CN219673412U - 气体平衡调整阀 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了气体平衡调整阀,包括阀壳,以及阀壳外壁上连通的进气口和出气口,所述阀壳的外壁固定连接有电机,所述电机穿入阀壳内部的输出端固定连接有螺杆,所述螺杆的外壁螺纹连接有在阀壳内滑动的阀杆,所述阀杆远离电机的一端螺纹连接有阀芯,所述阀芯的外壁设置有密封圈。通过电机控制螺杆转动,可以让螺杆控制阀杆在阀壳内滑动,这样就可以控制阀芯与出气口内壁的距离,这样就可以起到调整出气空间大小的效果,达到调整气体流量的目的。
Description
技术领域
本实用新型属于真空设备技术领域,具体涉及气体平衡调整阀。
背景技术
气压调节阀是用于气动系统中,对气相沉积工艺中的载气进行减压稳压、流量调节的部件,其作用是对气源压力和流量进行自动调节,以保持系统压力在设定条件下的稳定性和流量的恒定性。
在气相沉积系统和新型材料如石墨烯、碳管、MoS2、复合稀土材料等新材料的制备以及新材料的热处理中,往往需要提供稳定气流、可控恒压的高温环境,对于气压控制目前市面主流设备都采用了,小孔径,刚性平面阀体,它具有调整范围小,反应迟钝,气压波动大等缺陷,很难满足需求。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供气体平衡调整阀,具备便于稳定调节气流的优点。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:气体平衡调整阀,包括阀壳,以及阀壳外壁上连通的进气口和出气口,所述阀壳的外壁固定连接有电机,所述电机穿入阀壳内部的输出端固定连接有螺杆,所述螺杆的外壁螺纹连接有在阀壳内滑动的阀杆,所述阀杆远离电机的一端螺纹连接有阀芯,所述阀芯的外壁设置有密封圈。
优选的,所述阀壳的外壁设置有感应开关,所述感应开关采用光电开关。
优选的,所述阀芯为圆锥体,且锥面与出气口的内壁贴合。
优选的,所述阀杆位于进气口的外壁设置有密封管,所述密封管可以伸缩。
优选的,所述阀杆包括杆体,所述杆体位于螺杆一侧的内壁开设有螺纹槽。
优选的,所述杆体远离螺纹槽的一端固定连接有螺纹头,所述螺纹头用于安装阀芯。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1、通过电机控制螺杆转动,可以让螺杆控制阀杆在阀壳内滑动,这样就可以控制阀芯与出气口内壁的距离,这样就可以起到调整出气空间大小的效果,达到调整气体流量的目的。
2、电机采用伺服电动机,这样电机加光电开关,速度更快,反应更加迅速,在阀芯的锥面上加装柔性密封的密封圈可以让密封性能更好,调整范围更大,从而提高出气口的工作能力。
3、调节阀配套流量计使用,根据流量计的反馈利用伺服电机的精准不断调节气体流通截面面积实现气体流量的动态平衡。
附图说明
图1为本实用新型的主体剖视结构示意图;
图2为本实用新型的主体外部结构示意图;
图3为本实用新型的图1中A处局部结构示意图;
图4为本实用新型的图1中B处结构示意图。
图中:1、阀壳;2、电机;3、螺杆;4、阀杆;5、阀芯;6、密封圈;7、密封管;8、感应开关;9、出气口;10、进气口;400、杆体;401、螺纹槽;402、螺纹头。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图4,本实用新型提供一种技术方案:气体平衡调整阀,包括阀壳1,以及阀壳1外壁上连通的进气口10和出气口9,阀壳1的外壁固定连接有电机2,电机2穿入阀壳1内部的输出端固定连接有螺杆3,螺杆3的外壁螺纹连接有在阀壳1内滑动的阀杆4,阀杆4远离电机2的一端螺纹连接有阀芯5,阀芯5的外壁设置有密封圈6。
本实施方案中,通过电机2控制螺杆3转动,可以让螺杆3控制阀杆4在阀壳1内滑动,这样就可以控制阀芯5与出气口9内壁的距离,这样就可以起到调整出气空间大小的效果,达到调整气体流量的目的。
具体的,阀壳1的外壁设置有感应开关8,感应开关8采用光电开关。
本实施方案中,电机2采用伺服电动机,这样电机2加光电开关,速度更快,反应更加迅速。
具体的,阀芯5为圆锥体,且锥面与出气口9的内壁贴合。
本实施方案中,在阀芯5的锥面上加装柔性密封的密封圈6可以让密封性能更好,调整范围更大,从而提高出气口9的工作能力。
具体的,阀杆4位于进气口10的外壁设置有密封管7,密封管7可以伸缩。
本实施方案中,通过可以伸缩的密封管7,可以让阀杆4伸缩的时候带动密封管7伸缩,这样就可以让密封管7始终包裹在阀杆4上,避免空气从阀杆4与阀壳1的连接处漏气。
具体的,阀杆4包括杆体400,杆体400位于螺杆3一侧的内壁开设有螺纹槽401。
本实施方案中,通过螺纹槽401可以让螺杆3转动的时候让阀杆4移动,从而起到了控制流量的效果。
具体的,杆体400远离螺纹槽401的一端固定连接有螺纹头402,螺纹头402用于安装阀芯5。
本实施方案中,通过螺纹头402可以起到方便阀芯5安装的效果。
本实用新型的工作原理及使用流程:通过电机2控制螺杆3转动,可以让螺杆3控制阀杆4在阀壳1内滑动,这样就可以控制阀芯5与出气口9内壁的距离,这样就可以起到调整出气空间大小的效果,达到调整气体流量的目的,电机2采用伺服电动机,这样电机2加光电开关,速度更快,反应更加迅速,在阀芯5的锥面上加装柔性密封的密封圈6可以让密封性能更好,调整范围更大,从而提高出气口9的工作能力,通过可以伸缩的密封管7,可以让阀杆4伸缩的时候带动密封管7伸缩,这样就可以让密封管7始终包裹在阀杆4上,避免空气从阀杆4与阀壳1的连接处漏气,通过螺纹槽401可以让螺杆3转动的时候让阀杆4移动,从而起到了控制流量的效果,通过螺纹头402可以起到方便阀芯5安装的效果。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.气体平衡调整阀,包括阀壳(1),以及阀壳(1)外壁上连通的进气口(10)和出气口(9),其特征在于:所述阀壳(1)的外壁固定连接有电机(2),所述电机(2)穿入阀壳(1)内部的输出端固定连接有螺杆(3),所述螺杆(3)的外壁螺纹连接有在阀壳(1)内滑动的阀杆(4),所述阀杆(4)远离电机(2)的一端螺纹连接有阀芯(5),所述阀芯(5)的外壁设置有密封圈(6)。
2.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀,其特征在于:所述阀壳(1)的外壁设置有感应开关(8),所述感应开关(8)采用光电开关。
3.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀,其特征在于:所述阀芯(5)为圆锥体,且锥面与出气口(9)的内壁贴合。
4.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀,其特征在于:所述阀杆(4)位于进气口(10)的外壁设置有密封管(7),所述密封管(7)可以伸缩。
5.根据权利要求1所述的气体平衡调整阀,其特征在于:所述阀杆(4)包括杆体(400),所述杆体(400)位于螺杆(3)一侧的内壁开设有螺纹槽(401)。
6.根据权利要求5所述的气体平衡调整阀,其特征在于:所述杆体(400)远离螺纹槽(401)的一端固定连接有螺纹头(402),所述螺纹头(402)用于安装阀芯(5)。
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