CN219641129U - 压力测量装置及压力传感器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种压力测量装置及压力传感器，该装置中，电容结构包括相对设置于容腔中的定电极和动电极，动电极相邻于开口，且能够感受到外界压力并产生形变，以改变动电极与定电极构成的电容；电感结构，包括电感线圈和磁芯，电感线圈与定电极绝缘连接；磁芯与动电极固定连接，且位于电感线圈所在圆周内侧，磁芯能够在动电极形变时与电感线圈产生相对位移，以改变电感线圈的电感；电感线圈、动电极与定电极用于与计算电压的处理器电连接，且被设置为使电感与电容并联。本实用新型不仅可以提高线性度和精度，而且还可以减少受外部干扰的影响，从而可以提高信号稳定性。

Description

压力测量装置及压力传感器

技术领域

本实用新型涉及压力检测技术领域，具体地，涉及一种压力测量装置及压力传感器。

背景技术

压力传感器是工业生产中最为常用的一种传感器，其广泛应用于各种工业自控环境，涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。其中，电感式压力传感器是利用感应线圈的电感量变化来测量压力的仪表。

图1为现有的一种电感式压力传感器的结构图。图2为沿图1中A-A线的剖面图。请一并参阅图1和图2，电感式压力传感器包括包括：基底101、可动薄膜102和感应线圈103。其中，基底101具有沿竖直方向贯通基底101的第一空腔104；可动薄膜102用于接收外界给予的压力并产生形变；感应线圈103为由导线或导体绕制成的梁状结构，且感应线圈103的两端分别设置在基底101的顶面上，中间部分悬空在第一空腔104的上方；感应线圈103与衬底101的接触部分设置有绝缘介质层105。可动薄膜102设置在第一空腔104中，且第一空腔104的内壁连接；可动薄膜102位于与感应线圈103的下方，且与感应线圈103之间形成第二空腔106，并且可动薄膜102与感应线圈103通过绝缘支撑部件107连接。上述电感式压力传感器的工作原理是：当有外界压力通过第二空腔106施加到可动薄膜102时，可动薄膜102受到压力发生弯曲形变，进而造成可动薄膜102上的绝缘支撑部件107的位置发生变化，绝缘支撑部件107的位置变化造成感应线圈103的形状发生变化，从而造成感应线圈103的电感值发生变化，根据预存的感应线圈103的电感值与压力值的对应关系可以确定外界压力大小。

但是，由于上述电感式压力传感器是通过可动薄膜102发生形变，继而改变感应线圈103的形变，来使感应线圈103的电感量发生变化，两次形变会产生更多的非线性因素，导致线性度、精度较差，而且上述电感式压力传感器仅测量感应线圈103的电感值，变量单一，很容易因外部干扰而造成信号不稳定性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种压力测量装置及压力传感器，其不仅可以提高线性度和精度，而且还可以减少受外部干扰的影响，从而可以提高信号稳定性。

为实现本实用新型的目的而提供一种压力测量装置，包括：

壳体，所述壳体内部设置有带有开口的容腔；

电容结构，包括相对设置于所述容腔中的定电极和动电极，所述动电极相邻于所述开口，且能够感受到外界压力并产生形变，以改变所述动电极与所述定电极构成的电容；

电感结构，包括电感线圈和磁芯，所述电感线圈与所述定电极绝缘连接；所述磁芯与所述动电极固定连接，且位于所述电感线圈所在圆周内侧，所述磁芯能够在所述动电极形变时与所述电感线圈产生相对位移，以改变所述电感线圈的电感；所述电感线圈、所述动电极与所述定电极用于与计算电压的处理器电连接，且被设置为使所述电感与所述电容并联。

可选的，所述定电极包括绝缘主体，所述绝缘主体的相邻于所述动电极一侧的表面设置有导电层，且所述绝缘主体中设置有用于容置所述电感线圈的容置空间；

所述绝缘主体和所述导电层中对应设置有通孔，所述通孔位于所述电感线圈所在圆周内侧；所述磁芯设置于所述动电极上的相邻于所述导电层一侧，且所述磁芯的至少一部分位于所述通孔中。

可选的，所述绝缘主体包括中心部分和环绕于所述中心部分周围的外围部分，所述中心部分的外周面与所述外围部分的内周面间隔设置，构成所述容置空间；所述中心部分、所述外围部分和所述电感线圈固定连接。

可选的，在所述容置空间中填充有胶体，用于将所述中心部分、所述外围部分和所述电感线圈固定连接。

可选的，所述压力测量装置还包括第一输出线和第二输出线，所述第一输出线的一端与所述电感线圈的第一端和所述导电层电连接，所述第一输出线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；所述第二输出线的一端与所述电感线圈的第二端和所述动电极电连接，所述第二输出线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；所述第一输出线和第二输出线的另一端用于与计算电压的处理器电连接。

可选的，所述导电层设置于所述中心部分相邻于所述动电极一侧的表面；所述第一输出线的一端贯通所述中心部分，并与所述导电层电连接。

可选的，所述第一输出线包括第一导线和第二导线，其中，所述第一导线的一端与所述电感线圈的第一端电连接，所述第一导线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；

所述第二导线的一端自所述绝缘主体背离所述动电极一侧贯通所述绝缘主体，并与所述导电层电连接，所述第二导线的另一端与所述第一导线电连接。

可选的，所述壳体包括上壳体、下壳体和顶盖，其中，所述下壳体和所述顶盖分别设置于所述上壳体在其轴向上的两端，所述上壳体、下壳体和顶盖合围成所述容腔；

所述动电极的周向边缘部分设置于所述上壳体和所述下壳体之间，且与二者密封连接；

所述定电极相对设置于所述动电极靠近所述顶盖一侧，且所述绝缘主体的周向边缘部分与所述上壳体连接。

可选的，所述动电极的周向边缘部分与所述上壳体电接触；

所述第二输出线包括第三导线和第四导线，所述第三导线的一端与所述电感线圈的第二端电连接，所述第三导线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；所述第四导线的一端与所述上壳体电连接，所述第四导线的另一端与所述第三导线电连接。

可选的，绕制所述电感线圈的线体包覆有绝缘材料。

可选的，所述压力测量装置还包括电阻元件，所述电阻元件用于所述处理器电连接，且被设置为与所述电感和所述电容并联。

作为另一个技术方案，本实用新型还提供一种压力传感器，包括本实用新型提供的上述压力测量装置，以及处理器；

所述处理器与所述压力测量装置电连接，用于根据所述压力测量装置输出的所述电容和所述电感，计算获得由所述电容和所述电感构成的并联谐振电路的振荡频率，并根据所述振荡频率与电压的对应关系，获得与当前的所述振荡频率对应的电压值。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的压力测量装置，其电感结构包括感应线圈和磁芯，该磁芯与动电极固定连接，且能够在动电极形变时与感应线圈产生相对位移，以通过改变感应线圈的内部磁芯的相对磁导率，来改变感应线圈的电感，这样只需动电极产生一次形变就可以使感应线圈的电感量产生变化，而感应线圈本身无需产生形变，从而可以提高压力测量的线性度和精度。此外，上述压力测量装置输出的信号是电容和电感的耦合信号，这种耦合信号可以减少受外部干扰的影响，从而可以提高信号稳定性。

本实用新型提供的压力传感器，其处理器根据上述压力测量装置输出的电容和电感，来计算获得由电容和电感构成的并联谐振电路的振荡频率，并根据振荡频率与电压的对应关系，获得与当前的振荡频率对应的电压值，不仅可以提高线性度和精度，而且还可以减少受外部干扰的影响，从而可以提高信号稳定性。

附图说明

图1为现有的一种电感式压力传感器的结构图；

图2为沿图1中A-A线的剖面图；

图3为本实用新型实施例提供的压力测量装置的剖面图；

图4为本实用新型实施例提供的压力测量装置的半剖结构分解图；

图5为本实用新型实施例采用的LC电路图；

图6为本实用新型实施例采用的RLC电路图；

图7为本实用新型实施例提供的压力传感器的原理框图。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图来对本实用新型提供的压力测量装置及压力传感器进行详细描述。

请一并参阅图3和图4，本实用新型实施例提供的压力测量装置，包括壳体1、电容结构和电感结构，其中，壳体1内部设置有带有开口121的容腔A；电容结构包括相对设置于上述容腔A中的定电极3和动电极2，动电极2相邻于开口121，且能够感受到外界压力并产生形变，以改变动电极2与定电极3构成的电容。可选的，动电极2为金属膜片，该金属膜片的厚度大于等于35μm，其小于等于50μm。

在一些可选的实施例中，上述壳体1包括上壳体11、下壳体12和顶盖13，其中，上壳体11呈环状，下壳体12和顶盖13分别设置于上壳体11在其轴向上的两端，上壳体11、下壳体12和顶盖13合围成容腔A，下壳体12上设置有上述开口121。例如，上壳体11呈圆环状，下壳体12和顶盖13均呈圆盘状。上述动电极2的周向边缘部分设置于上壳体11和下壳体12之间，且与二者密封连接，例如焊接。上述下壳体12的背离动电极2一侧的表面用于与被测压力面相接触。而且，在下壳体12的与动电极2相对的表面上设置有凹槽122，用于为动电极2的形变预留足够的空间。此外，上壳体11和顶盖13也可以采用焊接的方式密封连接，从而使上述容腔A的位于动电极2上方的空间呈密封状态。可选的，在上述顶盖13上设置有与容腔A连通的抽气口6，其用于与抽气装置连接，以能够通过抽气装置对容腔A的位于动电极2上方的空间进行抽真空，以达到真空状态。

定电极3相对设置于动电极2靠近顶盖13一侧，且定电极3的周向边缘部分与上壳体11连接。在一些可选的实施例中，在上壳体11的内周面上设置有第一凸缘111，且在定电极3的外周面上设置有第二凸缘321，该第二凸缘321叠置于第一凸缘111上，以实现定位极3的支撑固定。

电感结构包括感应线圈4和磁芯5，该感应线圈4与定电极3绝缘连接；磁芯5与动电极2固定连接，且位于感应线圈4所在圆周内侧，可选的，该磁芯5与感应线圈4同轴设置，这样有助于进一步提高压力检测的线性度和精度。磁芯5能够在动电极2形变时与感应线圈4产生相对位移，以通过改变感应线圈4的内部磁芯的相对磁导率，来改变感应线圈4的电感。在动电极2因感受到外界压力而产生形变时，磁芯5会随动电极2的移动而移动，由于磁芯5与感应线圈4的轴向相对位置的变化会改变感应线圈4的内部磁芯的相对磁导率，该相对磁导率与感应线圈4的电感正相关，从而可以改变感应线圈4的电感。这样，只需动电极2产生一次形变就可以使感应线圈4的电感量产生变化，而感应线圈4本身无需产生形变，从而可以提高压力测量的线性度和精度。

具体地，感应线圈4的电感L的计算公式为：

L＝(k×μ₀×μ_s×N²×S)×l

其中，μ₀为真空导磁率，μ₀＝4π×10^-7；μ_s为感应线圈4的内部磁芯的相对磁导率，感应线圈4的内部为空心时，μ_s＝1；N²为感应线圈4的匝数的平方；S为感应线圈4的截面积；l为感应线圈4的长度；k为系数，其大小与感应线圈4的半径和长度的比值相关。

电感线圈4、动电极2与定电极3用于与计算电压的处理器电连接，且被设置为使上述电感与上述电容并联。可选的，该处理器包括测量单元和处理单元，其中，测量单元用于根据压力测量装置输出的电容和电感的耦合信号，计算获得由电容和电感构成的并联谐振电路(即，LC并联电路)的振荡频率；处理单元用于根据振荡频率与电压的对应关系，获得与当前的振荡频率对应的电压值，即实现电压的测量。LC并联电路的等效电路图如图5所示。

具体地，并联谐振电路(即，LC并联电路)的振荡频率f的计算公式如下：

其中，L为感应线圈4的电感，单位为H；C为定电极3与动电极2构成的电容，单位为F。

在实际应用中，可以采用实验的方法预先获得振荡频率与电压的对应关系，并进行存储，并在实际的压力测量过程中，通过调用该对应关系来获得与当前的振荡频率对应的电压值。

在一些可选的实施例中，上述磁芯5例如呈圆柱状，且固定于动电极2的与定电极3相对的表面上，例如可以采用焊接的方式与动电极2固定连接。磁芯5例如由软铁芯或其他合金铁芯制成。

在一些可选的实施例中，定电极3包括绝缘主体，该绝缘主体例如由诸如陶瓷、玻璃等的绝缘材料制成。绝缘主体的相邻于动电极2一侧的表面设置有导电层(图中未示出)，该导电层与动电极2分别用作电容的两个极板，具体地，定电极3与动电极2构成的电容C的计算公式为：

其中，ε为与构成电容的极板材料有关的常量；S为电容相对面积；k为系数，k＝9.0×10⁹，单位为N/C²M²；d为电容的两个极板之间的距离。

在动电极2因感受到外界压力而产生形变时，动电极2与定电极3之间的距离d随之改变，由上述公式可知，定电极3与动电极2构成的电容C与动电极2与定电极3之间的距离d负相关，从而电容C发生变化。

上述绝缘主体中设置有用于容置感应线圈4的容置空间；绝缘主体和导电层中对应设置有通孔311，该通孔311位于电感线圈4所在圆周内侧，优选与感应线圈4同轴设置；磁芯5设置于动电极2上的相邻于导电层一侧，且磁芯5的至少一部分位于通孔311中。这样，在动电极2因感受到外界压力而产生形变时，不仅定电极3与动电极2构成的电容C随之变化，而且感应线圈4的电感L也随之变化。而且，通过将上述感应线圈4内置于上述绝缘主体中，可以节省容腔A空间，从而可以减小压力测量装置的整体体积。

上述感应线圈4内置于绝缘主体中的方式可以有多种，例如，绝缘主体包括中心部分31和环绕于中心部分31周围的外围部分32，中心部分31的外周面与外围部分32的内周面间隔设置，构成上述容置空间；中心部分31、外围部分32和感应线圈4固定连接。也就是说，上述绝缘主体采用分体式结构，感应线圈4固定于中心部分31和外围部分32之间，这种结构更便于加工和安装。可选的，在容置空间中填充有胶体，用于将中心部分31、外围部分32和感应线圈4采用粘接的方式固定连接，当然本实用新型实施例并不局限于此，在实际应用中，也可以采用其他方式实现中心部分31、外围部分32和感应线圈4的固定连接。

在一些可选的实施例中，上述导电层设置于中心部分31相邻于动电极2一侧的表面。这样，可以使导电层对应于动电极2形变最大的区域，从而在动电极2因感受到外界压力而产生形变时，可以提高动电极2与定电极3之间的距离d的变化量，进而可以提高电容C的变化量，从而有助于提高测量敏感度和精度。当然，在实际应用中，上述导电层也可以根据具体需要设置于外围部分32，或者在中心部分31和外围部分32均设置上述导电层，并根据导电层的不同布局方式采用不同的电容C的计算公式。

在一些可选的实施例中，绕制感应线圈4的线体包覆有绝缘材料。这样，可以进一步保证感应线圈4与导电层之间电绝缘。例如，包覆有绝缘材料的线体为直径为0.25mm～0.50mm的漆包线。

本实用新型实施例提供的压力测量装置还包括第一输出线51和第一输出线52，第一输出线51的一端与感应线圈44的第一端和上述导电层电连接，第一输出线51的另一端贯通壳体1(例如顶盖13)引出至容腔A之外；第一输出线52的一端与感应线圈4的第二端和动电极2电连接，第一输出线52的另一端贯通壳体1引出至容腔A之外；第一输出线51和第一输出线52的另一端用于与计算电压的处理器电连接。借助上述第一输出线51和第一输出线52，可以实现电感线圈4、动电极2与定电极3与上述处理器电连接，并能够使上述电感与上述电容并联。

在一些可选的实施例中，第一输出线51包括第一导线511和第二导线512，其中，第一导线511的一端与感应线圈4的第一端电连接，第一导线511的另一端贯通壳体1引出至容腔A之外；第二导线512的一端自绝缘主体(例如中心部分31)背离动电极2一侧贯通绝缘主体，并与导电层电连接，第二导线512的另一端与第一导线511电连接。具体地，第一导线511为竖直设置的金属直管，其下端与感应线圈4的第一端电连接，上端贯通顶盖13，并延伸至顶盖13的外侧。第一导线511与上述顶盖13之间电绝缘。第二导线512为金属弯折管，其一端贯通绝缘主体(例如中心部分31)，并延伸至绝缘主体的下表面，且与导电层电连接，另一端朝向第一导线511弯折，并与该第一导线511连接，且电导通。可选的，第一导线511与第二导线512连为一体。

动电极2的周向边缘部分与上壳体11电接触，例如动电极2与上壳体11通过焊接来实现固定，且电导通。在此基础上，第一输出线52包括第三导线521和第四导线522，第三导线521的一端与感应线圈4的第二端电连接，第三导线521的另一端贯通壳体1(例如顶盖13)引出至容腔A之外。第三导线521与上述顶盖13之间电绝缘。第四导线522的一端与上壳体11电连接，第四导线522的另一端与第三导线521电连接。也就是说，第四导线522通过上壳体11间接与动电极2电导通。具体地，第三导线521为竖直设置的金属直管，其下端与感应线圈4的第二端电连接，上端贯通顶盖13，并延伸至顶盖13的外侧。第四导线522为水平设置的金属直管，其一端与上壳体11电连接，另一端与第三导线521连接，并电导通。可选的，第三导线521和第四导线522连为一体。

在另一些可选的实施例中，上述压力测量装置还可以包括电阻元件(图中未示出)，该电阻元件用于与上述处理器电连接，且被设置为与电容和电感并联，以可以与电容和电感构成并联谐振电路(即，RLC并联电路)，其等效电路图如图6所示，该RLC并联谐振电路的振荡频率的计算公式与上述LC并联电路相同。可选的，上述电阻元件设置于定电极3的背离动电极2的表面，这样更便于实现与上述处理器电连接，且与电容和电感并联。

对于RLC并联谐振电路，其具有品质因数Q，该品质因数Q与电阻、电容和电感满足下述关系式：

品质因数Q用于评判RLC并联谐振电路的谐振特性，品质因数Q越高，RLC并联谐振电路的谐振特性越好。

对于图5所示的LC并联电路，其电路中存在较小的内阻，由上述关系式可知，较小的内阻会导致品质因数Q较低。对此，通过设置上述电阻元件，且与电容和电感构成RLC并联电路，可以通过设计电阻元件的阻值来提高品质因数Q，从而可以提高RLC并联谐振电路的谐振特性，进而可以提高信号稳定性。在实际应用中，电阻元件的阻值可以根据具体的电容C和电感L进行设定。

可选的，电阻元件例如为热敏电阻，其可以采用任意方式设置于电压测量装置中，只要能够与电容和电感构成并联谐振电路即可。

综上所述，本实用新型实施例提供的压力测量装置，其电感结构包括感应线圈4和磁芯，该磁芯与动电极2固定连接，且能够在动电极2形变时与感应线圈4产生相对位移，以通过改变感应线圈4的内部磁芯的相对磁导率，来改变感应线圈4的电感，这样只需动电极2产生一次形变就可以使感应线圈4的电感量产生变化，而感应线圈4本身无需产生形变，从而可以提高压力测量的线性度和精度。此外，上述压力测量装置输出的信号是电容和电感的耦合信号，这种耦合信号可以减少受外部干扰的影响，从而可以提高信号稳定性。

作为另一个技术方案，如图7所示，本实用新型实施例还提供一种压力传感器100，其包括本实用新型实施例提供的上述压力测量装置101，以及处理器102；其中，处理器102与压力测量装置101中的第一输出线51和第一输出线52电连接，用于根据压力测量装置101输出的电容和电感，计算获得由电容和电感构成的并联谐振电路的振荡频率，并根据振荡频率与电压的对应关系，获得与当前的振荡频率对应的电压值。

本实用新型实施例提供的压力传感器，其处理器根据上述压力测量装置输出的电容和电感，来计算获得由电容和电感构成的并联谐振电路的振荡频率，并根据振荡频率与电压的对应关系，获得与当前的振荡频率对应的电压值，不仅可以提高线性度和精度，而且还可以减少受外部干扰的影响，从而可以提高信号稳定性。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (12)

1.一种压力测量装置，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体内部设置有带有开口的容腔；

电容结构，包括相对设置于所述容腔中的定电极和动电极，所述动电极相邻于所述开口，且能够感受到外界压力并产生形变，以改变所述动电极与所述定电极构成的电容；

电感结构，包括电感线圈和磁芯，所述电感线圈与所述定电极绝缘连接；所述磁芯与所述动电极固定连接，且位于所述电感线圈所在圆周内侧，所述磁芯能够在所述动电极形变时与所述电感线圈产生相对位移，以改变所述电感线圈的电感；所述电感线圈、所述动电极与所述定电极用于与计算电压的处理器电连接，且被设置为使所述电感与所述电容并联。

2.根据权利要求1所述的压力测量装置，其特征在于，所述定电极包括绝缘主体，所述绝缘主体的相邻于所述动电极一侧的表面设置有导电层，且所述绝缘主体中设置有用于容置所述电感线圈的容置空间；

所述绝缘主体和所述导电层中对应设置有通孔，所述通孔位于所述电感线圈所在圆周内侧；所述磁芯设置于所述动电极上的相邻于所述导电层一侧，且所述磁芯的至少一部分位于所述通孔中。

3.根据权利要求2所述的压力测量装置，其特征在于，所述绝缘主体包括中心部分和环绕于所述中心部分周围的外围部分，所述中心部分的外周面与所述外围部分的内周面间隔设置，构成所述容置空间；所述中心部分、所述外围部分和所述电感线圈固定连接。

4.根据权利要求3所述的压力测量装置，其特征在于，在所述容置空间中填充有胶体，用于将所述中心部分、所述外围部分和所述电感线圈固定连接。

5.根据权利要求3所述的压力测量装置，其特征在于，所述压力测量装置还包括第一输出线和第二输出线，所述第一输出线的一端与所述电感线圈的第一端和所述导电层电连接，所述第一输出线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；所述第二输出线的一端与所述电感线圈的第二端和所述动电极电连接，所述第二输出线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；所述第一输出线和第二输出线的另一端用于与计算电压的处理器电连接。

6.根据权利要求5所述的压力测量装置，其特征在于，所述导电层设置于所述中心部分相邻于所述动电极一侧的表面；所述第一输出线的一端贯通所述中心部分，并与所述导电层电连接。

7.根据权利要求5或6所述的压力测量装置，其特征在于，所述第一输出线包括第一导线和第二导线，其中，所述第一导线的一端与所述电感线圈的第一端电连接，所述第一导线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；

所述第二导线的一端自所述绝缘主体背离所述动电极一侧贯通所述绝缘主体，并与所述导电层电连接，所述第二导线的另一端与所述第一导线电连接。

8.根据权利要求5所述的压力测量装置，其特征在于，所述壳体包括上壳体、下壳体和顶盖，其中，所述下壳体和所述顶盖分别设置于所述上壳体在其轴向上的两端，所述上壳体、下壳体和顶盖合围成所述容腔；

所述动电极的周向边缘部分设置于所述上壳体和所述下壳体之间，且与二者密封连接；

所述定电极相对设置于所述动电极靠近所述顶盖一侧，且所述绝缘主体的周向边缘部分与所述上壳体连接。

9.根据权利要求8所述的压力测量装置，其特征在于，所述动电极的周向边缘部分与所述上壳体电接触；

所述第二输出线包括第三导线和第四导线，所述第三导线的一端与所述电感线圈的第二端电连接，所述第三导线的另一端贯通所述壳体引出至所述容腔之外；所述第四导线的一端与所述上壳体电连接，所述第四导线的另一端与所述第三导线电连接。

10.根据权利要求1所述的压力测量装置，其特征在于，绕制所述电感线圈的线体包覆有绝缘材料。

11.根据权利要求1所述的压力测量装置，其特征在于，所述压力测量装置还包括电阻元件，所述电阻元件用于所述处理器电连接，且被设置为与所述电感和所述电容并联。

12.一种压力传感器，其特征在于，包括如权利要求1-11任一项所述的压力测量装置，以及处理器；

所述处理器与所述压力测量装置电连接，用于根据所述压力测量装置输出的所述电容和所述电感，计算获得由所述电容和所述电感构成的并联谐振电路的振荡频率，并根据所述振荡频率与电压的对应关系，获得与当前的所述振荡频率对应的电压值。