CN219697972U - 一种远程等离子发生器的散热系统 - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title abstract description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 155
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 claims abstract description 69
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims abstract description 39
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 239000000306 component Substances 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000008358 core component Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010494 dissociation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005593 dissociations Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种远程等离子发生器的散热系统，该系统包括电离腔体和散热装置；电离腔体内设置有两个冷却水道；散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，散热盘内开设有水盘流道，散热盘包括第一散热盘和第二散热盘；进水管一端连通第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；第一出水管一端与第一散热盘的出水口连通，另一端用以连接一个冷却水道的进水端；第二出水管一端与第二散热盘的出水口连通，另一端用以连接另一个冷却水道的进水端；回水管，一端用以两个冷却水道的出水端，另一端用以连接冷却水泵。该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子发生器技术领域，特别涉及一种远程等离子发生器的散热系统。
背景技术
在目前的半导体生产领域，远程等离子发生器利用等离子源在反应区之外合成等离子体，在气流、电场、磁场等作用下将等离子体引入反应区，常用于表面改性、腔室清洗、薄膜蚀刻以及等离子辅助沉积，具体是由腔室、进气口、出气口、磁芯、点火口组成的一个远程等离子源解离腔体。远程等离子发生器，其功能是用于泛半导体设备工艺腔体原子级别的清洁，使用含氟的化合物当做氟的原材料气体进入腔室内，并在交变电场和磁场的作用下，原材料气体将会被解离，并释放出氟自由基，活性离子F-进入工艺室内与工艺室内的污染材料，如氧化硅、氮化硅等发生反应，并将生成的气化新物质由真空泵抽出工艺室，从而保证工艺室的清洁。
远程等离子发生器电离气体时会持续产生高温，需实时散热。而散热效率不高、散热不足时，腔体和磁芯组件极易出现过热的情况，严重降低了腔体及密封件的使用寿命，同时降低了生产效率。因此，亟需配置高效散热的冷却系统。
实用新型内容
本申请通过提供一种远程等离子发生器的散热系统，解决了现有技术中散热效率不高、散热不足的问题，提高了散热效率及生产效率。
本申请实施例提供了一种远程等离子发生器的散热系统，包括：电离腔体和设置于所述电离腔体外的散热装置；
所述电离腔体内设置有两个冷却水道，两个所述冷却水道分别设置于所述电离腔体内的气腔的两侧，两个所述冷却水道均设置有进水端和出水端；
所述散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，所述散热盘内开设有水盘流道，所述散热盘还设置有进水口和出水口，所述水盘流道连通进水口和出水口，所述散热盘设置有两个，分别为第一散热盘和第二散热盘，所述第一散热盘和第二散热盘用以分别设置于电离腔体两侧；
所述进水管一端连通所述第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵的出水端口；
所述第一出水管一端与所述第一散热盘的出水口连通，另一端与一个所述冷却水道的进水端连通；
所述第二出水管一端与所述第二散热盘的出水口连通，另一端与另一个所述冷却水道的进水端连通；
所述回水管一端用以连接两个所述冷却水道的出水端，另一端用以连接所述冷却水泵的回水端口。
上述实施例的有益效果在于：该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
在上述实施例基础上，本申请可进一步改进，具体如下：
在本申请其中一个实施例中，所述散热装置还包括进出水接头，所述进水管和回水管通过所述进出水接头与所述冷却水泵连接。方便调整管路走向，节省空间，同时连接更稳固。
在本申请其中一个实施例中，所述散热盘螺接于磁芯组件壳体。磁芯组件安装于电离腔体外部，为高温部件，散热盘直接贴近安装于磁芯组件上，方便散热。
在本申请其中一个实施例中，所述散热盘包括盖板、流道水盘，所述流道水盘内开设有所述水盘流道。
在本申请其中一个实施例中，所述散热盘还包括密封圈，所述密封圈沿所述水盘流道内壁设置。
在本申请其中一个实施例中，所述水盘流道包括主流道和若干辅流道，所述主流道的截面积大于所述辅流道的截面积，所述主流道呈S型连通所述进水口和所述出水口，所述辅流道两端分别与所述主流道连通，所述辅流道与所述主流道不重叠。主流道配合辅流道可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：
1.该散热系统通过外置的散热盘配合电离腔体内的冷却水道，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
2.该散热装置的散热盘的主流道配合辅流道可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
图1为一种远程等离子发生器的散热系统的结构示意图；
图2为一种远程等离子发生器的散热系统的爆炸示意图；
图3为电离腔体的结构示意图；
图4为散热装置的爆炸结构示意图；
图5为散热盘的结构示意图；
图6为水盘流道的结构示意图一；
图7为水盘流道的结构示意图二。
其中，1.电离腔体、101.进水端、102.出水端、103.气腔、104.冷却水道、201.散热盘、2011.盖板、2012.流道水盘、2013.密封圈、2014.进水口、2015.出水口、2016.主流道、2017.辅流道、202.进水管、203.第一出水管、204.第二出水管、205.回水管、206.进出水接头、3.磁芯组件。
具体实施方式
下面结合具体实施方式，进一步阐明本实用新型，应理解这些实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围，在阅读了本实用新型之后，本领域技术人员对本实用新型的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“外周面”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
此外，术语“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本实用新型描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
本申请实施例通过提供一种远程等离子发生器的散热系统，解决了现有技术中散热效率不高、散热不足的问题，提高了散热效率及生产效率。
本申请实施例中的技术方案为解决上述问题，总体思路如下：
实施例：
如图1-5所示，一种远程等离子发生器的散热系统，包括：远程等离子发生器的电离腔体1和设置于电离腔体1外的散热装置；
该电离腔体1内部还开设有气腔103和冷却水道104，气腔103位于腔体中部，冷却水道104设置有两个，两个冷却水道104分别设置于气腔103的两侧，两个冷却水道分别设置有进水端101，两个冷却水道104共用一个出水端102。
该散热装置包括：散热盘201，进水管202，第一出水管203，第二出水管204，回水管205，进出水接头206。
散热盘201包括盖板2011、流道水盘2012、密封圈2013、进水口2014和出水口2015，流道水盘2012内开设有水盘流道，密封圈2013沿水盘流道内壁设置，水盘流道连通进水口2014和出水口2015。散热盘201设置有两个，分别为第一散热盘201和第二散热盘201，第一散热盘201和第二散热盘201用以分别设置于电离腔体1两侧。
进水管202一端通过连接管同时连通第一散热盘201和第二散热盘201的进水口2014，另一端用以通过进出水接头206连接冷却水泵的出水端口；第一出水管203一端与第一散热盘201的出水口2015连通，另一端用以连接一个冷却水道104的进水端101；第二出水管204一端与第二散热盘201的出水口2015连通，另一端用以连接另一个冷却水道104的进水端101；回水管205一端用以连接冷却水道104的出水端102，另一端用以通过进出水接头206连接冷却水泵的回水端口。
可选的，散热盘201螺接于磁芯组件3壳体。磁芯组件3安装于电离腔体1。
进一步的，如图6-7所示，水盘流道包括主流道2016和若干辅流道2017，主流道2016的截面积大于辅流道2017的截面积，主流道2016呈S型连通进水口和出水口，辅流道2017两端分别与主流道2016连通，辅流道2017与主流道2016不重叠。主流道2016配合辅流道2017可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
上述本申请实施例中的技术方案，至少具有如下的技术效果或优点：
1.该散热装置的散热盘为主要散热器件，配合水管与电离腔体内的冷却水道连通，内外同步换热，提升了散热效率，同时延长了腔体及密封件的使用寿命，提高了生产效率。
2.该散热装置的散热盘的主流道配合辅流道可尽可能扩大换热面积，提高散热效率。
尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。
Claims (6)
1.一种远程等离子发生器的散热系统，其特征在于：包括电离腔体和设置于所述电离腔体外的散热装置；
所述电离腔体内设置有两个冷却水道，两个所述冷却水道分别设置于所述电离腔体内的气腔的两侧，两个所述冷却水道均设置有进水端和出水端；
所述散热装置包括散热盘、进水管、第一出水管、第二出水管和回水管，所述散热盘内开设有水盘流道，所述散热盘还设置有进水口和出水口，所述水盘流道连通进水口和出水口，所述散热盘设置有两个，分别为第一散热盘和第二散热盘，所述第一散热盘和第二散热盘用以分别设置于电离腔体两侧；
所述进水管一端连通所述第一散热盘和第二散热盘的进水口，另一端用以连接冷却水泵；
所述第一出水管一端与所述第一散热盘的出水口连通，另一端与一个所述冷却水道的进水端连通；
所述第二出水管一端与所述第二散热盘的出水口连通，另一端与另一个所述冷却水道的进水端连通；
所述回水管一端用以连接两个所述冷却水道的出水端，另一端用以连接所述冷却水泵。
2.根据权利要求1所述的散热系统，其特征在于：还包括进出水接头，所述进水管和回水管通过所述进出水接头与所述冷却水泵连接。
3.根据权利要求1所述的散热系统，其特征在于：所述散热盘螺接于磁芯组件壳体。
4.根据权利要求1所述的散热系统，其特征在于：所述散热盘包括盖板、流道水盘，所述流道水盘内开设有所述水盘流道。
5.根据权利要求4所述的散热系统，其特征在于：所述散热盘还包括密封圈，密封圈沿水盘流道内壁设置。
6.根据权利要求4所述的散热系统，其特征在于：所述水盘流道包括主流道和若干辅流道，所述主流道的截面积大于所述辅流道的截面积，所述主流道呈S型连通所述进水口和所述出水口，所述辅流道两端分别与所述主流道连通，所述辅流道与所述主流道不重叠。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320887237.0U CN219697972U (zh) | 2023-04-19 | 2023-04-19 | 一种远程等离子发生器的散热系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320887237.0U CN219697972U (zh) | 2023-04-19 | 2023-04-19 | 一种远程等离子发生器的散热系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219697972U true CN219697972U (zh) | 2023-09-15 |
Family
ID=87943748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320887237.0U Active CN219697972U (zh) | 2023-04-19 | 2023-04-19 | 一种远程等离子发生器的散热系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219697972U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117545161A (zh) * | 2024-01-09 | 2024-02-09 | 江苏神州半导体科技有限公司 | 远程等离子发生器的散热调节方法及系统 |
-
2023
- 2023-04-19 CN CN202320887237.0U patent/CN219697972U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117545161A (zh) * | 2024-01-09 | 2024-02-09 | 江苏神州半导体科技有限公司 | 远程等离子发生器的散热调节方法及系统 |
| CN117545161B (zh) * | 2024-01-09 | 2024-03-29 | 江苏神州半导体科技有限公司 | 远程等离子发生器的散热调节方法及系统 |
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |