CN219632106U - 除尘装置 - Google Patents

Abstract

本申请提出了一种除尘装置，适用于去除沿通道移动的物体上的微粒，所述除尘装置包括：吹气件，与所述通道间隔设置，相对于所述物体的移动方向形成有吹气口，所述吹气口定义出朝向所述物体的吹气范围；吸尘件，与所述通道间隔设置且与所述吹气件位于所述通道的同一侧，相对于所述吹气口形成有吸尘口，所述吸尘口定义出朝向所述物体的吸尘范围，在俯视方向下所述吸尘范围大于所述吹气范围。本申请通过将吹气件和吸尘件设置在通道的同一侧，且吹气件的吹气口与物体的移动方向相对，且吸尘件的吸尘口与吹气口相对，且吸尘口定义的吸尘范围大于吹气口定义的吹气范围，以此可避免二次污染，提高除尘效果。

Description

除尘装置

技术领域

本申请涉及半导体封装技术领域，具体涉及一种除尘装置。

背景技术

基板(Substrate)或引线框架(lead frame)等半成品通常需要利用电浆(即等离子体)进行表面的处理或清洁，以利后续再进行打线等制程。在进行电浆清洗前，先由除尘模块以风刀或超音波等干式清洗方式去除表面微粒或氧化物，以提升表面处理效果。现有的除尘模块一般是以吹气件从上方对半成品吹气，并以位在半成品下方的吸尘件吸除落下的微粒，然而，扬起的微粒可能再次掉落在半成品上，导致二次污染，这将降低除尘效果。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种除尘装置，以避免二次污染，提高除尘效果。

为实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种除尘装置，适用于去除沿通道移动的物体上的微粒，所述除尘装置包括：吹气件，与所述通道间隔设置，相对于所述物体的移动方向形成有吹气口，所述吹气口定义出朝向所述物体的吹气范围；吸尘件，与所述通道间隔设置且与所述吹气件位于所述通道的同一侧，相对于所述吹气口形成有吸尘口，所述吸尘口定义出朝向所述物体的吸尘范围，在俯视方向下所述吸尘范围大于所述吹气范围。

在一些可选的实施方式中，在侧视方向下所述吸尘范围大于所述吹气范围。

在一些可选的实施方式中，所述吸尘口的底侧较所述吹气口的底侧更靠近所述物体。

在一些可选的实施方式中，所述吸尘口较所述吹气口更靠近所述通道的入口。

在一些可选的实施方式中，所述吹气口的吹气方向与所述物体的移动方向呈锐角。

在一些可选的实施方式中，所述吸尘口的吸尘方向与所述物体的移动方向呈锐角。

在一些可选的实施方式中，所述吸尘件的底侧壁沿着与水平面呈夹角的方向延伸。

在一些可选的实施方式中，所述的除尘装置还包括：供所述吹气件枢接以使所述吹气件能够相对于所述物体转动的固定座。

在一些可选的实施方式中，所述的除尘装置还包括：连接所述吸尘件的升降模组。

在一些可选的实施方式中，所述的除尘装置还包括：较所述吹气件和所述吸尘件更靠近所述通道的入口的除静电模组。

为了解决现有的除尘模块会产生二次污染，降低除尘效果的技术问题，本申请提出了一种除尘装置。本申请通过将吹气件和吸尘件设置在通道的同一侧，且吹气件的吹气口与物体的移动方向相对，且吸尘件的吸尘口与吹气口相对，且吸尘口定义的吸尘范围大于吹气口定义的吹气范围，使得，除尘过程中，即便扬起的微粒掉落在物体上，仍会被吹气件再次吹起供吸尘件吸取，以此可以避免二次污染，提高除尘效果。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是根据本申请一个实施例的除尘装置的一个立体结构示意图；

图2是根据本申请一个实施例的除尘装置的另一立体结构示意图；

图3是根据本申请一个实施例的除尘装置的一个侧视结构示意图；

图4是根据本申请一个实施例的除尘装置的另一侧视结构示意图；

图5是根据本申请一个实施例的除尘装置的吹气件的立体结构示意图；

图6是根据本申请一个实施例的俯视方向下吹气范围与吸尘范围的示意图；

图7是本申请一个实施例的除尘装置应用于制程设备的立体结构示意图；

图8是本申请一个实施例的除尘装置应用于制程设备的侧视结构示意图；

图9是根据本申请另一个实施例的除尘装置的一个立体结构示意图；

图10是根据本申请又一个实施例的除尘装置的一个立体结构示意图；

图11是根据本申请再一个实施例的除尘装置的一个立体结构示意图。

附图标记/符号说明：

100-除尘装置；101-吹气件；102-吸尘件；103-吹气口；104-吸尘口；105-底侧壁；106-上盖；107-端侧壁；108-除尘管道；109-固定块；110-进气阀；111-固定座；112-升降模组；113-支架；114-除静电模组；115-定位螺丝；200-通道；300-物体；400-制程设备；S1-吹气范围；S2-吸尘范围。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对说明本申请的具体实施方式，通过本说明书记载的内容本领域技术人员可以轻易了解本申请所解决的技术问题以及所产生的技术效果。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明创造，而非对该发明创造的限定。另外，为了便于描述，附图中仅示出了与有关发明创造相关的部分。

应容易理解，本申请中的“在...上”、“在...之上”和“在...上面”的含义应该以最广义的方式解释，使得“在...上”不仅意味着“直接在某物上”，而且还意味着包括存在两者之间的中间部件或层的“在某物上”。

此外，为了便于描述，本文中可能使用诸如“在...下面”、“在...之下”、“下部”、“在...之上”、“上部”等空间相对术语来描述一个元件或部件与附图中所示的另一元件或部件的关系。除了在图中描述的方位之外，空间相对术语还意图涵盖装置在使用或操作中的不同方位。设备可以以其他方式定向(旋转90°或以其他定向)，并且在本文中使用的空间相对描述语可以被同样地相应地解释。

需要说明的是，说明书附图中所绘示的结构、比例、大小等，仅用于配合说明书所记载的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“第一”、“第二”及“一”等用语，也仅为便于叙述的明了，而非用以限定本申请可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当也视为本申请可实施的范畴。

还需要说明的是，本申请的实施例对应的纵向截面可以为对应前视图方向截面，横向截面可以为对应右视图方向截面，水平截面可以为对应上视图方向截面。

另外，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

参考图1至图6，示出了根据本申请一个实施例的除尘装置100在不同视角的结构示意图。如图1至图6所示，本申请实施例的除尘装置100，适用于去除沿通道200移动的物体300上的微粒，该除尘装置100可包括：

吹气件101，与通道200间隔设置，相对于物体300的移动方向(图1、图4中以箭头①表示)形成有吹气口103，吹气口103定义出朝向物体300的吹气范围S1；

吸尘件102，与通道200间隔设置且与吹气件101位于通道的同一侧，相对于吹气口103形成有吸尘口104，吸尘口104定义出朝向物体300的吸尘范围S2；

其中，至少在俯视方向下吸尘范围S2大于吹气范围S1(如图6所示)；进一步可选的，在侧视方向下吸尘范围S2也大于吹气范围S1(如图4所示)。

这里，所说的通道200，可以是半导体行业中的制程设备例如清洁设备上的进料通道。所说的物体300，可以是半导体半成品，例如基板(Substrate)或引线框架(lead frame)等。物体300置于通道200上，沿着通道200从一个位置移动到另一个位置。

这里，吹气件101可以设置于通道200的一侧。图中以设置在通道200的上方为例。吹气件101与通道200之间间隔一距离，该间隔距离小于物体300的厚度，以允许物体从通道200与吹气件101之间的间隙通过。

这里，吸尘件102可以与吹气件101设置于通道200的同一侧。图中以设置在通道200的上方为例。吸尘件102与通道200之间间隔一距离，该间隔距离小于物体300的厚度，以允许物体从通道200与吸尘件102之间的间隙通过。

这里，所说的微粒，包括但不限于灰尘颗粒。

这里，吹气口103开设在吹气件101上且朝向通道200的前进方向(即物体300的移动方向，如图2和图4中的箭头①所示)，吹气口103的吹气方向可以如图4中的箭头②所示，以此可以在通道200上定义一个吹气范围S1，吹气范围S1可以大于物体300。吹气口103可以向吹气范围S1内吹气，将物体300表面的灰尘颗粒等微粒吹离物体300。

这里，吸尘口104开设在吸尘件102上且与吹气口103相对，其吸尘方向可以如图4中的箭头③所示，以此可以在通道200上定义一个吸尘范围S2，吸尘范围S2可以大于物体300。吸尘口104可以提供一个作用于吸尘范围S2的负压，将吸尘范围S2内的灰尘颗粒等吸取到吸尘件102内部。

通过参数设计，至少在俯视方向上使吹气范围S1大于吸尘范围S2，以此可以确保物体300上被吹起的颗粒等会较好的被吸尘件102吸取；进一步的，在侧视方向上使吹气范围S1也大于吸尘范围S2，以此可以确保物体300上被吹起的颗粒等会全部被吸尘件102吸取。

在一些可选的实施方式中，如图5所示，吹气件101可以为圆筒件，其内部中空，其表面可以有沿轴向开设的狭缝作为吹气口103。可选的，狭缝的宽度可以做到0.5mm或以下。

在一些可选的实施方式中，如图2-4所示，吸尘件102可以是纵向截面呈三角形(包括但不限于正三角形或等腰三角形，以缩小体积)的长型件，三角形的顶角朝下，底面朝上。吸尘件102的内部中空，其朝向吹气件101的一面具有开口形成吸尘口104。

在一些可选的实施方式中，如图4所示，吸尘口104的底侧较吹气口103的底侧更靠近物体300，以确保更好的实现除尘效果。

在一些可选的实施方式中，如图2-4所示，吸尘口104较吹气口103更靠近通道200的入口，即，吸尘件102和吹气件101沿着物体300的移动方向(如图1、图4中的箭头①所示)依次设置。以此实现这样的效果：如果有灰尘颗粒从吸尘件102中掉落至通道200或物体300上，则掉落的灰尘颗粒会沿着通道200向吹气件101方向前进，再次被吹气口103的气流向斜后方吹起，并被吸尘件102从吸尘口104吸取，即便再次掉落至通道200，仍然会重复上述过程，最终被吸尘件102吸取。

在一些可选的实施方式中，如图4所示，吹气口103的吹气方向(如箭头②所示)与物体300的移动方向(如箭头①所示)的夹角呈锐角。即，吹气方向不是从上往下直吹，也不是从物体300的后方往前方(箭头①方向)吹，而是从物体300的前方往后方(与箭头①方向相反)斜着吹。以此，有利于向灰尘颗粒从物体300表面吹起来，并掉落到物体300后方而不是掉落到物体300表面。另外，即便有部分较重的灰尘颗粒未被吸取或吸取后掉落，仍然会沿着通道200向吹气件101前进，从而可以再次被吹起，最终被吸尘件102吸取。

在一些可选的实施方式中，如图4所示，吸尘口104的吸尘方向(如箭头③所示)与物体300的移动方向(如箭头①所示)的夹角呈锐角。即，吸尘方向不是从下往上直吸，而是从物体300的前方往后方(与箭头①方向相反)斜着吸。以此，有利于较好的将被吹起的灰尘颗粒吸取到吸尘件102内部。以及，与吹气件101配合，实现对部分较重的灰尘颗粒的反复吸取，最终吸取到吸尘件102内部。

在一些可选的实施方式中，吸尘件102具有一个与其吸尘口104相对的底侧壁105，底侧壁105沿着与水平面呈夹角的方向延伸。从图4所示的纵向截面图来看，底侧壁105与吸尘口104在底部相接构成三角形的顶点，并分别向上向两侧延伸构成三角形的两个边(例如等腰三角形的两个腰)。这里，通过将底侧壁105设置成与水平面有夹角，呈倾斜形状，可以避免吸取的吹尘颗粒累积在吸尘件102内部。由于底侧壁105呈倾斜状，吸尘件102内部未被及时输送走的灰尘颗粒会沿着底侧壁105掉落下来，后续再次被吹气件101吹气而飞扬起来，再次被吸尘件102吸取，最终被成功的输送走。

在一些可选的实施方式中，吸尘件102还包括一个上盖106和两个三角形的端侧壁107(因视图角度关系，图4中仅绘示一个端侧壁107)，它们与底侧壁105连接在一起，组成截面呈三角形的吸尘件102。

在一些可选的实施方式中，吸尘件102的顶端，即上盖106上，还连接有除尘管道108。吹尘管道108被配置成连接后端的负压装置例如送风机，用来为吸尘件102提供空气负压，以及将吸尘件102吸取的灰尘颗粒输送走。可选的，吸尘管道108与送风机之间可以连接有转接口，用于将小直径的吸尘管道108连接至送风机的大直径的接口。

如图2和图4所示，在一些可选的实施方式中，吹气件101的端部可以枢接于固定座111上，并能够相对于固定座111转动。以此，可以调整吹气口103的吹气方向。

在一些可选的实施方式中，吸尘件102的端部可以设置有固定块109，固定座111可以安装在固定块109上。以此，可以将吹气件101和吸尘件102整合连接为一个一体模组(例如称为除尘模组)，方便整体的安装和移动。

在一些可选的实施方式中，如图2所示，固定座111上设置有定位螺丝115，定位螺丝115的顶端抵顶在吹气件101表面，以实现对吹气件101的固定。当需要转动吹气件101时，可以将定位螺丝115旋松，并在转动吹气件101到需要的角度之后再次拧紧固定。

在一些可选的实施方式中，如图2所示，吹气件101的一端可以设置有进气阀110，进气阀110被配置成连接进气管道，为吹气件101提供气流，并可用于打开或关闭气流。可选的，进气阀110可以是可调阀门，以用来调节气流大小。

在一些可选的实施方式中，吸尘件102的顶端，即上盖106上，还连接有升降模组112。升降模组112可以调整除尘模组(包括吸尘件102以及吹气件101)的水平位置高度，带动其上升或下降，以调节其与通道200(或者物体300)之间的距离，从而，适应于不同厚度的物体300，以及，应用于检修等情况。这里，升降模组112包括但不限于为气缸。

在一些可选的实施方式中，如图1-3所示，除尘装置100还包括除静电模组114。除静电模组114较吹气件101和吸尘件102更靠近通道200的入口。例如，静电模组114、吸尘件102和吹气件101，可以沿着通道200上的物体300移动的方向依次排列设置。物体300在被吹尘之前，可以先经过除静电模组114消除静电，以减少灰尘颗粒与物体300之间的粘附能力，有利于除尘。这里，对于除静电模组114的具体类型和结构等不予限制。

在一些可选的实施方式中，除尘装置100还可以包括控制装置(图中未示出)。控制模组可以连接升降模组112、除静电模组114、进气阀110和负压装置等，实现一体自动控制。这里，控制模组包括但不限于采用电磁阀组。当然，升降模组112、除静电模组114、进气阀110和负压装置等也可以分别手工控制。

在一些可选的实施方式中，如图1-2所示，除尘装置100还可以包括支架113，吸尘件102可通过升降模组112连接在支架113上。利用支架113，可以根据实际需要，将整个除尘装置100固定在做合适的位置。例如图1和图2示出的支架113是一种侧式支架，可以将除尘装置100安装在通道200的一侧。

进一步参考图7-8，示出了将本申请的除尘装置100应用于制程设备400的结构示意图。如图7-8所示，制程设备400上具有通道200，可以利用支架113将除尘装置100安装固定在制程设备400上，使吹气件101和吸尘件102位于通道200上方。这里，制程设备400可以是各种半导体用的制程设备，包括但不限于为清洁设备。

以上，图1-2和图7-8所示的结构中，支架113均为侧式支架，安装在通道200的一侧。但需要理解，在其它一些实施方式中，也可以有其它一些形式的支架，以适应于不同的应用场景。下面举例说明。

参考图9，示出了一种龙门架式的支架113，其包括两个侧架和一个横架，横架可用来固定升降模组112，两个侧架可用来安装于制程设备。

参考图10和11，分别示出了一种悬挂式的支架113，其中，图10示出了采用该悬挂式的支架113进行正装的示意图，图11示出了采用该悬挂式的支架113进行倒吊安装的示意图。

以上，对本申请实施例的一种除尘装置100进行了简要说明。该除尘装置100主要由吹气件101和吸尘件102构成，还可以进一步包括除升降模组112和静电模组114。其中：

1.吹气件101可以为圆筒件，且位于吸尘件102的下游，即，相较于吸尘件102较远离物体300进入通道200的位置，并可以被定位螺丝115固定在固定座111上(可转动)，吹气口103可以为开设在圆筒件上的狭缝，且吹气方向与物体300的移动方向夹一锐角，即能将物体300表面的灰尘颗粒朝吸尘件102吹动。在放松定位螺丝115后可将吹气件101相对于固定座111枢转，即能调整吹气口103与物体300之间的角度。可选的，当物体300较薄时可以设置吹气量较小，避免损坏物体300，吹气方向与物体300法线的夹角也较小。

2.吸尘件102整体可以呈三角形(例如正三角形或等腰三角形，可缩小体积)，吸尘口104开设在底侧，且底侧仅有斜角而无平台，能使吸尘方向与物体300夹一角度，并使灰尘颗粒不易累积在吸尘件中，重量较重的灰尘颗粒若掉落，将经由吸尘口104掉落，并被吹气件101吹气再度扬起进入吸尘件102。

3.可以在靠近吸尘口104的一侧设置除静电模组114，使得物体被吹气前能先受静电作用，以减少灰尘颗粒与物体300间的沾粘，有利于除尘。

4.可以在除尘模块(包括吹气件101和吸尘件102)上装设升降模组112，以利调整除尘模块的水平位置高度。

参考图2，本申请实施例的除尘装置100，其工作流程可以包括：

S1.将物体300(例如基板或引线框架等半导体半成品)送入预作业区域，使物体300在通道200上向除尘装置100移动；

S2.物体300首先经过除静电模组114，消除灰尘颗粒的静电解除与物体300的沾粘；

S3.物体300经过吸尘件102和吹气件101，实现除尘吸尘；

S4.物体300经通道200送入作业区域。

本申请的除尘装置100，取得的有益效果包括：

本申请通过将吹气件101和吸尘件102设置在通道200的同一侧，且吹气件101的吹气口103与物体300的移动方向相对，且吸尘件102的吸尘口104与吹气口103相对，且吸尘口104定义的吸尘范围S2大于吹气口103定义的吹气范围S1，使得，除尘过程中，即便扬起的微粒掉落在物体300上，仍会被吹气件101再次吹起供吸尘件102吸取，以此可以避免二次污染，提高除尘效果。

另外，本申请的除尘装置100还具有模块化设计，体积小，易安装，可实时拆换，安装方式多样，可配合各种制程设备在各种流道上安装等优点。

本申请通过将吹气件101枢接安装以及设置进气阀110，可调整吹气角度和吹气压力大小。

本申请通过将吸尘件102和吹气件101整合设计，可防止灰尘颗粒再次掉落导致二次污染。

本申请通过整合除静电模组114，可以预先消除物体300的静电，解决灰尘颗粒沾粘问题。

本申请通过配置支架113，无需改动原有制程设备，即可方便安装。

本申请中的支架113通过设计多种形式，可采用正装、倒吊、空架、侧架等多种方式实现灵活安装。

本申请通过将吸尘件102的底侧壁105设计为斜面，可避免内部灰尘颗粒累积。

本申请通过设计吸尘范围S2大于吹气范围S1，以及吸尘口104低于吹气口103，可避免吹尘颗粒泄漏，实现较好的除尘效果。

尽管已参考本申请的特定实施例描述并说明本申请，但这些描述和说明并不限制本申请。所属领域的技术人员可清楚地理解，可进行各种改变，且可在实施例内替代等效元件而不脱离如由所附权利要求书限定的本申请的真实精神和范围。图示可能未必按比例绘制。归因于制造过程中的变量等等，本申请中的技术再现与实际实施之间可能存在区别。可存在未特定说明的本申请的其它实施例。应将说明书和图示视为说明性的，而非限制性的。可作出修改，以使特定情况、材料、物质组成、方法或过程适应于本申请的目标、精神以及范围。所有此些修改都落入在此所附权利要求书的范围内。虽然已参考按特定次序执行的特定操作描述本文中所公开的方法，但应理解，可在不脱离本申请的教示的情况下组合、细分或重新排序这些操作以形成等效方法。因此，除非本文中特别指示，否则操作的次序和分组并不限制本申请。

Claims (10)

1.一种除尘装置，其特征在于，适用于去除沿通道移动的物体上的微粒，所述除尘装置包括：

吹气件，与所述通道间隔设置，相对于所述物体的移动方向形成有吹气口，所述吹气口定义出朝向所述物体的吹气范围；

吸尘件，与所述通道间隔设置且与所述吹气件位于所述通道的同一侧，相对于所述吹气口形成有吸尘口，所述吸尘口定义出朝向所述物体的吸尘范围，在俯视方向下所述吸尘范围大于所述吹气范围。

2.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，在侧视方向下所述吸尘范围大于所述吹气范围。

3.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述吸尘口的底侧较所述吹气口的底侧更靠近所述物体。

4.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述吸尘口较所述吹气口更靠近所述通道的入口。

5.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述吹气口的吹气方向与所述物体的移动方向呈锐角。

6.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述吸尘口的吸尘方向与所述物体的移动方向呈锐角。

7.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，所述吸尘件的底侧壁沿着与水平面呈夹角的方向延伸。

8.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，还包括：供所述吹气件枢接以使所述吹气件能够相对于所述物体转动的固定座。

9.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，还包括：连接所述吸尘件的升降模组。

10.根据权利要求1所述的除尘装置，其特征在于，还包括：较所述吹气件和所述吸尘件更靠近所述通道的入口的除静电模组。