿轮505、转轴506和扇叶507，烘烤箱2的一侧外壁固定安装有电机501，烘烤箱2的相邻内壁转动安装有转杆502，电机501的输出轴通过联轴器和转杆502固定连接，转杆502上焊接安装有两组第一齿轮503，烘烤箱2的内侧底部转动安装有两组连接杆504，连接杆504的自由端焊接安装有第二齿轮505，第一齿轮503和第二齿轮505为啮合设置，连接杆504上安装有转轴506，转轴506上安装有扇叶507，扇叶507为若干组设置，驱动电机501，电机501带动转杆502转动，转杆502转动带动第一齿轮503转动，第一齿轮503转动带动第二齿轮505转动，第二齿轮505转动带动连接杆504转动，连接杆504转动带动转轴506转动，转轴506转动带动扇叶507转动，从而实现对烘烤箱2内部进行排风，一方面避免过高的温度会导致机械零部件的失效，另一方面有利于提高排风的均匀性，使用效果好。

实施例三：

请参阅图1-5，在实施例一的基础上，安装结构8位于盖板6上，安装结构8为两组且为对称设置，安装结构8包括卡块801、卡槽802、第二开口803、螺钉804和螺帽805，烘烤箱2的顶部固定安装有卡块801，盖板6上开设有卡槽802，卡槽802和卡块801为卡接连接设置，当需要对滤网7进行清理时，转动螺帽805，使得脱离螺钉804，将螺钉804移开第二开口803，接着将卡块801和卡槽802取消卡接，即可实现对盖板6的取出，方便对滤网7上的灰尘进行处理，保障了滤网7的使用效果。

进一步的，卡槽802和卡块801的连接处开设有第二开口803，第二开口803内贯穿有螺钉804，螺钉804上转动安装有螺帽805，便于提高卡接连接的固定效果。

使用时，驱动电机501，电机501带动转杆502转动，转杆502转动带动第一齿轮503转动，第一齿轮503转动带动第二齿轮505转动，第二齿轮505转动带动连接杆504转动，连接杆504转动带动转轴506转动，转轴506转动带动扇叶507转动，从而实现对烘烤箱2内部进行排风，一方面避免过高的温度会导致机械零部件的失效，另一方面有利于提高排风的均匀性，使用效果好；

排出的风通过第一开口4流通，通过滤网7过滤后排出，保障排出风的质量，防止对空气造成污染，当需要对滤网7进行清理时，转动螺帽805，使得脱离螺钉804，将螺钉804移开第二开口803，接着将卡块801和卡槽802取消卡接，即可实现对盖板6的取出，方便对滤网7上的灰尘进行处理，保障了滤网7的使用效果。

Claims (6)

1.一种光刻胶烘烤单元的排风机构，包括安装板(1)、排风结构(5)和安装结构(8)，其特征在于：

所述安装板(1)的顶部固定连接有烘烤箱(2)，烘烤箱(2)的前侧铰接安装有活动门(3)；

所述排风结构(5)位于烘烤箱(2)的内部；

所述安装结构(8)位于盖板(6)上，安装结构(8)为两组且为对称设置，烘烤箱(2)的顶部开设有第一开口(4)，烘烤箱(2)的上方设置有盖板(6)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶烘烤单元的排风机构，其特征在于：所述排风结构(5)包括电机(501)、转杆(502)、第一齿轮(503)、连接杆(504)、第二齿轮(505)、转轴(506)和扇叶(507)，烘烤箱(2)的一侧外壁固定安装有电机(501)，烘烤箱(2)的相邻内壁转动安装有转杆(502)，电机(501)的输出轴通过联轴器和转杆(502)固定连接，转杆(502)上焊接安装有两组第一齿轮(503)，烘烤箱(2)的内侧底部转动安装有两组连接杆(504)，连接杆(504)的自由端焊接安装有第二齿轮(505)，连接杆(504)上安装有转轴(506)，转轴(506)上安装有扇叶(507)，扇叶(507)为若干组设置。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶烘烤单元的排风机构，其特征在于：所述第一齿轮(503)和第二齿轮(505)为啮合设置。

4.根据权利要求1所述的一种光刻胶烘烤单元的排风机构，其特征在于：所述盖板(6)上安装有滤网(7)。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶烘烤单元的排风机构，其特征在于：所述安装结构(8)包括卡块(801)、卡槽(802)、第二开口(803)、螺钉(804)和螺帽(805)，烘烤箱(2)的顶部固定安装有卡块(801)，盖板(6)上开设有卡槽(802)，卡槽(802)和卡块(801)为卡接连接设置。

6.根据权利要求5所述的一种光刻胶烘烤单元的排风机构，其特征在于：所述卡槽(802)和卡块(801)的连接处开设有第二开口(803)，第二开口(803)内贯穿有螺钉(804)，螺钉(804)上转动安装有螺帽(805)。