CN219482236U - 一种臭氧水气液混合循环系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种臭氧水气液混合循环系统，它包括：磁力泵；冷却桶；单向阀；混合组件，所述混合组件包括相配合的混合桶和臭氧进气控制单元，臭氧水浓度传感器；所述混合桶包括对接配合的第一半桶体和第二半桶体、形成在所述第一半桶体自由端的第一接头、形成在所述第二半桶体自由端的第二接头以及安装在所述第一半桶体自由端且延伸至所述第二半桶体内的排气管；所述臭氧进气控制单元包括控制箱本体、一端位于所述控制箱本体内且另一端延伸至所述控制箱本体外以连接臭氧发生器的臭氧引导管、一端延伸至控制箱本体内且另一端连接至所述第一转接管和所述第三出液管之间的臭氧进气管以及臭氧加压泵。这样能够避免混合桶内的压力过大而产生过压风险。

Description

一种臭氧水气液混合循环系统

技术领域

本实用新型属于臭氧水混合设备领域，涉及一种混合系统，具体涉及一种臭氧水气液混合循环系统。

背景技术

硅片是太阳能电池的基本部件，其性能参数直接影响太阳能电池片的光电转化效率，因此硅片的清洗很重要。在硅片切割的工艺流程中，硅片表面可能沾染的污染物可分为三类：（1）油脂、环氧树脂或聚乙二醇等有机物；（2）金属、金属离子和其它无机化合物；（3）粉尘颗粒及其它固体颗粒等。随着环保要求的不断提高，使用臭氧清洗代替传统RCA清洗硅片越来越普遍，因为使用臭氧清洗可以避免双氧水、硝酸等化学品的使用及排放，大大降低了生产成本，是绿色环保的清洗方法。

申请号为202220265592.X的中国实用新型专利公开了一种高浓度臭氧水混合装置，它包括：臭氧发生组件，所述臭氧发生组件包括臭氧发生器、与所述臭氧发生器相连接用于输入氧气的氧气进气机构以及与所述臭氧发生器相连接用于输出臭氧的臭氧出气机构；气液混合桶，所述气液混合桶直接或通过气液混合管间接与所述臭氧出气机构相连接；循环混合组件。该混合装置能够将臭氧和水分别加压后于气液混合桶中进行混合，有利于臭氧充分溶于水而形成高浓度的臭氧水，但是混合桶未设置排气结构而容易导致其内的压力过大，存在过压风险。

发明内容

本实用新型目的是为了克服现有技术的不足而提供一种臭氧水气液混合循环系统。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种臭氧水气液混合循环系统，它包括：

磁力泵，所述磁力泵连接有第一进液管和第一出液管；

冷却桶，所述冷却桶连接有第二进液管和第二出液管，所述第二进液管与所述第一出液管通过第一手动阀相连接；

单向阀，所述单向阀的一端连接有第三进液管且另一端连接有第三出液管，所述第三进液管与所述第二出液管对接；

混合组件，所述混合组件包括相配合的混合桶和臭氧进气控制单元，

臭氧水浓度传感器，所述臭氧水浓度传感器连接有第一臭氧水管和第二臭氧水管，所述第一臭氧水管接至所述第一进液管上，所述第二臭氧水管接至所述第二出液管和所述第三进液管的连接处；

所述混合桶包括对接配合的第一半桶体和第二半桶体、形成在所述第一半桶体自由端的第一接头、形成在所述第二半桶体自由端的第二接头以及安装在所述第一半桶体自由端且延伸至所述第二半桶体内的排气管，所述第一接头通过第一转接管与所述第三出液管相连接，所述第二接头外接有臭氧水出水管，所述臭氧水出水管上安装有第二手动阀；

所述臭氧进气控制单元包括控制箱本体、一端位于所述控制箱本体内且另一端延伸至所述控制箱本体外以连接臭氧发生器的臭氧引导管、一端延伸至控制箱本体内且另一端连接至所述第一转接管和所述第三出液管之间的臭氧进气管以及设置于所述控制箱本体内且连接所述臭氧引导管和所述臭氧进气管的臭氧加压泵。

优化地，所述磁力泵的外壳体上设置有安装底板；所述混合组件还包括基板，所述混合桶和所述控制单元均安装在所述基板上。

优化地，所述第一半桶体、所述第二半桶体相对接的端部分别形成有第一法兰部、第二法兰部，所述第一法兰部和所述第二法兰部通过多根螺栓副连接。

进一步地，所述第一法兰部的内壁上形成有内台阶对接环体，所述第二法兰部上形成有与所述内台阶对接环体相配合的外台阶对接环体。

优化地，所述排气管的管壁上开设有间隔设置的多列漏液孔。

进一步地，所述臭氧进气控制单元还包括一端与所述排气管外端相连接其另一端延伸至所述控制箱本体内的导气管、由所述控制箱本体内延伸至其外部且通过安全阀与所述导气管相连接以外接排风装置的臭氧排气管以及一端与所述臭氧排气管相连接且另一端延伸至所述控制箱本体外的压缩空气入管。

更进一步地，所述导气管的管径大于所述臭氧排气管的管径。

优化地，所述臭氧进气控制单元还包括设置在所述控制箱本体内的液位仪，所述第二半桶体的自由端还设置有第三接头，所述第三接头通过连接管与所述液位仪相连接。

优化地，所述第二半桶体内安装有与其端部相邻设置的均流板。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型臭氧水气液混合循环系统，通过采用磁力泵、冷却桶、单向阀、混合组件和臭氧水浓度传感器等进行配合，并在混合桶上设置排气管，这样能够避免混合桶内的压力过大而产生过压风险。

附图说明

图1为本实用新型臭氧水气液混合循环系统的结构示意图；

图2为本实用新型臭氧水气液混合循环系统另一视角的结构示意图；

图3为本实用新型臭氧水气液混合循环系统中混合桶的结构示意图；

图4为图3的A-A剖视图。

具体实施方式

下面结合附图所示的实施例对本实用新型作进一步描述。

以下各实施例的说明是参考附图，用以例示本实用新型可据以实施的特定实施例。本实用新型所提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等，仅是参考附图的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本申请，而非用以限制本申请。另外，在说明书中，除非明确地描述为相反的，否则词语“包括”或“包含”应被理解为意指包括该元件，但是不排除任何其它元件。

如图1和图2所示的臭氧水气液混合循环系统，主要包括磁力泵1、冷却桶2、单向阀4、混合组件5和臭氧水浓度传感器6等。

其中，磁力泵1连接有第一进液管11和第一出液管12，第一进液管11的另一端连接溢流槽，以向磁力泵1输送低浓度的臭氧水（通常是清洗硅片后的臭氧水）。在本实施例中，磁力泵1的外壳体上设置有安装底板13，这样可以通过安装底板13可以将磁力泵1安装在使用场合的地面上。

冷却桶2连接有第二进液管21和第二出液管22，该第二进液管21与第一出液管12通过第一手动阀3相连接，在使用时可以人工通过第一手动阀3调节进液流量，用于将上述的臭氧水进行冷却。

单向阀4的一端连接有第三进液管41且另一端连接有第三出液管42，第三进液管41与第二出液管22对接，以确保前述的臭氧水只能向下游流动。

臭氧水浓度传感器6连接有第一臭氧水管61和第二臭氧水管62，第一臭氧水管61接至第一进液管11上，第二臭氧水管62接至第二出液管22和第三进液管41的连接处，分别用于测量第一进液管11内及冷却桶2下游出液的臭氧浓度。

混合组件5包括相配合的混合桶52和臭氧进气控制单元53。其中，混合桶52包括对接配合的第一半桶体521和第二半桶体522、形成在第一半桶体521自由端（即外端）的第一接头523、形成在所述第二半桶体522自由端（即外端）的第二接头524以及安装在第一半桶体521自由端且延伸至第二半桶体522内的排气管526（排气管526的自由端更靠近第二半桶体522的外端），第一接头523通过第一转接管5231与第三出液管42相连接（用于将臭氧水引入混合桶52内）；第二接头524外接有臭氧水出水管5241，臭氧水出水管5241上安装有第二手动阀5242（调节出液的流量），这样经过混合的臭氧水（高浓度的）可以经由臭氧水出水管5241输送至硅片的清洗槽。臭氧进气控制单元53包括控制箱本体530、一端位于控制箱本体530内且另一端延伸至控制箱本体530外的臭氧引导管533（臭氧引导管533的另一端连接臭氧发生器，用于引入臭氧气体）、一端延伸至控制箱本体530内且另一端连接至第一转接管5231和第三出液管42之间的臭氧进气管534（这样可以将臭氧气体输入流经此处的低浓度臭氧水以使得臭氧气体溶入形成高浓度臭氧水）、设置在控制箱本体530内且连接臭氧引导管533和臭氧进气管534的臭氧加压泵（为了保证臭氧气体的充足压力以溶入低浓度臭氧水，图中未显示）。这样能够避免混合桶内52的压力过大而产生过压风险，当压力过大时，其内的液体或气体能够经由排气管526排出。在本实施例中，排气管526的管壁上开设有间隔设置的多列漏液孔5161，多列漏液孔5161还按照间隔设置的多圈排列（沿排气管526的轴向间隔设置），这样可以将过压气体带出的臭氧水流入至混合桶52内，保证臭氧水的平稳供应。

在本实施例中，混合组件5还包括基板，混合桶52控制单元53均安装在基板上。第一半桶体521、第二半桶体522相对接的端部分别形成有第一法兰部5210、第二法兰部5220，第一法兰部5210和第二法兰部5220通过多根螺栓副连接；第一法兰部5210的内壁上形成有内台阶对接环体5211，第二法兰部5220上形成有与内台阶对接环体5211相配合的外台阶对接环体5221；使得第一半桶体521和第二半桶体522密封连接。

在本实施例中，臭氧进气控制单元53还包括一端与排气管526外端相连接其另一端延伸至控制箱本体530内的导气管535、由控制箱本体530内延伸至其外部且通过安全阀与导气管535相连接以外接排风装置（现有常规的）的臭氧排气管532以及一端与臭氧排气管532相连接且另一端延伸至控制箱本体530外的压缩空气入管531，当导气管535内的压力达到一定的程度时，安全阀打开而将臭氧输入排风装置（通常是稀释后排入大气或者收集起来）。导气管535的管径大于臭氧排气管532的管径。

在本实施例中，臭氧进气控制单元53还包括设置在控制箱本体530内的液位仪，第二半桶体522的自由端还设置有第三接头527，第三接头527通过连接管536与液位仪相连接，用于测量混合桶52中臭氧水的液位。第二半桶体522内安装有与其端部相邻设置的均流板525，可以起到降低紊流的作用。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种臭氧水气液混合循环系统，它包括：

磁力泵（1），所述磁力泵（1）连接有第一进液管（11）和第一出液管（12）；

冷却桶（2），所述冷却桶（2）连接有第二进液管（21）和第二出液管（22），所述第二进液管（21）与所述第一出液管（12）通过第一手动阀（3）相连接；

单向阀（4），所述单向阀（4）的一端连接有第三进液管（41）且另一端连接有第三出液管（42），所述第三进液管（41）与所述第二出液管（22）对接；

混合组件（5），所述混合组件（5）包括相配合的混合桶（52）和臭氧进气控制单元（53），

臭氧水浓度传感器（6），所述臭氧水浓度传感器（6）连接有第一臭氧水管（61）和第二臭氧水管（62），所述第一臭氧水管（61）接至所述第一进液管（11）上，所述第二臭氧水管（62）接至所述第二出液管（22）和所述第三进液管（41）的连接处；

其特征在于：所述混合桶（52）包括对接配合的第一半桶体（521）和第二半桶体（522）、形成在所述第一半桶体（521）自由端的第一接头（523）、形成在所述第二半桶体（522）自由端的第二接头（524）以及安装在所述第一半桶体（521）自由端且延伸至所述第二半桶体（522）内的排气管（526），所述第一接头（523）通过第一转接管（5231）与所述第三出液管（42）相连接，所述第二接头（524）外接有臭氧水出水管（5241），所述臭氧水出水管（5241）上安装有第二手动阀（5242）；

所述臭氧进气控制单元（53）包括控制箱本体（530）、一端位于所述控制箱本体（530）内且另一端延伸至所述控制箱本体（530）外以连接臭氧发生器的臭氧引导管（533）、一端延伸至控制箱本体（530）内且另一端连接至所述第一转接管（5231）和所述第三出液管（42）之间的臭氧进气管（534）以及设置于所述控制箱本体（530）内且连接所述臭氧引导管（533）和所述臭氧进气管（534）的臭氧加压泵。

2.根据权利要求1所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述磁力泵（1）的外壳体上设置有安装底板（13）；所述混合组件（5）还包括基板，所述混合桶（52）和所述臭氧进气控制单元（53）均安装在所述基板上。

3.根据权利要求1所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述第一半桶体（521）、所述第二半桶体（522）相对接的端部分别形成有第一法兰部（5210）、第二法兰部（5220），所述第一法兰部（5210）和所述第二法兰部（5220）通过多根螺栓副连接。

4.根据权利要求3所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述第一法兰部（5210）的内壁上形成有内台阶对接环体（5211），所述第二法兰部（5220）上形成有与所述内台阶对接环体（5211）相配合的外台阶对接环体（5221）。

5.根据权利要求1所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述排气管（526）的管壁上开设有间隔设置的多列漏液孔（5161）。

6.根据权利要求1或5所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述臭氧进气控制单元（53）还包括一端与所述排气管（526）外端相连接其另一端延伸至所述控制箱本体（530）内的导气管（535）、由所述控制箱本体（530）内延伸至其外部且通过安全阀与所述导气管（535）相连接以外接排风装置的臭氧排气管（532）以及一端与所述臭氧排气管（532）相连接且另一端延伸至所述控制箱本体（530）外的压缩空气入管（531）。

7.根据权利要求6所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述导气管（535）的管径大于所述臭氧排气管（532）的管径。

8.根据权利要求1所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述臭氧进气控制单元（53）还包括设置在所述控制箱本体（530）内的液位仪，所述第二半桶体（522）的自由端还设置有第三接头（527），所述第三接头（527）通过连接管（536）与所述液位仪相连接。

9.根据权利要求1所述的臭氧水气液混合循环系统，其特征在于：所述第二半桶体（522）内安装有与其端部相邻设置的均流板（525）。