CN219534468U - 一种新型准分子灯 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型准分子灯，包括一内部填充有稀有气体的密封容器，该密封容器呈透明状，所述密封容器的两端分别设有第一导电电极及第二导电电极；上述密封容器的两端还设有可拆卸的灯座，所述灯座连接导电电极，所述密封容器外侧设有两个以上可用于导电的真空溅镀涂层，且其一真空溅镀涂层与另一真空溅镀涂层相对设置或倾斜设置，所述真空溅镀涂层之间形成一用于放电的腔体。本实用新型将电极通过真空溅镀或蒸镀直接印刷在石英管外壁两侧，使其放电距离最大化，进而提高准分子灯的功率，结构简单轻便，生产和维修成本低。

Description

一种新型准分子灯

技术领域

本实用新型涉及准分子灯技术领域，具体为一种新型准分子灯。

背景技术

市场急需一款既能高效杀菌消毒，又对人体没有伤害的产品，为此生产出222nm波段的准分子灯。准分子灯，又称紫外线准分子灯，准分子灯的基本原理是(KrCl)气体在灯的玻璃封闭间隙内发生放电，产生典型的准分子辐射(在这种情况下为典型的222nm光谱)。利用其单一的高强紫外线，可实现很好的半导体、液晶屏制造中的光清洗、光改性，其处理效果好，速度快，具有灭活病毒的同时对人体无害，具有高效医疗效果。然而，当我们观察这种设计的微观细节时，我们很快意识到，准分子灯两个电极都不会在整个区域内平坦地附着在玻璃上。金属和玻璃表面之间几乎没有100um或更大的间隙。由于这些灯的工作电压通常在8-10kV范围内，因此在这些间隙上、在外部、在空气中会形成非常小的放电，这会产生臭氧，不具有环保效果。而产生的臭氧量取决于间隙、施加的电压和灯的功率。除上述缺点，现有的准分子灯还存在以下缺点：1、传统准分子灯采用内电极和外电极，并且灯管两端为固定式，该结构生产、维修成本和损耗率很高，不适合批量生产，并且需要指定的维修设备及维修人员，维修工序复杂；2、采用高压交流电的方式运作，具有较高安全隐患，可靠性低；3、传统灯管内置有连接电极的金属管，该结构与灯管表面的导电金属网之间的放电距离小，功率也相应降低，并且制作成本也随之增高，结构笨重，操作困难。

实用新型内容

为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种新型准分子灯，能有效的解决背景技术提出的问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种新型准分子灯，包括一内部填充有稀有气体的密封容器，该密封容器呈透明状，所述密封容器的两端分别设有第一导电电极及第二导电电极；上述密封容器的两端还设有可拆卸的灯座，所述灯座连接导电电极，所述密封容器外侧设有两个以上可用于导电的真空溅镀涂层，且其一真空溅镀涂层与另一真空溅镀涂层相对设置或倾斜设置，所述真空溅镀涂层之间形成一用于放电的腔体；

所述第一导电电极与其一真空溅镀涂层连接，第二导电电极与另一真空溅镀涂层连接。

特别的，所述密封容器为单管式结构，且密封容器由石英材料制成。

特别的，所述密封容器与灯座为插拔式连接，所述灯座与密封容器之间设有密封圈，且灯座还开设有用于安装导电电极的通孔，该导电电极穿过通孔与真空溅镀涂层电连接。

特别的，所述密封容器内置填充有氯化氪气体。

特别的，所述真空溅镀涂层之间具有放电距离，所述真空溅镀涂层以半弧的方式置于密封容器的外壁。

特别的，所述真空溅镀涂层之间的距离随密封容器的直径增大而增大，所述放电腔体的放电功率随真空溅镀涂层之间的距离增大而增大。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的一种新型准分子灯在使用的过程中，具备以下的优点：1、在石英管电极通电部分摒弃传统连接高压交流电的方式，以插拔式安装在灯座上实现通电，安装方便，操作简单，人工维修成本低，适合批量生产；2、为单管式结构，结构简单轻便，生产成本低，损耗小；3、将电极通过真空溅镀或蒸镀直接印刷在石英管外壁两侧，使其放电距离最大化，由于石英管之间的溅镀层在管体内的直径是最大的，因此放电的功率就越大，进而提高准分子灯的功率；4、放电容器不受形状限制，适用范围更加广泛；5、采用电极溅镀在石英管外壁后，电极之间大幅度降低臭氧的产生，环保性更强。

附图说明

图1为本实用新型整体结构结构示意图；

图2为本实用新型图1中A部分结构示意图。

图中标号：

1、密封容器；2、灯座；3、真空溅镀涂层；4、第一导电电极；5、第二导电电极；6、密封圈。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2所示，本实用新型提供了一种新型准分子灯，包括一内部填充有稀有气体的密封容器1，该密封容器1呈透明状，所述密封容器1的两端分别设有第一导电电极4及第二导电电极5；上述密封容器1的两端还设有可拆卸的灯座2，所述灯座2连接导电电极，所述密封容器1外侧设有两个以上可用于导电的真空溅镀涂层3，且其一真空溅镀涂层3与另一真空溅镀涂层3相对设置或倾斜设置，所述真空溅镀涂层3之间形成一用于放电的腔体；该密封容器1不受形状制约，密封容器1可使用管状、锥形块、球形等以任意形状制成的密封壳体，当真空溅镀层之间达到所需条件均能实现放电效果，并且将导电的真空溅镀涂层加工至灯管外壁上能实现放电距离的最大化，从而提高放电功率；

本实施例是由两个分离的电极，中间填充气体，并以该气体为导电介质进行放电所产生紫外线的一种装置，其呈现很强的电容特性；所产生放电的准分子辐射波段为222nm，准分子灯发出的强劲窄带，非相干辐射紫外光，非常有利于大面积照射处理。相对于常见的低压汞灯254nm能够穿透人体皮肤表层长时间照射容易导致皮肤癌变，222nm波段的准分子灯更加安全，可靠性更强。

其中，真空溅镀涂层3以上下平行或左右平行的方式通过真空溅镀技术附着与管体的外壁；

通过真空溅镀工艺能最大程度增强真空溅镀层的附着力，相对于传统的油墨印刷或蒸镀工艺其附着力均有明显的提高，其中真空溅镀工艺耐温效果佳，可靠性更强，油墨导电膏印刷成型的导电层耐温低，在准分子灯工作的状态时非常容易出现脱落的现象；

所述第一导电电极4与其一真空溅镀涂层3连接，第二导电电极5与另一真空溅镀涂层3连接，所述第一导电电极4与第二导电电极5采用低压直流电源供电，能大幅度降低准分子灯所产生的臭氧量，该臭氧产生的总量取决于光的总量，为此，高功率灯将按比例产生比低功率灯更多臭氧；第一导电电极4与第二导电电极5为导电导线，分别用于对管体内的真空溅镀涂层3进行供电，其安全系数更高。

进一步说明的是，所述密封容器1为单管式结构，且密封容器1由石英材料制成。密封容器1可包括光学石英玻璃、透紫外黑色玻璃、钠钙硅透短波紫外玻璃以及钠钙紫外玻璃等制成的容器，用于增强紫外线透光性。

进一步说明的是，所述密封容器1与灯座2为插拔式连接，所述灯座2与密封容器1之间设有密封圈6，且灯座2还开设有用于安装导电电极的通孔，该导电电极穿过通孔与真空溅镀涂层3电连接。传统准分子灯采用固定式安装，本实施例以插拔式安装在灯座2上实现通电，安装方便，操作简单，人工维修成本更低。

进一步说明的是，所述密封容器1内置填充有氯化氪气体。密封容器1内置的气体以氪、氯化物气体(或氯气)、氦(或氩)的混合气体为工作物质。

进一步说明的是，所述真空溅镀涂层3之间具有放电距离，所述真空溅镀涂层3以半弧的方式置于密封容器1的外壁。现有的准分子灯中部穿插一根金属棒，与其管体上的金属网进行放电，本实施例通过真空溅镀的工艺将金属导电材料以气相的方式溅镀至管体的侧壁上，之间形成的距离无限接近于管体的直径，根据放电功率的原理，其与放电距离是呈正比的。

进一步说明的是，所述真空溅镀涂层3之间的距离随密封容器1的直径增大而增大，所述放电腔体的放电功率随真空溅镀涂层3之间的距离增大而增大。为此，该真空溅镀涂层3在管体内实现最大化放电功率，同时，放电的过程中与传统的区别在于传统放电过程中产生细小放电，从而产生臭氧，并且采用高压电，不仅安全隐患高，所工作产生的臭氧等有害气体也与其息息相关。

本实施例的具体工作原理：选取石英材质制成透明的密封容器1，该密封容器1为柱形结构或锥形结构，通过真空溅镀工艺或蒸镀工艺将金属涂料在真空环境下以气相的形式沉积于密封容器1的外壁上，随真空溅镀涂层3之间的距离增大，其放电功率越大，并且真空溅镀涂层3之间放电间隙大于100μm；选取与密封容器1密封配合的灯座2，该灯座2由通孔安装导电电极，通过两侧的导电电极与真空溅镀涂层3形成电连接，使密封容器1内发生放电，氯化氪通过放电反应产生紫外线。真空蒸镀是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成可导电的镀膜，溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10-3Torr左右，即1.3×10-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电产生的电子激发惰性气体产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上；

另一种蒸镀工艺的过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向载体表面输送→气态粒子附着在载体表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合；通常以电阻、电子束、激光等方法加热膜料，使膜料蒸发或升华，气化为具有一定能量(0.1～0.3eV)的粒子(原子、分子或原子团)。气态粒子以基本无碰撞的直线运动飞速传送至载体，到达载体表面的粒子一部分被反射，另一部分吸附在载体上并发生表面扩散，沉积原子之间产生二维碰撞，形成簇团，有的可能在表面短时停留后又蒸发。粒子簇团不断地与扩散粒子相碰撞，或吸附单粒子，或放出单粒子。此过程反复进行，当聚集的粒子数超过某一临界值时就变为稳定的核，再继续吸附扩散粒子而逐步长大，最终通过相邻稳定核的接触、合并，形成连续薄膜。

所述密封容器1不限形状限制，当采用柱状结构的密封容器1时，真空溅镀涂层3相对置于管壁上，所述真空溅镀涂层3的金属涂料为铜或锡，通电后两者之间形成放电，其中真空溅镀涂层3随密封容器1的面积而变化。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种新型准分子灯，包括一内部填充有稀有气体的密封容器，该密封容器呈透明状，所述密封容器的两端分别设有第一导电电极及第二导电电极；其特征在于：上述密封容器的两端还设有可拆卸的灯座，所述灯座连接导电电极，所述密封容器外侧设有两个以上可用于导电的真空溅镀涂层，且其一真空溅镀涂层与另一真空溅镀涂层相对设置或倾斜设置，所述真空溅镀涂层之间形成一用于放电的腔体；

所述第一导电电极与其一真空溅镀涂层连接，第二导电电极与另一真空溅镀涂层连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型准分子灯，其特征在于：所述密封容器为单管式结构，且密封容器为石英材质。

3.根据权利要求1所述的一种新型准分子灯，其特征在于：所述密封容器与灯座为插拔式连接，所述灯座与密封容器之间设有密封圈，且灯座还开设有用于安装导电电极的通孔，该导电电极穿过通孔与真空溅镀涂层电连接。

4.根据权利要求1所述的一种新型准分子灯，其特征在于：所述密封容器内置填充有氯化氪气体。

5.根据权利要求1所述的一种新型准分子灯，其特征在于：所述真空溅镀涂层之间具有放电距离，所述真空溅镀涂层以半弧的方式置于密封容器的外壁。

6.根据权利要求5所述的一种新型准分子灯，其特征在于：所述真空溅镀涂层之间的距离随密封容器的直径增大而增大，所述放电腔体的放电功率随真空溅镀涂层之间的距离增大而增大。