CN219897362U - 一种硅片清洗用过滤设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅片清洗用过滤设备，包括下固定筒和上固定筒，所述上固定筒的顶端固定设有进液管，所述下固定筒的底端固定设有出液管，所述出液管的内部固定安装有电磁阀，所述上固定筒与下固定筒之间设置有连接机构，所述上固定筒的内部等距固定设有多个滤网，所述下固定筒的顶部固定安装有锥形斗。本实用新型通过上固定筒内部套筒中安装的多个滤网和下固定筒内部安装的滤筒和和过滤棉，有效的提高硅片清洗液的过滤，通过安装的水检测传感器，对过滤的水进行检测是否合格，通过水泵将检测不合格水再次抽入至滤筒中过滤实现循环过滤，有效的确保硅片清洗液的过滤效果。

Description

一种硅片清洗用过滤设备

技术领域

本实用新型涉及过滤设备技术领域，特别涉及一种硅片清洗用过滤设备。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，微量污染也会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，目前采用的方式为超声波清洗，但是清洗后需要对清洗的污水进行处理。

根据专利号为“CN205340279U”公开了一种用于硅片清洗设备的过滤器，属于太阳电池制造设备技术领域，包括罩设于主槽体溢流口处的本体，该本体内形成连通溢流口的引水腔，本体的顶面和侧面上均设有连通引水腔的过滤孔，本体具有连接主槽体的底部，过滤器具有结构简单，容易实现，且过滤效果好，结构牢固，还能保持液体流通通畅的效果。

但是上述过滤器在过滤的过程中，容易造成过滤不充分现象，而且对过滤后的液体没有进行检测是否达到排放标准，容易影响清洗废水的处理效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗用过滤设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种硅片清洗用过滤设备，包括下固定筒和上固定筒，所述上固定筒的顶端固定设有进液管，所述下固定筒的底端固定设有出液管，所述出液管的内部固定安装有电磁阀，所述上固定筒与下固定筒之间设置有连接机构，所述上固定筒的内部等距固定设有多个滤网，所述下固定筒的顶部固定安装有锥形斗，所述锥形斗的底端固定安装有滤筒，所述滤筒的内部填充有过滤棉，所述滤筒的表面开设有均匀分布的通孔，多个所述通孔的内部均固定安装有金属网，所述下固定筒内壁一侧固定安装有水检测传感器，所述下固定筒内部的底端固定安装有水泵，所述水泵的出水端固定安装有固定管，所述固定管与锥形斗的顶部连通。

优选的，所述连接机构包括两个固定圈和多根固定螺栓，所述下固定筒的顶部和上固定筒的底部均固定设有固定圈，两个所述固定圈之间穿插连接有多根固定螺栓，多根所述固定螺栓的底部均螺纹连接有螺母。

优选的，两个所述固定圈之间垫设有密封垫圈。

优选的，所述上固定筒的内部开设有环形槽，所述环形槽的内部套设有套筒，所述滤网与套筒的内壁固定连接，所述套筒与环形槽之间螺纹连接有固定螺钉。

优选的，所述进液管与上固定筒的连接处和出液管与下固定筒的连接处均涂设有密封胶。

优选的，所述下固定筒的外壁固定安装有控制面板，水检测传感器、电磁阀和水泵均通过控制面板与外接电源电连接。

本实用新型的技术效果和优点：

1、通过上固定筒内部套筒中安装的多个滤网和下固定筒内部安装的滤筒和和过滤棉，有效的提高硅片清洗液的过滤效果。

2、通过安装的水检测传感器，对过滤的水进行检测是否合格，通过水泵将检测不合格水再次抽入至滤筒中过滤实现循环过滤，有效的确保硅片清洗液的过滤效果。

附图说明

图1为本实用新型一种硅片清洗用过滤设备的结构示意图。

图2为本实用新型一种硅片清洗用过滤设备的内部结构示意图。

图3为本实用新型一种硅片清洗用过滤设备的锥形斗俯视结构示意图。

图中：1、进液管；2、出液管；3、下固定筒；4、上固定筒；5、固定圈；6、固定螺栓；7、套筒；8、环形槽；9、滤网；10、固定螺钉；11、螺母；12、锥形斗；13、滤筒；14、金属网；15、水检测传感器；16、水泵；17、电磁阀；18、过滤棉。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供了如图1-3所示的一种硅片清洗用过滤设备，包括下固定筒3和上固定筒4，上固定筒4的顶端固定设有进液管1，下固定筒3的底端固定设有出液管2，出液管2的内部固定安装有电磁阀17，上固定筒4与下固定筒3之间设置有连接机构，上固定筒4的内部等距固定设有多个滤网9，下固定筒3的顶部固定安装有锥形斗12，锥形斗12的底端固定安装有滤筒13，滤筒13的内部填充有过滤棉18，滤筒13的表面开设有均匀分布的通孔，多个通孔的内部均固定安装有金属网14，通过滤网9和过滤棉18的配合，实现多级过滤；

下固定筒3内壁一侧固定安装有水检测传感器15，下固定筒3内部的底端固定安装有水泵16，水泵16的出水端固定安装有固定管，固定管与锥形斗12的顶部连通，通过水泵16和水检测传感器15的配合，实现循环过滤，提高过滤效果。

根据图1和图2所示，连接机构包括两个固定圈5和多根固定螺栓6，下固定筒3的顶部和上固定筒4的底部均固定设有固定圈5，两个固定圈5之间穿插连接有多根固定螺栓6，多根固定螺栓6的底部均螺纹连接有螺母11。

两个固定圈5之间垫设有密封垫圈，通过密封垫圈，确保连接处的密封性。

上固定筒4的内部开设有环形槽8，环形槽8的内部套设有套筒7，滤网9与套筒7的内壁固定连接，套筒7与环形槽8之间螺纹连接有固定螺钉10，通过套筒7的设置，并通过固定螺钉10固定，方便套筒7的拆卸。

进液管1与上固定筒4的连接处和出液管2与下固定筒3的连接处均涂设有密封胶，通过涂设的密封胶，确保连接处的密封性。

下固定筒3的外壁固定安装有控制面板，水检测传感器15、电磁阀17和水泵16均通过控制面板与外接电源电连接。

本实用新型工作原理：在使用该硅片清洗用过滤设备时，首先人为的将进液管1与硅片清洗设备的出水管连接，当清洗设备清洗的污水通过进液管1流入至上固定筒4的内部时，通过上固定筒4内部固定设有的滤网9对污水进行多级过滤，过滤的污水流入至下固定筒3，通过下固定筒3内部安装的滤筒13和过滤棉18进行过滤处理，通过滤筒13流出的水通过型号为“JXSBS-3001-SZY”水检测传感器15对水进行检测，检测不达标打开水泵16将水再次抽入至滤筒13内部进行过滤，当过滤达标时，打开电磁阀17，完成水的过滤。

本说明书中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

Claims (6)

1.一种硅片清洗用过滤设备，包括下固定筒(3)和上固定筒(4)，其特征在于，所述上固定筒(4)的顶端固定设有进液管(1)，所述下固定筒(3)的底端固定设有出液管(2)，所述出液管(2)的内部固定安装有电磁阀(17)，所述上固定筒(4)与下固定筒(3)之间设置有连接机构，所述上固定筒(4)的内部等距固定设有多个滤网(9)，所述下固定筒(3)的顶部固定安装有锥形斗(12)，所述锥形斗(12)的底端固定安装有滤筒(13)，所述滤筒(13)的内部填充有过滤棉(18)，所述滤筒(13)的表面开设有均匀分布的通孔，多个所述通孔的内部均固定安装有金属网(14)，所述下固定筒(3)内壁一侧固定安装有水检测传感器(15)，所述下固定筒(3)内部的底端固定安装有水泵(16)，所述水泵(16)的出水端固定安装有固定管，所述固定管与锥形斗(12)的顶部连通。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用过滤设备，其特征在于，所述连接机构包括两个固定圈(5)和多根固定螺栓(6)，所述下固定筒(3)的顶部和上固定筒(4)的底部均固定设有固定圈(5)，两个所述固定圈(5)之间穿插连接有多根固定螺栓(6)，多根所述固定螺栓(6)的底部均螺纹连接有螺母(11)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗用过滤设备，其特征在于，两个所述固定圈(5)之间垫设有密封垫圈。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用过滤设备，其特征在于，所述上固定筒(4)的内部开设有环形槽(8)，所述环形槽(8)的内部套设有套筒(7)，所述滤网(9)与套筒(7)的内壁固定连接，所述套筒(7)与环形槽(8)之间螺纹连接有固定螺钉(10)。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用过滤设备，其特征在于，所述进液管(1)与上固定筒(4)的连接处和出液管(2)与下固定筒(3)的连接处均涂设有密封胶。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗用过滤设备，其特征在于，所述下固定筒(3)的外壁固定安装有控制面板，水检测传感器(15)、电磁阀(17)和水泵(16)均通过控制面板与外接电源电连接。