CN219777478U - 一种滤光片测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种滤光片测试设备，属于滤光片生产技术领域，包括样品支架，用于安装测试夹具，测试夹具上放置待测试膜片；光源支架，用于安装激光光源，并能调节激光光源的位置使输出光垂直于测试夹具平面；探测器支架，用于安装探测器，并能调节探测器的位置使探测器正对待测试膜片接收待测试膜片的光谱数据；处理系统，处理系统与探测器通信连接，处理系统接收待测试膜片的光谱数据并对光谱数据进行处理实现待测试膜片的自动化测试，摆脱了现有技术中的手动操作，大幅提升了样品放置精度、重复性以及测试效率。

Description

一种滤光片测试设备

技术领域

本实用新型涉及滤光片生产技术领域，尤其是涉及滤光片测试设备。

背景技术

在通讯领域，滤光片的尺寸都比较小，范围通常在0.5～2.0mm范围内，这就导致在加工工艺中无法采用成品的尺寸进行镀膜，通常都是采用大尺寸的基片进行镀膜，完成镀膜工艺后再划切加工成对应的小尺寸；滤光片的性能要求比较高，其波长性能要求都是在埃量级，生产出的膜片在出货前需要对膜片进行性能全检。

在测试膜片的光谱性能指标的时候，现有的测试设备在测试和过程中手动操作，通过人工夹取的方式将膜片放置到测试工位上，进行测试，测试效率较低，由于膜片的尺寸较小，有效孔径比较小，存在放置膜片过程中放置不到位的情况，无法保证测试的重复性。

专利CN203849002U公开了一种45度滤光片测试装置，采用机械手吸取或夹取滤光片放置到测试夹具上，但样品、激光光源以及探测器的位置无法调节，导致滤光片放置精度低。

专利CN110420866A公开了一种滤光片测试设备，能够实现自动上下料和自动耦合测试，但该设备无法调节探测器的位置。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种滤光片测试设备，能够精准将膜片放置到测试工位上，使样品位于测试孔位上，保证测试的重复性。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：

一种滤光片测试设备，包括

样品支架，用于安装测试夹具，所述测试夹具上放置待测试膜片；

光源支架，用于安装激光光源，并能调节激光光源的位置使输出光垂直于测试夹具平面；

探测器支架，用于安装探测器，并能调节所述探测器的位置使所述探测器正对所述待测试膜片接收所述待测试膜片的光谱数据；

处理系统，所述处理系统与所述探测器通信连接，所述处理系统接收所述待测试膜片的光谱数据并对所述光谱数据进行处理实现待测试膜片的自动化测试。

进一步的，所述滤光片测试设备还包括工作台，所述样品支架、所述光源支架以及所述探测器支架分别固定于所述工作台。

进一步的，所述样品支架包括第一位移平台、第二位移平台以及样品安装架，所述第二位移平台安装于所述第一位移平台，所述样品安装架安装于所述第二位移平台上，所述第一位移平台带动所述第二位移平台以及所述样品安装架沿第一方向移动，所述第二位移平台带动所述样品安装架沿与所述第一方向垂直的第二方向移动。

进一步的，所述样品安装架设有卡槽，所述卡槽安装所述测试夹具，所述样品安装架位于所述激光光源以及所述探测器之间。

进一步的，所述探测器支架包括探测器粗调节结构，所述探测器粗调节结构包括固定座、第一方向调节组件、第二方向调节组件以及第三方向调节组件，所述第二方向调节组件安装于所述第一方向调节组件，所述第三方向调节组件安装于所述第二方向调节组件，所述探测器安装于所述第三方向调节组件，所述第一方向调节组件带动所述第二方向调节组件、所述第三方向调节组件以及所述探测器沿第一方向移动，所述第二方向调节组件带动所述第三方向调节组件以及所述探测器沿垂直于所述第一方向的第二方向移动，所述第三方向调节组件带动所述探测器沿垂直于所述第一方向以及所述第二方向的第三方向移动。

进一步的，所述第一方向调节组件包括第一移动块、第一安装板以及第一调节手柄，所述第一移动块沿所述第一方向滑动安装于所述固定座，所述第一安装板固定于所述固定座，所述第一调节手柄转动安装于所述第一安装板并与所述第一移动块配合。

进一步的，所述探测器支架还包括探测器旋转结构，所述探测器旋转结构还包括旋转驱动件，所述旋转驱动件安装于所述第三方向调节组件，所述探测器安装于所述旋转驱动件的输出端。

进一步的，所述探测器旋转结构还包括连接板、限位片以及旋转限位件，所述连接板固定于所述第三方向调节组件，所述旋转驱动件转动安装于所述连接板，所述限位片固定于所述旋转驱动件，所述旋转限位件的数量为两个，两所述旋转限位件固定于所述连接板，所述限位片位于两所述旋转限位件之间的间隙中，两所述旋转限位件限制所述旋转驱动件的转动角度。

进一步的，所述探测器支架还包括探测器精调节结构以及探测器安装架，所述探测器精调节结构包括高度调节件、板体、第一精调件以及第二精调件，所述高度调节件安装于所述旋转驱动件，所述板体安装于所述高度调节件，所述探测器安装架安装于所述板体，所述第一精调件以及所述第二精调件转动安装于所述板体并且与所述探测器安装架抵触。

相比现有技术，本实用新型滤光片测试设备通过样品支架、光源支架以及探测器支架调节样品、激光光源以及探测器的位置，使探测器正对待测试膜片接收待测试膜片的光谱数据，处理系统接收待测试膜片的光谱数据并对光谱数据进行处理实现待测试膜片的自动化测试，摆脱了现有技术中的手动操作，大幅提升了样品放置精度、重复性以及测试效率。

附图说明

图1为本实用新型滤光片测试设备的立体图；

图2为图1的滤光片测试设备的探测器支架的立体图；

图3为图2的探测器支架的粗调节结构的立体图；

图4为图2的探测器支架的旋转结构的立体图；

图5为图2的探测器支架的精调节结构的一立体图；

图6为图5的精调节结构的另一立体图；

图7为图1的滤光片测试设备的光源支架的立体图；

图8为图1的滤光片测试设备的样品支架的立体图；

图9为滤光片测试设备的测试夹具的结构示意图。

图中：10、工作台；20、探测器支架；21、探测器粗调节结构；210、固定座；211、第一方向调节组件；2110、第一移动块；2111、第一安装板；2112、第一调节手柄；212、第二方向调节组件；2120、第二移动块；2121、第二安装板；2122、第二调节手柄；213、第三方向调节组件；2130、固定板；2131、第三移动块；2132、第三安装板；2133、第三调节手柄；22、探测器旋转结构；220、连接板；221、旋转驱动件；2210、限位片；222、旋转限位件；23、探测器精调节结构；230、高度调节件；2301、安装槽；231、板体；232、第一精调件；233、第二精调件；24、探测器安装架；30、光源支架；31、光源粗调节结构；32、光源旋转结构；33、光源精调节结构；34、光源安装架；40、样品支架；41、底板；42、第一位移平台；43、第二位移平台；44、样品安装架；440、卡槽；50、测试夹具；51、校准孔；52、测试孔位。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在另一中间组件，通过中间组件固定。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在另一中间组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在另一中间组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1所示，本实用新型滤光片测试设备包括处理系统、工作台10、探测器支架20、光源支架30、样品支架40，探测器支架20、光源支架30、样品支架40固定于工作台10。探测器支架20用于安装探测器，光源支架30用于安装激光光源，样品支架40用于安装测试夹具50。处理系统与探测器支架20、光源支架30、样品支架40、激光光源以及探测器通信连接。

请继续参阅图2至图6所示，探测器支架20包括探测器粗调节结构21、探测器旋转结构22、探测器精调节结构23以及探测器安装架24。

探测器粗调节结构21包括固定座210、第一方向调节组件211、第二方向调节组件212以及第三方向调节组件213。

固定座210固定于工作台10。第一方向调节组件211包括第一移动块2110、第一安装板2111以及第一调节手柄2112。第一移动块2110滑动安装于固定座210并能沿固定座210在第一方向往复移动。第一安装板2111固定于固定座210，第一调节手柄2112转动安装于第一安装板2111，第一调节手柄2112末端与第一移动块2110配合，第一调节手柄2112转动时，第一移动块2110相对固定座210在第一方向往复移动。

第二方向调节组件212包括第二移动块2120、第二安装板2121、第二调节手柄2122。第二移动块2120滑动安装于第一移动块2110，第二安装板2121固定于第二移动块2120，第二调节手柄2122与第二安装板2121配合并转动安装于第一移动块2110。当第二调节手柄2122转动时，第二移动块2120沿垂直于第一方向的第二方向移动。

第三方向调节组件213包括固定板2130、第三移动块2131、第三安装板2132以及第三调节手柄2133。固定板2130固定于第三移动块2131，固定板2130垂直于第一方向以及第二方向。第三移动块2131滑动安装于第二移动块2120，第三安装板2132固定于第三移动块2131，第三调节手柄2133转动安装于第二移动块2120并与第三安装板2132配合。第三调节手柄2133转动，第三移动块2131相对第二移动块2120在第三方向移动。

探测器旋转结构22包括连接板220、旋转驱动件221、限位片2210以及旋转限位件222。连接板220固定于固定板2130，旋转驱动件221安装于连接板220并能相对连接板220转动。限位片2210从旋转驱动件221延伸而出。旋转限位件222的数量为两个，两旋转限位件222安装于连接板220，两旋转限位件222之间形成间隙，限位片2210位于间隙中。两旋转限位件222能够限制旋转驱动件221的转动角度。具体的，两旋转限位件222为螺杆，两旋转限位件222分别转动安装于连接板220的两端，两旋转限位件222位于同一直线上。旋转限位件222通过转动，调节间隙的宽度，改变旋转驱动件221的角度限制范围。

探测器精调节结构23包括高度调节件230、板体231、第一精调件232以及第二精调件233。高度调节件230安装于旋转驱动件221，高度调节件230上设有安装槽2301，安装槽2301为长条形，安装槽2301的延伸方向与水平面平行。通过改变安装槽2301的安装位置，使高度调节件230的安装高度改变。板体231固定于高度调节件230并与高度调节件230垂直。第一精调件232转动安装于板体231，第二精调件233转动安装于板体231并且与第一精调件232垂直。探测器安装架24固定于板体231，探测器安装架24与第一精调件232以及第二精调件233抵触。通过转动第一精调件232以及第二精调件233，能够微调探测器安装架24的位置。

探测器安装架24用于安装探测器。

请继续参阅图7，光源支架30的结构与探测器支架20的结构大致相同。光源支架30包括光源粗调节结构31、光源旋转结构32、光源精调节结构33以及光源安装架34。光源旋转结构32安装于光源粗调节结构31，光源精调节结构33安装于光源旋转结构32，光源安装架34安装于光源精调节结构33。激光光源安装于光源安装架34。光源粗调节结构31调节光源安装架34在第一方向、第二方向以及第三方向的大范围移动。光源旋转结构32调节光源安装架34的转动，光源精调节结构33调节光源安装架34在第一方向、第二方向以及第三方向的小范围移动。

请继续参阅图8，样品支架40包括底板41、第一位移平台42、第二位移平台43、样品安装架44。底板41固定于工作台10。第一位移平台42安装于底板41，第二位移平台43安装于第一位移平台42，样品安装架44安装于第二位移平台43。在本实施例中，第一位移平台42以及第二位移平台43为导轨，第二位移平台43能够相对第一位移平台42在第一方向移动。样品安装架44能够相对第二位移平台43在第二方向移动。样品安装架44上设有卡槽440，卡槽440用于安装测试夹具50。

请继续参阅图9，测试夹具50设有校准孔51以及多个测试孔位52。

使用滤光片测试设备时，放置平面反射镜在样品支架40上，调节光源安装架34使反射光强达到最大，确保测试光路与测试面垂直；取下平面反射镜，调节接收信号的探测器支架20，使得接收信号的光强达到最大；将放置有测试样品的测试夹具50放到样品支架40上；计算发送信号，移动测试夹具50到校准位，探测器扫描光谱曲线，获取100％的信号曲线T0；将测试夹具50移动到测试孔位52，探测器扫描并获得光谱曲线T1，最终获得实际的样品测试曲线T1-T0：重复测试步骤，直至测试夹具50上所有的测试孔位52测试完成。

相比现有技术，本实用新型滤光片测试设备通过样品支架40、光源支架30以及探测器支架20调节样品、激光光源以及探测器的位置，使探测器正对待测试膜片接收待测试膜片的光谱数据，处理系统接收待测试膜片的光谱数据并对光谱数据进行处理实现待测试膜片的自动化测试，摆脱了现有技术中的手动操作，大幅提升了样品放置精度、重复性以及测试效率。

以上实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进演变，都是依据本实用新型实质技术对以上实施例做的等同修饰与演变，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种滤光片测试设备，其特征在于：包括

样品支架，用于安装测试夹具，所述测试夹具上放置待测试膜片；

光源支架，用于安装激光光源，并能调节激光光源的位置使输出光垂直于测试夹具平面；

探测器支架，用于安装探测器，并能调节所述探测器的位置使所述探测器正对所述待测试膜片接收所述待测试膜片的光谱数据；

处理系统，所述处理系统与所述探测器通信连接，所述处理系统接收所述待测试膜片的光谱数据并对所述光谱数据进行处理实现待测试膜片的自动化测试。

2.根据权利要求1所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述滤光片测试设备还包括工作台，所述样品支架、所述光源支架以及所述探测器支架分别固定于所述工作台。

3.根据权利要求2所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述样品支架包括第一位移平台、第二位移平台以及样品安装架，所述第二位移平台安装于所述第一位移平台，所述样品安装架安装于所述第二位移平台上，所述第一位移平台带动所述第二位移平台以及所述样品安装架沿第一方向移动，所述第二位移平台带动所述样品安装架沿与所述第一方向垂直的第二方向移动。

4.根据权利要求3所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述样品安装架设有卡槽，所述卡槽安装所述测试夹具，所述样品安装架位于所述激光光源以及所述探测器之间。

5.根据权利要求1所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述探测器支架包括探测器粗调节结构，所述探测器粗调节结构包括固定座、第一方向调节组件、第二方向调节组件以及第三方向调节组件，所述第二方向调节组件安装于所述第一方向调节组件，所述第三方向调节组件安装于所述第二方向调节组件，所述探测器安装于所述第三方向调节组件，所述第一方向调节组件带动所述第二方向调节组件、所述第三方向调节组件以及所述探测器沿第一方向移动，所述第二方向调节组件带动所述第三方向调节组件以及所述探测器沿垂直于所述第一方向的第二方向移动，所述第三方向调节组件带动所述探测器沿垂直于所述第一方向以及所述第二方向的第三方向移动。

6.根据权利要求5所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述第一方向调节组件包括第一移动块、第一安装板以及第一调节手柄，所述第一移动块沿所述第一方向滑动安装于所述固定座，所述第一安装板固定于所述固定座，所述第一调节手柄转动安装于所述第一安装板并与所述第一移动块配合。

7.根据权利要求5所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述探测器支架还包括探测器旋转结构，所述探测器旋转结构还包括旋转驱动件，所述旋转驱动件安装于所述第三方向调节组件，所述探测器安装于所述旋转驱动件的输出端。

8.根据权利要求7所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述探测器旋转结构还包括连接板、限位片以及旋转限位件，所述连接板固定于所述第三方向调节组件，所述旋转驱动件转动安装于所述连接板，所述限位片固定于所述旋转驱动件，所述旋转限位件的数量为两个，两所述旋转限位件固定于所述连接板，所述限位片位于两所述旋转限位件之间的间隙中，两所述旋转限位件限制所述旋转驱动件的转动角度。

9.根据权利要求8所述的滤光片测试设备，其特征在于：所述探测器支架还包括探测器精调节结构以及探测器安装架，所述探测器精调节结构包括高度调节件、板体、第一精调件以及第二精调件，所述高度调节件安装于所述旋转驱动件，所述板体安装于所述高度调节件，所述探测器安装架安装于所述板体，所述第一精调件以及所述第二精调件转动安装于所述板体并且与所述探测器安装架抵触。