CN219772262U - 一种刻蚀机的反应腔体结构 - Google Patents

一种刻蚀机的反应腔体结构 Download PDF

Info

Publication number
CN219772262U
CN219772262U CN202321137139.1U CN202321137139U CN219772262U CN 219772262 U CN219772262 U CN 219772262U CN 202321137139 U CN202321137139 U CN 202321137139U CN 219772262 U CN219772262 U CN 219772262U
Authority
CN
China
Prior art keywords
box
fixedly connected
filter
gear
etcher
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202321137139.1U
Other languages
English (en)
Inventor
高松
陈红霞
陈东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jingjiang New Henghe Semiconductor Technology Co ltd
Original Assignee
Jingjiang New Henghe Semiconductor Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jingjiang New Henghe Semiconductor Technology Co ltd filed Critical Jingjiang New Henghe Semiconductor Technology Co ltd
Priority to CN202321137139.1U priority Critical patent/CN219772262U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN219772262U publication Critical patent/CN219772262U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种刻蚀机的反应腔体结构,包括箱体,所述箱体顶端固定插设有注液管,所述箱体内顶部固定连接有过滤盒,所述过滤盒的一侧滑动插设有过滤板,所述过滤板上设有安装口,所述安装口内固定连接有过滤网,所述过滤板的一端贯穿箱体并向外延伸,所述过滤盒的底部固定插设有导液管,所述导液管的下方设有横杆,所述横杆上转动连接有转杆,所述转杆的外侧壁上固定连接有搅拌杆,所述箱体位于搅拌杆的正表面设有操作口,所述操作口的一侧铰接有密封门,本实用新型采用除杂组件能够对杂质进行剔除,且提升刻蚀工件与化学溶液的接触速率,降低反应的时间。

Description

一种刻蚀机的反应腔体结构
技术领域
本实用新型涉及刻蚀机相关制品领域,具体为一种刻蚀机的反应腔体结构。
背景技术
蚀刻机主要应用于航空、机械、标牌工业中,蚀刻机技术广泛地被使用于减轻重量仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等之加工。在半导体和线路版制程上,蚀刻更是不可或缺的技术,蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的。
但是目前现有的刻蚀机反应时间较长,影响刻蚀机的生产效率,且化学溶液中杂质不能够进行预处理,影响使用。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种刻蚀机的反应腔体结构,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种刻蚀机的反应腔体结构,包括箱体,所述箱体顶端固定插设有注液管,所述箱体内顶部固定连接有过滤盒,所述过滤盒的一侧滑动插设有过滤板,所述过滤板上设有安装口,所述安装口内固定连接有过滤网,所述过滤板的一端贯穿箱体并向外延伸,所述过滤盒的底部固定插设有导液管,所述导液管的下方设有横杆,所述横杆上转动连接有转杆,所述转杆的外侧壁上固定连接有搅拌杆,所述箱体位于搅拌杆的正表面设有操作口,所述操作口的一侧铰接有密封门,所述箱体的一侧外壁上固定连接有电机,所述电机的输出端固定连接有轴杆,所述轴杆的一端向箱体内延伸并固定连接有第一齿轮,所述转杆上固定套接有与第一齿轮相啮合的第二齿轮。
优选的,所述过滤板向外延伸的一端固定连接有定位板,所述箱体外侧壁上设有凹槽,所述凹槽内固定连接有滑杆,所述滑杆上滑动套接有L型卡杆,所述定位板上设有与L型卡杆对应的卡槽。
优选的,所述箱体的底部固定连接有呈矩形设置的四个支撑脚。
优选的,所述横杆上设有贯穿口,所述贯穿口内固定连接有轴承,所述转杆固定插设在轴承内。
优选的,所述第一齿轮与第二齿轮均为锥齿轮。
优选的,所述过滤盒的两侧内底部均固定连接有导流板。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
该刻蚀机的反应腔体结构,通过打开密封门将刻蚀工件放置在箱体内底部,通过注液管向箱体注入化学溶液,化学溶液通过安装在过滤板上的过滤网实现杂质过滤,在过滤完成后通过导液管导流至箱体内底部,控制电机启动可带动轴杆转动,此时轴杆将带动第一齿轮与第二齿轮啮合进而实现转杆的转动,在转杆转动时将带动搅拌杆对化学溶液进行搅拌从而提高与刻蚀工件充分接触,本实用新型采用除杂组件能够对杂质进行剔除,且提升刻蚀工件与化学溶液的接触速率,降低反应的时间。
附图说明
图1为本实用新型的一种刻蚀机的反应腔体结构的结构示意图;
图2为本实用新型的一种刻蚀机的反应腔体结构的A处放大图;
图3为本实用新型的一种刻蚀机的反应腔体结构的B处放大图。
图中:1、箱体;2、注液管;3、过滤盒;4、过滤板;5、过滤网;6、导液管;7、横杆;8、转杆;9、搅拌杆;10、密封门;11、电机;12、轴杆;13、第一齿轮;14、第二齿轮;15、定位板;16、滑杆;17、L型卡杆;18、支撑脚;19、轴承;20、导流板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
请参阅图1-3,本实用新型提供的一种实施例:一种刻蚀机的反应腔体结构,包括箱体1,箱体1顶端固定插设有注液管2,箱体1内顶部固定连接有过滤盒3,过滤盒3的一侧滑动插设有过滤板4,过滤板4上设有安装口,安装口内固定连接有过滤网5,过滤板4的一端贯穿箱体1并向外延伸,过滤盒3的底部固定插设有导液管6,导液管6的下方设有横杆7,横杆7上转动连接有转杆8,转杆8的外侧壁上固定连接有搅拌杆9,箱体1位于搅拌杆9的正表面设有操作口,操作口的一侧铰接有密封门10,箱体1的一侧外壁上固定连接有电机11,电机11的输出端固定连接有轴杆12,轴杆12的一端向箱体1内延伸并固定连接有第一齿轮13,转杆8上固定套接有与第一齿轮13相啮合的第二齿轮14,具体的讲,密封门10将刻蚀工件放置在箱体1内底部,通过注液管2向箱体1注入化学溶液,化学溶液通过安装在过滤板4上的过滤网5实现杂质过滤,在过滤完成后通过导液管6导流至箱体1内底部,控制电机11启动可带动轴杆12转动,此时轴杆12将带动第一齿轮13与第二齿轮14啮合进而实现转杆8的转动,在转杆8转动时将带动搅拌杆9对化学溶液进行搅拌从而提高与刻蚀工件充分接触。
本实施例中,过滤板4向外延伸的一端固定连接有定位板15,箱体1外侧壁上设有凹槽,凹槽内固定连接有滑杆16,滑杆16上滑动套接有L型卡杆17,定位板15上设有与L型卡杆17对应的卡槽,利用L型卡杆17插入到卡槽内实现定位板15的固定;箱体1的底部固定连接有呈矩形设置的四个支撑脚18,对箱体1进行支撑;横杆7上设有贯穿口,贯穿口内固定连接有轴承19,转杆8固定插设在轴承内,对转杆8进行旋转支撑;第一齿轮13与第二齿轮14均为锥齿轮;过滤盒3的两侧内底部均固定连接有导流板20,对化学溶液进行导流。
工作原理:首先打开密封门10将刻蚀工件放置在箱体1内底部,通过注液管2向箱体1注入化学溶液,化学溶液通过安装在过滤板4上的过滤网5实现杂质过滤,在过滤完成后通过导液管6导流至箱体1内底部,控制电机11启动可带动轴杆12转动,此时轴杆12将带动第一齿轮13与第二齿轮14啮合进而实现转杆8的转动,在转杆8转动时将带动搅拌杆9对化学溶液进行搅拌从而提高与刻蚀工件充分接触。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种刻蚀机的反应腔体结构,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)顶端固定插设有注液管(2),所述箱体(1)内顶部固定连接有过滤盒(3),所述过滤盒(3)的一侧滑动插设有过滤板(4),所述过滤板(4)上设有安装口,所述安装口内固定连接有过滤网(5),所述过滤板(4)的一端贯穿箱体(1)并向外延伸,所述过滤盒(3)的底部固定插设有导液管(6),所述导液管(6)的下方设有横杆(7),所述横杆(7)上转动连接有转杆(8),所述转杆(8)的外侧壁上固定连接有搅拌杆(9),所述箱体(1)位于搅拌杆(9)的正表面设有操作口,所述操作口的一侧铰接有密封门(10),所述箱体(1)的一侧外壁上固定连接有电机(11),所述电机(11)的输出端固定连接有轴杆(12),所述轴杆(12)的一端向箱体(1)内延伸并固定连接有第一齿轮(13),所述转杆(8)上固定套接有与第一齿轮(13)相啮合的第二齿轮(14)。
2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的反应腔体结构,其特征在于:所述过滤板(4)向外延伸的一端固定连接有定位板(15),所述箱体(1)外侧壁上设有凹槽,所述凹槽内固定连接有滑杆(16),所述滑杆(16)上滑动套接有L型卡杆(17),所述定位板(15)上设有与L型卡杆(17)对应的卡槽。
3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的反应腔体结构,其特征在于:所述箱体(1)的底部固定连接有呈矩形设置的四个支撑脚(18)。
4.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的反应腔体结构,其特征在于:所述横杆(7)上设有贯穿口,所述贯穿口内固定连接有轴承(19),所述转杆(8)固定插设在轴承内。
5.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的反应腔体结构,其特征在于:所述第一齿轮(13)与第二齿轮(14)均为锥齿轮。
6.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的反应腔体结构,其特征在于:所述过滤盒(3)的两侧内底部均固定连接有导流板(20)。
CN202321137139.1U 2023-05-12 2023-05-12 一种刻蚀机的反应腔体结构 Active CN219772262U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202321137139.1U CN219772262U (zh) 2023-05-12 2023-05-12 一种刻蚀机的反应腔体结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202321137139.1U CN219772262U (zh) 2023-05-12 2023-05-12 一种刻蚀机的反应腔体结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN219772262U true CN219772262U (zh) 2023-09-29

Family

ID=88110283

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202321137139.1U Active CN219772262U (zh) 2023-05-12 2023-05-12 一种刻蚀机的反应腔体结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN219772262U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107601038A (zh) 一种用于建筑检测材料搬运的智能机器人
CN219772262U (zh) 一种刻蚀机的反应腔体结构
CN107891474A (zh) 一种具有全自动智能塑料板表面钻孔设备
CN214863061U (zh) 一种用于石油样品实验的搅拌装置
CN220854226U (zh) 一种便携式地质矿产勘查用取样装置
CN212681861U (zh) 一种钕铁硼清洗烘干装置
CN220921638U (zh) 一种便于定位的卧式铣镗床
CN215677647U (zh) 一种岩土勘查钻探取样装置
CN221045988U (zh) 一种用于工业清洗缓蚀剂添加装置
CN220761378U (zh) 一种ecg镜片雕刻机的角度旋转结构
CN211413337U (zh) 加缔反管加工装置
CN218422435U (zh) 一种真空石膏搅拌机
CN218801587U (zh) 一种微型铝型材管件喷砂装置
CN218902886U (zh) 一种基板加工用成品清洗机
CN216309489U (zh) 一种道路工程用泥土取样器
CN219190587U (zh) 一种便于放大观察的封边工装
CN214913790U (zh) 一种精制萘酸加工用冷冻抽滤设备
CN219582812U (zh) 水泵生产用具有工件限位功能的操作台
CN210522415U (zh) 一种香精搅拌装置
CN216107230U (zh) 一种用于机械加工的物料除锈装置
CN220740482U (zh) 一种塑料管材端口打磨设备
CN219121822U (zh) 一种高密封气体取样器
CN219097945U (zh) 一种翻转机
CN218686341U (zh) 一种木偶戏舞台背景更换装置
CN219129052U (zh) 一种化学试剂振荡器

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant