CN219867841U - 一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，第一凝液罐和第二凝液罐的出口均与排污罐的进口相连，排污罐具有氮气充压管道，第一凝液罐和第二凝液罐均设置有电导率检测探头，检测装置、第一阀门、第二阀门、第三阀门、第四阀门、第五阀门和第六阀门均与控制装置电连接。能够自动完成多个蒸汽循环系统的换水排污操作，每个蒸汽循环系统均只需设置一个凝液罐，避免造成蒸汽循环系统的建造成本较大，且能够在该蒸汽循环系统正常运行的情况下完成整个蒸汽循环系统的换水排污操作，从而提高蒸汽循环系统的换水排污效果，同时，通过检测装置实时进行检测凝液的电导率，防止因定期换水排污而导致两次换水排污之间凝液存在含污指标超标的情况。

Description

一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统

技术领域

本申请涉及多晶硅生产技术领域，特别是涉及一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统。

背景技术

多晶硅生产是一个高耗能的产业，如何改进工艺降低生产成本则成为各企业是否可持续发展的重点。

多晶硅生产过程中需要用到多级（不同压力）的饱和蒸汽，这些多级饱和蒸汽在使用后直接排空，造成水资源的浪费，为了减少水资源浪费，降低生产成本，多晶硅生产企业开始采取各种方法对这些使用后的多级饱和蒸汽进行回收再利用，目前多晶硅生产过程中饱和蒸汽回收处理主要采取以下方法：每种压力的饱和蒸汽均具有一个独立的蒸汽循环系统，且每个蒸汽循环系统均具有与之压力对应的凝液罐，在每个蒸汽循环系统中，饱和蒸汽在使用后通入到该蒸汽循环系统的凝液罐中，对凝液罐中的凝液重新加热产生饱和蒸汽，如此实现凝液循环，从而通过凝液罐回收使用后的蒸汽，避免水资源浪费。

但是，在蒸汽循环系统中凝液的含污指标超标时，蒸汽循环系统需要换水排污，现有技术中，为了避免在换水排污时蒸汽循环系统出现卸压的情况，每个蒸汽循环系统需要设置两个凝液罐，这两个凝液罐一排（停）一用，换水排污结束后的凝液罐进行补压，以与蒸汽循环系统的压力匹配，这样设置两个凝液罐的方式势必造成蒸汽循环系统的建造成本较大，且此种排污方式仅能够实现凝液罐的换水排污，并不能实现整个蒸汽循环系统的换水排污，即使完成一次换水排污后，蒸汽循环系统中凝液的含污指标可能还是超标，导致蒸汽循环系统的每次换水排污效果差。同时，蒸汽循环系统目前定期换水排污，两次换水排污之间，存在蒸汽循环系统中凝液的含污指标超标的情况，含污指标超标的凝液将严重影响蒸汽循环系统的稳定性和可靠性，且会影响换热效率。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的技术中，每个蒸汽循环系统通过两个凝液罐一排一用的方法定期进行换水排污，导致蒸汽循环系统的建造成本较大，且仅能够实现凝液罐的换水排污，并不能实现整个蒸汽循环系统的换水排污，导致每次换水排污效果差，同时两次换水排污之间，存在蒸汽循环系统中凝液的含污指标超标的问题。提供一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，能够解决现有技术中的上述问题。

一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，包括压力不同的第一凝液罐和第二凝液罐、排污罐、检测装置以及控制装置，所述第一凝液罐的出口、补水进口分别设置有第一阀门和第二阀门，所述第二凝液罐的出口、补水进口分别设置有第三阀门和第四阀门，且所述第一凝液罐和所述第二凝液罐的出口均与所述排污罐的进口相连，所述排污罐具有氮气充压管道，所述排污罐的出口、所述氮气充压管道分别设置有第五阀门和第六阀门，所述检测装置具有至少两个电导率检测探头，且所述第一凝液罐和所述第二凝液罐均设置有所述电导率检测探头，所述检测装置、所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门、所述第四阀门、所述第五阀门和所述第六阀门均与所述控制装置电连接。

优选地，上述一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，所述检测装置具有至少两个液位检测探头，所述第一凝液罐和所述第二凝液罐均设置有所述液位检测探头，所述第二凝液罐的压力大于所述第一凝液罐的压力，所述第一凝液罐的补水进口连接有脱盐水管道，所述第二凝液罐的补水进口与所述第一凝液罐的补水出口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，还包括压力大于所述第二凝液罐的第三凝液罐，所述第三凝液罐的出口、补水进口分别设置有第七阀门和第八阀门，所述第七阀门和所述第八阀门均与所述控制装置电连接，所述第三凝液罐中均设置有所述电导率检测探头和所述液位检测探头，所述第三凝液罐的出口与所述排污罐的进口相连，所述第三凝液罐的补水进口与所述第二凝液罐的补水出口相连。

优选地，上述一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，所述第一凝液罐为2公斤凝液罐，所述第二凝液罐为4公斤凝液罐，所述第三凝液罐为10公斤凝液罐。

优选地，上述一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，还包括废水处理系统，所述废水处理系统的进口与所述排污罐的出口相连，所述废水处理系统的出口与所述脱盐水管道相连。

优选地，上述一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门和所述第四阀门均为流量调节阀。

优选地，上述一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，所述第一凝液罐和所述第二凝液罐均为不锈钢凝液罐。

优选地，上述一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，所述第一凝液罐和所述第二凝液罐的补水进口均设置有高温补水泵。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本申请实施例公开的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，通过控制装置、检测装置、第一凝液罐、排污罐及相应的阀门便可以自动实现一个蒸汽循环系统的自动换水排污操作，第二凝液罐换水排污的操作过程亦然，以使能够自动完成多个蒸汽循环系统的换水排污操作，每个蒸汽循环系统均只需设置一个凝液罐，无需设置两个凝液罐，避免造成蒸汽循环系统的建造成本较大，且能够在该蒸汽循环系统正常运行的情况下完成整个蒸汽循环系统的换水排污操作，而不只是仅仅完成凝液罐的换水排污，由于直至电导率检测探头检测第一凝液罐中凝液的电导率小于预设值时才说明第一蒸汽循环系统换水排污完成，即完成一次换水排污后，蒸汽循环系统中凝液的含污指标不会出现超标的情况，从而提高蒸汽循环系统的换水排污效果，避免蒸汽循环系统的每次换水排污效果差，同时，通过检测装置实时进行检测凝液的电导率，在凝液的电导率大于预设值时，进行换水排污，而不是定期换水排污，防止因定期换水排污而导致两次换水排污之间蒸汽循环系统中凝液存在含污指标超标的情况，避免影响蒸汽循环系统的稳定性和可靠性及影响换热效率，提高多晶硅生产过程中各系统、设备、管道的稳定性、安全性和可靠性。

附图说明

图1为本申请实施例公开的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统的部分示意图，图中虚线表示检测信号线；

图2为本申请实施例公开的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统的部分示意图，图中虚线表示检测信号线。

其中：第一凝液罐110、第一阀门111、第二阀门112、脱盐水管道113、第二凝液罐120、第三阀门121、第四阀门122、排污罐130、氮气充压管道131、第五阀门132、第六阀门133、第三凝液罐140、第七阀门141、第八阀门142、检测装置210、控制装置220、废水处理系统300。

具体实施方式

为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳实施方式。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本申请的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“顶部”、“底部”、“底端”、“顶端”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“和／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

请参考并结合图1至图2，本申请实施例公开一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，包括压力不同的第一凝液罐110和第二凝液罐120、排污罐130、检测装置210以及控制装置220，其中：

压力不同的第一凝液罐110和第二凝液罐120分别为两个蒸汽循环系统的凝液罐，即第一凝液罐110为第一蒸汽循环系统的凝液罐，第二凝液罐120为第二蒸汽循环系统的凝液罐，且这两个蒸汽循环系统所产生的蒸汽压力不同，例如，第一蒸汽循环系统可以为2公斤压力饱和蒸汽循环系统，第二蒸汽循环系统可以为4公斤压力饱和蒸汽循环系统。第一凝液罐110的出口、补水进口分别设置有第一阀门111和第二阀门112，第一阀门111和第二阀门112为电动阀，通过控制第一阀门111的开闭，实现控制第一凝液罐110出口的导通与关闭，在第一凝液罐110的出口导通时，即第一阀门111开启时，第一蒸汽循环系统进行换水排污。第一蒸汽循环系统在使用过程中凝液会有损耗，凝液的量逐渐降低，需要通过第一凝液罐110的补水进口进行补充，并且在第一蒸汽循环系统进行换水排污时，第一蒸汽循环系统中的凝液不断排出，为了避免影响第一蒸汽循环系统在换水排污时的正常使用，需要通过补水进口进行补充，因此，通过控制第二阀门112的开闭，实现控制第一凝液罐110补水进口的导通与关闭，在第一凝液罐110的补水进口导通时，即第二阀门112开启时，第一凝液罐110进行补水。

第二凝液罐120的出口、补水进口分别设置有第三阀门121和第四阀门122，第三阀门121和第四阀门122为电动阀，通过控制第三阀门121的开闭，实现控制第二凝液罐120出口的导通与关闭，在第二凝液罐120的出口导通时，即第三阀门121开启时，第二蒸汽循环系统进行换水排污。第二蒸汽循环系统在使用过程中凝液会有损耗，凝液的量逐渐降低，需要通过第二凝液罐120的补水进口进行补充，并且在第二蒸汽循环系统进行换水排污时，第二蒸汽循环系统中的凝液不断排出，为了避免影响第二蒸汽循环系统在换水排污时的正常使用，需要通过补水进口进行补充，因此，通过控制第四阀门122的开闭，实现控制第二凝液罐120补水进口的导通与关闭，在第二凝液罐120的补水进口导通时，即第四阀门122开启时，第二凝液罐120进行补水。

第一凝液罐110和第二凝液罐120的出口均与排污罐130的进口相连，在第一凝液罐110或第二凝液罐120进行排污时，第一凝液罐110或第二凝液罐120中排出的凝液通入到排污罐130中。排污罐130具有氮气充压管道131，排污罐130的出口、氮气充压管道131分别设置有第五阀门132和第六阀门133，第五阀门132和第六阀门133为电动阀，通过控制第五阀门132的开闭，实现控制排污罐130出口的导通与关闭，在排污罐130的出口导通时，即第五阀门132开启时，从第一凝液罐110和第二凝液罐120排入到排污罐130中的凝液通过出口排出。通过控制第六阀门133的开闭，实现控制氮气充压管道131的导通与关闭，在氮气充压管道131导通时，即第六阀门133开启时，通过氮气充压管道131向排污罐130中通入氮气，进行排污罐130的增压。

当第一蒸汽循环系统或第二蒸汽循环系统需要换水排污时，由于第一凝液罐110或第二凝液罐120中具有一定的压力，如果直接打开其出口进行换水排污，势必会造成该蒸汽循环系统出现卸压的情况，因此，在该蒸汽循环系统需要换水排污时，首先需要关闭第五阀门132，打开第六阀门133，通过氮气充压管道131向排污罐130中通入氮气，以将排污罐130中的压力增加至与该蒸汽循环系统的压力匹配，然后关闭第六阀门133，打开第一阀门111、第二阀门112，或者，打开第三阀门121和第四阀门122，一边进行换水排污的同时进行补水。

需要说明的是，蒸汽循环系统的换水排污中的排污并不是传统意义上的排出污泥，而是凝液在管道中循环流动的过程中，凝液中的导电离子会逐渐增多，导致凝液的电导率上升，若继续使用导电离子较多的凝液，存在电化学腐蚀的风险，且部分凝液用于冷却还原炉的炉壳、底盘或电极。若凝液中导电离子较多的话，则会影响还原炉的绝缘安全性，因此，在凝液中导电离子较多时需要进行换水排污，这里的排污不是传统意义上的排出污泥，而是排出导电离子。所以，检测装置210具有至少两个电导率检测探头，且第一凝液罐110和第二凝液罐120均设置有电导率检测探头，通过电导率检测探头检测第一凝液罐110和第二凝液罐120中凝液的电导率，凝液的电导率能够反映出凝液中的导电离子含量，当凝液中的导电离子含量增大时，凝液的电导率也相应增大。当凝液的电导率大于预设值时，说明凝液中的导电离子含量超标，需要进行换水排污。

检测装置210、第一阀门111、第二阀门112、第三阀门121、第四阀门122、第五阀门132和第六阀门133均与控制装置220电连接，控制装置220根据检测装置210反馈的检测值，自动控制相应的阀门开闭，进行第一凝液罐110和第二凝液罐120换水排污，

在具体的使用过程中，当电导率检测探头检测第一凝液罐110中凝液的电导率大于预设值时，说明第一蒸汽循环系统中凝液的导电离子含量超标，需要进行换水排污，此时控制装置220首先控制第六阀门133打开，通过氮气充压管道131向排污罐130中通入氮气，以将排污罐130中的压力增加至与第一蒸汽循环系统的压力匹配，然后控制第六阀门133关闭，控制第一阀门111和第二阀门112均打开，一边进行换水排污的同时进行补水，直至电导率检测探头检测第一凝液罐110中凝液的电导率小于预设值，此时说明第一蒸汽循环系统换水排污完成，此时控制第一阀门111和第二阀门112均关闭，打开第五阀门132，从第一凝液罐110排入到排污罐130中的凝液排出，且由于排污罐130具有一定的压力，能够迫使排污罐130中的凝液快速排出，提高效率。第二凝液罐120换水排污的过程亦然。需要进行说明的是，正常运行过程中，上述阀门均处于关闭状态。

本申请实施例公开的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统中，通过控制装置220、检测装置210、第一凝液罐110、排污罐130及相应的阀门便可以自动实现一个蒸汽循环系统的自动换水排污操作，第二凝液罐120换水排污的操作过程亦然，以使能够自动完成多个蒸汽循环系统的换水排污操作，每个蒸汽循环系统均只需设置一个凝液罐，无需设置两个凝液罐，避免造成蒸汽循环系统的建造成本较大，且能够在该蒸汽循环系统正常运行的情况下完成整个蒸汽循环系统的换水排污操作，而不只是仅仅完成凝液罐的换水排污，由于直至电导率检测探头检测第一凝液罐110中凝液的电导率小于预设值时才说明第一蒸汽循环系统换水排污完成，即完成一次换水排污后，蒸汽循环系统中凝液的含污指标不会出现超标的情况，从而提高蒸汽循环系统的换水排污效果，避免蒸汽循环系统的每次换水排污效果差，同时，通过检测装置210实时进行检测凝液的电导率，在凝液的电导率大于预设值时，进行换水排污，而不是定期换水排污，防止因定期换水排污而导致两次换水排污之间蒸汽循环系统中凝液存在含污指标超标的情况，避免影响蒸汽循环系统的稳定性和可靠性及影响换热效率，提高多晶硅生产过程中各系统、设备、管道的稳定性、安全性和可靠性。

如上文所述，第一蒸汽循环系统在使用过程中凝液会有损耗，凝液的量逐渐降低，需要通过第一凝液罐110的补水进口进行补充，第二蒸汽循环系统在使用过程中凝液会有损耗，凝液的量逐渐降低，需要通过第二凝液罐120的补水进口进行补充，这时第一蒸汽循环系统和第二蒸汽循环系统进行补水与换水排污为单独的操作，因此需要单独操作进行补水。基于此，可选地，检测装置210具有至少两个液位检测探头，第一凝液罐110和第二凝液罐120均设置有液位检测探头，第二凝液罐120的压力大于第一凝液罐110的压力，第一凝液罐110的补水进口连接有脱盐水管道113，第二凝液罐120的补水进口与第一凝液罐110的补水出口相连。通过检测第一凝液罐110和第二凝液罐120中凝液的液位，在凝液的液位低于标准值是进行补水，同时，由于第二凝液罐120的压力大于第一凝液罐110的压力，第一凝液罐110通过脱盐水直接进行补水，而第二凝液罐120通过第一凝液罐110中的凝液进行补水，这样能够实现梯级补水，实现凝液压力的梯级增大，避免第二凝液罐120通过脱盐水补水时增压困难而导致补水困难，提高补水速度及效率。

作为优选，本申请公开的系统还可以包括压力大于第二凝液罐120的第三凝液罐140，第三凝液罐140的出口、补水进口分别设置有第七阀门141和第八阀门142，第七阀门141和第八阀门142为电动阀，第七阀门141和第八阀门142均与控制装置220电连接，第三凝液罐140中均设置有电导率检测探头和液位检测探头，第三凝液罐140的出口与排污罐130的进口相连，第三凝液罐140的补水进口与第二凝液罐120的补水出口相连。本方案旨在揭示三个压力递增的蒸汽循环系统如何进行布局连接设计，即如何进行补水设计，所揭示的补水设计是：压力最小的蒸汽循环系统通过脱盐水补水，然后逐级进行补水。也就是第三凝液罐140的补水进口与第二凝液罐120的补水出口相连，而不是通过脱盐水或第一凝液罐110中的凝液进行补水，实现梯级补水，避免第三凝液罐140通过脱盐水或第一凝液罐110中的凝液进行补水时增压困难而导致补水困难，提高补水速度及效率。

多晶硅生产过程中常用的饱和蒸汽为2公斤、4公斤和10公斤饱和蒸汽，故第一凝液罐110为2公斤凝液罐，第二凝液罐120为4公斤凝液罐，第三凝液罐140为10公斤凝液罐，以符合多晶硅生产实际需求。

作为优选，本申请公开的系统还可以包括废水处理系统300，废水处理系统300的进口与排污罐130的出口相连，废水处理系统300的出口与脱盐水管道113相连，通过废水处理系统300将换水排污排出至排污罐130中的凝液进行净化处理，再将净化后的凝液通过脱盐水管道113补充到蒸汽循环系统中，而不是将换水排污排出至排污罐130中的凝液直接排放，避免造成水资源的浪费，这样有利于节约用水，降低生产成本。

如上文所述，一边进行换水排污的同时进行补水，为了在换水排污时，第一凝液罐110和第二凝液罐120中凝液处于平衡状态，避免凝液出现波动而影响蒸汽循环系统的正常运行，可选地，第一阀门111、第二阀门112、第三阀门121和第四阀门122均为流量调节阀，即电动流量调节阀，通过控制流量调节阀的开度，以使在一边进行换水排污的同时进行补水的过程中，排出凝液的量与补进凝液的量相同，以使在换水排污时，第一凝液罐110和第二凝液罐120中凝液处于平衡状态，从而避免凝液出现波动而影响蒸汽循环系统的正常运行。

作为优选，第一凝液罐110和第二凝液罐120均为不锈钢凝液罐，不锈钢凝液罐的化学性质稳定，能够尽可能地不为凝液中引入导电离子，延长凝液的使用周期，延长换水排污的周期，减少换水排污的次数，降低凝液的消耗，能够节约水资源，降低生产成本。

如上文所述，第一蒸汽循环系统在使用过程中凝液会有损耗，凝液的量逐渐降低，需要通过第一凝液罐110的补水进口进行补充，第二蒸汽循环系统在使用过程中凝液会有损耗，凝液的量逐渐降低，需要通过第二凝液罐120的补水进口进行补充。由于第一凝液罐110和第二凝液罐120中具有一定的压力和温度，因此，所补充进去的凝液也需要具有与之匹配的压力和温度，可选地，第一凝液罐110和第二凝液罐120的补水进口均设置有高温补水泵，通过高温补水泵将所要补充的水加热加压至与之匹配的压力和温度后，补充到第一凝液罐110和第二凝液罐120，通过高温补水泵能够提高补水效率及速度。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，包括压力不同的第一凝液罐（110）和第二凝液罐（120）、排污罐（130）、检测装置（210）以及控制装置（220），所述第一凝液罐（110）的出口、补水进口分别设置有第一阀门（111）和第二阀门（112），所述第二凝液罐（120）的出口、补水进口分别设置有第三阀门（121）和第四阀门（122），且所述第一凝液罐（110）和所述第二凝液罐（120）的出口均与所述排污罐（130）的进口相连，所述排污罐（130）具有氮气充压管道（131），所述排污罐（130）的出口、所述氮气充压管道（131）分别设置有第五阀门（132）和第六阀门（133），所述检测装置（210）具有至少两个电导率检测探头，且所述第一凝液罐（110）和所述第二凝液罐（120）均设置有所述电导率检测探头，所述检测装置（210）、所述第一阀门（111）、所述第二阀门（112）、所述第三阀门（121）、所述第四阀门（122）、所述第五阀门（132）和所述第六阀门（133）均与所述控制装置（220）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，所述检测装置（210）具有至少两个液位检测探头，所述第一凝液罐（110）和所述第二凝液罐（120）均设置有所述液位检测探头，所述第二凝液罐（120）的压力大于所述第一凝液罐（110）的压力，所述第一凝液罐（110）的补水进口连接有脱盐水管道（113），所述第二凝液罐（120）的补水进口与所述第一凝液罐（110）的补水出口相连。

3.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，还包括压力大于所述第二凝液罐（120）的第三凝液罐（140），所述第三凝液罐（140）的出口、补水进口分别设置有第七阀门（141）和第八阀门（142），所述第七阀门（141）和所述第八阀门（142）均与所述控制装置（220）电连接，所述第三凝液罐（140）中均设置有所述电导率检测探头和所述液位检测探头，所述第三凝液罐（140）的出口与所述排污罐（130）的进口相连，所述第三凝液罐（140）的补水进口与所述第二凝液罐（120）的补水出口相连。

4.根据权利要求3所述的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，所述第一凝液罐（110）为2公斤凝液罐，所述第二凝液罐（120）为4公斤凝液罐，所述第三凝液罐（140）为10公斤凝液罐。

5.根据权利要求2所述的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，还包括废水处理系统（300），所述废水处理系统（300）的进口与所述排污罐（130）的出口相连，所述废水处理系统（300）的出口与所述脱盐水管道（113）相连。

6.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，所述第一阀门（111）、所述第二阀门（112）、所述第三阀门（121）和所述第四阀门（122）均为流量调节阀。

7.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，所述第一凝液罐（110）和所述第二凝液罐（120）均为不锈钢凝液罐。

8.根据权利要求1所述的一种多晶硅生产多级蒸汽使用系统，其特征在于，所述第一凝液罐（110）和所述第二凝液罐（120）的补水进口均设置有高温补水泵。