CN219907930U - 一种单晶炉热场 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种单晶炉热场。通过设置对石英坩埚的底部加热的第一加热器，并将第二加热器设置于第一加热器与第三加热器之间，并使第二加热器对石英坩埚的侧壁的下部加热，第三加热器对石英坩埚的侧壁的上部加热，第二加热器与第一加热器共用电极，由于本申请第一加热器和第二加热器均能对石英坩埚的底部进行加热，因此，当第一加热器出现损坏时，第二加热器还能对石英坩埚的底部进行加热，通过第二加热器与第三加热器配合，能够保证石英坩埚持续熔料，进而保证单晶棒的生产。
Description
技术领域
本实用新型涉及单晶棒生产设备领域，具体为一种单晶炉热场。
背景技术
单晶炉热场是一种对石英坩埚加热的装置，目前单晶炉热场普遍有4个铜电极，通过设置主加热器和底加热器来对石英坩埚加热，然而，随着石英坩埚的尺寸增加，使得现有单晶炉热场熔料时间增加，且在底加热器出现损坏时，由于石英坩埚的底部无法提供足够热量，使得石英坩埚无法熔料，因此，需要通过停炉处理，然而停炉处理则会影响单晶棒的生产，因此，急需一种在底部加热器出现损坏时，还能保证石英坩埚熔料的单晶炉热场。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型实施例提供了一种单晶炉热场，以解决现有单晶炉热场的底部加热器损坏时，石英坩埚无法持续熔料所带来的停炉问题。
为实现上述目的，本实用新型实施例提供如下技术方案：
一种单晶炉热场，包括：第一加热器、第二加热器和第三加热器；
第一加热器用于对石英坩埚的底部加热；
第二加热器设置于第一加热器与第三加热器之间，第二加热器用于对石英坩埚的侧壁的下部加热，第三加热器用于对石英坩埚的侧壁的上部加热，第二加热器与第一加热器共用电极。
优选的，第二加热器由多个瓣片通过连接片拼接而成。
优选的，瓣片为弧形结构。
优选的，瓣片采用铜制成。
优选的，连接片为U型结构。
优选的，第二加热器可拆卸设置于第三加热器的下方。
优选的，第三加热器，包括：发热区、第一电极脚板和第二电极脚板；
第一电极脚板与第二电极脚板对称设置于发热区的两侧。
本实用新型提供了一种单晶炉热场，通过设置对石英坩埚的底部加热的第一加热器，并将第二加热器设置于第一加热器与第三加热器之间，并使第二加热器对石英坩埚的侧壁的下部加热，第三加热器对石英坩埚的侧壁的上部加热，第二加热器与第一加热器共用电极。通过上述公开的单晶炉热场，由于本申请第一加热器和第二加热器均能对石英坩埚的底部进行加热，因此，当第一加热器出现损坏时，第二加热器还能对石英坩埚的底部进行加热，通过第二加热器与第三加热器配合，能够保证石英坩埚持续熔料，进而保证单晶棒的生产。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的一种单晶炉热场的结构示意图；
图2为本实用新型实施例提供的第二加热器俯视图；
图3为本实用新型实施例提供的第二加热器主视图；
图4为本实用新型实施例提供的第二加热器侧视图。
其中，第一加热器1，第二加热器2、瓣片21、连接片22，第三加热器3。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
本实用新型实施例提供一种单晶炉热场，参见图1至图4，图1为单晶炉热场的结构示意图，所述单晶炉热场包括：第一加热器1、第二加热器2和第三加热器3；
第一加热器1用于对石英坩埚的底部加热；
第二加热器2设置于第一加热器1与第三加热器3之间，第二加热器2用于对石英坩埚的侧壁的下部加热，第三加热器3用于对石英坩埚的侧壁的上部加热，第二加热器2与第一加热器1共用电极。
本实用新型实施例通过设置对石英坩埚的底部加热的第一加热器1，并将第二加热器2设置于第一加热器1与第三加热器3之间，并使第二加热器2对石英坩埚的侧壁的下部加热，第三加热器3对石英坩埚的侧壁的上部加热，第二加热器2与第一加热器1共用电极。通过上述公开的单晶炉热场，由于本申请第一加热器1和第二加热器2均能对石英坩埚的底部进行加热，因此，当第一加热器1出现损坏时，第二加热器2还能对石英坩埚的底部进行加热，通过第二加热器2与第三加热器3配合，能够保证石英坩埚持续熔料，进而保证单晶棒的生产。
具体的，第二加热器2由多个瓣片21通过连接片22拼接而成。
需要说明的是，将第二加热器2设置成多个瓣片21，并通过连接片22将多个瓣片21拼接在一起，可根据需求拼接出不同尺寸的第二加热器2，即根据不同尺寸的石英坩埚拼接出相应尺寸的第二加热器2，使第二加热器2能够为石英坩埚的底部提供足够热量，进而实现快速对石英坩埚的底部加热。
进一步，瓣片21为弧形结构。
需要说明的是，瓣片21可以为弧形结构，也可以为其他形状的结构，本领域技术人员可根据需求进行选择。
具体的，瓣片21采用铜制成。
需要说明的是，瓣片21可以采用铜制成，也可以采用其他材料制成，本领域技术人员可根据需求进行选择。
进一步，连接片22为U型结构。
需要说明的是，连接片22可以为U型结构，也可以为其他结构，本领域技术可根据需求进行选择。
具体的，第二加热器1可拆卸设置于第三加热器2的下方。
需要说明的是，将第二加热器2可拆卸设置在第三加热器3的下方，进而工作人员可根据需求调节第二加热器2的高度，使第二加热器2与石英坩埚接触，进而使第二加热器2所产生的热量能够全部快速传递至石英坩埚。
具体的，第三加热器3，包括：发热区、第一电极脚板和第二电极脚板；
第一电极脚板与第二电极脚板对称设置于发热区的两侧。
需要说明的是，将第三加热器3设置为发热区、第一电极脚板和第二电极脚板，并将第一电极脚板与第二电极脚板对称设置于发热区的两侧，不仅能够对发热区进行支撑，还能传递电能，使发热区能够产生热量，实现对石英坩埚的侧壁进行加热。
本实用新型的第二加热器2通过两个瓣片21拼接而成，两个瓣片21通过连接片22进行连接，第二加热器2的高度能够根据需求进行高度调节。
本实用新型的连接片12不仅能够对瓣片11进行固定，还能保证与第三加热器3的脚板留出合适的距离，避免第二加热器2安装后与第三加热器3接触打火。
本实用新型的单晶炉热场相较于现有单晶炉热场，具有以下优点：
1、节约熔料时间；
2、硅料温度均匀性好，热场梯度小，易成晶，提高产量；
3、第一加热器1或第二加热器2损坏后，不影响熔料；
4、能降低硅液的氧含量。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (7)
1.一种单晶炉热场，其特征在于，包括：第一加热器、第二加热器和第三加热器；
所述第一加热器用于对石英坩埚的底部加热；
所述第二加热器设置于所述第一加热器与所述第三加热器之间，所述第二加热器用于对石英坩埚的侧壁的下部加热，所述第三加热器用于对石英坩埚的侧壁的上部加热，所述第二加热器与所述第一加热器共用电极。
2.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第二加热器由多个瓣片通过连接片拼接而成。
3.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述瓣片为弧形结构。
4.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述瓣片采用铜制成。
5.根据权利要求2所述的单晶炉热场，其特征在于，所述连接片为U型结构。
6.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第二加热器可拆卸设置于所述第三加热器的下方。
7.根据权利要求1所述的单晶炉热场，其特征在于，所述第三加热器，包括：发热区、第一电极脚板和第二电极脚板；
所述第一电极脚板与所述第二电极脚板对称设置于所述发热区的两侧。
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