CN219519842U - 一种单晶硅片的除尘设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单晶硅片的除尘设备，包括除尘柜，所述除尘柜的内部固定安装有承载板，所述承载板的顶部固定安装有支撑柱，所述支撑柱的左右两侧分别安装有放置架，所述除尘柜的顶部可拆卸安装有吹风机，所述吹风机的出风口处连接有连接管，所述连接管的底部分别安装有吹风杆，所述吹风杆的上侧均匀的开设有，所述除尘柜的底部开设有集尘槽，本实用新型通过设置吹风机、连接管、吹风杆和通孔，能够将附着在除尘柜内部放置的单晶硅片上的灰尘吹起，避免设置多个通孔更加充分的对除尘柜内部进行吹风，快速实现对刻蚀气体的混合以及除杂，设置集尘抽屉，便于都会灰尘进行更好的收集，安装拆卸方便。

Description

一种单晶硅片的除尘设备

技术领域

本实用新型属于除尘设备技术领域，尤其涉及一种单晶硅片的除尘设备。

背景技术

单晶硅在生产过程中会产生大量有害粉尘，如果不去除，会对人员和环境造成一定的危害，同时也影响单晶硅的生产效率，这就需要配置相应的除尘设备，由于除尘器安装在单晶炉真空管道中，也就对设备的振动提出了要求，不能影响真空管道的压力。

综上所述，现有的单晶硅片的生产制造过程中会产生一定的灰尘，一般都会通过各种类型的单晶硅片进行除尘，大部分除尘设备内部设置的放置架上的单晶硅片产生的灰尘都会被堆积，不能够更好的将灰尘扬起，不变与对灰尘进行清理，同时，除尘后的灰尘不能够得到更好的收集，单晶硅片的除尘设备均不能较好的达到使用要求。

实用新型内容

针对现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种单晶硅片的除尘设备，具备便于使用的优点，解决了现有的单晶硅片的生产制造过程中会产生一定的灰尘，一般都会通过各种类型的单晶硅片进行除尘，大部分除尘设备内部设置的放置架上的单晶硅片产生的灰尘都会被堆积，不能够更好的将灰尘扬起，不变与对灰尘进行清理，同时，除尘后的灰尘不能够得到更好的收集，单晶硅片的除尘设备均不能较好的达到使用要求的问题。

本实用新型是这样实现的，一种单晶硅片的除尘设备，包括除尘柜，所述除尘柜的内部固定安装有承载板，所述承载板的顶部固定安装有支撑柱，所述支撑柱的左右两侧分别安装有放置架，所述除尘柜的顶部可拆卸安装有吹风机，所述吹风机的出风口处连接有连接管，所述连接管的底部分别安装有吹风杆，所述吹风杆的上侧均匀的开设有通孔，所述除尘柜的底部开设有集尘槽，所述集尘槽的内部可拆卸安装有集尘抽屉，所述除尘柜的右侧连接有积尘管，所述积尘管的左端贯穿集尘抽屉的右侧，所述积尘管延伸至集尘抽屉的内部，所述积尘管的右端可拆卸安装有吸尘器。

作为本实用新型优选的，所述承载板的上侧均匀的开设有灰尘孔，所述灰尘孔的正下方可拆卸安装有梯形下料。

作为本实用新型优选的，所述除尘柜的后侧均开设有安装槽，所述安装槽的内部可拆卸安装有通风风扇。

作为本实用新型优选的，所述连接管的对立面安装有连接杆，所述连接杆的底部与支撑柱的顶部相互连接。

作为本实用新型优选的，所述集尘抽屉的顶部可拆卸安装有盖板，所述盖板的上侧开设有落灰口，所述落灰口的正上方对准集尘槽的底部。

作为本实用新型优选的，所述除尘柜的底部分别安装有支撑板，所述除尘柜的前侧合页安装有柜门。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置吹风机、连接管、吹风杆和通孔，能够将附着在除尘柜内部放置的单晶硅片上的灰尘吹起，避免设置多个通孔更加充分的对除尘柜内部进行吹风，快速实现对刻蚀气体的混合以及除杂，设置集尘抽屉，便于都会灰尘进行更好的收集，安装拆卸方便。

2、本实用新型通过设置灰尘孔，便于灰尘的降落，利用梯形下料，能够缩小灰尘下落的范围，实现更好的将灰尘直接收集到底部的集尘抽屉的内部。

3、本实用新型通过设置安装槽，能够对实现对除尘柜内部与外界进行通风，避免长时间存放在除尘柜内部的单晶硅片出现返潮的现象。

4、本实用新型通过设置连接杆，起到了对连接管进行支撑的作用，同时也能够对支撑柱进行支撑，避免支撑柱在使用的过程中出现倾斜，影响单晶硅片的放置，增加了设备运行的平稳性。

5、本实用新型通过设置盖板，避免集尘抽屉内部的灰尘扬起，更好的起到了防护的作用，开设落灰口，能够缩小灰尘的入口，气体中的灰尘杂质随着重力作用落入落灰口，更好的将灰尘进行灰尘，更好的对设备进行维护。

6、本实用新型通过设置支撑板，起到了对除尘柜进行支撑的作用，能够将支撑板与地面留有一定的距离，设置柜门，能够对除尘柜内部的组件进行防护，便于对除尘柜内部的组件进行更换机维修。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的后视立体图；

图2是本实用新型实施例提供的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的正视图；

图4是本实用新型实施例提供的承载板的示意图；

图5是本实用新型实施例提供的集尘抽屉的示意图。

图中：1、除尘柜；2、承载板；3、灰尘孔；4、梯形下料；5、支撑柱；6、放置架；7、安装槽；8、通风风扇；9、吹风机；10、连接管；11、吹风杆；12、通孔；13、连接杆；14、集尘槽；15、集尘抽屉；16、盖板；17、落灰口；18、积尘管；19、吸尘器；20、支撑板；21、柜门。

具体实施方式

为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。

下面结合附图对本实用新型的结构作详细的描述。

如图1至图5所示，本实用新型实施例提供的一种单晶硅片的除尘设备，包括除尘柜1，除尘柜1的内部固定安装有承载板2，承载板2的顶部固定安装有支撑柱5，支撑柱5的左右两侧分别安装有放置架6，除尘柜1的顶部可拆卸安装有吹风机9，吹风机9的出风口处连接有连接管10，连接管10的底部分别安装有吹风杆11，吹风杆11的上侧均匀的开设有通孔12，除尘柜1的底部开设有集尘槽14，集尘槽14的内部可拆卸安装有集尘抽屉15，除尘柜1的右侧连接有积尘管18，积尘管18的左端贯穿集尘抽屉15的右侧，积尘管18延伸至集尘抽屉15的内部，积尘管18的右端可拆卸安装有吸尘器19。

参考图2和图4，承载板2的上侧均匀的开设有灰尘孔3，灰尘孔3的正下方可拆卸安装有梯形下料4。

采用上述方案：通过设置灰尘孔3，便于灰尘的降落，利用梯形下料4，能够缩小灰尘下落的范围，实现更好的将灰尘直接收集到底部的集尘抽屉15的内部。

参考图2，除尘柜1的后侧均开设有安装槽7，安装槽7的内部可拆卸安装有通风风扇8。

采用上述方案：通过设置安装槽7，能够对实现对除尘柜1内部与外界进行通风，避免长时间存放在除尘柜1内部的单晶硅片出现返潮的现象。

参考图3，连接管10的对立面安装有连接杆13，连接杆13的底部与支撑柱5的顶部相互连接。

采用上述方案：通过设置连接杆13，起到了对连接管10进行支撑的作用，同时也能够对支撑柱5进行支撑，避免支撑柱5在使用的过程中出现倾斜，影响单晶硅片的放置，增加了设备运行的平稳性。

参考图2和图5，集尘抽屉15的顶部可拆卸安装有盖板16，盖板16的上侧开设有落灰口17，落灰口17的正上方对准集尘槽14的底部。

采用上述方案：通过设置盖板16，避免集尘抽屉15内部的灰尘扬起，更好的起到了防护的作用，开设落灰口17，能够缩小灰尘的入口，气体中的灰尘杂质随着重力作用落入落灰口17，更好的将灰尘进行灰尘，更好的对设备进行维护。

参考图2，除尘柜1的底部分别安装有支撑板20，除尘柜1的前侧合页安装有柜门21。

采用上述方案：通过设置支撑板20，起到了对除尘柜1进行支撑的作用，能够将支撑板20与地面留有一定的距离，设置柜门21，能够对除尘柜1内部的组件进行防护，便于对除尘柜1内部的组件进行更换机维修。

本实用新型的工作原理：

在使用时，首先，对设备的整体进行检查，检查完毕后，打开柜门21，把需要存放的单晶硅片放置在放置架6的上方，然后在关上柜门21，当存放一定时间后，单晶硅片上侧会堆积大量的灰尘，这时开启吹风机9，利用连接管10和吹风杆11将风从通孔12吹向除尘柜1的内部放置的单晶硅片，将堆积的灰尘吹起，同时开启吸尘器19，利用积尘管18将扬起的灰尘进行抽取，将灰尘经过灰尘孔3、梯形下料4和落灰口17最终抽到集尘抽屉15的内部，当不需要对除尘柜1内部的单晶硅片进行除尘时，打开安装槽7内部的通风风扇8对除尘柜1内部进行通风，避免除尘柜1内部出现返潮的现象，影响单晶硅片的使用。

综上所述：该实用新型实施例提供的一种单晶硅片的除尘设备，通过设置除尘柜1、承载板2、灰尘孔3、梯形下料4、支撑柱5、放置架6、安装槽7、通风风扇8、吹风机9、连接管10、吹风杆11、通孔12、连接杆13、集尘槽14、集尘抽屉15、盖板16、落灰口17、积尘管18、吸尘器19、支撑板20和柜门21的配合，解决了现有的单晶硅片的生产制造过程中会产生一定的灰尘，一般都会通过各种类型的单晶硅片进行除尘，大部分除尘设备内部设置的放置架上的单晶硅片产生的灰尘都会被堆积，不能够更好的将灰尘扬起，不变与对灰尘进行清理，同时，除尘后的灰尘不能够得到更好的收集，单晶硅片的除尘设备均不能较好的达到使用要求的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种单晶硅片的除尘设备，包括除尘柜(1)，其特征在于：所述除尘柜(1)的内部固定安装有承载板(2)，所述承载板(2)的顶部固定安装有支撑柱(5)，所述支撑柱(5)的左右两侧分别安装有放置架(6)，所述除尘柜(1)的顶部可拆卸安装有吹风机(9)，所述吹风机(9)的出风口处连接有连接管(10)，所述连接管(10)的底部分别安装有吹风杆(11)，所述吹风杆(11)的上侧均匀的开设有通孔(12)，所述除尘柜(1)的底部开设有集尘槽(14)，所述集尘槽(14)的内部可拆卸安装有集尘抽屉(15)，所述除尘柜(1)的右侧连接有积尘管(18)，所述积尘管(18)的左端贯穿集尘抽屉(15)的右侧，所述积尘管(18)延伸至集尘抽屉(15)的内部，所述积尘管(18)的右端可拆卸安装有吸尘器(19)。

2.如权利要求1所述的一种单晶硅片的除尘设备，其特征在于：所述承载板(2)的上侧均匀的开设有灰尘孔(3)，所述灰尘孔(3)的正下方可拆卸安装有梯形下料(4)。

3.如权利要求1所述的一种单晶硅片的除尘设备，其特征在于：所述除尘柜(1)的后侧均开设有安装槽(7)，所述安装槽(7)的内部可拆卸安装有通风风扇(8)。

4.如权利要求1所述的一种单晶硅片的除尘设备，其特征在于：所述连接管(10)的对立面安装有连接杆(13)，所述连接杆(13)的底部与支撑柱(5)的顶部相互连接。

5.如权利要求1所述的一种单晶硅片的除尘设备，其特征在于：所述集尘抽屉(15)的顶部可拆卸安装有盖板(16)，所述盖板(16)的上侧开设有落灰口(17)，所述落灰口(17)的正上方对准集尘槽(14)的底部。

6.如权利要求1所述的一种单晶硅片的除尘设备，其特征在于：所述除尘柜(1)的底部分别安装有支撑板(20)，所述除尘柜(1)的前侧合页安装有柜门(21)。