CN219957619U - 一种原子力显微镜探针装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及原子力显微镜技术领域，特别公开了一种原子力显微镜探针装置，包括探针安装座和探针载体；探针安装座的底部设有限位槽，限位槽设有至少一个第一磁块和预设安装位置，限位槽的宽度线性收窄；探针载体设有至少一个第二磁块，沿限位槽的收窄方向，探针载体可滑动地卡设于限位槽内；第一磁块设于相邻的第二磁块与限位槽的收窄端部之间，第一磁块与第二磁块磁性连接，第一磁块和第二磁块相互配合用于将探针载体吸引至预设安装位置，通过第一磁块与第二磁块错位布置的磁吸力及限位槽收窄结构，探针载体反复拆装后仍能与预设安装位置的定位面保持紧密接触，实现探针精准定位和安装，解决现有探针装置在反复拆装后定位精度下降的问题。

Description

一种原子力显微镜探针装置

技术领域

本实用新型涉及原子力显微镜技术领域，特别涉及一种原子力显微镜探针装置。

背景技术

原子力显微镜是一种可以用来研究材料表面形貌的分析仪器，它通过检测待测样品表面和探针针尖的原子间相互作用力来研究材料的表面结构。在使用时，不同的测试需求由不同类型的探针来完成，需要根据实际的测试情况选择合适的探针并进行更换，将原探针从探针安装座上取下，再把欲更换的探针安放到探针安装座中。

在探针安装方式中，磁吸附式是一种利用磁铁的吸附力将探针固定在探针安装座上的方式，当带有探针的探针载体逐渐靠近安装座附近时，在吸附磁铁的作用下，探针载体与安装座之间产生吸引力能够将探针定位在安装座上，而由于原子力显微镜使用探针微悬臂纳米级的偏转来探测样品表面的形貌，因此，在探针更换安装时，必须将探针定位到足够准确的位置。

在现有技术中，探针装置在反复拆装后存在定位精度下降的问题，具体可表现为，当安装座一侧的磁力使探针载体被吸附上载体保持器上，保证探针相对于安装座的垂直位置，但探针有可能会相对于安装座发生微小的水平方向的偏转，进而影响探针定位的准确性。

综上所述，研究一种可在反复拆装后可保持探针精准定位的原子力显微镜探针装置举要重要意义。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种原子力显微镜探针装置，以解决现有探针装置在反复拆装后定位精度下降的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种原子力显微镜探针装置，包括探针安装座和探针载体；所述探针安装座的底部设有限位槽，所述限位槽设有至少一个第一磁块和预设安装位置，所述限位槽的宽度线性收窄；所述探针载体设有至少一个第二磁块，沿所述限位槽的收窄方向，所述探针载体可滑动地卡设于所述限位槽内；所述第一磁块设于相邻的所述第二磁块与所述限位槽的收窄端部之间，所述第一磁块与相邻的的所述第二磁块错位布置，所述第一磁块与所述第二磁块磁性连接，所述第一磁块和所述第二磁块相互配合用于将所述探针载体吸引至所述预设安装位置。

在其中一个实施例中，所述第二磁块倾斜布置于所述探针载体内，所述第二磁块的倾斜面朝向相邻的所述第一磁块。

在其中一个实施例中，所述探针载体包括卡位底板和探针载板，所述卡位底板与所述探针载板可拆卸连接固定，所述卡位底板与所述探针载板间夹持所述第二磁块。

在其中一个实施例中，所述探针载板设有探针和多个通孔；所述卡位底板设有卡槽和多个第一凹孔；所述探针卡设于所述卡槽内，多个所述通孔分别连通多个所述第一凹孔，多个所述第一凹孔内均倾斜布置所述第二磁块。

在其中一个实施例中，所述第二磁块与所述第一凹孔的底部间夹持有第一垫片，所述第二磁块与所述通孔的顶部间夹持有第二垫片。

在其中一个实施例中，沿所述限位槽的收窄方向，所述第一垫片的厚度线性收窄，所述第二垫片的厚度线性变宽。

在其中一个实施例中，所述探针安装座的底部设有第二凹孔，所述第二凹孔内粘接所述第一磁块，所述第一磁块沿邻近的所述探针载体的表面平行布置。

在其中一个实施例中，多个所述第一磁块三角布置，多个所述第二磁块三角布置。

在其中一个实施例中，所述探针载体为V形，所述V形的轮廓与所述限位槽的收窄轮廓相匹配。

在其中一个实施例中，所述限位槽包括收窄段和常径段；所述常径段与所述收窄段的宽端连通；所述第一磁块和所述第二磁块相互配合用于将所述探针载体吸引至所述收窄段，所述常径段用于供所述探针载体滑入或滑出所述收窄段。

本实用新型的有益效果如下：

由于所述探针安装座的底部设有限位槽，所述限位槽设有至少一个第一磁块和预设安装位置，所述限位槽的宽度线性收窄，所述探针载体设有至少一个第二磁块，沿所述限位槽的收窄方向，所述探针载体可滑动地卡设于所述限位槽内，所述第一磁块设于相邻的所述第二磁块与所述限位槽的收窄端部之间，所述第一磁块与所述第二磁块磁性连接，所以在进行应用时，所述探针载体可以滑动安装在探针安装座的限位槽内，所述限位槽内的第一磁块会与探针载体的第二磁块磁性相吸，从而吸引所述探针载体往所述限位槽的收窄端部移动，并且由于所述第一磁块设于相邻的所述第二磁块与所述限位槽的收窄端部之间，即两者错位设置的布置方式，使得所述第一磁块在沿收窄方向和向上方向为所述第二磁块提供磁吸力，在收窄方向和向上方向的磁吸力作用下，所述探针载体能一直保持沿着所述限位槽收窄方向的运动趋势，从而使得所述探针载体能卡设在限位槽的预设安装位置，即限位槽的收窄端部。

因此，本实用新型通过所述第一磁块与所述第二磁块的错位布置的磁吸力，以及限位槽的收窄结构，使得探针载体在反复拆装后仍能与预设安装位置保持紧密接触，实现探针位置的精准定位和安装，解决了现有探针装置在反复拆装后定位精度下降的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型优选实施方式提供的探针装置安装在原子力显微镜时的应用示意图；

图2是本实用新型优选实施方式提供的整体结构示意图；

图3是本实用新型优选实施方式提供的整体结构侧视图；

图4是本实用新型优选实施方式提供的整体结构剖面示意图；

图5是本实用新型优选实施方式提供的探针安装座的结构示意图；

图6是本实用新型优选实施方式提供的探针载体的结构示意图；

图7是本实用新型优选实施方式提供的探针载板的结构示意图；

图8是本实用新型优选实施方式提供的卡位底板的结构示意图；

图9是本实用新型优选实施方式提供的第二磁块在探针载体内的布置示意图；

图10是本实用新型优选实施方式提供的磁块间的力学原理示意图；

图11是本实用新型优选实施方式提供的探针载体的安装过程示意图一；

图12是本实用新型优选实施方式提供在安装过程中的磁块位置示意图一；

图13是本实用新型优选实施方式提供的探针载体的安装过程示意图二；

图14是本实用新型优选实施方式提供在安装过程中的磁块位置示意图二；

图15是本实用新型优选实施方式提供的探针载体的安装过程示意图三；

图16是本实用新型优选实施方式提供在安装过程中的磁块位置示意图三。

附图标记如下：

1、探针安装座；10、限位槽；100、常径段；101、收窄段；1010、水平定位面；1011、垂直定位面；102、第二凹孔；11、第一磁块；2、探针载体；20、第二磁块；200、第一垫片；201、第二垫片；21、卡位底板；210、卡槽；211、第一凹孔；22、探针载板；220、探针；221、通孔；3、安装台；4、样品台；5、环形支撑架；6、扫描器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。

现有的探针定位装置主要存在精准定位难度大及长时间反复拆装使用后定位精度降低的问题。

现有技术如授权公告号(US8099793B2)的美国发明专利公开了具有自动更换探针功能的扫描探针显微镜，包括探针载体、安装座，托盘，利用磁力在托盘与安装座上拆装探针载体，当安装座一侧的磁力较大时，探针载体安装在上载体保持器上，当托盘一侧的磁力较大时，探针载体将被拆卸到托盘上。在安装座上具有三个半球形的突起，探针载体上具有与突起对应的孔，通过二者的配合限定探针载体的位置，进而实现探针定位。

然而，由于其结构设计的问题，探针在反复拆装后依然存在精度下降的问题，具体问题有三。

一是，其通过在安装座一侧的磁力使探针载体被吸附上载体保持器上，保证探针相对于安装座的垂直位置，但探针有可能会相对于安装座发生微小的水平方向的偏转，进而影响探针定位的准确性。

二是，虽然现有技术又通过安装座上的三个半球形的突起与探针载体上对应的孔进行定位，但该结构同时保持三个半球与三个孔的中心线完全重合的难度较大，对制造、加工及成本的要求较高，若三个中心线不能重合或者将偏差控制在最小范围内，探针可能会发生相对于安装座水平方向的偏转。

三是，安装座上的三个半球形的突起与探针载体上对应的孔在定位时为线接触，安装座一侧的磁力吸附探针载体接触的一瞬间会产生较大的相对加速度，进而形成较大的瞬间冲击力，长时间反复拆装使用后，半球形的突起与对应的孔易发生磨损，易导致探针相对于安装座水平方向发生偏转或扭转，这些都会导致探针定位精度进一步降低。

从上可知，现有技术虽然试图通过磁力吸附令探针载体与安装座保持精确定位的目的，但由于其结构的设计问题，探针载体在多次安装后依然可能会出现相对于安装座水平方向的偏转或扭转，从而导致探针载体定位精度下降的问题。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种能够快速、准确定位探针位置以及换针操作简便的原子力显微镜探针装置，如图1至图9，包括探针安装座1和探针载体2，核心思路在于，利用探针安装座1和探针载体2内的磁块错位分布，以及探针安装座1和探针载体2的V形线性收窄的结构设计，从而限定探针载体2的安装位置以及其能够偏转的角度，即使在多次拆装探针载体2后，探针载体2仍能安装在安装座1的预设安装位置内，探针载体2的定位面与对应的安装座1的定位面保持紧密接触，提高探针载体2在多次拆装后的定位精度和可靠性。

请参照图1至图9，下文将以探针装置安装在原子力显微镜上的优选实施例对本方案进行阐述。

在本申请实施例中，如图1所示，原子显微镜包括安装台3、样品台4、环形支撑架5、扫描器6和探针装置，安装台3上安装有样品台4和环形支撑架5，环形支撑架5连接固定有扫描器6，扫描器6的底部连接固定有探针装置，探针装置的探针对准样品台4，通过这样的设置，探针装置可对样品进行检测。

参照图2至图4，在本申请实施例中提供的探针装置，包括探针安装座1和探针载体2，探针载体2可滑动地卡设于探针安装座1内。

在本申请实施例中，请参照图5，有关上述探针安装座1，探针安装座1为梯形块，梯形块的倾斜面朝下布置，即倾斜面为探针安装座1的底部，在探针安装座1的底部设有限位槽10，限位槽10的宽度沿着倾斜面长度方向线性收窄，限位槽10内还设至少一个第一磁块11和预设安装位置，预设安装位置是利用限位槽10的收窄结构以卡设探针载体2的位置，使探针载体2在多次拆装后，依然保持在预设安装位置上，避免探针载体2出现在安装座水平方向的偏转或扭转的情况。

在本申请的实施例中，对于限位槽10而言，如图5所示，限位槽10包括相互连通的常径段100和收窄段101，常径段100与收窄段101的宽端连通，其中，常径段100的宽度处处保持相同，常径段100的宽度相对于收窄段101较宽是用于供探针载体2滑入或滑出收窄段101，防止探针载体2在没有滑入收窄段101时即被卡住；而收窄段101沿长度方向线性收窄为V形，收窄段101即为上文所述的预设安装位置，通过第一磁块11和第二磁块20的配合使得探针载体2在每次拆装后均可吸引探针载体2移动至该收窄段101内。

具体的，如图5所示，收窄段101的两侧面为水平定位面1010，水平定位面1010用于限定探针载体2的水平位置；收窄段101的梯形块斜面为垂直定位面1011，垂直定位面1011用于限定探针载体2的垂直位置，垂直定位面1011的投影形状为V形，通过水平定位面1010和垂直定位面1011对探针载体2的限位，探针载体2在每次拆卸后都能滑动卡紧在收窄段101内，防止探针载体2在安装时出现垂直方向或水平方向的偏转或扭转的情况。

在一些可能的实施例中，各定位面一侧设计缓冲气囊，在定位面接触前缓冲气囊鼓起，运动的探针载体2先接触柔性的气囊表面，再通过与气囊联通的气压转换装置的作用，缓慢减小气囊的压力，使探针载体2能够在磁力的作用下继续向前运动，一直到探针载体2的定位表面与安装座的定位表面接触完成定位，利用气囊的缓冲作用使定位表面缓慢接触，降低磨损，避免探针定位精度进一步降低。

在本申请的实施例中，对于第一磁块11而言，如图4和图5所示，第一磁块11设于限位槽10内，当探针载体2滑动至预设安装位置时，第一磁块11将设于相邻的第二磁块20与限位槽10收窄端部之间，即探针载体2在预设安装位置时，第一磁块11与第二磁块20会存在错位布置的情况，沿收窄方向和向上方向，如图10所示，第一磁块11会为第二磁块20提供两个分力，在垂直方向上，其垂直磁力分力大于探针载体2、探针和磁铁的重力之和，让探针载体2能够被吸附在安装座的垂直定位面1011上，完成垂直方向的定位，在水平方向上，水平磁力分力能够使探针载体2具有一个向收窄方向的运动趋势，在V型结构的定位约束下，探针载体2运动的过程中将不断修正其水平位置，使定位间隙逐渐缩小直至为0，通过两磁块的设置，探针载体2在预设位置时，探针载体2的垂直位置和水平位置可能的移动趋势均被结构限位锁紧而降低偏差。

第一磁块11将设于相邻的第二磁块20与限位槽10收窄端部之间，即是第一磁块11与限位槽10收窄端部的距离小于第二磁块20与限位槽10收窄端部，实现磁块间的错位。

应当理解的是，在多次的拆装后，即使限位槽10的壁面或表面出现磨损等微小损坏时，由于整体限位结构的存在，探针载体2的水平定位面1010与安装座的水平定位面1010紧密贴合，其可能出现的误差，亦仅存在于沿着探针220微悬臂的长度方向上，可根据探针220更换的频率进行单方向的误差标定，再利用控制系统进行定位补偿，错位磁铁结构降低了定位后误差增大方向的随机性，避免了换针后出现定位不准确的情况，有效提高了定位精度与可靠性。

在本实施例中，如图4和图5所示，第一磁块11的数量为三个，三个第一磁块11呈三角布置，三角布置的方式，使得第一磁块11的磁力覆盖面较大，能提高吸附第二磁块20的磁力，便于探针载体2的拆装。

具体到第一磁块11的安装，如图4所示，每个第一磁块11分别通过一个第二凹孔102进行安装，第二凹孔102的数量为三个，每个第二凹孔102均设于限位槽10的底部，每个第二凹孔102内均粘接有第一磁块11，第一磁块11沿邻近探针载体2的表面平行布置。

需要指出的是，第一磁块11的表面不超出限位槽10的垂直定位面1011，防止第一磁块11影响探针载体2的滑动安装。

在本申请的一些可能的实施例中，第一磁块11的数量至少为一个，第一磁块11可设于限位槽10的中部，但当探针载体2在预设安装位置时，第一磁块11设于第二磁块20和限位槽10的收窄端部间。

在本申请实施例中，请参照图6，有关上述探针载体2，探针载体2设有至少一个第二磁块20，第二磁块20配合第一磁块11将探针载体2吸引至预设安装位置。

在本申请实施例中，对于第二磁块20而言，如图6所示，第二磁块20倾斜布置于探针载体2内，当探针载体2卡设于预设安装位置时，第二磁块20的倾斜面朝向相邻的第一磁块11，通过这样的配合，探针载体2与探针安装座1上设置多对轴线不会重合且表面也不会发生接触的错位磁铁，使磁吸引力在各定位面上的分力一直存在，让探针载体2能一直保持沿着探针安装座1定位面运动的趋势，从而让定位面保持紧密接触。

应当理解的是，第二磁块20的极性面与第一磁块11的极性面是相互对准的，两者可在工作时产生相互吸引的磁性力，而第二磁块20的倾斜面就是其极性面，倾斜面朝向限位槽10的收缩方向，使其朝向能对准相邻的第一磁块11。

在本申请的一些可能的实施例中，第二磁块20可与第一磁块11平行布置，相较于第二磁块20与第一磁块11倾斜布置的方式，平行布置的方式产生的垂直分力与水平分力不及倾斜布置时形成的力，但依然可满足本方案磁块错位布置的核心思路。

在本申请实施例中，对于探针载体2而言，如图6至图8所示，探针载体2包括相互可拆卸固定连接的卡位底板21和探针载板22，第二磁块20夹持于卡位底板21和探针载板22间，通过这样的设置，第二磁块20被卡位底板21和探针载板22夹持后，实现第二磁块20的倾斜固定，避免第二磁块20脱离出探针载体2。

其中，可拆卸固定连接的方式包括但不限于螺钉螺孔配合固定，其余可实现两个板间的可拆卸固定连接均可进行使用。

在本实施例中，如图6所示，第二磁块20的数量为三个，三个第二磁块20呈三角布置，三角布置的方式，使得第二磁块20的磁力覆盖面较大，能提高吸附第一磁块11的磁力，便于探针载体2的拆装。

具体的，如图7所示，探针载板22设有三个通孔221，卡位底板21设有三个第一凹孔211，三个通孔221分别对准并连通三个第一凹孔211，在第一凹孔211内均倾斜布置第二磁块20，另外，探针载板22的一端设置有探针220，卡位底板21的一端设有卡槽210，当卡位底板21和探针载板22夹持第二磁块20时，将探针卡入卡槽210，实现探针载板22的探针固定。

需要指出的是，探针220包括，针尖、微悬臂与基片，探针常通过粘接的方式连接到探针载体2的前端，其与探针载体2接触的表面为基片上与针尖相对的表面。

参照图4所示，第二磁块20与第一凹孔211的底部间夹持有第一垫片200，第二磁块20与通孔221的顶部间夹持有第二垫片201，第一垫片200将第二磁块20垫倾斜，使第二磁块20的倾斜面能朝向相邻的第一磁块11，第二垫片201卡设于通孔221的开口与第二磁块20间，防止第二磁块20从通孔221中掉落。

可参照图9所示，沿限位槽10的收窄方向，第一垫片200的厚度线性收窄，第二垫片201的厚度线性变宽，通过这样的设置，第一垫片200和第二垫片201相互配合形成一个斜向的矩形空间，在该空间内放置第二磁块20即可使其倾斜布置。

在本申请的一些可能的实施例中，第二磁块20被一体化倾斜布置于探针载体2内，亦可实现第二磁块20倾斜固定于卡位底板21内的目的。

在本申请实施例中，如图5和图6所示，探针载体2的端部整体为V形结构，即卡位底板21和探针载板22均为V形板，V形的轮廓与限位槽10的收窄轮廓相匹配，V形的探针载体2在磁吸力的作用下在限位槽10内滑动直至滑动至收窄段101，即预设位置，通过限位槽10以及探针载体2的V型结构配合，能够不断的调整定位过程中探针载体2的位置及水平偏转角度，将误差的变化方向限制在了沿着V形缩小的方向，避免了由于磨损导致的探针载体2出现不确定倾斜、定位误差随机变化等定位精度降低问题。

另外，在预设位置时，探针载体2的两端均分别伸出限位槽10，以便使用者对探针载体2进行拆装。

在本申请的一些可能的实施例中，探针载体2亦为与限位槽10的收窄轮廓相匹配的形状，但端部为近V形状结构，亦可实现探针载体2在限位槽10内的卡设安装。

特别说明的是，本方案中的第一磁块11和第二磁块20为工业常使用的圆形磁铁，其余可实现磁性吸力的磁块，本领域技术人员均可进行使用。

从上可知，本方案的基本结构和原理，下文将亦具体的安装过程进行描述，请参照图11至图16。

如图11和图12所示，安装探针时，使用手或者具有移动功能的动力装置，将带有探针的探针载体2放置到探针安装座1的限位槽10处，让探针载体2的垂直定位面1011在靠近探针的部分先与限位槽10的定位面接触，再沿着限位槽10收窄的方向推动探针载体2，使探针载体2上的第二磁铁接近探针安装座1内的第一磁铁，当相互吸引的磁铁到达一定的距离后，磁铁的磁力达到克服探针载体2重力的大小，将探针载体2吸附在探针安装座1上，使探针载体2的垂直定位面1011与安装座的垂直定位面1011相互吸紧。

如图13和图14所示，当两垂直定位面1011在磁力的作用下完成配合后，安装在探针载体2与探针安装座1中限位槽10的定位面上的磁铁的未重合，而一定距离的磁铁产生的磁力具有向着使两块磁铁相互重合的方向运动的趋势，由于安装在探针安装座1上的第一磁铁的位置固定，所以安装在探针载体2上的第二磁铁在磁力的作用下将向着安装座上的磁铁运动，如图15和图16所示，进而带动着与其连接的探针载体2运动，探针载体2在磁力的作用下完成水平定位面1010的配合。

在探针载体2向探针方向移动的过程中，探针载体2两侧的水平定位面1010与安装座两侧水平定位面1010分别相对运动，安装座的水平定位面1010与探针载体2的水平定位面1010存在一定的角度，如下图所示，具体情况可分为：角度为0，相互配合的两平面保持平行；角度不为0，相互配合的两个平面不平行，在探针载体2向前运动的过程中，有一侧的定位面先与安装座的水平定位面1010接触。

由于安装座上的定位凹槽与探针载体2的结构都为V型，且探针载体2的两侧的水平定位面1010的夹角和安装座两水平定位面1010的夹角相同，使得在探针载体2向前运动的过程中，V型的结构可不断的调整相互配合的定位表面间的夹角，使其相互平行。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

包括探针安装座和探针载体；

所述探针安装座的底部设有限位槽，所述限位槽设有至少一个第一磁块和预设安装位置，所述限位槽的宽度线性收窄；

所述探针载体设有至少一个第二磁块，沿所述限位槽的收窄方向，所述探针载体可滑动地卡设于所述限位槽内；

所述第一磁块设于相邻的所述第二磁块与所述限位槽的收窄端部之间，所述第一磁块与相邻的所述第二磁块错位布置，所述第一磁块与所述第二磁块磁性连接，所述第一磁块和所述第二磁块相互配合用于将所述探针载体吸引至所述预设安装位置。

2.根据权利要求1所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

所述第二磁块倾斜布置于所述探针载体内，所述第二磁块的倾斜面朝向相邻的所述第一磁块。

3.根据权利要求2所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

所述探针载体包括卡位底板和探针载板，所述卡位底板与所述探针载板可拆卸连接固定，所述卡位底板与所述探针载板间夹持所述第二磁块。

4.根据权利要求3所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

所述探针载板设有探针和多个通孔；

所述卡位底板设有卡槽和多个第一凹孔；

所述探针卡设于所述卡槽内，多个所述通孔分别连通多个所述第一凹孔，多个所述第一凹孔内均倾斜布置所述第二磁块。

5.根据权利要求4所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

所述第二磁块与所述第一凹孔的底部间夹持有第一垫片，所述第二磁块与所述通孔的顶部间夹持有第二垫片。

6.根据权利要求5所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

沿所述限位槽的收窄方向，所述第一垫片的厚度线性收窄，所述第二垫片的厚度线性变宽。

7.根据权利要求1所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

所述探针安装座的底部设有第二凹孔，所述第二凹孔内粘接所述第一磁块，所述第一磁块沿邻近的所述探针载体的表面平行布置。

8.根据权利要求1所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

多个所述第一磁块三角布置，多个所述第二磁块三角布置。

9.根据权利要求1所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

所述探针载体为V形，所述V形的轮廓与所述限位槽的收窄轮廓相匹配。

10.根据权利要求9所述的一种原子力显微镜探针装置，其特征在于，

所述限位槽包括收窄段和常径段；

所述常径段与所述收窄段的宽端连通；

所述第一磁块和所述第二磁块相互配合用于将所述探针载体吸引至所述收窄段，所述常径段用于供所述探针载体滑入或滑出所述收窄段。