CN219547092U - 纳米薄膜制备用气相沉积设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括上腔体，上腔体顶部连接有连接软管，连接软管远离上腔体的一端连接有输气管，输气管下端连接有反应气源瓶，输气管上连接有手动阀，反应气源瓶由卡爪进行固定，卡爪安装连接在上腔体右侧外围表面，上腔体左侧表面设有连接管道A，连接管道A与上腔体的空腔B联通，上腔体底部左右两端均开设有螺纹孔A，螺纹孔A内安装有固定螺栓，上腔体，内部固定安装有发热线圈，上腔体下方设有密封圈，密封圈左右两端均开设有螺纹孔B，密封圈下方设有下腔体；本纳米薄膜制备用气相沉积设备具有可以进行根据需要来调节高度，可通过外部降温减少降温时间，提高工作效率的优点。

Description

纳米薄膜制备用气相沉积设备

技术领域

本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，具体为纳米薄膜制备用气相沉积设备。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法，化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，而且它们的物理功能可以通过气相掺杂的淀积过程精确控制，目前，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。

目前，传统化学气相沉积通过加热器升温后，在不影响内部情况下，通常需要等待内部自身进行降温，需要等待很长的时间，会影响工作效率的问题，并且现有技术大多不能根据需要进行调节高度，使用起来不方便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供纳米薄膜制备用气相沉积设备，具有可以进行根据需要来调节高度，可通过外部降温减少降温时间，提高工作效率的优点，解决了现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括上腔体，所述上腔体顶部连接有连接软管，所述连接软管远离上腔体的一端连接有输气管，所述输气管下端连接有反应气源瓶，所述输气管上连接有手动阀，所述反应气源瓶由卡爪进行固定，所述卡爪安装连接在上腔体右侧外围表面，所述上腔体左侧表面设有连接管道A，所述连接管道A与上腔体的空腔B联通，所述上腔体底部左右两端均开设有螺纹孔A，所述螺纹孔A内安装有固定螺栓，所述上腔体，内部固定安装有发热线圈，所述上腔体下方设有密封圈，所述密封圈左右两端均开设有螺纹孔B，所述密封圈下方设有下腔体，所述下腔体顶部左右两端开设有螺纹孔C，所述下腔体左侧设置有电控箱，所述下腔体右侧连接有连接管道B，所述下腔体内部设置有空腔A，所述空腔A与连接管道B之间进行联通，所述下腔体内部底端安装有电动推杆。

优选的，所述电控箱表面安装有触摸控制面板，所述电控箱内部设有隔板，所述隔板上方安装有PLC控制器，所述隔板下方安装有蓄电池。

优选的，所述连接管道A由上方安装的电控阀B进行控制气体流通进入下腔体，所述连接管道B由上方安装有电控阀A进行控制气体流出空腔A。

优选的，所述电动推杆内部底端设置有步进电机，所述步进电机轴向转动连接有传动杆，所述传动杆螺纹连接有滑动块，所述滑动块固定安装在安装板的右侧，所述安装板的左侧设有限位板，所述限位板与安装板之间为滑动连接，所述安装板上安装有伸缩内杆，所述伸缩内杆顶部安装有托盘。

优选的，所述触摸控制面板和PLC控制器与设备主体之间为电性连接。

优选的，所述螺纹孔A、螺纹孔B和螺纹孔C之间上下相互对应，所述通过固定螺栓进行贯穿连接，所述固定螺栓底端连接有螺帽对上腔体、密封圈和下腔体之间进行固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本纳米薄膜制备用气相沉积设备通过连接管道A上方的电控阀B，有利于控制连接管道A的接通和闭合，方便将连接外部干冰箱内的干冰送入空腔B和空腔A内对上腔体和下腔体内，进行快速的降温，提高工作效率，通过密封圈，有利于将上腔体和下腔体进行连接时保湿量高的密封性。

2.本纳米薄膜制备用气相沉积设备通过电动推杆，有利于根据需要进行调节高度，方便进行使用。

附图说明

图1为本实用新型纳米薄膜制备用气相沉积设备的整体结构示意图；

图2为本实用新型纳米薄膜制备用气相沉积设备的爆炸示意图；

图3为本实用新型纳米薄膜制备用气相沉积设备的上腔体剖面示意图；

图4为本实用新型纳米薄膜制备用气相沉积设备的下腔体剖面示意图；

图5为本实用新型纳米薄膜制备用气相沉积设备的电动推杆剖面示意图；

图6为本实用新型纳米薄膜制备用气相沉积设备的电控箱内部示意图。

图中标注说明：1、上腔体；2、螺纹孔A；3、密封圈；4、电控箱；5、触摸控制面板；6、连接管道B；7、下腔体；8、电控阀A；9、固定螺栓；10、卡爪；11、反应气源瓶；12、手动阀；13、输气管；14、连接软管；15、电控阀B；16、连接管道A；17、发热线圈；18、螺纹孔B；19、螺纹孔C；20、螺帽；21、蓄电池；22、PLC控制器；23、空腔A；24、电动推杆；25、托盘；26、步进电机；27、传动杆；28、滑动块；29、伸缩内杆；30、限位板；31、安装板；33、空腔B。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1：

请参阅图1、2、3、4、5、6，纳米薄膜制备用气相沉积设备,包括上腔体1，上腔体1顶部连接有连接软管14，连接软管14远离上腔体1的一端连接有输气管13，输气管13下端连接有反应气源瓶11，输气管13上连接有手动阀12，反应气源瓶11由卡爪10进行固定，卡爪10安装连接在上腔体1右侧外围表面，上腔体1左侧表面设有连接管道A16，连接管道A16与上腔体1的空腔B33联通，上腔体1底部左右两端均开设有螺纹孔A2，螺纹孔A2内安装有固定螺栓9，上腔体1，内部固定安装有发热线圈17，上腔体1下方设有密封圈3，密封圈3左右两端均开设有螺纹孔B18，密封圈3下方设有下腔体7，下腔体7顶部左右两端开设有螺纹孔C19，下腔体7左侧设置有电控箱4，下腔体7右侧连接有连接管道B6，下腔体7内部设置有空腔A23，空腔A23与连接管道B6之间进行联通，下腔体7内部底端安装有电动推杆24，连接管道A16由上方安装的电控阀B15进行控制气体流通进入下腔体7，连接管道B6由上方安装有电控阀A8进行控制气体流出空腔A23，螺纹孔A2、螺纹孔B18和螺纹孔C19之间上下相互对应，通过固定螺栓9进行贯穿连接，固定螺栓9底端连接有螺帽20对上腔体1、密封圈3和下腔体7之间进行固定连接，通过连接管道A16上方的电控阀B15，有利于控制连接管道A16的接通和闭合，方便将连接外部干冰箱内的干冰送入空腔B33和空腔A23内对上腔体1和下腔体7内，进行快速的降温，提高工作效率，通过密封圈3，有利于将上腔体1和下腔体7进行连接时保湿量高的密封性。

电控箱4表面安装有触摸控制面板5，电控箱4内部设有隔板，隔板上方安装有PLC控制器22，隔板下方安装有蓄电池21，触摸控制面板5和PLC控制器22与设备主体之间为电性连接，通过PLC控制器22和触摸控制面板5，有利于对设备进行自动控制。

电动推杆24内部底端设置有步进电机26，步进电机26轴向转动连接有传动杆27，传动杆27螺纹连接有滑动块28，滑动块28固定安装在安装板31的右侧，安装板31的左侧设有限位板30，限位板30与安装板31之间为滑动连接，安装板31上安装有伸缩内杆29，伸缩内杆29顶部安装有托盘2，通过电动推杆24，有利于根据需要进行调节高度，方便进行使用。

工作原理：本实用新型纳米薄膜制备用气相沉积设备，使用时，蓄电池21对PLC控制器22和触摸控制面板5进行供电，将反应物料放在托盘25上，通过触摸控制面板5控制电动推杆24进行调节到合适的高度，通过固定螺栓9和螺帽20配合，将上腔体1、密封圈3和下腔体7上的螺纹孔A2、螺纹孔B18和螺纹孔C19进行固定连接，密封连接后通过触摸控制面板5操控上腔体1内的发热线圈17对托盘25上的反应物料进行加热，加热过程中打开手动阀12将反应气源瓶11内的反应气源通过输气管13和连接软管14进行向上腔体1内输送反应气体与反应物料之间进行化学反应形成薄膜，加热过程完毕后通过PLC控制器22对连接管道A16上的电控阀B15进行控制，将阀门打开将外部连接的干冰箱内的干冰送入联通好的空腔A23和空腔B33内进行冷却，冷却完毕后，通过PLC控制器22控制电控阀A8打开，将干冰放出空腔A23和空腔B33内后等待下一次薄膜制备工作。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点，对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型；因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (6)

1.纳米薄膜制备用气相沉积设备，包括上腔体(1)，其特征在于：所述上腔体(1)顶部连接有连接软管(14)，所述连接软管(14)远离上腔体(1)的一端连接有输气管(13)，所述输气管(13)下端连接有反应气源瓶(11)，所述输气管(13)上连接有手动阀(12)，所述反应气源瓶(11)由卡爪(10)进行固定，所述卡爪(10)安装连接在上腔体(1)右侧外围表面，所述上腔体(1)左侧表面设有连接管道A(16)，所述连接管道A(16)与上腔体(1)的空腔B(33)联通，所述上腔体(1)底部左右两端均开设有螺纹孔A(2)，所述螺纹孔A(2)内安装有固定螺栓(9)，所述上腔体(1)，内部固定安装有发热线圈(17)，所述上腔体(1)下方设有密封圈(3)，所述密封圈(3)左右两端均开设有螺纹孔B(18)，所述密封圈(3)下方设有下腔体(7)，所述下腔体(7)顶部左右两端开设有螺纹孔C(19)，所述下腔体(7)左侧设置有电控箱(4)，所述下腔体(7)右侧连接有连接管道B(6)，所述下腔体(7)内部设置有空腔A(23)，所述空腔A(23)与连接管道B(6)之间进行联通，所述下腔体(7)内部底端安装有电动推杆(24)。

2.根据权利要求1所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述电控箱(4)表面安装有触摸控制面板(5)，所述电控箱(4)内部设有隔板，所述隔板上方安装有PLC控制器(22)，所述隔板下方安装有蓄电池(21)。

3.根据权利要求1所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述连接管道A(16)由上方安装的电控阀B(15)进行控制气体流通进入下腔体(7)，所述连接管道B(6)由上方安装有电控阀A(8)进行控制气体流出空腔A(23)。

4.根据权利要求1所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述电动推杆(24)内部底端设置有步进电机(26)，所述步进电机(26)轴向转动连接有传动杆(27)，所述传动杆(27)螺纹连接有滑动块(28)，所述滑动块(28)固定安装在安装板(31)的右侧，所述安装板(31)的左侧设有限位板(30)，所述限位板(30)与安装板(31)之间为滑动连接，所述安装板(31)上安装有伸缩内杆(29)，所述伸缩内杆(29)顶部安装有托盘(25)。

5.根据权利要求2所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述触摸控制面板(5)和PLC控制器(22)与设备主体之间为电性连接。

6.根据权利要求3所述的纳米薄膜制备用气相沉积设备，其特征在于：所述螺纹孔A(2)、螺纹孔B(18)和螺纹孔C(19)之间上下相互对应，所述通过固定螺栓(9)进行贯穿连接，所述固定螺栓(9)底端连接有螺帽(20)对上腔体(1)、密封圈(3)和下腔体(7)之间进行固定连接。