CN219959676U - 一种更换封腔镜装置及气体激光器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种更换封腔镜装置及气体激光器，涉及气体激光器技术领域，包括：放电壳体、密封安装座、固定安装块、移动安装块和可活动封腔镜安装板，所述密封安装座设于所述放电壳体出光一侧的端部，所述固定安装块设于所述密封安装座上，所述移动安装块与所述固定安装块配合，所述移动安装块可移动地设于所述固定安装块与所述密封安装座之间，所述可活动封腔镜安装板设于所述移动安装块与所述密封安装座之间，所述移动安装块用于靠近或远离所述固定安装块，将所述可活动封腔镜安装板与所述密封安装座夹紧或松开，以更换所述封腔镜。本实用新型更换封腔镜不需要耗费过长时间，且放电壳体几乎都是密封状态，可尽量避免放电壳体内部被污染。

Description

一种更换封腔镜装置及气体激光器

技术领域

本实用新型涉及气体激光器技术领域，特别涉及一种更换封腔镜装置及气体激光器。

背景技术

气体激光器利用气体作为工作物质产生激光的器件。气体激光器原理是：放电壳体内密封相应的工作气体，通过电极放电击穿工作气体产生自发辐射光，再经过腔镜多次反射输出激光。封腔镜是气体激光器激光出口的透光元件，具有两个作用：一是将放电腔内工作气体密封在腔内，二是可在封腔镜上镀全反或半反射膜，使激光在腔内自发辐射并放大。气体激光器需要电极放电，来激励气体产生激光的，所以在放电过程中，由于大量电子对阳极的轰击，会产生微小的金属颗粒，同时这些金属颗粒由于放电产生的压差，会被推挤到两侧封腔镜的内表面，进而附着在上面。这一现象在激光器长时间工作后会大大降低封腔镜的透过率，从而降低激光器的输出能量。及时更换封腔镜或将封腔镜拿出清理，是解决这一问题的有效方法。

现有气体激光器封腔镜通过法兰环螺栓固定在放电壳体两端，更换封腔镜时需要拆卸螺栓，费时费力，时间过长会使外界过多氧气和水会进入到放电壳体内，污染放电壳体内部，导致激光器性能的恶化。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种更换封腔镜装置及气体激光器，以解决相关技术中采用螺栓将封腔镜安装板安装拆卸，耗费时间长的技术问题。

第一方面，提供了一种更换封腔镜装置，包括：

放电壳体；

密封安装座，其设于所述放电壳体出光一侧的端部；

固定安装块，其设于所述密封安装座上；

移动安装块，其与所述固定安装块配合，所述移动安装块可移动地设于所述固定安装块与所述密封安装座之间，所述移动安装块、固定安装块和密封安装座均对应设有出光孔；

可活动封腔镜安装板，其设于所述移动安装块与所述密封安装座之间，所述可活动封腔镜安装板上设有与所述出光孔对应的封腔镜；以及

所述移动安装块用于靠近或远离所述固定安装块，将所述可活动封腔镜安装板与所述密封安装座夹紧或松开，以更换所述封腔镜。

一些实施例中，所述固定安装块和所述移动安装块为一对楔形块。

一些实施例中，所述可活动封腔镜安装板为T型安装板。

一些实施例中，所述T型安装板的头部设有把手孔。

一些实施例中，所述T型安装板的水平部设有至少一个第一封腔镜安装孔，所述第一封腔镜安装孔通过抽拉的方式与所述出光孔重合。

一些实施例中，第一封腔镜安装孔为两个，两个所述第一封腔镜安装孔沿所述T型安装板的水平部水平间隔布置。

一些实施例中，所述可活动封腔镜安装板为圆盘转动安装板，所述圆盘转动安装板与所述放电壳体出光一侧的端部转动连接。

一些实施例中，所述圆盘转动安装板上设有至少一个第二封腔镜安装孔，所述第二封腔镜安装孔通过旋转与所述出光孔重合。

一些实施例中，所述第二封腔镜安装孔为两个，两个所述第二封腔镜安装孔沿所述圆盘转动安装板圆周对称布置。

第二方面，提供了一种气体激光器，包括前述的更换封腔镜装置。

本实用新型提供的技术方案带来的有益效果包括：

本实用新型实施例提供了一种更换封腔镜装置及气体激光器，所述更换封腔镜装置设有固定安装块和移动安装块，所述固定安装块设于所述密封安装座上，所述移动安装块与所述固定安装块配合，所述移动安装块可移动地设于所述固定安装块与所述密封安装座之间，所述移动安装块靠近或远离所述固定安装块，可将所述可活动封腔镜安装板与所述密封安装座非常方便地夹紧或松开，进而便于所述可活动封腔镜安装板更换封腔镜。具体地，所述移动安装块远离所述固定安装块，所述可活动封腔镜安装板与所述密封安装座松开，移动所述可活动封腔镜安装板露出封腔镜后，所述移动安装块靠近所述固定安装块回到原来的位置，所述可活动封腔镜安装板与所述密封安装座夹紧，保证放电壳体内部的密封，防止放电壳体内部气体泄露，将需要更换的封腔镜取下，并将新的封腔镜更换上后，重复以上的动作，使新的封腔镜对准出光孔，同时使放电壳体再次密封，大大降低了放电壳体被空气污染的可能性。整个拆卸和安装过程，不需要耗费过长时间，且放电壳体几乎都是密封状态，可尽量避免更换封腔镜过程中所述放电壳体内部被污染。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的一种更换封腔镜装置的一个结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种更换封腔镜装置的另一个结构示意图；

图中：

1、放电壳体；

2、密封安装座；

3、固定安装块；

4、移动安装块；41、出光孔；

5、可活动封腔镜安装板；51、把手孔；52、第一封腔镜安装孔；

53、第二封腔镜安装孔；

6、封腔镜。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型实施例提供了一种更换封腔镜装置，其能解决现有技术采用螺栓将封腔镜安装板安装拆卸，耗费时间长的技术问题。

参见图1所示，本实用新型实施例提供了一种更换封腔镜装置，包括：放电壳体1、密封安装座2、固定安装块3、移动安装块4和可活动封腔镜安装板5。

所述密封安装座2设于所述放电壳体1出光一侧的端部，所述固定安装块3设于所述密封安装座2上，所述移动安装块4与所述固定安装块3配合，所述移动安装块4可移动地设于所述固定安装块3与所述密封安装座2之间，所述移动安装块4、固定安装块3和密封安装座2均对应设有出光孔41。所述可活动封腔镜安装板5设于所述移动安装块4与所述密封安装座2之间，所述可活动封腔镜安装板5上设有与所述出光孔41对应的封腔镜6。可选地，所述固定安装块3和所述移动安装块4为一对楔形块，楔形结构的所述固定安装块3和所述移动安装块4拆卸安装非常方便。

所述移动安装块4用于靠近或远离所述固定安装块3，将所述可活动封腔镜安装板5与所述密封安装座2夹紧或松开，以更换所述封腔镜6。

具体地，气体激光器正常出光时，所述放电壳体1内部发出激光，依次穿过所述密封安装座2的出光孔、封腔镜6、所述固定安装块3的出光孔和所述移动安装块4的出光孔，A箭头为出光方向。当所述封腔镜6需要更换时，所述移动安装块4沿B箭头移动远离所述固定安装块3，将所述可活动封腔镜安装板5与所述密封安装座2松开，移动所述可活动封腔镜安装板5露出封腔镜6后，所述移动安装块4靠近所述固定安装块3回到原来的位置，所述可活动封腔镜安装板5与所述密封安装座2夹紧，保证所述放电壳体1内部的密封，防止所述放电壳体1内部气体泄露，将需要更换的封腔镜6取下，并将新的封腔镜6更换上后，重复以上的动作，使新的封腔镜6对准出光孔41，同时使所述放电壳体1再次密封，大大降低了所述放电壳体1被空气污染的可能性。

本实用新型实施例中更换封腔镜装置，其设有固定安装块和移动安装块，所述固定安装块设于所述密封安装座上，所述移动安装块与所述固定安装块配合，所述移动安装块可移动地设于所述固定安装块与所述密封安装座之间，所述移动安装块靠近或远离所述固定安装块，可将所述可活动封腔镜安装板与所述密封安装座快速夹紧或松开，进而便于所述可活动封腔镜安装板更换封腔镜。整个拆卸和安装过程，不需要耗费过长时间，且放电壳体几乎都是密封状态，可尽量避免更换封腔镜过程中所述放电壳体内部被污染。

作为可选的实施方式，在一个实用新型实施例中，参见图1所示，所述可活动封腔镜安装板5为T型安装板。所述T型安装板便于工作人员或机械手快速抽拉移出待更换的封腔镜，进而方便更换封腔镜。

进一步地，参见图1所示，所述T型安装板的头部设有把手孔51，所述把手孔51便于工作人员或机械手握住所述T型安装板的头部，进而便于工作人员或机械手快速抽拉所述T型安装板。

作为可选的实施方式，在一个实用新型实施例中，参见图1所示，所述T型安装板的水平部设有至少一个第一封腔镜安装孔52，所述第一封腔镜安装孔52通过抽拉的方式与所述出光孔41重合。

进一步地，所述T型安装板的水平部可以设置两个第一封腔镜安装孔52。参见图1所示，当一个所述第一封腔镜安装孔52安装有封腔镜且在使用时，另一个所述第一封腔镜安装孔52空闲不用。若需要更换封腔镜时，可以在空闲的所述第一封腔镜安装孔52先安装封腔镜，再拆开并移动所述T型安装板(沿C箭头移动)，使新的封腔镜对准出光部位，然后将所述移动安装块4向所述固定安装块3移动快速将新的封腔镜固定，最后再拆下需要更换封腔镜，整个过程耗时短，尽可能避免空气进入放电壳体1内部。

作为可选的实施方式，在一个实用新型实施例中，参见图2所示，所述可活动封腔镜安装板5为圆盘转动安装板，所述圆盘转动安装板与所述放电壳体1出光一侧的端部转动连接。所述圆盘转动安装板只需转动即可移出待更换的封腔镜，进而方便更换封腔镜。

作为可选的实施方式，在一个实用新型实施例中，参见图2所示，所述圆盘转动安装板上设有至少一个第二封腔镜安装孔53，所述第二封腔镜安装孔53通过旋转与所述出光孔41重合。

进一步地，所述第二封腔镜安装孔53为两个，两个所述第二封腔镜安装孔53沿所述圆盘转动安装板圆周对称布置。参见图2所示，当一个所述第一封腔镜安装孔52安装有封腔镜且在使用时，另一个所述第一封腔镜安装孔52空闲不用。若需要更换封腔镜时，可以在空闲的所述第一封腔镜安装孔52先安装封腔镜，再拆开并转动所述圆盘转动安装板，使新的封腔镜对准出光部位，然后将所述移动安装块4向所述固定安装块3移动快速将新的封腔镜固定，最后再拆下需要更换封腔镜，整个过程耗时短，尽可能避免空气进入放电壳体1内。

本实用新型实施例提供了一种气体激光器，包括前述的更换封腔镜装置。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

需要说明的是，在本实用新型中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅是本实用新型的具体实施方式，使本领域技术人员能够理解或实现本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文实用新型的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种更换封腔镜装置，其特征在于，包括：

放电壳体(1)；

密封安装座(2)，其设于所述放电壳体(1)出光一侧的端部；

固定安装块(3)，其设于所述密封安装座(2)上；

移动安装块(4)，其与所述固定安装块(3)配合，所述移动安装块(4)可移动地设于所述固定安装块(3)与所述密封安装座(2)之间，所述移动安装块(4)、固定安装块(3)和密封安装座(2)均对应设有出光孔(41)；

可活动封腔镜安装板(5)，其设于所述移动安装块(4)与所述密封安装座(2)之间，所述可活动封腔镜安装板(5)上设有与所述出光孔(41)对应的封腔镜(6)；以及

所述移动安装块(4)用于靠近或远离所述固定安装块(3)，将所述可活动封腔镜安装板(5)与所述密封安装座(2)夹紧或松开，以更换所述封腔镜(6)。

2.根据权利要求1所述的更换封腔镜装置，其特征在于：所述固定安装块(3)和所述移动安装块(4)为一对楔形块。

3.根据权利要求1所述的更换封腔镜装置，其特征在于：所述可活动封腔镜安装板(5)为T型安装板。

4.根据权利要求3所述的更换封腔镜装置，其特征在于：所述T型安装板的头部设有把手孔(51)。

5.根据权利要求4所述的更换封腔镜装置，其特征在于：所述T型安装板的水平部设有至少一个第一封腔镜安装孔(52)，所述第一封腔镜安装孔(52)通过抽拉的方式与所述出光孔(41)重合。

6.根据权利要求5所述的更换封腔镜装置，其特征在于：

第一封腔镜安装孔(52)为两个，两个所述第一封腔镜安装孔(52)沿所述T型安装板的水平部水平间隔布置。

7.根据权利要求1所述的更换封腔镜装置，其特征在于：

所述可活动封腔镜安装板(5)为圆盘转动安装板，所述圆盘转动安装板与所述放电壳体(1)出光一侧的端部转动连接。

8.根据权利要求7所述的更换封腔镜装置，其特征在于：所述圆盘转动安装板上设有至少一个第二封腔镜安装孔(53)，所述第二封腔镜安装孔(53)通过旋转与所述出光孔(41)重合。

9.根据权利要求8所述的更换封腔镜装置，其特征在于：

所述第二封腔镜安装孔(53)为两个，两个所述第二封腔镜安装孔(53)沿所述圆盘转动安装板圆周对称布置。

10.一种气体激光器，其特征在于，包括权利要求1至9任一项所述的更换封腔镜装置。