CN219784247U - 一种半导体制程尾气处理用洗涤塔 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，包括洗涤塔主体、清洁件、水箱和喷头，所述洗涤塔主体的一侧设置有进气管，且所述洗涤塔主体内部的顶部设置有2组喷淋管，所述喷淋管的底端均匀分布有喷头，所述喷头下方的洗涤塔主体内均设置有填料，所述洗涤塔主体内部的底端设置有水箱，且所述水箱内部的中央位置处通过转轴设置有旋转座，所述洗涤塔主体的底部固定有旋转驱动机构，所述旋转座的两侧均匀通过缓冲套设置有清洁件。本实用新型通过安装有洗涤塔主体、水箱、旋转驱动机构、转轴、旋转座、缓冲套、清洁杆以及清洁件，利于对水箱的内壁进行刮洗，将附着的颗粒物杂质刮除，在清洁过程中清洁杆不容易弯折损坏。
Description
技术领域
本实用新型涉及尾气处理技术领域，具体为一种半导体制程尾气处理用洗涤塔。
背景技术
随着数字时代的飞速发展，半导体芯片现已广泛应用于各个领域，给人们的工作与生活带来了极大的便利，但同时随着半导体制造企业的快速发展，也给环境带来了一定的空气污染，必须通过废气净化设备处理后才能排放，水洗塔是尾气净化中常见的一种设备。
1、尾气在进行洗涤时，污水通常会收集在水箱中，久而久之，水箱的内壁容易出现颗粒物等杂质，不易清洁；2、洗涤塔内的喷头通常是普通喷头，喷淋效果不佳，喷出的水体范围较小，与尾气的接触容易出现不够全面彻底的现象；3、水体与尾气碰撞后因尘粒与液滴之间的碰撞、拦截和凝聚作用，尘粒随液滴降落下来，若直接进入水箱，容易造成内部管路的堵塞。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，包括洗涤塔主体、清洁件、水箱和喷头，所述洗涤塔主体的一侧设置有进气管，且所述洗涤塔主体内部的顶部设置有2组喷淋管，所述喷淋管的底端均匀分布有喷头，所述喷头下方的洗涤塔主体内均设置有填料，所述洗涤塔主体内部的底端设置有水箱，且所述水箱内部的中央位置处通过转轴设置有旋转座，所述洗涤塔主体的底部固定有旋转驱动机构，且所述旋转驱动机构的输出端与转轴连接，所述旋转座的两侧均匀通过缓冲套设置有清洁件。
优选的，所述清洁件的截面均呈弧形结构，且所述清洁件靠近水箱内侧壁的一端均匀分布有清洁刷，所述清洁刷均与水箱的内壁接触。
优选的，所述水箱一侧的洗涤塔主体上固定有水泵，且所述水泵的一端通过连接管与喷淋管相连通，所述水泵的另一端延伸至水箱内。
优选的，所述水箱上方的洗涤塔主体内均匀设置有滤网，且所述滤网均采用活性炭材质。
优选的，所述滤网的两侧均固定有滑轨，所述洗涤塔主体内部的两侧均匀开设有与滑轨相匹配的滑槽。
优选的，所述缓冲套的内部均通过缓冲弹簧设置有清洁杆，且所述清洁杆的一端均与清洁件连接。
优选的，所述喷头的顶端均设置有卡块，且卡块的外侧均设置有外螺纹，所述喷淋管的底部均匀设置有与卡块相匹配的固定螺纹套。
优选的，所述喷头的底端均设置有3组喷嘴，所述喷头内部的顶端均设置有主通道，且主通道上分别通过副通道与喷嘴相连通。
优选的，所述喷嘴的外侧均设置有均布罩，且均布罩均呈圆形多孔结构。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)该半导体制程尾气处理用洗涤塔通过安装有洗涤塔主体、水箱、旋转驱动机构、转轴、旋转座、缓冲套、清洁杆以及清洁件，旋转驱动机构可带动转轴以及旋转座转动，清洁件的一侧均匀分布有清洁刷，利于对水箱的内壁进行刮洗，将附着的颗粒物杂质刮除，在清洁刷工作时清洁杆的一端压缩缓冲弹簧，通过缓冲弹簧自身的回弹性将清洁杆受到的压力进行发散缓冲，使得在清洁过程中清洁杆不容易弯折损坏。
(2)该半导体制程尾气处理用洗涤塔通过安装有喷头、主通道、副通道、喷嘴以及均布罩，喷嘴设置有三组，利于增加喷淋面积，喷嘴的外侧均设置有圆形多孔结构的均布罩，提高喷淋时的均匀性和细致度，使得尾气与液体的吸附结合更加彻底全面，喷头顶部设置有卡块，卡块外设置外螺纹，喷淋管底部设置有固定螺纹套，方便喷头的安装和拆卸。
(3)该半导体制程尾气处理用洗涤塔通过安装有滤网、滑轨以及滑槽，滤网采用活性炭材质，可将进入水箱的水体预先进行过滤净化，防止水体中的杂质直接进入水箱，通过滑轨在滑槽内滑动可将滤网进行拆换，净化后的水体进入水箱后，可又水泵抽回至喷淋管中循环使用，节能减排。
附图说明
图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；
图2为本实用新型的滤网俯视结构示意图；
图3为本实用新型的喷头剖面结构示意图；
图4为本实用新型的缓冲套俯视剖面结构示意图；
图5为本实用新型的图1中A处放大结构示意图。
图中：1、洗涤塔主体；2、进气管；3、滤网；4、清洁件；5、水箱；6、旋转座；7、旋转驱动机构；8、转轴；9、水泵；10、缓冲套；11、填料；12、喷淋管；13、喷头；14、滑轨；15、主通道；16、卡块；17、副通道；18、均布罩；19、喷嘴；20、缓冲弹簧；21、清洁杆；22、清洁刷；23、滑槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，包括洗涤塔主体1、清洁件4、水箱5和喷头13，洗涤塔主体1的一侧设置有进气管2，半导体制程产生的尾气通过进气管2进入洗涤塔主体1内向上运动；
洗涤塔主体1内部的顶部设置有2组喷淋管12，喷淋管12的底端均匀分布有喷头13，喷头13下方的洗涤塔主体1内均设置有填料11；
喷头13喷出水雾，喷淋到填料11上，并沿填料11表面流下，与进入的尾气进行混合，因尘粒与液滴之间的碰撞、拦截和凝聚作用，尘粒随液滴降落下来；
喷头13的顶端均设置有卡块16，且卡块16的外侧均设置有外螺纹，喷淋管12的底部均匀设置有与卡块16相匹配的固定螺纹套，方便喷头13的安装和拆卸；
喷头13的底端均设置有3组喷嘴19，喷头13内部的顶端均设置有主通道15，且主通道15上分别通过副通道17与喷嘴19相连通，利于增加喷淋面积；
喷嘴19的外侧均设置有均布罩18，且均布罩18均呈圆形多孔结构，提高喷淋时的均匀性和细致度，使得尾气与液体的吸附结合更加彻底全面；
洗涤塔主体1内部的底端设置有水箱5，水箱5上方的洗涤塔主体1内均匀设置有滤网3，且滤网3均采用活性炭材质，可将尘粒与液滴结合后的污水进行净化，防止水体中的杂质直接进入水箱5；
滤网3的两侧均固定有滑轨14，洗涤塔主体1内部的两侧均匀开设有与滑轨14相匹配的滑槽23，通过滑轨14在滑槽23内滑动可将滤网3进行拆换；
水箱5一侧的洗涤塔主体1上固定有水泵9，且水泵9的一端通过连接管与喷淋管12相连通，水泵9的另一端延伸至水箱5内；
经过滤网3过滤净化后落入到水箱5中，之后被水泵9抽回到喷淋管12中循环使用，避免造成水资源的浪费，有利于节约能耗；
水箱5内部的中央位置处通过转轴8设置有旋转座6，洗涤塔主体1的底部固定有旋转驱动机构7，且旋转驱动机构7的输出端与转轴8连接，旋转座6的两侧均匀通过缓冲套10设置有清洁件4；
清洁件4的截面均呈弧形结构，且清洁件4靠近水箱5内侧壁的一端均匀分布有清洁刷22，清洁刷22均与水箱5的内壁接触；
洗涤结束后，旋转驱动机构7可带动转轴8以及旋转座6转动，带动清洁件4以及清洁件4一侧均匀分布的清洁刷22对水箱5的内壁进行刮洗，将附着的颗粒物杂质刮除；
缓冲套10的内部均通过缓冲弹簧20设置有清洁杆21，且清洁杆21的一端均与清洁件4连接；
在清洁件4工作时清洁杆21的一端在缓冲套10内压缩缓冲弹簧20，通过缓冲弹簧20自身的回弹性将清洁杆21受到的压力进行发散缓冲，使得在清洁过程中清洁杆21不容易弯折损坏；
旋转驱动机构7的具体型号规格需根据该装置的规格参数等选型计算确定，其选型计算方法为现有技术，故不再详细赘述。
工作原理：本申请实施例在使用时，半导体制程产生的尾气通过进气管2进入洗涤塔主体1内向上运动，喷头13喷出水雾，喷淋到填料11上，并沿填料11表面流下，与进入的尾气进行混合，因尘粒与液滴之间的碰撞、拦截和凝聚作用，尘粒随液滴降落下来，经过滤网3过滤净化后落入到水箱5中，之后被水泵9抽回到喷淋管12中循环使用，避免造成水资源的浪费，有利于节约能耗，净化后的气体通过洗涤塔主体1顶部的出口排出，喷头13底部设置有3组喷嘴19，利于增加喷淋面积，喷嘴19的外侧均设置有圆形多孔结构的均布罩18，提高喷淋时的均匀性和细致度，使得尾气与液体的吸附结合更加彻底全面，喷头13顶部设置有卡块16，卡块16外设置外螺纹，喷淋管12底部设置有固定螺纹套，方便喷头13的安装和拆卸，此外，洗涤结束后，旋转驱动机构7可带动转轴8以及旋转座6转动，带动清洁件4以及清洁件4一侧均匀分布的清洁刷22对水箱5的内壁进行刮洗，将附着的颗粒物杂质刮除，在清洁件4工作时清洁杆21的一端在缓冲套10内压缩缓冲弹簧20，通过缓冲弹簧20自身的回弹性将清洁杆21受到的压力进行发散缓冲，使得在清洁过程中清洁杆21不容易弯折损坏。
Claims (9)
1.一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于，包括洗涤塔主体(1)、清洁件(4)、水箱(5)和喷头(13)，所述洗涤塔主体(1)的一侧设置有进气管(2)，且所述洗涤塔主体(1)内部的顶部设置有2组喷淋管(12)，所述喷淋管(12)的底端均匀分布有喷头(13)，所述喷头(13)下方的洗涤塔主体(1)内均设置有填料(11)，所述洗涤塔主体(1)内部的底端设置有水箱(5)，且所述水箱(5)内部的中央位置处通过转轴(8)设置有旋转座(6)，所述洗涤塔主体(1)的底部固定有旋转驱动机构(7)，且所述旋转驱动机构(7)的输出端与转轴(8)连接，所述旋转座(6)的两侧均匀通过缓冲套(10)设置有清洁件(4)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述清洁件(4)的截面均呈弧形结构，且所述清洁件(4)靠近水箱(5)内侧壁的一端均匀分布有清洁刷(22)，所述清洁刷(22)均与水箱(5)的内壁接触。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述水箱(5)一侧的洗涤塔主体(1)上固定有水泵(9)，且所述水泵(9)的一端通过连接管与喷淋管(12)相连通，所述水泵(9)的另一端延伸至水箱(5)内。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述水箱(5)上方的洗涤塔主体(1)内均匀设置有滤网(3)，且所述滤网(3)均采用活性炭材质。
5.根据权利要求4所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述滤网(3)的两侧均固定有滑轨(14)，所述洗涤塔主体(1)内部的两侧均匀开设有与滑轨(14)相匹配的滑槽(23)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述缓冲套(10)的内部均通过缓冲弹簧(20)设置有清洁杆(21)，且所述清洁杆(21)的一端均与清洁件(4)连接。
7.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述喷头(13)的顶端均设置有卡块(16)，且卡块(16)的外侧均设置有外螺纹，所述喷淋管(12)的底部均匀设置有与卡块(16)相匹配的固定螺纹套。
8.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述喷头(13)的底端均设置有3组喷嘴(19)，所述喷头(13)内部的顶端均设置有主通道(15)，且主通道(15)上分别通过副通道(17)与喷嘴(19)相连通。
9.根据权利要求8所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔，其特征在于：所述喷嘴(19)的外侧均设置有均布罩(18)，且均布罩(18)均呈圆形多孔结构。
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