CN219731134U - 一种单晶炉真空应急加副泵循环装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，所述应急泵通过止回阀连接于负压罐，所述应急泵设有两组，所述负压罐通过截止阀连接于真空泵，所述负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，所述真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。本实用新型属于单晶炉技术领域，具体是指一种单晶炉真空应急加副泵循环装置。
Description
技术领域
本实用新型属于单晶炉技术领域，具体是指一种单晶炉真空应急加副泵循环装置。
背景技术
当前我们用的的普通单体模式如图2所见一台单晶炉一台主泵，和一台副泵，这样的配置第一是对副泵的浪费，我所创新出来的模式可以减少辅泵，把它汇总在一起，副泵的功能是净化副室和隔离副室时需要抽真空，而我们的这套系统可以理解为一台大型组合起来的泵，是完全可以满足副泵的要求的，还有我们另一个功能是充当应急主泵来用的当传统单晶炉主泵发生故障是炉体就会严重氧化，或被迫停炉这样的话对我们的生产，会带来巨大的损失，所以我们研发的应急循环系统，可以有效的避免上述情况的发生，在单晶主泵出现故障是第一时间切断单晶炉本身的主泵，通过气动阀门来转移到我们应急系统上，从而保障生产继续进行，避免由于主泵停跳导致生产过程中断导致的损失。
实用新型内容
为了解决上述难题，本实用新型提供了一种单晶炉真空应急加副泵循环装置。
为了实现上述功能，本实用新型采取的技术方案如下：一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，所述应急泵通过止回阀连接于负压罐，所述应急泵设有两组，所述负压罐通过截止阀连接于真空泵，所述负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，所述真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。
进一步地，所述应急泵和止回阀对应设置。
进一步地，所述负压罐连接于压力表。
进一步地，所述真空泵和单晶炉设有三组。
本实用新型采取上述结构取得有益效果如下：
本装置通过自动化控制回路和并联炉台设计，做到了一对多的形式，简化炉台副泵设施，集中到一台主泵，从而减少了设施硬件投入。
本装置作为单晶炉的备份真空系统在运行中单晶炉主泵异常的情况下可以实现自动切换，有效避免主泵异常导致的生产损失，同时为主泵抢修提供了宝贵时间，减少运行安全风险。
我们这套循环系统比传统单晶炉来说减少的副本的运行和维护成本，保证主泵持久的运行状态，而且我们循环系统维护，维修相当简单，对维护成本大幅度降低。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置的整体结构图；
图2为现有技术的结构图。
其中，1、应急泵，2、负压罐，3、压力表，4、单晶炉，5、真空泵。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型提出的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，应急泵通过止回阀连接于负压罐，应急泵设有两组，负压罐通过截止阀连接于真空泵，负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。
如图1所示，应急泵和止回阀对应设置。
如图1所示，负压罐连接于压力表。
如图1所示，真空泵和单晶炉设有三组。
具体使用时，当正常状态，无异常事故时，应急泵在0.5KPA停止，1.3KPA启动，始终保持一个低真空状态，截止阀关闭，以保证炉台的隔离导气所需要的工作状态，通过闸板阀来实现自由切换。
当有应急事件发生时，应急泵将直接启动，退出自动停机的模式，然后，故障单晶炉对应的截止阀打开，止回阀关闭，以保证单晶炉正常运行。
如果压力超过1.5KPA则启动备用泵。
装置通过现场PLC控制气动电磁阀，及主泵接触器来实现全自动运行。
通过现场压力传感器给PLC信号，在通过内部换算，把它变成实际值，通过比较指令来判断是否可以启泵。启泵的压力条件是通过单晶现场的运行参数给定的,启停泵压力在5-0.001KPA可调，这样可以大范围满足我们的压力条件。
终端单晶炉通过工控机来控制应急启动，和数据反馈，压力设置得功能压力传感器，气动阀的开闭状态，和主泵的运行状态，通过PLC传送到工控机屏幕，来实现实时反馈，实时处理。
综上所述，本装置通过自动化控制回路和并联炉台设计，做到了一对多的形式，简化炉台副泵设施，集中到一台主泵，从而减少了设施硬件投入。
本装置作为单晶炉的备份真空系统在运行中单晶炉主泵异常的情况下可以实现自动切换，有效避免主泵异常导致的生产损失，同时为主泵抢修提供了宝贵时间，减少运行安全风险。
我们这套循环系统比传统单晶炉来说减少的副本的运行和维护成本，保证主泵持久的运行状态，而且我们循环系统维护，维修相当简单，对维护成本大幅度降低。
以上对本实用新型及其实施方式进行了描述，这种描述没有限制性，附图中所示的也只是本实用新型的实施方式之一，实际的结构并不局限于此。总而言之如果本领域的普通技术人员受其启示，在不脱离本实用新型创造宗旨的情况下，不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例，均应属于本实用新型的保护范围。
Claims (4)
1.一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：包括应急泵、负压罐、真空泵和单晶炉，所述应急泵通过止回阀连接于负压罐，所述应急泵设有两组，所述负压罐通过截止阀连接于真空泵，所述负压罐通过闸板阀连接于单晶炉，所述真空泵和负压罐的连接端设有止回阀且连接于单晶炉。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：所述应急泵和止回阀对应设置。
3.根据权利要求2所述的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：所述负压罐连接于压力表。
4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空应急加副泵循环装置，其特征在于：所述真空泵和单晶炉设有三组。
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2023
- 2023-04-19 CN CN202320876535.XU patent/CN219731134U/zh active Active
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