CN219672856U - 一种用于干式真空泵机组的冷却系统 - Google Patents
一种用于干式真空泵机组的冷却系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN219672856U CN219672856U CN202321092737.1U CN202321092737U CN219672856U CN 219672856 U CN219672856 U CN 219672856U CN 202321092737 U CN202321092737 U CN 202321092737U CN 219672856 U CN219672856 U CN 219672856U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- pipeline
- hole
- vacuum pump
- dry vacuum
- cooling liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 claims abstract description 54
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 12
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 6
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 4
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 3
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
Abstract
本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种用于干式真空泵机组的冷却系统，包括：第一管路进水端与第一腔室连通，第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；第二管路一端通过恒流阀与第一管路出水端连接，另一端与第二腔室连通，第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，第二部位为电机；或者，第一部位为后级主泵组处，相应的，第二部位为前级泵；本申请通过增设恒流阀，限制冷却液流量，降低电机端或前级泵的冷却速度，使得电机端或前级泵保持较高温度，避免形成温度差；使得干式真空泵机组的温度分布均衡。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空泵技术领域，具体涉及一种用于干式真空泵机组的冷却系统。
背景技术
干式真空泵机组，尤其是由罗茨泵和无油螺杆真空泵组成的罗茨－螺杆干式真空泵机组，大量运用于半导体行业中。例如：在半导体产品加工的不同制程中会产生不同的气体，不同的气体具有一定的临界冷凝温度。为了防止气体冷凝，需要将罗茨－螺杆干式真空泵机组工作空间的温度保持一致。因此，罗茨－螺杆干式真空泵机组在运行的过程中需要利用冷却系统进行冷却，用于电机和真空泵腔体等的冷却，防止部分部件的温度过高而停机。但是，罗茨－螺杆干式真空泵机组在运行的过程中会存在罗茨泵的整体温度较低，无油螺杆真空泵的温度较高的现象，并且也会出现电机端较齿轮端温度低的现象；即罗茨－螺杆干式真空泵机组在工作时，存在温度分布不均衡的问题。
实用新型内容
因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服罗茨－螺杆干式真空泵机组在工作时，存在温度分布不均衡的缺陷。
为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种用于干式真空泵机组的冷却系统，包括：
第一管路，进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；
第二管路，一端通过恒流阀与第一管路的出水端连接，另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵；所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组；
第三管路，一端与第二腔室连通，所述第三管路适于将第二腔室中的冷却液输出。
可选地，还包括：
第四管路，与第三管路的另一端连接，所述第四管路适于将第三管路中的冷却液排出；
第五管路，一端与第四管路连接，另一端与第一管路连接。
可选地，还包括：
第一三通接头，第一端与第一管路的出水端连接，第一三通接头的第二端与恒流阀连接，第一三通接头的第三端与第五管路连接；
第二三通接头，第一端与第三管路连接，第二三通接头的第二端与第四管路连接，第二三通接头的第三端与第五管路连接。
可选地，所述恒流阀包括：
阀体，设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；
阀芯，滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小；在所述阀芯内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯上沿冷却液流动方向的上游和下游；
节流件，卡接设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯的下游，在所述节流件上设有节流孔；所述节流部适于随着冷却液对阀芯压力的增大，阀芯向靠近节流件的方向滑动，节流部置入所述节流孔中的深度越大；
弹性件，位于所述通孔中，弹性件的一端抵接于阀芯上，弹性件的另一端抵接于节流件上。
可选地，所述恒流阀还包括：
堵板，固定设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯的上游，在所述堵板上设有过孔，在所述过孔上设有滤网。
可选地，在所述阀体的通孔内壁设有环状槽，所述堵板的边缘嵌于所述环状槽中。
可选地，所述阀芯还设有：
与所述节流部连接的连接部，所述连接部的截面尺寸大于节流部的截面尺寸；
与所述连接部连接的滑动部，所述滑动部与所述通孔滑动贴合。
可选地，所述中间通道为连通设置的第一孔和第二孔，所述第一孔设置于所述阀芯上远离节流件的一端，且所述第一孔与所述阀芯上沿冷却液流动方向的上游连通；所述第二孔与第一孔垂直设置，且所述第二孔设置于所述连接部上，所述第二孔与所述阀芯上沿冷却液流动方向的下游连通。
可选地，所述弹性件为弹簧，且所述弹簧套设于所述连接部上。
可选地，所述节流件设有环状凸缘，所述阀体的通孔内设有环状台肩，所述环状凸缘通过与所述环状台肩抵接形成卡接设置。
本实用新型的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：
1.本实用新型提供的用于干式真空泵机组的冷却系统，包括：第一管路，进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；第二管路，一端通过恒流阀与第一管路的出水端连接，另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵；所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组；第三管路，一端与第二腔室连通，所述第三管路适于将第二腔室中的冷却液输出；本申请采用上述技术方案，通过在用于干式真空泵机组的冷却系统中增设恒流阀，限制冷却液的流量，降低电机端或前级泵的冷却速度，使得电机端或前级泵保持较高的温度，避免在电机端与齿轮端之间，或者在前级泵与后级主泵组之间形成温度差；使得干式真空泵机组的温度分布均衡，防止半导体产品加工时的气体冷凝，有效提升气体的排除效率，尤其是提升抽排废气的能力。
2.本实用新型提供的用于干式真空泵机组的冷却系统，还包括：第四管路，与第三管路的另一端连接，所述第四管路适于将第三管路中的冷却液排出；第五管路，一端与第四管路连接，另一端与第一管路连接；本申请采用上述技术方案，通过第四管路将第三管路和第五管路中的冷却液排出，形成持续流动的冷却液，提高冷却液的冷却效率。
3.本实用新型提供的用于干式真空泵机组的冷却系统，还包括：第一三通接头，第一端与第一管路的出水端连接，第一三通接头的第二端与恒流阀连接，第一三通接头的第三端与第五管路连接；第二三通接头，第一端与第三管路连接，第二三通接头的第二端与第四管路连接，第二三通接头的第三端与第五管路连接；本申请采用上述技术方案，通过第一三通接头方便连接第一管路、恒流阀和第五管路；通过第二三通接头方便连接第三管路、第四管路和第五管路；同时，也方便拆卸和维修。
4.本实用新型所述恒流阀包括：阀体，设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；阀芯，滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小；在所述阀芯内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯上沿冷却液流动方向的上游和下游；节流件，卡接设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯的下游，在所述节流件上设有节流孔；所述节流部适于随着冷却液对阀芯压力的增大，阀芯向靠近节流件的方向滑动，节流部置入所述节流孔中的深度越大；弹性件，位于所述通孔中，弹性件的一端抵接于阀芯上，弹性件的另一端抵接于节流件上；本申请采用上述技术方案，当冷却液的压力增大时，冷却液对阀芯的压力增大，阀芯向靠近节流件的方向滑动，阀芯压缩弹性件至一定程度后，节流部置入所述节流孔中的深度增大，有效流通面积减小，冷却液通过节流孔的流速增大，保持通过恒流阀的冷却液的流量恒定，从而达到限流的作用，可匹配不同压力下输出的冷却液的流量相同。并且，恒流阀的结构简单，易于生产加工，耐久性高。
5.本实用新型所述恒流阀还包括：堵板，固定设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯的上游，在所述堵板上设有过孔，在所述过孔上设有滤网；本申请采用上述技术方案，通过设置滤网的堵板，可以过滤冷却液中的部分杂质，防止堵塞，保持冷却液的流通通畅。
6.本实用新型在所述阀体的通孔内壁设有环状槽，所述堵板的边缘嵌于所述环状槽中；本申请采用上述技术方案，确保堵板牢固设置。
7.本实用新型所述阀芯还设有：与所述节流部连接的连接部，所述连接部的截面尺寸大于节流部的截面尺寸；与所述连接部连接的滑动部，所述滑动部与所述通孔滑动贴合；本申请采用上述技术方案，确保阀芯的强度足够，结实可靠。
8.本实用新型所述中间通道为连通设置的第一孔和第二孔，所述第一孔设置于所述阀芯上远离节流件的一端，且所述第一孔与所述阀芯上沿冷却液流动方向的上游连通；所述第二孔与第一孔垂直设置，且所述第二孔设置于所述连接部上，所述第二孔与所述阀芯上沿冷却液流动方向的下游连通；本申请采用上述技术方案，将中间通道设置于尺寸比较大的连接部和滑动部上，在保证冷却液顺利流通的情形下，确保阀芯的强度足够，结实可靠。
9.本实用新型所述弹性件为弹簧，且所述弹簧套设于所述连接部上；本申请采用上述技术方案，通过连接部，对弹簧进行一定的施力导向，防止施力偏斜。
10.本实用新型所述节流件设有环状凸缘，所述阀体的通孔内设有环状台肩，所述环状凸缘通过与所述环状台肩抵接形成卡接设置；本申请采用上述技术方案，确保节流件的安装牢固可靠。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施方式中提供的用于干式真空泵机组的冷却系统的连接结构示意图；
图2为本实用新型实施方式中提供的恒流阀的剖视结构示意图。
附图标记说明：
1、第一管路；2、第一三通接头；3、恒流阀；4、第二管路；5、第三管路；6、第二三通接头；7、第四管路；8、第五管路；9、阀体；10、堵板；11、阀芯；12、弹性件；13、节流件。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
如图1至图2所示的用于干式真空泵机组的冷却系统的一种具体实施方式，包括：依次连接的第一管路1、第一三通接头2、恒流阀3和第二管路4，依次连接的第三管路5、第二三通接头6和第四管路7，以及与第二三通接头6连接的第五管路8。所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组。当所述干式真空泵机组为罗茨－螺杆干式真空泵机组时，所述前级泵为罗茨泵，所述后级主泵组为无油螺杆真空泵。当所述干式真空泵机组为罗茨－爪泵干式真空泵机组时，所述前级泵为罗茨泵，所述后级主泵组为爪泵。当所述干式真空泵机组为罗茨－多级罗茨干式真空泵机组时，所述前级泵为前级罗茨泵，所述后级主泵组为多级罗茨泵。对于所述干式真空泵机组，由电机带动齿轮转动，两个相对转动的齿轮分别带动前级泵的一对转子转动，进而通过一对转子分别带动后级主泵组相应的转子转动。
如图1所示，所述第一管路1的进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；所述第二管路4的一端通过恒流阀3与第一管路1的出水端连接，第二管路4的另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵。所述第三管路5的一端与第二腔室连通，所述第四管路7与第三管路5的另一端连接，所述第四管路7适于将第三管路5中的冷却液排出；所述第五管路8的一端与第四管路7连接，第五管路8的另一端与第一管路1连接。所述第一三通接头2的第一端与第一管路1的出水端连接，第一三通接头2的第二端与恒流阀3连接，第一三通接头2的第三端与第五管路8连接；所述第二三通接头6的第一端与第三管路5连接，第二三通接头6的第二端与第四管路7连接，第二三通接头6的第三端与第五管路8连接。具体的，冷却液为冷却水。
如图2所示，所述恒流阀3包括：阀体9、滑动连接于所述阀体9内的阀芯11、卡接设置于阀体9内的节流件13、设置于所述阀体9内的弹性件12和堵板10。其中，图2中的箭头表示冷却液流动方向，同时也按箭头所示方向进行装配各件。
所述阀体9设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；所述阀芯11滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯11上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部、与所述节流部连接的连接部、以及与所述连接部连接的滑动部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小，具体的，所述节流部的形状为圆锥状；所述连接部的截面尺寸大于节流部的截面尺寸；所述滑动部与所述通孔滑动贴合。在所述阀芯11内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯11上沿冷却液流动方向的上游和下游。所述节流件13卡接设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯11的下游，在所述节流件13上设有节流孔；所述节流部适于随着冷却液对阀芯11压力的增大，阀芯11向靠近节流件13的方向滑动，节流部置入所述节流孔中的深度越大；所述弹性件12位于所述通孔中，弹性件12的一端抵接于阀芯11上，弹性件12的另一端抵接于节流件13上。所述堵板10固定设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯11的上游，在所述堵板10上设有过孔，在所述过孔上设有滤网。具体的，在所述阀体9的通孔内壁设有环状槽，所述堵板10的边缘嵌于所述环状槽中。所述中间通道为连通设置的第一孔和第二孔，所述第一孔设置于所述阀芯11上远离节流件13的一端，且所述第一孔与所述阀芯11上沿冷却液流动方向的上游连通；所述第二孔与第一孔垂直设置，且所述第二孔设置于所述连接部上，所述第二孔与所述阀芯11上沿冷却液流动方向的下游连通。所述弹性件12为弹簧，且所述弹簧套设于所述连接部上；所述弹簧为不锈钢高强度弹簧。所述节流件13设有环状凸缘，所述阀体9的通孔内设有环状台肩，所述环状凸缘通过与所述环状台肩抵接形成卡接设置。
本申请所述用于干式真空泵机组的冷却系统的主要工作过程简述如下：冷却水从第一管路1，经第一三通接头2分流为两路并联，一路经恒流阀3和冷却电机的第二腔室，并在第二三通接头6的位置与第五管路8中的冷却水合流。通过恒流阀3限制冷却水流量，从而降低电机端腔体或前级泵的冷却能力，使电机端腔体或前级泵保持在一个较高的温度，避免形成温度差；从而有效提升废气的排除效率。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其他不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，包括：
第一管路(1)，进水端与第一腔室连通，所述第一腔室为靠近干式真空泵机组第一部位设置的冷却液通道；
第二管路(4)，一端通过恒流阀(3)与第一管路(1)的出水端连接，另一端与第二腔室连通，所述第二腔室为靠近干式真空泵机组第二部位设置的冷却液通道；所述第一部位为安装齿轮的轴承处，相应的，所述第二部位为电机；或者，所述第一部位为后级主泵组处，相应的，所述第二部位为前级泵；所述干式真空泵机组为依次串接的前级泵和后级主泵组；
第三管路(5)，一端与第二腔室连通，所述第三管路(5)适于将第二腔室中的冷却液输出。
2.根据权利要求1所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，还包括：
第四管路(7)，与第三管路(5)的另一端连接，所述第四管路(7)适于将第三管路(5)中的冷却液排出；
第五管路(8)，一端与第四管路(7)连接，另一端与第一管路(1)连接。
3.根据权利要求2所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，还包括：
第一三通接头(2)，第一端与第一管路(1)的出水端连接，第一三通接头(2)的第二端与恒流阀(3)连接，第一三通接头(2)的第三端与第五管路(8)连接；
第二三通接头(6)，第一端与第三管路(5)连接，第二三通接头(6)的第二端与第四管路(7)连接，第二三通接头(6)的第三端与第五管路(8)连接。
4.根据权利要求1－3任一项所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述恒流阀(3)包括：
阀体(9)，设有通孔，所述通孔适于流通冷却液；
阀芯(11)，滑动连接于所述通孔中；在所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向下游一侧设有节流部，所述节流部的形状由端部向底部逐渐减小；在所述阀芯(11)内还设有中间通道，所述中间通道连通所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向的上游和下游；
节流件(13)，卡接设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯(11)的下游，在所述节流件(13)上设有节流孔；所述节流部适于随着冷却液对阀芯(11)压力的增大，阀芯(11)向靠近节流件(13)的方向滑动，节流部置入所述节流孔中的深度越大；
弹性件(12)，位于所述通孔中，弹性件(12)的一端抵接于阀芯(11)上，弹性件(12)的另一端抵接于节流件(13)上。
5.根据权利要求4所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述恒流阀(3)还包括：
堵板(10)，固定设置于所述通孔中，且沿冷却液流动方向位于所述阀芯(11)的上游，在所述堵板(10)上设有过孔，在所述过孔上设有滤网。
6.根据权利要求5所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，在所述阀体(9)的通孔内壁设有环状槽，所述堵板(10)的边缘嵌于所述环状槽中。
7.根据权利要求4所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述阀芯(11)还设有：
与所述节流部连接的连接部，所述连接部的截面尺寸大于节流部的截面尺寸；
与所述连接部连接的滑动部，所述滑动部与所述通孔滑动贴合。
8.根据权利要求7所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述中间通道为连通设置的第一孔和第二孔，所述第一孔设置于所述阀芯(11)上远离节流件(13)的一端，且所述第一孔与所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向的上游连通；所述第二孔与第一孔垂直设置，且所述第二孔设置于所述连接部上，所述第二孔与所述阀芯(11)上沿冷却液流动方向的下游连通。
9.根据权利要求7所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述弹性件(12)为弹簧，且所述弹簧套设于所述连接部上。
10.根据权利要求4所述的用于干式真空泵机组的冷却系统，其特征在于，所述节流件(13)设有环状凸缘，所述阀体(9)的通孔内设有环状台肩，所述环状凸缘通过与所述环状台肩抵接形成卡接设置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321092737.1U CN219672856U (zh) | 2023-05-08 | 2023-05-08 | 一种用于干式真空泵机组的冷却系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202321092737.1U CN219672856U (zh) | 2023-05-08 | 2023-05-08 | 一种用于干式真空泵机组的冷却系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN219672856U true CN219672856U (zh) | 2023-09-12 |
Family
ID=87920057
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202321092737.1U Active CN219672856U (zh) | 2023-05-08 | 2023-05-08 | 一种用于干式真空泵机组的冷却系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219672856U (zh) |
-
2023
- 2023-05-08 CN CN202321092737.1U patent/CN219672856U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10711784B2 (en) | Air compressor with drain pipe arrangement | |
| CN204716541U (zh) | 两级喷油螺杆式压缩机 | |
| WO2012166325A1 (en) | Compressor windage mitigation | |
| US7112033B1 (en) | Hygienic mechanical seal flushing system for pure liquids in sanitary centrifugal pumps | |
| US11306734B2 (en) | Centrifugal compressor | |
| CN104989654A (zh) | 无油旋片真空式自吸离心泵及其使用方法 | |
| US20160177954A1 (en) | Multi-stage centrifugal compressor and air conditioning unit | |
| US20130334223A1 (en) | Split pressure vessel for two flow processing | |
| CN219672856U (zh) | 一种用于干式真空泵机组的冷却系统 | |
| CN211666886U (zh) | 一种用于螺杆空压机的进气过滤系统 | |
| CN116480589A (zh) | 一种用于干式真空泵机组的冷却系统 | |
| CN111927773A (zh) | 一种高效节能的无油螺杆空压机 | |
| CN102192158A (zh) | 立式无密封自吸泵 | |
| CN116928115A (zh) | 磁悬浮离心空压机 | |
| JP6742509B2 (ja) | 給液式気体圧縮機 | |
| CN210638329U (zh) | 引射系统及冷水机组的回油系统、冷水机组 | |
| CN113294347B (zh) | 一种立式双吸泵及其设计方法 | |
| CN216975258U (zh) | 一种立式双吸泵 | |
| CN107165802B (zh) | 共用轴离心增压泵与柱塞泵高压泵组 | |
| CN208268066U (zh) | 一种用于工艺气压缩的二级单螺杆压缩机组 | |
| CN218934724U (zh) | 一种螺杆式水冷机组 | |
| RU2133879C1 (ru) | Система уплотнений турбокомпрессора | |
| CN219412952U (zh) | 自清洁液下泵及立式筒袋泵 | |
| CN217926347U (zh) | 一种并联泵泵送系统 | |
| CN220185385U (zh) | 一种砂浆缸废液快速排空泵 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 8/F, Building 1, No. 13, Guocheng Road, Shunqing District, Nanchong City, Sichuan Province, 637000 Patentee after: Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 8/F, Building 1, No. 13, Guocheng Road, Shunqing District, Nanchong City, Sichuan Province, 637000 Patentee before: Zhongke Jiuwei Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |