CN219871235U - 一种真空吸附材料的测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空吸附材料的测试装置，其包括：第一支撑座、左壳体、制冷机、第二支撑座、右壳体以及样品室。左壳体设置于第一支撑座，左壳体设置有开口朝右的左容置腔。制冷机设置于左壳体，制冷机设置有冷头，冷头位于左容置腔。右壳体设置于第二支撑座，右壳体设置有开口朝左的右容置腔，所右壳体设置有连接通道。样品室设置有样品腔，样品室位于右容置腔，样品室的一端与右壳体连接并且样品腔的一端与连接通道连通，样品腔配置为能被打开和关闭。左壳体和右壳体能够相互左右对接以及相互分开，左壳体和右壳体相互对接时，左容置腔和右容置腔围合形成降温腔室。上述的测试装置，具有取放样品方便，检修方便的优点。

Description

一种真空吸附材料的测试装置

技术领域

本实用新型涉及实验测试设备，特别涉及一种真空吸附材料的测试装置。

背景技术

在低温高真空领域，吸附材料吸气性能的研究具有重要意义，特别是对于低温泵而言。不同的吸附材料和吸附材料特性的改变，都会直接影响到低温泵抽速和抽气容量的变化，所以选择最优的吸附材料，可以提升低温泵性能。现有的一些对真空吸附材料进行测试的装置，一般包括一个用于容置样品的样品室以及对样品室进行冷却降温的制冷机，样品室通过连接通道与外部设备连通，从而可以通过连接通道给样品室抽真空以及释放测试气体，为了进行保温，样品室外侧一般还设置有用于保温的壳体。现有的上述测试装置，取放样品以及检修时不够方便。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种真空吸附材料的测试装置，取放样品方便，检修方便。

根据本实用新型的实施例的一种真空吸附材料的测试装置，其包括：第一支撑座；左壳体，设置于所述第一支撑座，所述左壳体设置有开口朝右的左容置腔；制冷机，设置于所述左壳体，所述制冷机设置有冷头，所述冷头位于所述左容置腔；第二支撑座；右壳体，设置于所述第二支撑座，所述右壳体设置有开口朝左的右容置腔，所右壳体设置有连接通道；样品室，设置有样品腔，所述样品室位于所述右容置腔，所述样品室的一端与所述右壳体连接并且所述样品腔的一端与所述连接通道连通，所述样品腔配置为能被打开和关闭；其中，所述左壳体和所述右壳体能够相互左右对接以及相互分开，所述左壳体和所述右壳体相互对接时，所述左容置腔的开口周缘和所述右容置腔的开口周缘抵接，并且所述左容置腔和所述右容置腔围合形成降温腔室。

根据本实用新型实施例的一种真空吸附材料的测试装置，至少具有如下有益效果：进行真空吸附材料的测试时，打开样品腔，将样品置入样品腔而后关闭样品腔，然后使左壳体和右壳体对接在一起，从而所述左容置腔和所述右容置腔围合形成降温腔室，此时可以启动制冷机来获得需要的测试温度，通过连接通道可以对样品腔进行抽真空以及往样品腔放入测试气体。测试完成后，可以直接使左壳体和右壳体分开，从而打开降温腔室，此时可以打开样品腔来取出测试样品。上述的测试装置，降温腔室由所述左壳体和所述右壳体围合形成，放、取样品时，可以直接对接或分开左壳体和右壳体来完成，操作十分方便，分开左壳体和右壳体时，内部结构也可以外露，便于对其内部进行检修。

根据本实用新型的一些实施例，所述制冷机为GM制冷机。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一支撑座或/和所述第二支撑座的下部设置有行走轮。

根据本实用新型的一些实施例，所述左壳体或/和所述右壳体配置为能上下调节位置。

根据本实用新型的一些实施例，所述样品室的另一端可拆卸地设置有端盖，所述端盖用于打开或关闭所述样品腔。

根据本实用新型的一些实施例，所述左容置腔内设置有左屏蔽罩，所述左屏蔽罩设置有开口朝右的左保温腔，所述冷头插设于所述左保温腔，所述右容置腔内设置有右屏蔽罩，所述右屏蔽罩设置有开口朝左的右保温腔，所述样品室位于所述右保温腔，所述左壳体和所述右壳体对接时，所述左保温腔的开口周缘和所述右保温腔的开口周缘抵接，所述左保温腔和所述右保温腔围合形成保温腔室。

根据本实用新型的一些实施例，所述左屏蔽罩和所述右屏蔽罩的外壁镀镍而内壁喷涂有黑漆；所述制冷机的冷头包括一级冷头和二级冷头，所述左屏蔽罩与所述一级冷头连接，所述二级冷头容置于所述左保温腔。

根据本实用新型的一些实施例，所述左容置腔的开口周缘或/和所述右容置腔的开口周缘设置有密封圈。

根据本实用新型的一些实施例，所述样品室和所述制冷机的所述冷头之间连接有柔性的冷桥。

根据本实用新型的一些实施例，所述冷头和所述样品室在左右方向上相互错开设置，所述左壳体和所述右壳体对接时，所述样品室位于所述冷头沿上下方向的一侧。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本实用新型实施例的立体示意图；

图2为本实用新型实施例的左壳体和右壳体对接后的立体示意图；

图3为图1所示结构的剖视图；

图4为图2所示结构的剖视图。

附图标记：

第一支撑座100；

左壳体200，左容置腔210；

制冷机300，一级冷头311，二级冷头312；

第二支撑座400；

右壳体500，右容置腔510，连接通道520；

样品室600，样品腔610，端盖620；

左屏蔽罩700，左保温腔710；

右屏蔽罩800，右保温腔810；

冷桥900。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

参照图1至图4，一种真空吸附材料的测试装置，其包括：第一支撑座100、左壳体200、制冷机300、第二支撑座400、右壳体500以及样品室600。左壳体200设置于第一支撑座100，左壳体200设置有开口朝右的左容置腔210。制冷机300设置于左壳体200，制冷机300设置有冷头，冷头位于左容置腔210。右壳体500设置于第二支撑座400，右壳体500设置有开口朝左的右容置腔510，所右壳体500设置有连接通道520。样品室600设置有样品腔610，样品室600位于右容置腔510，样品室600的一端与右壳体500连接并且样品腔610的一端与连接通道520连通，样品腔610配置为能被打开和关闭。其中，左壳体200和右壳体500能够相互左右对接以及相互分开，左壳体200和右壳体500相互对接时，左容置腔210的开口周缘和右容置腔510的开口周缘抵接，并且左容置腔210和右容置腔510围合形成降温腔室。

进行真空吸附材料的测试时，打开样品腔610，将样品置入样品腔610而后关闭样品腔610，然后使左壳体200和右壳体500对接在一起，从而左容置腔210和右容置腔510围合形成降温腔室，此时可以启动制冷机300来获得需要的测试温度，通过连接通道520可以对样品腔610进行抽真空以及往样品腔610放入测试气体。测试完成后，可以直接使左壳体200和右壳体500分开，从而打开降温腔室，此时可以打开样品腔610来取出测试样品。上述的测试装置，降温腔室由左壳体200和右壳体500围合形成，放、取样品时，可以直接对接或分开左壳体200和右壳体500来完成，操作十分方便，分开左壳体200和右壳体500时，内部结构也可以外露，便于对其内部进行检修。

在实施例中，左壳体200和右壳体500具体为带有法兰的壳体结构，右壳体500可以通过焊接接管来形成连接通道520，接管的两端可以设置法兰，从而方便连接样品室600以及对外连接。

在实施例中，制冷机300为GM制冷机。采用GM制冷机具有如下的优势：GM制冷机具有更加低的极限底温，一级冷头311能够达到50K左右，二级冷头312能够达到10K左右温度，相比于用液氮罐和其它方法提供的低温环境，引入GM制冷机低温泵来提供测试所需低温环境，极大的拓宽的低温下限；而且GM制冷机具有更加大的冷量，大冷量的低温环境使得温度波动很小，测试的误差小；GM制冷机可以通过加热来调节温度，可以覆盖超低温到常温的区间，从而可以在大范围的温度连接变化区间内进行真空吸附材料的测试工作，测试数据全面完整。当然，可以想象的是，在另一些实施例中，制冷机300也不限于采用GM制冷机，本领域技术人员也可以根据实际情况选择合适类型的制冷机300。

在实施例中，第一支撑座100的下部设置有行走轮。通过行走轮，架体可以进行移动，从而可以实现左壳体200和右壳体500的对接和分开。可以想象的是，行走轮不仅可以设置于第一支撑座100，其也可以设置于第二支撑座400，或者第一支撑座100和第二支撑座400均设置行走轮。当然，可以想象的是，不限于通过给第一支撑座100或/和第二支撑座400设置行走轮来实现左壳体200和右壳体500的对接和分开，例如使得左壳体200沿左右方向可移动地设置于第一支撑座100，需要对接或分开左壳体200和右壳体500时，推动左壳体200在第一支撑座100上左右移动即可；或者类似的，使得右壳体500沿左右方向可移动地设置于第二支撑座400，或者左壳体200和右壳体500均沿左右方向可移动地设置于第一支撑座100和第二支撑座400。

在实施例中，左壳体200配置为能上下调节位置，从而可以通过上下调整壳体位置来使得左壳体200和右壳体500能相互对准，保证左壳体200和右壳体500的对接准确度，减少冷量泄露。可以想象的是，不限于将左壳体200配置为可上下调节位置，也可以将右壳体500配置为可上下调节位置，或者将左壳体200和右壳体500同时配置为可上下调节位置。在实施例中，具体可以在支撑座设置升降机构，升降机构例如是手动丝杆滑台，通过将对应壳体连接于手动丝杆滑台的动作部分，从而可以实现壳体的上下调节位置。当然，可以想象的是，也可以在座体和壳体上对应设置竖向延伸的条孔以及螺孔，条孔中穿设螺钉，螺钉螺纹连接于螺孔，螺钉紧固时可以将壳体锁付于座体，而放松螺钉时，螺钉可以沿条孔调整上下位置，重新紧固螺钉时可以在新的上下位置固定壳体，从而实现壳体的上下位置调节。可以理解的是，本领域中，实现构件的上下位置调节有很多的实施方式，本领域技术人员可以根据实际情况进行配置。

在实施例中，样品室600的另一端可拆卸地设置有端盖620，端盖620用于打开或关闭样品腔610，从而可以通过打开端盖620来打开样品腔610以及安装端盖620来封闭样品腔610，以进行放取样品。当然，可以想象的是，不限于采用上述的结构来使得样品腔610能够被打开和关闭，例如可以将样品室600的一端可拆卸地设置于右壳体500，并且样品室600的该端拆卸后具有开口，从而可以放取样品，放取样品后重新将样品室600安装于右壳体500。可以想象的是，将腔体设置为可打开和关闭的结构有很多的实施方式，本领域技术人员具体可以根据实际情况进行配置。

在实施例中，样品室600包括玻璃室本体，玻璃室本体的端部开口，端盖620封盖于玻璃室本体的端部开口。端盖620具体可以通过卡接、螺纹紧固件连接以及插接等等的方式连接于玻璃室本体，从而可以实现可拆卸。

在实施例中，左容置腔210内设置有左屏蔽罩700，左屏蔽罩700设置有开口朝右的左保温腔710，冷头插设于左保温腔710，右容置腔510内设置有右屏蔽罩800，右屏蔽罩800设置有开口朝左的右保温腔810，样品室600位于右保温腔810，左壳体200和右壳体500对接时，左保温腔710的开口周缘和右保温腔810的开口周缘抵接，左保温腔710和右保温腔810围合形成保温腔室。通过设置左屏蔽罩700和右屏蔽罩800，可以进一步增强保温性能，减少冷量损失。

在实施例中，左屏蔽罩700和右屏蔽罩800的外壁镀镍而内壁喷涂有黑漆，从而具有更好的保温性能。具体的，屏蔽罩的外壁镀镍层可以通过磁控溅射工艺形成，而内壁喷涂的黑漆具体可以采用NEXTEL velvet的超低温黑漆。制冷机300的冷头包括一级冷头311和二级冷头312，左屏蔽罩700与一级冷头311连接，二级冷头312容置于左保温腔710。采用上述的结构，一级冷头311直接对屏蔽罩进行降温，二级冷头312对保温腔室进行降温，降温保温效果较好。

在实施例中，左容置腔210的开口周缘或/和右容置腔510的开口周缘设置有密封圈，从而在左壳体200和右壳体500相互对接时具有更好的密封性。

在实施例中，样品室600和制冷机300的冷头之间连接有柔性的冷桥900，从而可以加快样品室600的温度变化，以快速达到测试温度；冷桥900具体采用柔性材质制造，不影响左壳体200和右壳体500的对接和分离。在实施例中，冷桥900具体可以通过银或铜来制造，从而获得较好的冷量传递效果。

在实施例中，冷头和样品室600在左右方向上相互错开设置，左壳体200和右壳体500对接时，样品室600位于冷头沿上下方向的一侧。采用上述的结构，冷头的冷量可以更加快速、充分地传递给样品室600。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所述技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (10)

1.一种真空吸附材料的测试装置，其特征在于，包括：

第一支撑座(100)；

左壳体(200)，设置于所述第一支撑座(100)，所述左壳体(200)设置有开口朝右的左容置腔(210)；

制冷机(300)，设置于所述左壳体(200)，所述制冷机(300)设置有冷头，所述冷头位于所述左容置腔(210)；

第二支撑座(400)；

右壳体(500)，设置于所述第二支撑座(400)，所述右壳体(500)设置有开口朝左的右容置腔(510)，所右壳体(500)设置有连接通道(520)；

样品室(600)，设置有样品腔(610)，所述样品室(600)位于所述右容置腔(510)，所述样品室(600)的一端与所述右壳体(500)连接并且所述样品腔(610)的一端与所述连接通道(520)连通，所述样品腔(610)配置为能被打开和关闭；

其中，所述左壳体(200)和所述右壳体(500)能够相互左右对接以及相互分开，所述左壳体(200)和所述右壳体(500)相互对接时，所述左容置腔(210)的开口周缘和所述右容置腔(510)的开口周缘抵接，并且所述左容置腔(210)和所述右容置腔(510)围合形成降温腔室。

2.根据权利要求1所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述制冷机(300)为GM制冷机。

3.根据权利要求1所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述第一支撑座(100)或/和所述第二支撑座(400)的下部设置有行走轮。

4.根据权利要求1或3所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述左壳体(200)或/和所述右壳体(500)配置为能上下调节位置。

5.根据权利要求1所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述样品室(600)的另一端可拆卸地设置有端盖(620)，所述端盖(620)用于打开或关闭所述样品腔(610)。

6.根据权利要求1所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述左容置腔(210)内设置有左屏蔽罩(700)，所述左屏蔽罩(700)设置有开口朝右的左保温腔(710)，所述冷头插设于所述左保温腔(710)，所述右容置腔(510)内设置有右屏蔽罩(800)，所述右屏蔽罩(800)设置有开口朝左的右保温腔(810)，所述样品室(600)位于所述右保温腔(810)，所述左壳体(200)和所述右壳体(500)对接时，所述左保温腔(710)的开口周缘和所述右保温腔(810)的开口周缘抵接，所述左保温腔(710)和所述右保温腔(810)围合形成保温腔室。

7.根据权利要求6所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述左屏蔽罩(700)和所述右屏蔽罩(800)的外壁镀镍而内壁喷涂有黑漆；所述制冷机(300)的冷头包括一级冷头(311)和二级冷头(312)，所述左屏蔽罩(700)与所述一级冷头(311)连接，所述二级冷头(312)容置于所述左保温腔(710)。

8.根据权利要求1所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述左容置腔(210)的开口周缘或/和所述右容置腔(510)的开口周缘设置有密封圈。

9.根据权利要求1所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述样品室(600)和所述制冷机(300)的所述冷头之间连接有柔性的冷桥(900)。

10.根据权利要求1所述的真空吸附材料的测试装置，其特征在于：所述冷头和所述样品室(600)在左右方向上相互错开设置，所述左壳体(200)和所述右壳体(500)对接时，所述样品室(600)位于所述冷头沿上下方向的一侧。