CN219978752U - 化学液供应桶的压力平衡系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种化学液供应桶的压力平衡系统，包括化学液供应桶、液体管路、液体泵、补气管路；其特征在于：还包括同步叶轮组件；所述同步叶轮组件包括主轴、套接于所述主轴一端的第一叶轮、和套接于所述主轴另一端的第二叶轮；所述第一叶轮为驱动叶轮，与所述第二叶轮转动方向相反。当化学液供应桶的液体经液体泵泵出，液体流经液体管路上的第一叶轮并驱动其转动；第一叶轮转动带动主轴转动；主轴转动带动补气管路上的第二叶轮转动，从而补入于流经液体等量的气体，实现桶内压力实时平衡。本实用新型可直接用于管路改造应用，便于推广。

Description

化学液供应桶的压力平衡系统

技术领域

本实用新型涉及压力控制技术领域，尤其是涉及一种化学液供应桶的压力平衡系统。

背景技术

化学液供液系统在半导体行业中应用广泛。当化学液体从化学液供应桶中抽出时需要补充气体保持供液桶气压平衡。

申请号为202020075345.4的中国实用新型专利公开了一种锂离子电解液成品罐压力控制装置，包括成品罐、氮气罐和废气罐，成品罐顶部设置有进气管，进气管通过氮气阀和氮气管连接至氮气罐的底部，进气管通过废气阀和废气管连接至废气罐的底部。该方案的工作原理是：锂离子电池电解液成品罐进液时，打开废气阀将锂离子电池电解液成品罐的压力调整至约为0MPa；锂离子电池电解液成品罐出液时，打开氮气阀向成品罐充入氮气，将成品罐内的压力值调整到0.3MPa，关闭氮气阀。上述技术方案使用传统阀门进行补气，受阀门控制精度的影响，存在补气不灵敏，容易导致供液速度不稳定、供液容器变形的问题。

因此，开发一种能实时补气的化学液供应桶的压力平衡系统是一个亟待解决的技术问题。

实用新型内容

由于现有技术存在上述缺陷，本实用新型提供了一种化学液供应桶的压力平衡系统，利用同步叶轮组件实时维持化学液供应桶内的压力平衡。

为实现上述目的，本实用新型提供一种化学液供应桶的压力平衡系统，包括化学液供应桶、液体管路、液体泵、补气管路；所述液体管路一端设于所述化学液供应桶底部，通过所述液体泵和液体管路泵出；所述补气管路一端设于所述化学液供应桶顶部，另一端接入补气罐；其特征在于：还包括同步叶轮组件；所述同步叶轮组件包括主轴、套接于所述主轴一端的第一叶轮、和套接于所述主轴另一端的第二叶轮；所述第一叶轮外接的第一壳体与所述液体管路密封连接；所述第二叶轮外接的第二壳体与所述补气管路密封连接；所述第一叶轮为驱动叶轮，与所述第二叶轮转动方向相反。

所述压力平衡系统利用化学液供应桶内的液体泵出驱动液体管路内的第一叶轮转动；所述液体管路内的第一叶轮转动同步带动补气管路内的第二叶轮反向转动，使得泵出多少体积液体便会进来多少体积的气体，真正实现化学液供应桶内的压力的实时平衡。

进一步地，所述化学液供应桶顶部还设有压力表；所述补气管路上、所述第二叶轮的下游设有减压阀。所述压力表可读取所述化学液供应桶的压力，所述减压阀可以调节补气的压力，使得液体泵出速度与气体输送速度进一步匹配。

进一步地，所述化学液供应桶顶部还设有泄压阀。所述泄压阀在所述化学液供应桶的内部压力超过阀门阈值时泄压，保证装置的使用安全。

优选地，所述主轴上设有齿轮换向机构。

优选地，所述齿轮换向机构包括所述第一叶轮的主轴上的主动轮、所述主动轮带动的从动轮；所述从动轮的转轴为所述第二叶轮的主轴。

优选地，所述主轴与所述液体管路或所述补气管路之间通过轴封进行活动连接。

优选地，所述轴封为填料密封、机械密封和动力密封中其中一种。

优选地，所述补气管路中为洁净惰性气体。

与现有技术相比，上述实用新型具有如下优点或者有益效果：

本实用新型利用化学液供应桶内的液体泵出驱动液体管路内的第一叶轮转动；所述液体管路内的第一叶轮转动同步带动补气管路内的第二叶轮反向转动，使得泵出多少体积液体便会进来多少体积的气体，真正实现化学液供应桶内的压力实时平衡。所述压力平衡系统可直接在原有管道上进行改造即可实现，简单易行，便于推广使用。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未完全按照比例绘制附图，重点在于示出本实用新型的主旨。

图1为本实用新型一实施例的压力平衡系统的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例的齿轮换向机构的结构示意图；

图3为本实用新型另一实施例的压力平衡系统的结构示意图；

其中，1、化学液供应桶；2、液体管路；3、液体泵；4、补气管路；5、主轴；6、减压阀；7、压力表；8、泄压阀；21、第一叶轮；22、第一壳体；41、第二叶轮；42、第二壳体；91、主动轮；92、从动轮。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。应当理解，所有描述的这些示例性实施例仅是本实用新型的部分实施例和示例，而不是全部。相反，提供这些示例性实施例是为了本领域的技术人员能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的技术内容更为完整地传达给本领域的技术人员。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本申请的描述中，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型而不是要求本实用新型必须以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

以下效果实施例所涉及的化学液供应桶、管路、液体泵、叶轮、轴、齿轮换向装置均市售可得，轴封技术、法兰连接均为可检索得到的现有技术。

实施例1

参见图1，本实施例提供了一种化学液供应桶的压力平衡系统，包括化学液供应桶1、液体管路2、液体泵3、补气管路4；液体管路2一端设于化学液供应桶1底部，通过液体泵3和液体管路2泵出；补气管路4一端设于化学液供应桶1顶部，另一端接入补气罐；所述压力平衡系统还包括同步叶轮组件；所述同步叶轮组件包括主轴5、套接于主轴5一端的第一叶轮21、和套接于主轴5另一端的第二叶轮41；第一叶轮21外接的第一壳体22与液体管路2密封连接；第二叶轮41外接的第二壳体42与补气管路4密封连接；第一叶轮21为驱动叶轮，与第二叶轮41转动方向相反。

所述密封连接可根据管路的大小选择焊接或法兰连接。第一叶轮21和第二叶轮41转动方向相反可通过主轴5上的换向装置来实现，例如主轴5上设有齿轮换向机构(未在图1示出)。参见图2，所述齿轮换向机构包括第一叶轮21的主轴上的主动轮91、主动轮91带动的从动轮92；从动轮92的转轴为第二叶轮41的主轴。

所述压力平衡系统的工作原理是：当化学液供应桶1的液体经液体泵3泵出，液体流经液体管路2上的第一叶轮21并驱动其转动；第一叶轮21转动带动主轴5转动；主轴5转动带动补气管路4上的第二叶轮41转动，从而补入于流经液体等量的气体，实现桶内压力实时平衡。

作为一种优选的技术方案，进一步的：化学液供应桶1顶部还设有压力表7；补气管路4上、第二叶轮41的下游设有减压阀6。在所述压力平衡系统稳定工作前，结合压力表7的观察，通过减压阀6对补气压力进行与液体流速相匹配的调节，使得桶内压力始终在可控范围。

作为一种优选的技术方案，进一步的：主轴5与液体管路2或补气管路4之间通过轴封进行活动连接。所述轴封为填料密封、机械密封和动力密封中其中一种。

作为一种优选的技术方案，进一步的：补气管路4中为洁净惰性气体。

通过本实施例的技术方案可以知道，所述同步叶轮组件可直接附加在液体管路和补气管路上，通过简单安装即可使用。

实施例2

本实施例提供了一种化学液供应桶的压力平衡系统，其与实施例1基本相同，不同之处在于，参见图3，化学液供应桶1顶部还设有泄压阀8。泄压阀8在化学液供应桶1的内部压力超过泄压阀阈值时泄压，保证装置的使用安全。

综上，本申请提供了一种化学液供应桶的压力平衡系统，包括化学液供应桶、液体管路、液体泵、补气管路；其特征在于：还包括同步叶轮组件；所述同步叶轮组件包括主轴、套接于所述主轴一端的第一叶轮、和套接于所述主轴另一端的第二叶轮；所述第一叶轮为驱动叶轮，与所述第二叶轮转动方向相反。当化学液供应桶的液体经液体泵泵出，液体流经液体管路上的第一叶轮并驱动其转动；第一叶轮转动带动主轴转动；主轴转动带动补气管路上的第二叶轮转动，从而补入于流经液体等量的气体，实现桶内压力实时平衡。本实用新型可直接用于管路改造应用，便于推广。

以上对本实用新型的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本实用新型的实质内容。因此，凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (8)

1.一种化学液供应桶的压力平衡系统，包括化学液供应桶(1)、液体管路(2)、液体泵(3)、补气管路(4)；所述液体管路(2)一端设于所述化学液供应桶(1)底部，通过所述液体泵(3)和液体管路(2)泵出；所述补气管路(4)一端设于所述化学液供应桶(1)顶部，另一端接入补气罐；

其特征在于：还包括同步叶轮组件；所述同步叶轮组件包括主轴(5)、套接于所述主轴(5)一端的第一叶轮(21)、和套接于所述主轴(5)另一端的第二叶轮(41)；所述第一叶轮(21)外接的第一壳体(22)与所述液体管路(2)密封连接；所述第二叶轮(41)外接的第二壳体(42)与所述补气管路(4)密封连接；所述第一叶轮(21)为驱动叶轮，与所述第二叶轮(41)转动方向相反。

2.根据权利要求1所述的一种化学液供应桶的压力平衡系统，其特征在于，所述化学液供应桶(1)顶部还设有压力表(7)；所述补气管路(4)上、所述第二叶轮(41)的下游设有减压阀(6)。

3.根据权利要求1或2所述的一种化学液供应桶的压力平衡系统，其特征在于，所述化学液供应桶(1)顶部还设有泄压阀(8)。

4.根据权利要求1或2所述的一种化学液供应桶的压力平衡系统，其特征在于，所述主轴(5)上设有齿轮换向机构。

5.根据权利要求4所述的一种化学液供应桶的压力平衡系统，其特征在于，所述齿轮换向机构包括所述第一叶轮(21)的主轴上的主动轮(91)、所述主动轮(91)带动的从动轮(92)；所述从动轮(92)的转轴为所述第二叶轮(41)的主轴。

6.根据权利要求1或2所述的一种化学液供应桶的压力平衡系统，其特征在于，所述主轴(5)与所述液体管路(2)或所述补气管路(4)之间通过轴封进行活动连接。

7.根据权利要求6所述的一种化学液供应桶的压力平衡系统，其特征在于，所述轴封为填料密封、机械密封和动力密封中其中一种。

8.根据权利要求1或2所述的一种化学液供应桶的压力平衡系统，其特征在于，所述补气管路(4)中为洁净惰性气体。