CN219639720U - 一种可旋转进气结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种可旋转进气结构，包括依次相连的进气主轴、进气套筒和气管接头，所述进气套筒相对于所述进气主轴可转动设置，所述进气主轴、进气套筒和气管接头均具有通道，三者的通道依次相连形成进气通道。通过设置依次相连的进气主轴、进气套筒和气管接头，使进气套筒相对于进气主轴可转动设置，从而使进气结构的进气主轴或进气套筒能够旋转，不用担心与其他零件产生交错，安装方便，另外，本可旋转进气结构制造成本低、结构简单，可一次性大批量生产。
Description
技术领域
本实用新型涉及等离子技术领域，尤其涉及一种可旋转进气结构。
背景技术
等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体，等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间、空间物理、地球物理等科学的进一步发展提供了新的技术和工艺，所以等离子体的应用非常的广泛，包括数码行业、电子行业、汽车行业及印刷包装行业等。
目前市场上等离子设备的进气口大多是一种直接进气结构，内置进气通道，工艺气体通过进气通道进入等离子反应腔内，然而，这种直接进气结构需要等离子设备的进气口处没有其他零件，若是进气口处设有其他零件或是经过电线等，则会导致进气结构安装不便。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种安装方便的可旋转进气结构。
为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种可旋转进气结构，包括依次相连的进气主轴、进气套筒和气管接头，所述进气套筒相对于所述进气主轴可转动设置，所述进气主轴、进气套筒和气管接头均具有通道，三者的通道依次相连形成进气通道。
进一步的，还包括轴承，所述轴承的内圈连接所述进气主轴的外壁，所述轴承的外圈连接所述进气套筒的内壁。
进一步的，所述轴承的数量为两个。
进一步的，所述轴承靠近外部的一侧设有挡圈。
进一步的，所述进气套筒远离所述进气主轴的一端设有接口，所述气管接头通过所述接口与所述进气套筒连接。
进一步的，所述气管接头呈L字型。
进一步的，所述进气主轴与所述进气套筒的连接处设有密封件。
进一步的，所述密封件为骨架油封。
进一步的，所述进气主轴远离所述进气套筒的一端具有密封槽。
进一步的，所述进气主轴远离所述进气套筒的一端具有第一限位槽。
本实用新型的有益效果在于：通过设置依次相连的进气主轴、进气套筒和气管接头，使进气套筒相对于进气主轴可转动设置，从而使进气结构的进气主轴或进气套筒能够旋转，不用担心与其他零件产生交错，安装方便，另外，本可旋转进气结构制造成本低、结构简单，可一次性大批量生产。
附图说明
图1为本实用新型实施例一的可旋转进气结构的结构示意图；
图2为本实用新型实施例一的可旋转进气结构的剖视图。
标号说明：
1、进气主轴；11、密封槽；12、第一限位槽；
2、进气套筒；21、轴承；22、挡圈；23、密封件；24、第二限位槽；
3、气管接头；31、卡接槽。
具体实施方式
为详细说明本实用新型的技术内容、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图予以说明。
请参照图1和图2，一种可旋转进气结构，包括依次相连的进气主轴1、进气套筒2和气管接头3，所述进气套筒2相对于所述进气主轴1可转动设置，所述进气主轴1、进气套筒2和气管接头3均具有通道，三者的通道依次相连形成进气通道。
从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：通过设置依次相连的进气主轴1、进气套筒2和气管接头3，使进气套筒2相对于进气主轴1可转动设置，从而使进气结构的进气主轴1或进气套筒2能够旋转，不用担心与其他零件产生交错，安装方便，另外，本可旋转进气结构制造成本低、结构简单，可一次性大批量生产。
进一步的，还包括轴承21，所述轴承21的内圈连接所述进气主轴1的外壁，所述轴承21的外圈连接所述进气套筒2的内壁。
由上述描述可知，通过设置轴承21使进气套筒2相对于进气主轴1能够更顺畅地转动。
进一步的，所述轴承21的数量为两个。
由上述描述可知，若是其中一个出现问题，另一个还可保证进气套筒2能够继续转动，利于提高可旋转进气结构的使用寿命。
进一步的，所述轴承21靠近外部的一侧设有挡圈22。
由上述描述可知，设置挡圈22可抵触轴承21，防止轴承21发生位移。
进一步的，所述进气套筒2远离所述进气主轴1的一端设有接口，所述气管接头3通过所述接口与所述进气套筒2连接。
进一步的，所述气管接头3呈L字型。
进一步的，所述进气主轴1与所述进气套筒2的连接处设有密封件23。
进一步的，所述密封件23为骨架油封。
由上述描述可知，骨架油封具有易加工、重量轻、密封性能好等特点，有利于降低成本。
进一步的，所述进气主轴1远离所述进气套筒2的一端具有密封槽11。
进一步的，所述进气主轴1远离所述进气套筒2的一端具有第一限位槽12。
实施例一
请参照图1和图2，本实用新型的实施例一为：一种可旋转进气结构，可安装于等离子设备的进气口。
可旋转进气结构包括依次相连的进气主轴1、进气套筒2和气管接头3，所述进气套筒2相对于所述进气主轴1可转动设置，所述进气主轴1、进气套筒2和气管接头3均具有通道，三者的通道依次相连形成进气通道。容易理解的是，所述进气主轴1用于连接等离子设备，所述气管接头3用于连接外部进气装置，所述进气套筒2可充当所述进气主轴1与所述气管接头3之间的连接件，当进气主轴1被固定时，进气套筒2与气管接头3可旋转，当进气套筒2与气管接头3被固定时，进气主轴1可旋转。
请参照图2，还包括轴承21，所述轴承21的内圈连接所述进气主轴1的外壁，所述轴承21的外圈连接所述进气套筒2的内壁。本实施例中，所述轴承21的数量为两个，两个所述轴承21并排设置，相互贴合。
请参照图1和图2，所述进气套筒2远离所述进气主轴1的一端设有接口，所述气管接头3通过所述接口与所述进气套筒2连接。本实施例中，所述气管接头3与所述进气套筒2螺纹连接，便于拆卸，更换不同型号的气管接头3，提高本可旋转进气结构的通用性；所述气管接头3远离所述进气套筒2的一端还设有卡接槽31，所述卡接槽31可方便所述气管接头3连接外部进气装置，所述气管接头3呈L字型。
请参照图2，所述进气主轴1与所述进气套筒2的连接处设有密封件23。本实施例中，所述密封件23优选为骨架油封，所述骨架油封的外圈抵触所述进气套筒2的内壁，所述骨架油封的内圈抵触所述进气主轴1的外壁，对所述进气主轴1与所述进气套筒2之间的缝隙进行密封。
请参照图2，所述轴承21靠近外部的一侧设有挡圈22。本实施例中，所述进气套筒2上设有第二限位槽24，所述第二限位槽24用于对所述挡圈22限位，所述进气套筒2靠近所述密封件23的位置设有阶梯，所述阶梯抵触所述轴承21的内侧，所述挡圈22抵触所述轴承21的外侧，从而避免轴承21发生位移，所述挡圈22还可避免外界的粉尘等微小颗粒物进入轴承21，对轴承21造成损伤。
请参照图1和图2，所述进气主轴1远离所述进气套筒2的一端具有密封槽11，所述进气主轴1远离所述进气套筒2的一端具有第一限位槽12。本实施例中，所述密封槽11用于安装密封圈，当可旋转进气结构安装在等离子设备上时，密封圈对两者之间的缝隙进行密封，第一限位槽12可避免可旋转进气结构发生偏移，另外，第一限位槽12还可起到快速定位安装的作用。
综上所述，本实用新型提供的可旋转进气结构，通过设置依次相连的进气主轴、进气套筒和气管接头，使进气套筒相对于进气主轴可转动设置，从而使进气结构的进气主轴或进气套筒能够旋转，不用担心与其他零件产生交错，安装方便，设置轴承可提高进气套筒的转动顺畅性，挡圈的设置可防止轴承发生位移，密封件的设置能够保证本可旋转进气结构的气密性，另外，本可旋转进气结构制造成本低、结构简单，可一次性大批量生产。
以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
Claims (10)
1.一种可旋转进气结构，其特征在于：包括依次相连的进气主轴、进气套筒和气管接头，所述进气套筒相对于所述进气主轴可转动设置，所述进气主轴、进气套筒和气管接头均具有通道，三者的通道依次相连形成进气通道。
2.根据权利要求1所述的可旋转进气结构，其特征在于：还包括轴承，所述轴承的内圈连接所述进气主轴的外壁，所述轴承的外圈连接所述进气套筒的内壁。
3.根据权利要求2所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述轴承的数量为两个。
4.根据权利要求2所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述轴承靠近外部的一侧设有挡圈。
5.根据权利要求1所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述进气套筒远离所述进气主轴的一端设有接口，所述气管接头通过所述接口与所述进气套筒连接。
6.根据权利要求1所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述气管接头呈L字型。
7.根据权利要求1所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述进气主轴与所述进气套筒的连接处设有密封件。
8.根据权利要求7所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述密封件为骨架油封。
9.根据权利要求1所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述进气主轴远离所述进气套筒的一端具有密封槽。
10.根据权利要求1所述的可旋转进气结构，其特征在于：所述进气主轴远离所述进气套筒的一端具有第一限位槽。
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