CN219623457U - 一种法兰装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种法兰装置，包括分别与两个管道固定连接的两个法兰盘，以及夹在两个法兰盘之间的连接阀门，两个法兰盘与连接阀门三者之间通过多个贯穿的长螺钉固定连接，沿两个法兰盘与连接阀门的侧面周向设有多个卡接件，卡接件横跨两个法兰盘与连接阀门的侧周，在轴向上固定两个法兰盘与连接阀门三者之间的相对位置以使两个法兰盘与连接阀门三者之间保持平行，从而防止长螺钉由于螺纹偏斜而发生锁死。

Description

一种法兰装置

技术领域

本实用新型涉及一种防止固定螺钉锁死的法兰装置。

背景技术

在半导体薄膜制备设备的抽气系统中常采用法兰实现管路的连接与管路间阀门的固定安装，通常，法兰盘与阀门装置之间通过贯穿的长螺钉实现固定安装。

例如，两个需要相连的管路端部各设有一个法兰盘，在装配时，阀门装置夹设在该两个法兰盘之间，该两个法兰盘和阀门之间再通过贯穿的长螺钉固定连接。

然而，现有技术中经常存在的问题是，因为阀门装置的阀体庞大，受自身重力因素的影响，在装配以及维护抽气系统的过程中会因为阀体偏转而导致如下问题的发生，比如，长螺钉在拧紧过程中研死导致螺纹失效，进退两难，只能整体拆下锯开长螺钉来解决。又或者，因为阀体偏转，可能导致在安装密封结构中心圈的时候导致中心圈移动，拧紧后误认为完成装配导致后续机台漏率不合格。

因而本领域亟需一种法兰装置，通过装置结构的针对性设计，确保装配时管路连接机构中的各部件保持位置相对固定，从而避免出现长螺钉锁死问题的发生，进而优化管路及法兰的装配方法，节省设备维护的时间和成本。

实用新型内容

为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种法兰装置，包括分别与两个管道固定连接的两个法兰盘，以及夹在该两个法兰盘之间的连接阀门，该两个法兰盘与该连接阀门三者之间通过多个贯穿的长螺钉固定连接，沿该两个法兰盘与该连接阀门的侧面周向设有多个卡接件，该卡接件横跨该两个法兰盘与该连接阀门的侧周，在轴向上固定该两个法兰盘与该连接阀门三者之间的相对位置以使该两个法兰盘与该连接阀门三者之间保持平行。

在一实施例中，优选地，该法兰盘的内周端部沿轴向设有凹槽，该卡接件的端部呈钩状，用于与该凹槽相配合以实现卡接固定。

在一实施例中，优选地，在该凹槽内与该卡接件对应的位置还设有多个卡接孔，该卡接孔的形状与该卡接件的钩状端部形状相匹配，安装时该卡接件的钩状端部插入该卡接孔内以形成固定。

在一实施例中，优选地，该卡接件包括两个卡接块，该两个卡接块分别与该两个法兰盘相配合卡接。

在一实施例中，优选地，该两个卡接块之间通过连接机构相连接，该连接机构用于在装配该法兰盘之后安装该卡接件以固定该两个法兰盘与该连接阀门的相对位置，以及在拆卸该法兰盘时维持该两个法兰盘与该连接阀门三者之间的相对位置固定。

在一实施例中，优选地，该连接机构为贯穿该两个卡接块的长螺栓。

在一实施例中，优选地，该连接机构为设于该两个卡接块之间的弹性部件。

在一实施例中，优选地，沿该两个法兰盘与该连接阀门的侧面周向设有至少三个均匀分布的该卡接件。

本实用新型提供的法兰装置，通过装置结构的针对性设计，确保装配时管路连接机构中的各部件保持位置相对固定，从而避免出现长螺钉锁死问题的发生，进而优化管路及法兰的装配方法，节省设备维护的时间和成本。

附图说明

在结合以下附图阅读本公开的实施例的详细描述之后，能够更好地理解本实用新型的上述特征和优点。在附图中，各组件不一定是按比例绘制，并且具有类似的相关特性或特征的组件可能具有相同或相近的附图标记。

图1是现有技术中一半导体薄膜制备设备的抽气系统中法兰装置的装配结构示意图；

图2是现有技术中法兰装置内部结构的装配截面图；

图3是根据本实用新型的一实施例绘示的法兰装置的装配结构示意图；

图4是根据本实用新型的一实施例绘示的法兰装置中法兰盘的端面装置结构俯视图；以及

图5是根据本实用新型的一实施例绘示的法兰装置中卡接件的装置结构示意图。

为清楚起见，以下给出附图标记的简要说明：

101第一法兰盘

102第二法兰盘

103连接阀门

104长螺钉

105阀体

301上管路

302下管路

303法兰盘

304卡接件

305阀体

400法兰盘

401凹槽

402卡接孔

500卡接件

501钩状端部

502卡接块

503长螺栓

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点及功效。虽然本实用新型的描述将结合优选实施例一起介绍，但这并不代表此实用新型的特征仅限于该实施方式。恰恰相反，结合实施方式作实用新型介绍的目的是为了覆盖基于本实用新型的权利要求而有可能延伸出的其它选择或改造。为了提供对本实用新型的深度了解，以下描述中将包含许多具体的细节。本实用新型也可以不使用这些细节实施。此外，为了避免混乱或模糊本实用新型的重点，有些具体细节将在描述中被省略。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

另外，在以下的说明中所使用的“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“水平”、“垂直”应被理解为该段以及相关附图中所绘示的方位。此相对性的用语仅是为了方便说明之用，其并不代表其所叙述的装置需以特定方位来制造或运作，因此不应理解为对本实用新型的限制。

能理解的是，虽然在此可使用用语“第一”、“第二”、“第三”等来叙述各种组件、区域、层和/或部分，这些组件、区域、层和/或部分不应被这些用语限定，且这些用语仅是用来区别不同的组件、区域、层和/或部分。因此，以下讨论的第一组件、区域、层和/或部分可在不偏离本实用新型一些实施例的情况下被称为第二组件、区域、层和/或部分。

图1是现有技术中一半导体薄膜制备设备的抽气系统中法兰装置的装配结构示意图。

如图1所示，现有技术中在半导体薄膜制备设备的抽气系统中常见的管路连接法兰通常包括分别与两个管道固定连接的两个法兰盘，即图1中第一法兰盘101和第二法兰盘102，以及夹在该两个法兰盘之间的连接阀门103，该两个法兰盘与该连接阀门103三者之间通过多个贯穿的长螺钉104固定连接。

然而经常出现的情况是，请继续参考图1，由于阀体105重力影响，会导致第一法兰盘101、第二法兰盘102以及连接阀门103之间的相对位置发生偏移，进而产生螺钉锁死或密封不严的问题。具体可以参见图2。

图2是现有技术中法兰装置内部结构的装配截面图。

如图2所示，受到阀体重力影响，第一法兰盘101、第二法兰盘102以及连接阀门103的相对位置发生偏斜，使得贯穿该三者的长螺钉104会出现螺纹研死的情况，产生故障，为生产工作带来不便。

针对现有技术中的上述问题，本实用新型提出了一种法兰装置，通过装置结构的针对性设计，确保装配时管路连接机构中的各部件保持位置相对固定，从而避免出现长螺钉锁死问题的发生，进而优化管路及法兰的装配方法，节省设备维护的时间和成本。

图3是根据本实用新型的一实施例绘示的法兰装置的装配结构示意图。

如图3所示，在本实用新型提供的法兰装置中，上管路301和下管路302之间通过法兰盘303和包括阀体305的连接阀门相连接，沿该两个法兰盘303与该连接阀门的侧面周向设有多个卡接件304，该卡接件304横跨该两个法兰盘303与该连接阀门的侧周，在轴向上固定该两个法兰盘303与该连接阀门三者之间的相对位置以使该两个法兰盘303与该连接阀门三者之间保持平行，从而防止受到阀体305的重力影响，三者的相对位置发生偏移进而产生该长螺钉由于螺纹偏斜而发生锁死的问题。

下面对本实用新型提供的法兰装置的细节设计展开描述。

图4是根据本实用新型的一实施例绘示的法兰装置中法兰盘的端面装置结构俯视图。

如图4所示，在一优选的实施例中，该法兰盘400的内周端部沿轴向设有凹槽401，可以结合参考图3，这里的端部指的是法兰盘远离连接阀门的一侧，该凹槽401可以用于增强卡接件304的固定安装效果。

进一步，更优地，在图4所示的实施例中，在该凹槽401内与该卡接件对应的位置还设有多个卡接孔402。

图5是根据本实用新型的一实施例绘示的法兰装置中卡接件的装置结构示意图。结合图5可以更好体现本实用新型提供的法兰装置中卡接件的配套细节设计。

如图5所示，在一实施例中，优选地，该卡接件500的端部呈钩状，可以结合图4，该钩状端部501用于与该凹槽401相配合以实现卡接固定。

进一步，优选地，法兰盘400中该卡接孔402的形状与该卡接件500的钩状端部501形状相匹配，安装时该卡接件500的钩状端部501插入该卡接孔402内以形成固定。

请继续参考图5，在一实施例中，该卡接件500包括两个卡接块502，该两个卡接块502分别与该两个法兰盘相配合卡接。

进一步地，在一实施例中，该两个卡接块502之间通过连接机构相连接，该连接机构用于在装配该法兰盘之后安装该卡接件500以固定该两个法兰盘与该连接阀门的相对位置，以及在拆卸该法兰盘时维持该两个法兰盘与该连接阀门三者之间的相对位置固定。

例如，在图5所示的实施例中，该连接机构为贯穿该两个卡接块502的长螺栓503。

请结合参考图3，在现有技术中法兰装置的基础上，本实用新型提供的法兰装置在周向方向上对称安装多个卡接件304，从而将上管路301和下管路302的上下法兰扣紧。

更具体地，在法兰装置进行装配时，先安装位置相对的两个长螺钉，进行预紧，从而固定连接阀的安装方向。然后将两个卡接块对向地在周向上进行安装，也进行预紧来保证阀体不晃动即可。接着再将法兰盘303上其余的长螺钉安装完毕，可以按对角线依次拧紧长螺钉，最后再将所有卡接件304的长螺栓拧紧即可。在进行拆卸维护时，先拆下法兰盘303上的长螺钉再拆下卡接件304，可以避免拆卸过程中长螺钉因为螺纹位置偏转导致螺纹研死的问题发生，提升装置的可靠性。

需要说明的是，这里的连接机构仅做示例性的说明而非用于限制本实用新型的保护范围。在另一实施例中，该连接机构还可以为设于该两个卡接块之间的弹性部件。因而类似的可以起到固定连接作用的连接机构都应纳入本实用新型的保护范围之内。

此外，本领域技术人员可以理解地，在本实用新型提供的法兰装置中，沿该两个法兰盘与该连接阀门的侧面周向设有至少三个均匀分布的该卡接件，从而可以保证装置整体结构的稳定性，增强可靠性能。

提供之前的描述是为了使本领域中的任何技术人员均能够实践本文中所描述的各种方面。但是应该理解，本实用新型的保护范围应当以所附权利要求为准，而不应被限定于以上所解说实施例的具体结构和组件。本领域技术人员在本实用新型的精神和范围内，可以对各实施例进行各种变动和修改，这些变动和修改也落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种法兰装置，包括分别与两个管道固定连接的两个法兰盘，以及夹在所述两个法兰盘之间的连接阀门，所述两个法兰盘与所述连接阀门三者之间通过多个贯穿的长螺钉固定连接，其特征在于，

沿所述两个法兰盘与所述连接阀门的侧面周向设有多个卡接件，所述卡接件横跨所述两个法兰盘与所述连接阀门的侧周，在轴向上固定所述两个法兰盘与所述连接阀门三者之间的相对位置以使所述两个法兰盘与所述连接阀门三者之间保持平行。

2.如权利要求1所述的法兰装置，其特征在于，所述法兰盘的内周端部沿轴向设有凹槽，所述卡接件的端部呈钩状，用于与所述凹槽相配合以实现卡接固定。

3.如权利要求2所述的法兰装置，其特征在于，在所述凹槽内与所述卡接件对应的位置还设有多个卡接孔，所述卡接孔的形状与所述卡接件的钩状端部形状相匹配，安装时所述卡接件的钩状端部插入所述卡接孔内以形成固定。

4.如权利要求1所述的法兰装置，其特征在于，所述卡接件包括两个卡接块，所述两个卡接块分别与所述两个法兰盘相配合卡接。

5.如权利要求4所述的法兰装置，其特征在于，所述两个卡接块之间通过连接机构相连接，所述连接机构用于在装配所述法兰盘之后安装所述卡接件以固定所述两个法兰盘与所述连接阀门的相对位置，以及在拆卸所述法兰盘时维持所述两个法兰盘与所述连接阀门三者之间的相对位置固定。

6.如权利要求5所述的法兰装置，其特征在于，所述连接机构为贯穿所述两个卡接块的长螺栓。

7.如权利要求5所述的法兰装置，其特征在于，所述连接机构为设于所述两个卡接块之间的弹性部件。

8.如权利要求1所述的法兰装置，其特征在于，沿所述两个法兰盘与所述连接阀门的侧面周向设有至少三个均匀分布的所述卡接件。