CN219731046U - 一种af镀膜用阻蒸装置 - Google Patents
一种af镀膜用阻蒸装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219731046U CN219731046U CN202320294554.1U CN202320294554U CN219731046U CN 219731046 U CN219731046 U CN 219731046U CN 202320294554 U CN202320294554 U CN 202320294554U CN 219731046 U CN219731046 U CN 219731046U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- lifting
- lift
- groove
- seat
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 36
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 36
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 35
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000006187 pill Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000010025 steaming Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 7
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 abstract 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 4
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000000979 retarding effect Effects 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种AF镀膜用阻蒸装置,包括:机箱,所述机箱前侧铰接有箱门,所述机箱内部底面安装有底座;球罩,安装在机箱内,用于固定待镀膜的产品;阻蒸组件,安装在底座上,用于AF药丸颗粒的蒸发;所述阻蒸组件包括安装在底座上端的一对电极支座,所述底座上端安装有升降机构,所述升降机构上端还通过连接机构安装有升降座;所述升降座和电极支座之间通过固定机构安装有钼舟,本实用新型结构合理,方便根据实际需要调整钼舟的高度,从而满足不同产品的蒸镀需求,同时也方便对钼舟进行拆卸,以方便钼舟的检修维护,能够更好的满足使用需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及镀膜装置技术领域,具体为一种AF镀膜用阻蒸装置。
背景技术
市面上大多数真空镀膜机结构单一,且不具备步进电机不能带动治具伞转动,不能使基片均匀受热,单一的钼舟不能同时放置多个AF药丸,不能提高工作效率,钼舟与治具伞距离较远,不能有效的对基片进行镀膜,无延伸透明管不能对运作状况不能进行实时的查看,为了解决上述问题,中国实用新型专利(授权公告号:CN209522910U;授权公告日:2019.10.22)公开了一种提高AF性能的镀膜改善装置,该装置通过转动轴带动治具伞的匀速转动,使基片得以均匀受到AF药丸的化学作用,避免了基片镀膜不均的情况 过将纯铜电极的直径延长,提高了多位钼舟的高度,使其AF药丸在蒸发时距离基片的位置更加接近,通过多位钼舟可以增加AF药丸的放置使用量。
然而,该装置在具体使用时,虽然提高了钼舟的高度,但是由于纯铜电极的高度是固定的,不方便进行调节,与此同时,钼舟是固定在纯铜电极上的,不方便进行拆卸维护,不能很好的满足使用需求。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种AF镀膜用阻蒸装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种AF镀膜用阻蒸装置,包括:机箱,所述机箱前侧铰接有箱门,所述机箱内部底面安装有底座;球罩,安装在机箱内,用于固定待镀膜的产品;阻蒸组件,安装在底座上,用于AF药丸颗粒的蒸发;所述阻蒸组件包括安装在底座上端的一对电极支座,所述底座上端安装有升降机构,所述升降机构上端还通过连接机构安装有升降座;所述升降座和电极支座之间通过固定机构安装有钼舟。
优选的,所述钼舟上开设有用于放置AF药丸颗粒的放置槽。
优选的,所述球罩包括安装在机箱内部的球罩本体,所述球罩本体上分布开设有多组球槽通孔,每一所述球槽通孔位置均开设有用于贴附产品的球槽安装槽。
优选的,所述电极支座包括安装在底座上端的一对电极支撑套,每一所述电极支撑套内均滑动插装有电极支撑杆,所述电极支撑杆上端还安装有电极安装座。
优选的,所述升降机构包括安装在底座上端的升降套,所述升降套内转动安装有升降丝杆,所述升降套内还滑动插装有升降支撑柱,所述升降支撑柱下端还安装有升降螺母座,所述升降螺母座螺纹套装在升降丝杆上,所述升降丝杆下半部还固定有升降从动锥齿,所述升降套下半部还转动安装有升降手轮,所述升降手轮端部伸入升降套内并固定有升降主动锥齿,所述升降主动锥齿与升降从动锥齿啮合连接。
优选的,所述升降套内还开设有升降滑槽,所述升降支撑柱对应位置安装有升降滑块,升降滑块滑动安装在升降滑槽内。
优选的,所述固定机构包括升降座和电极安装座上端开设的用于放置钼舟的固定安装槽,所述升降座和电极安装座上端对应固定安装槽的位置还开设有固定压槽,所述固定压槽内安装有固定压板。
优选的,所述连接机构包括升降座下端开设的连接槽,所述升降支撑柱上端对应位置固定有连接插块,所述连接插块上还开设有连接通孔,所述升降座上对应连接通孔的位置穿设有连接螺栓。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
通过升降手轮带动升降主动锥齿转动,从而使升降从动锥齿转动带动升降丝杆的转动,从而使升降螺母座带动升降支撑柱移动,从而完成升降座高度的调节,进而完成钼舟高度的调整,方便对不同的产品进行蒸镀;
通过将钼舟的两端插入对应的安装槽,随后,在固定压槽内插装上固定压板将钼舟压住,最后,通过螺栓将固定压板固定即可完成钼舟的安装,操作简单,便于拆卸,方便钼舟的检修维护。
本实用新型结构合理,方便根据实际需要调整钼舟的高度,从而满足不同产品的蒸镀需求,同时也方便对钼舟进行拆卸,以方便钼舟的检修维护,能够更好的满足使用需求。
附图说明
图1为一种AF镀膜用阻蒸装置的整体立体结构示意图;
图2为一种AF镀膜用阻蒸装置隐藏箱门后的立体结构示意图;
图3为一种AF镀膜用阻蒸装置的球罩立体结构示意图;
图4为一种AF镀膜用阻蒸装置的阻蒸组件立体结构示意图;
图5为一种AF镀膜用阻蒸装置的阻蒸组件隐藏压板后的结构示意图;
图6为一种AF镀膜用阻蒸装置的升降机构正面剖视结构示意图。
图中:1-机箱,11-箱门,12-底座,13-钼舟,14-放置槽,15-升降座,2-电极支座,21-电极支撑套,22-电极支撑杆,23-电极安装座,3-球罩,31-气罩本体,32-球罩通孔,33-球罩安装槽,4-升降机构,41-升降套,42-升降支撑柱,43-端盖,44-升降手轮,45-升降主动锥齿,46-升降从动锥齿,47-升降丝杆,48-升降螺母座,49-升降滑槽,5-固定机构,51-固定压板,52-固定安装槽,53-固定压槽,6-连接机构,61-连接螺栓,62-连接插块,63-连接通孔。
实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例:请参阅图1~6,一种AF镀膜用阻蒸装置,包括:机箱1,所述机箱1前侧铰接有箱门11,所述机箱1内部底面安装有底座12;球罩3,安装在机箱1内,用于固定待镀膜的产品;阻蒸组件,安装在底座12上,用于AF药丸颗粒的蒸发;所述阻蒸组件包括安装在底座12上端的一对电极支座2,所述底座12上端安装有升降机构4,所述升降机构4上端还通过连接机构6安装有升降座15;所述升降座15和电极支座2之间通过固定机构5安装有钼舟13,在本实施例中,机箱1上还安装有增压阀,所述钼舟13上开设有用于放置AF药丸颗粒的放置槽14。
本实用新型的工作原理是:具体使用时,首先,通过连接机构6将升降座安装在升降机构4上,随后,通过固定机构5将钼舟13安装在升降座15和电极支座2上,紧接着,通过升降机构4调节钼舟13的固定,待完成钼舟高度的调节后,将待镀膜的产品贴附到球罩3内,最后将AF药丸颗粒放置到放置槽14内,随后关闭箱门11,通过过增压阀进行抽真空处理,最后电极支座2通电,使AF药丸颗粒蒸发,从而实现产品的蒸镀。
其中,所述球罩3包括安装在机箱1内部的球罩本体31,所述球罩本体31上分布开设有多组球槽通孔32,每一所述球槽通孔32位置均开设有用于贴附产品的球槽安装槽33。
通过设置球槽安装槽33,方便将产品贴附在球槽通孔32位置。
其中,所述电极支座2包括安装在底座12上端的一对电极支撑套21,每一所述电极支撑套21内均滑动插装有电极支撑杆22,所述电极支撑杆22上端还安装有电极安装座23。在本实施例中,电极支撑套21和电极支撑杆22均有紫铜材料制成,具有良好的导电性。
通过设置滑动插装在电极支撑套21内的电极支撑杆22,方便配合升降机构4完成电极安装座23高度的调节,从而方便完成钼舟13高度的调节,更好的满足产品的蒸镀需求。
其中,所述升降机构4包括安装在底座12上端的升降套41,所述升降套41内转动安装有升降丝杆47,所述升降套41内还滑动插装有升降支撑柱42,所述升降支撑柱42下端还安装有升降螺母座48,所述升降螺母座48螺纹套装在升降丝杆47上,所述升降丝杆47下半部还固定有升降从动锥齿46,所述升降套41下半部还转动安装有升降手轮44,所述升降手轮44端部伸入升降套41内并固定有升降主动锥齿45,所述升降主动锥齿45与升降从动锥齿46啮合连接,所述升降套41内还开设有升降滑槽49,所述升降支撑柱42对应位置安装有升降滑块,升降滑块滑动安装在升降滑槽49内。
升降时,通过转动升降手轮44,使升降手轮44带动升降主动锥齿45转动,从而使升降主动锥齿45带动升降从动锥齿46转动,进而实现升降丝杆47的转动,从而使螺纹套装在升降丝杆47上的升降螺母座48带动升降支撑柱42移动,从而完成升降座15高度的调节,进而完成钼舟13高度的调整,方便对不同的产品进行蒸镀。
其中,所述固定机构5包括升降座15和电极安装座23上端开设的用于放置钼舟13的固定安装槽52,所述升降座15和电极安装座23上端对应固定安装槽52的位置还开设有固定压槽52,所述固定压槽52内安装有固定压板51。
固定钼舟13时,将钼舟13的两端插入对应的安装槽52内,随后,在固定压槽52内插装上固定压板51将钼舟13压住,最后,通过螺栓将固定压板51固定即可完成钼舟13的安装,操作简单,便于拆卸,方便钼舟的检修维护。
其中,所述连接机构6包括升降座15下端开设的连接槽,所述升降支撑柱42上端对应位置固定有连接插块62,所述连接插块62上还开设有连接通孔63,所述升降座15上对应连接通孔63的位置穿设有连接螺栓61,在本实施例中,升降座15由紫铜材料制成。
安装升降座15时,将升降座15下端的连接槽对准连接插块62,随后将升降座15插装到连接插块62上,随后在升降座15上穿设连接螺栓61,使连接螺栓61穿过连接通孔63,最后旋装上螺帽即可完成升降座15的安装。
在本实用新型中,术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,只是为了便于叙述本实用新型各部件或元件结构关系而确定的关系词,并非特指本实用新型中任一部件或元件,不能理解为对本实用新型的限制。
Claims (8)
1.一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于,包括:
机箱(1),所述机箱(1)前侧铰接有箱门(11),所述机箱(1)内部底面安装有底座(12);
球罩(3),安装在机箱(1)内,用于固定待镀膜的产品;
阻蒸组件,安装在底座(12)上,用于AF药丸颗粒的蒸发;
所述阻蒸组件包括安装在底座(12)上端的一对电极支座(2),所述底座(12)上端安装有升降机构(4),所述升降机构(4)上端还通过连接机构(6)安装有升降座(15);所述升降座(15)和电极支座(2)之间通过固定机构(5)安装有钼舟(13)。
2.根据权利要求1所述的一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于:所述钼舟(13)上开设有用于放置AF药丸颗粒的放置槽(14)。
3.根据权利要求2所述的一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于:所述球罩(3)包括安装在机箱(1)内部的球罩本体(31),所述球罩本体(31)上分布开设有多组球槽通孔(32),每一所述球槽通孔(32)位置均开设有用于贴附产品的球槽安装槽(33)。
4.根据权利要求3所述的一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于:所述电极支座(2)包括安装在底座(12)上端的一对电极支撑套(21),每一所述电极支撑套(21)内均滑动插装有电极支撑杆(22),所述电极支撑杆(22)上端还安装有电极安装座(23)。
5.根据权利要求4所述的一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于:所述升降机构(4)包括安装在底座(12)上端的升降套(41),所述升降套(41)内转动安装有升降丝杆(47),所述升降套(41)内还滑动插装有升降支撑柱(42),所述升降支撑柱(42)下端还安装有升降螺母座(48),所述升降螺母座(48)螺纹套装在升降丝杆(47)上,所述升降丝杆(47)下半部还固定有升降从动锥齿(46),所述升降套(41)下半部还转动安装有升降手轮(44),所述升降手轮(44)端部伸入升降套(41)内并固定有升降主动锥齿(45),所述升降主动锥齿(45)与升降从动锥齿(46)啮合连接。
6.根据权利要求5所述的一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于:所述升降套(41)内还开设有升降滑槽(49),所述升降支撑柱(42)对应位置安装有升降滑块,升降滑块滑动安装在升降滑槽(49)内。
7.根据权利要求6所述的一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于:所述固定机构(5)包括升降座(15)和电极安装座(23)上端开设的用于放置钼舟(13)的固定安装槽(52),所述升降座(15)和电极安装座(23)上端对应固定安装槽(52)的位置还开设有固定压槽(52),所述固定压槽(52)内安装有固定压板(51)。
8.根据权利要求7所述的一种AF镀膜用阻蒸装置,其特征在于:所述连接机构(6)包括升降座(15)下端开设的连接槽,所述升降支撑柱(42)上端对应位置固定有连接插块(62),所述连接插块(62)上还开设有连接通孔(63),所述升降座(15)上对应连接通孔(63)的位置穿设有连接螺栓(61)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320294554.1U CN219731046U (zh) | 2023-02-23 | 2023-02-23 | 一种af镀膜用阻蒸装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202320294554.1U CN219731046U (zh) | 2023-02-23 | 2023-02-23 | 一种af镀膜用阻蒸装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN219731046U true CN219731046U (zh) | 2023-09-22 |
Family
ID=88030844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202320294554.1U Active CN219731046U (zh) | 2023-02-23 | 2023-02-23 | 一种af镀膜用阻蒸装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN219731046U (zh) |
-
2023
- 2023-02-23 CN CN202320294554.1U patent/CN219731046U/zh active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN112240069B (zh) | 一种玻璃幕墙拼接装置 | |
CN219731046U (zh) | 一种af镀膜用阻蒸装置 | |
CN211984371U (zh) | 广告设计绘图装置 | |
CN112058765A (zh) | 一种农业种植用食用菌种基质清洗装置 | |
CN113976344A (zh) | 一种静电喷涂用板材固定装置 | |
CN212134031U (zh) | 一种led显示屏单点检测装置 | |
CN211684636U (zh) | 一种发动机后驱支架 | |
CN217965355U (zh) | 一种可调节式操作面板安装架及激光切割机 | |
CN220817367U (zh) | 一种便于安装定位的led屏 | |
CN220512599U (zh) | 一种计算机硬件展示架 | |
CN113060369B (zh) | 一种机器人夹纸机构 | |
CN220123508U (zh) | 一种拉枝装置 | |
CN219919083U (zh) | 一种可调节的网络配线架 | |
CN219982570U (zh) | 一种水果展示台 | |
CN111118454A (zh) | 一种真空蒸镀设备 | |
CN221087154U (zh) | 一种适用于金属构件电磁加载的铆接设备 | |
CN220907620U (zh) | 一种真空镀膜机工件定位机构 | |
CN216946939U (zh) | 一种微生物培育用培育架 | |
CN218860859U (zh) | 一种物理气相沉积设备用工件转动盘架 | |
CN216059632U (zh) | 一种智能会议用便于调节高度的智能办公桌 | |
CN219215396U (zh) | 一种无人机便于安装的机翼 | |
CN220935071U (zh) | 一种具有角度调节功能的太阳能铝合金边框 | |
CN215147453U (zh) | 一种无心磨床轴加工用延长件及工装 | |
CN215878441U (zh) | 一种喷涂用小型壳体放置架 | |
CN220957655U (zh) | 一种通用型的计算机显示器支架 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |