CN219897964U - 一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置 - Google Patents
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Abstract
一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，包括柜体、搅拌桶和储液箱，柜体分为上下两层，搅拌桶置于上层，储液箱置于下层，管路分别连接搅拌桶、储液箱以及进出水口，搅拌桶包括桶身、桶盖和搅拌装置，抛光液按照一定配比在搅拌桶中搅拌完成，经过管路直接放入下层储液箱中存储备用。使用该装置可实现晶片精抛所用两种抛光液的快速配制搅拌并分区单独存储，配制搅拌过程可通过计时器自动控制搅拌时长，与人工配制相比，避免配制过程的差异，保证抛光液配制工艺的一致性，并能更高效的实现抛光液配制和存储，减少人力物力投入。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶片加工技术领域，具体涉及一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置。
背景技术
磷化铟晶片精抛抛光液的配置需要将抛光药和抛光膏加入到去离子水中进行充分混合搅拌，但是目前的配置和使用过程需要人工进行搅拌，搅拌过程在搅拌桶内完成，混合完成后还需要人工转移至储存设备中储存。生产过程中需要两种抛光液且用量较大，需要大量人力物力，且人工配制过程因人而异，很难保证最终混合后的抛光液品质的一致性，配制效率低。
实用新型内容
为实现磷化铟晶片精抛抛光液配置的去人工操作并方便储存，本实用新型提出一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置。
一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，包括置于柜体中的搅拌桶和储液箱，其特征在于，所述搅拌桶包括桶身、桶盖和搅拌部件，桶盖固定安装在桶身顶部，桶盖一侧通过合页开设放料窗口，桶盖中央安装贯穿桶盖并伸入桶身内部的搅拌部件，桶盖上还开设注水口；桶身底部设置支腿并开设出液口；
所述储液箱包括箱体和箱盖，箱体底部开设排水口，箱盖上开设进液口和出药口；
搅拌桶通过注水口连通注水管，通过出液口连通出液管，出液管管路分开形成排水分管和进液分管，进液分管与储液箱的进液口连通，储液箱排水口连通排水分管，所有排水分管合并为排水管，出药管通过出药口连接储液箱并伸入至储液箱底部；
柜体上开设相对应的管孔和电线孔。
进一步地，所述搅拌部件由电机、扇叶杆和扇叶构成，电机安装在搅拌桶桶盖顶部中央，扇叶杆与电机连接并伸入搅拌桶内部，扇叶通过反旋螺纹与扇叶杆连接。
进一步地，所述柜体为长方体，设置为上下两层，搅拌桶置于上层，储液箱置于下层，柜体上安装计时器和启动开光，计时器与启动开关电连接，启动开关与电机电连接，柜体底部设置轮子，柜体顶部开设抽风孔，上层柜体侧面开设注水孔和电线孔，柜体中间隔板开设出液孔、排污孔和排水孔，下层柜体侧面开设出药孔和排水孔，柜体底部开设排污孔。
进一步地，所述搅拌桶为透明材质，桶身侧壁设置刻度标识。
进一步地，所述储液箱设置数量至少为两个，并连通相应数量的进液分管、出药管和排水分管。
进一步地，所述注水管、进液分管、排水分管上均设置阀门。
本实用新型的有益效果在于：搅拌桶通过电机带动实现搅拌过程的半自动化，通过柜体、搅拌桶、储液桶、管路以及其他附件相配合，实现晶片精抛所用两种抛光液的快速配制搅拌并分区单独存储，配制搅拌过程可通过计时器自动控制搅拌时长，与人工配制相比，避免配制过程的差异，保证抛光液配制工艺的一致性。搅拌桶和储液箱上下放置，搅拌完成后抛光液按照种类分装到不同的储液桶中，使用时便可快速根据需求选择相应种类的抛光液进行抽取，满足配制晶片精抛加工过程所用的多种抛光液，可更高效的实现抛光液配制和存储，避免出现抛光液配制不及时导致设备停工等待，且可以根据抛光液使用需求量调整配制量减少人力物力投入。此外，柜体顶端连接抽风管，防止搅拌过程中异味及粉末颗粒进入车间环境，保护车间环境的同时提高抛光液质量。
附图说明
图1为一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置的整体结构示意图。
图2为柜体结构示意图。
图3为柜体剖视图。
图4为搅拌桶结构示意图。
图5为储液箱结构示意图。
图6为管路结构示意图。
其中：1-柜体，11-计时器，12-启动开关，13-轮子，14-抽风孔，15-电线孔，16-注水孔，17-出液孔，18-出药孔，19-排水孔，110-排污孔，2-搅拌桶，21-桶身，22-桶盖，23-放料窗口，24-电机，25-扇叶杆，26-扇叶，27-注水口，28-出液口，3-储液箱，31-箱体，32-箱盖，33-进液口，34-出药口，35-排水口，41-注水管，42-出液管，43-进液分管，44-出药管，45-排水分管，46-阀门。
具体实施方式
实施例1：
如图1-6所示，一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，包括柜体1、搅拌桶2和储液箱3，柜体1分为上下两层，搅拌桶2置于柜体1上层，两个相同的储液箱3并列置于柜体1下层，柜体1、搅拌桶2和储液箱3的实际形状不受限制，本实施例中柜体1和储液箱3设置为长方体，搅拌桶2设置为圆柱体。
如图4所示，搅拌桶2包括桶身21、桶盖22和搅拌部件，桶盖22固定安装在桶身21顶部，桶盖22一侧通过合页开设放料窗口23。桶盖22中央安装贯穿桶盖22并伸入桶身21内部的搅拌部件，搅拌部件由电机24、扇叶杆25和扇叶26构成，电机24安装在桶盖22顶部中央，扇叶杆25与电机24连接并伸入桶身21内部，扇叶26通过反旋螺纹与扇叶杆25连接。桶盖22上还开设注水口27。桶身21底部设置支腿并开设出液口28。桶身21和桶盖22材质不受限制，本实施例中为透明亚克力材料，桶身21外壁设置有不同储量的刻度标识，可以直观的控制桶内加水量。
如图5所示，储液箱3包括箱体31和箱盖32，箱体31和箱盖32材质不受限制，本实施例中为透明亚克力材料，便于观察桶内抛光液余量。箱体31底部开设排水口35，箱盖32上开设进液口33和出药口34。
如图6所示，搅拌桶2通过注水口27连通注水管41为搅拌桶2注水，出液管42通过出液口28与搅拌桶2连通，出液管42管路分开形成一条排水分管45和两条进液分管43，两条进液分管43分别与两个储液箱3的进液口33连通，两个储液箱3的排水口35分别连通两条排水分管45，所有排水分管45合并为排水管，排水分管45用于将搅拌桶2和储液箱3中的废液以及清洗通过排水管排出装置，注水管41、进液分管43和排水分管45上均设置阀门。出药管44通过出药口34连接储液箱3并伸入至储液箱3底部，出药管44另一端连接蠕动蹦，储液箱3中的抛光液由蠕动泵通过出药管44抽取向精抛设备供液。
如图2和图3所示柜体1包括计时器11、启动开关12和轮子13，启动开关12安装在柜体1侧面，启动开关12与电机24电连接，计时器11安装在柜体1顶部，计时器11与启动开关12电连接，可实现启动后根据设定时间自动停止搅拌；轮子13安装在柜体1底部方便根据需要调整位置。柜体1顶部设置抽风孔14，用于连接抽风管道，防止异味及粉末颗粒进入车间环境或抛光液中。上层柜体1右侧开设电线孔15，用于穿过启动开关12与电机24电连接的电线；上层柜体1左侧开设注水孔16，用于穿过注水管41。柜体1中间隔板开设两个出液孔17，用于穿过连接两个储液箱3的进液分管43。下层柜体1左侧设置两个出药孔18，用于穿过两个储液箱3连接的出药管44。柜体1中间隔板和下层柜体1侧面分别开设一个排水孔19，用于穿过连接搅拌桶2和储液箱3的排水分管43。柜体1中间隔板和底部分别开设排污孔110，用于柜体内部洒落的药液、水渍等排出以及清洁排污。
本装置的使用过程是：首先区分精抛所需两种抛光液在储液箱3的存放位置，后续配制抛光液按照固定的储液箱3分别存放两种抛光液。按照配制量打开注水管41阀门向搅拌桶2中注入一定量去离子水，设置计时器11程序和时间，按下启动开关12，打开放料口23依次加入抛光药和抛光膏，搅拌完成后打开相应进液分管43阀门将抛光液放入对应储液箱3。配制另一种抛光液之前，打开注水管41阀门注入一定量去离子水冲洗搅拌桶2，然后打开与搅拌桶2连通的排水分管45阀门将水排空，按照配置量重新注入一定量的去离子水，重复之前步骤，搅拌完成打开另一个进液分管43的阀门将抛光液放入另一个储液箱3。储液箱3中的抛光液由蠕动泵通过出药管44抽取向精抛设备供液，抛光液用完后向储液箱3中注入去离子水冲洗干净防止残留抛光液结晶，清洗完成后打开与储液箱3连通的排水分管45阀门将水排空。
Claims (6)
1.一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，包括置于柜体中的搅拌桶和储液箱，其特征在于，所述搅拌桶包括桶身、桶盖和搅拌部件，桶盖固定安装在桶身顶部，桶盖一侧通过合页开设放料窗口，桶盖中央安装贯穿桶盖并伸入桶身内部的搅拌部件，桶盖上还开设注水口；桶身底部设置支腿并开设出液口；
所述储液箱包括箱体和箱盖，箱体底部开设排水口，箱盖上开设进液口和出药口；
搅拌桶通过注水口连通注水管，通过出液口连通出液管，出液管管路分开形成排水分管和进液分管，进液分管与储液箱的进液口连通，储液箱排水口连通排水分管，所有排水分管合并为排水管，出药管通过出药口连接储液箱并伸入至储液箱底部；
柜体上开设相对应的管孔和电线孔。
2.如权利要求1所述的一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，其特征在于所述搅拌部件由电机、扇叶杆和扇叶构成，电机安装在搅拌桶桶盖顶部中央，扇叶杆与电机连接并伸入搅拌桶内部，扇叶通过反旋螺纹与扇叶杆连接。
3.如权利要求1或权利要求2所述的一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，其特征在于所述柜体为长方体，设置为上下两层，搅拌桶置于上层，储液箱置于下层，柜体上安装计时器和启动开关，计时器与启动开关电连接，启动开关与电机连接，柜体底部设置轮子，柜体顶部开设抽风孔，上层柜体侧面开设注水孔和电线孔，柜体中间隔板开设出液孔、排污孔和排水孔，下层柜体侧面开设出药孔和排水孔，柜体底部开设排污孔。
4.如权利要求1所述的一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，其特征在于所述搅拌桶为透明材质，桶身侧壁设置刻度标识。
5.如权利要求1所述的一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，其特征在于所述储液箱设置数量至少为两个，并连通相应数量的进液分管、出药管和排水分管。
6.如权利要求1所述的一种磷化铟晶片精抛抛光液配制装置，其特征在于所述注水管、进液分管、排水分管上均设置阀门。
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