CN219490135U - 一种坩埚转位装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种坩埚转位装置，包括坩埚组件、主轴和抽气组件，坩埚组件转动连接在主轴顶端，抽气组件安装在主轴的外侧，其特征在于，主轴内部设置有气动杆，坩埚组件包括承重盘，气动杆与承重盘底端连接固定。坩埚组件还包括坩埚、坩埚底座、支撑盘和坩埚盖，坩埚安装在坩埚底座上，坩埚底座安装在承重盘上，支撑盘安装在承重盘底端，且支撑盘固定在主轴顶端外侧，坩埚盖设置在坩埚上，坩埚盖上安装有把手。本申请具有功能更灵活、操作方便，配套大型镀膜设备等较好的优点。

Description

一种坩埚转位装置

技术领域

本实用新型属于转位运动装置的技术领域，具体涉及一种坩埚转位装置。

背景技术

在真空设备镀膜技术上，坩埚转位是指利用电机通过减速器减速，再通过联轴器和主轴把传动力矩传送到上方坩埚处，使坩埚得到转位，这是一种原动力在大气环境下往真空环境中传输动力使坩埚穴位转动的结构系统，在此过程中，主轴作用是传动，把大气压下的动力传送到真空环境中，这种装置需要在动态转动中设置密封结构，目前对坩埚转位装置的密封方式有磁流体密封和普通橡胶圈密封两种密封方式。

然而，现有的坩埚转位装置只能设置一种密封方式，且不能对两种密封方式进行互换，在使用上非常局限。本申请的目的在于设计出便于更换密封方式的坩埚转位装置，具体为一种坩埚转位装置。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种坩埚转位装置，用以解决现有技术中存在的上述问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种坩埚转位装置，包括坩埚组件、主轴和抽气组件，所述坩埚组件转动连接在主轴顶端，所述抽气组件安装在主轴的外侧，其特征在于，所述主轴内部设置有气动杆，所述坩埚组件包括承重盘，所述气动杆与承重盘底端连接固定。

优选的，所述坩埚组件还包括坩埚、坩埚底座、支撑盘和坩埚盖，所述坩埚安装在坩埚底座上，所述坩埚底座安装在承重盘上，所述支撑盘安装在承重盘底端，且所述支撑盘固定在主轴顶端外侧，所述坩埚盖设置在坩埚上，所述坩埚盖上安装有把手。

优选的，所述抽气组件包括机械泵、连接室和真空室，所述机械泵安装在主轴外侧，所述连接室转动安装在机械泵外侧，所述真空室安装在连接室底端。

优选的，所述真空室一侧安装有进气口，且所述真空室另一侧安装有排气口。

优选的，所述主轴底端连接有转动组件，所述转动组件包括联轴器，所述联轴器顶端内部与主轴底端连接固定。

优选的，所述转动组件还包括减速器和电机，所述减速器安装在电机上，所述减速器顶端设置有传动轴，所述传动轴顶端与联轴器底端内部连接固定。

优选的，所述联轴器外侧设置有固定组件，所述固定组件包括铁架，所述铁架顶端固定在真空室底端，且所述铁架底端固定在减速器上。

优选的，所述固定组件还包括固定盘、固定铁片和固定夹所述固定盘安装在联轴器底端，所述固定铁片安装在铁架一侧，且所述铁架另一侧安装有固定夹。

有益效果：本装置的坩埚组件均为螺栓进行连接，当需要更换其他种类的坩埚时，只需拆卸螺栓更换需要的坩埚，组装好即可；

本装置采用支撑盘和称重盘的设计，能够承受大质量的坩埚，从而匹配大型镀膜设备；

本装置在结构设计上大多采用螺栓连接，在需要更换密封方式时比较方便；

本装置对转动组件和抽气组件利用固定组件连接，保证整体结构的稳定性。

附图说明

图1为本申请实施例的结构示意图。

图2为本申请实施例中坩埚组件的结构示意图。

图3为本申请实施例中抽气组件的结构示意图。

图4为本申请实施例中转动组件的结构示意图。

图5为本申请实施例中固定组件的结构示意图。

1、坩埚组件；11、坩埚；12、坩埚底座；13、承重盘；14、支撑盘；15、坩埚盖；151、把手；2、主轴；21、气动杆；3、抽气组件；31、机械泵；32、连接室；33、真空室；331、进气口；331、排气口；4、转动组件；41、联轴器；42、减速器；421、传动轴；43、电机；5、固定组件；51、铁架；52、固定盘；53、固定铁片；54、固定夹。

具体实施方式

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将结合附图和实施例或现有技术的描述对本实用新型作简单地介绍，显而易见地，下面关于附图结构的描述仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。

参照图1，本申请实施例公开了一种坩埚转位装置，包括坩埚组件1、主轴2和抽气组件3，坩埚组件1转动连接在主轴2顶端，抽气组件3安装在主轴2的外侧，主轴2内部设置有气动杆21，坩埚组件1包括承重盘13，气动杆21与承重盘13底端连接固定。

具体的，气动杆21顶端凸出主轴2的顶端。

本实施例中，通过主轴2的转动，带动内部气动杆21转动，气动杆21带动承重盘13转动，从而带动整个坩埚进行转位；同时在抽气组件3在抽气后，装置内外形成压强差，气动杆21会自动吸走坩埚内的气体，从而产生镀膜效果。

参照图1和图2，坩埚组件1还包括坩埚11、坩埚底座12、支撑盘14和坩埚盖15，坩埚11安装在坩埚底座12上，坩埚底座12安装在承重盘13上，支撑盘14安装在承重盘13底端，且支撑盘14固定在主轴2顶端外侧，坩埚盖15设置在坩埚11上，坩埚盖15上安装有把手151。

具体的，坩埚组件1内部组件均为圆形，且除了坩埚盖15，其余组件均通过螺栓连接；其中支撑盘14可拆分成左右两半，分别固定在承重盘13底端。

本实施例中，切换坩埚种类时，只要将坩埚11、坩埚底座12和承重盘13的螺栓拆卸，更换需要的坩埚，装上螺栓即可；坩埚盖15可防止镀膜时物体跳出。

本实施例中，支撑盘14的设置，更换大尺寸坩埚时，通过将支撑盘14从主轴2两侧拆下，能够对整个坩埚组件1进行拆卸，然后更换需要尺寸的坩埚即可；通过设置支撑盘14和承重盘13从而匹配更大重量的坩埚，同时这种设置能够保证拆卸和组装的方便，便于后期部件的更换和维修。

参照图3，在其中一个实施例中，抽气组件3包括机械泵31、连接室32和真空室33，机械泵31安装在主轴2外侧，连接室32转动安装在机械泵31外侧，真空室33安装在连接室32底端。

具体的，机械泵31通过轴承转动连接在主轴2上，连接室32通过螺栓与真空室33连接，且连接室32两端端均对采用O型密封圈进行真空密封。

本实施例中，转动连接方式保证主轴2在转动中不会受到干扰，在需要更换成磁密封时，拆除上方坩埚组件1，对真空室33和连接室32进行拆解，将连接室32两端的轴承更换为磁密封轴，再组装好即可。

参照图3，在其中一个实施例中，真空室33一侧安装有进气口331，且真空室33另一侧安装有排气口332。

具体的,进气口331竖直位置在排气口332上方。

本实施例中，通过排气口332排气达到真空目的，设备停止时，通过进气口331进气达到内外平衡，保护装置。

参照图4，主轴2底端连接有转动组件4，转动组件4包括联轴器41，联轴器41顶端内部与主轴2底端连接固定。

具体的，主轴2底端通过螺栓与转动组件4连接。

本实施例中，转动组件4带动主轴进行转动，通过螺栓连接方便拆卸。

参照图4，在其中一个实施例中，转动组件4还包括减速器42和电机43，减速器42安装在电机43上，减速器42顶端设置有传动轴421，传动轴421顶端与联轴器41底端内部连接固定。

具体的，转动组件4各部件均采用螺栓连接；传动轴421和主轴2底端均安装联轴器41内部。

本实施例中，通过安装减速器，降低转速，增大传动力矩，降低装置的转动贯量，达到保护装置的目的。

本实施例中，利用减速器42的转动带动联轴器41的转动，将传动力矩通过主轴2传给上方的坩埚组件1，从而带动坩埚组件1转动。

参照图1和图5，在其中一个实施例中，联轴器41外侧设置有固定组件5，固定组件5包括铁架51，铁架51顶端固定在真空室33底端，且铁架51底端固定在减速器42上。

具体的，铁架51为中空的立体型，且两端均通过螺栓固定，联轴器41安装在铁架51内部。

本实施例中，设置固定组件5，保证联轴器41的转动不受干扰，铁架51两端均采用螺栓连接，方便拆卸。

参照图5，在其中一个实施例中，固定组件5还包括固定盘52、固定铁片53和固定夹54固定盘52安装在联轴器41底端，固定铁片53安装在铁架51一侧，且铁架51另一侧安装有固定夹54。

具体的，固定铁片53设置为矩形，且上下两端通过螺栓与铁架51连接，固定夹54中间设有凹槽，固定盘52设置为圆形，且穿过凹槽固定在联轴器41底端。

本实施例中，设置固定铁片53保证铁架51的稳定，设置固定盘52与联轴器41一起转动，将转动盘通过固定夹54所设凹槽，防止脱落，保证装置的稳定。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种坩埚转位装置，包括坩埚组件（1）、主轴（2）和抽气组件（3），所述坩埚组件（1）转动连接在主轴（2）顶端，所述抽气组件（3）安装在主轴（2）的外侧，其特征在于，所述主轴（2）内部设置有气动杆（21），所述坩埚组件（1）包括承重盘（13），所述气动杆（21）与承重盘（13）底端连接固定。

2.根据权利要求1所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述坩埚组件（1）还包括坩埚（11）、坩埚底座（12）、支撑盘（14）和坩埚盖（15），所述坩埚（11）安装在坩埚底座（12）上，所述坩埚底座（12）安装在承重盘（13）上，所述支撑盘（14）安装在承重盘（13）底端，且所述支撑盘（14）固定在主轴（2）顶端外侧，所述坩埚盖（15）设置在坩埚（11）上，所述坩埚盖（15）上安装有把手（151）。

3.根据权利要求1所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述抽气组件（3）包括机械泵（31）、连接室（32）和真空室（33），所述机械泵（31）安装在主轴（2）外侧，所述连接室（32）转动安装在机械泵（31）外侧，所述真空室（33）安装在连接室（32）底端。

4.根据权利要求3所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述真空室（33）一侧安装有进气口（331），且所述真空室（33）另一侧安装有排气口（332）。

5.根据权利要求1所述的坩埚转位装置，其特征在于，所述主轴（2）底端连接有转动组件（4），所述转动组件（4）包括联轴器（41），所述联轴器（41）顶端内部与主轴（2）底端连接固定。

6.根据权利要求5所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述转动组件（4）还包括减速器（42）和电机（43），所述减速器（42）安装在电机（43）上，所述减速器（42）顶端设置有传动轴（421），所述传动轴（421）顶端与联轴器（41）底端内部连接固定。

7.根据权利要求6所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述联轴器（41）外侧设置有固定组件（5），所述固定组件（5）包括铁架（51），所述铁架（51）顶端固定在真空室（33）底端，且所述铁架（51）底端固定在减速器（42）上。

8.根据权利要求7所述的一种坩埚转位装置，其特征在于，所述固定组件（5）还包括固定盘（52）、固定铁片（53）和固定夹（54）所述固定盘（52）安装在联轴器（41）底端，所述固定铁片（53）安装在铁架（51）一侧，且所述铁架（51）另一侧安装有固定夹（54）。