CN219418972U - 一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统，其中，所述转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈。本实用新型提供的一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统，借助伸缩管的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈的更换，显著提升了密封圈更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

Description

一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统

技术领域

本实用新型涉及真空腔室传输领域，尤其涉及一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统。

背景技术

半导体领域中通常需要在真空腔室内进行半导体产品的传输，例如需要在工艺腔室和传输腔室中频繁进行产品的传输处理。现有技术的传输腔室内部安装真空传输机器人，且工艺腔室和传输腔室之间通过连接端口进行对接。

为了确保工艺腔室和传输腔室内部的真空度，通常需要在连接端口处设置密封圈，由于工艺腔室和传输腔室的体积较大，为了便于传输稳定，通常将工艺腔室和传输腔室固定在地面上。

真空传输体系中密封圈老化时间在3年左右，因此在设备密封圈出现泄露或者未出现泄露且达到使用年限的时候，需要半导体整机设备停机维护，更换密封圈；现有的维护方法具体为：将固定在地面上的传输腔室和工艺腔室拆开，向转接口垂直方向拉开一定操作空间，并在该空间进行密封圈的更换。

这种维护方法需要全部拆开分离设备，对场地预留有一定要求，无疑增加了使用成本，降低了厂房利用率。同时设备拆分后再复原，不仅仅是单纯的机械复原，这里还有因位置变动引起的真空机械手重新示教的工作，示教是指手动重新获取机械手在各个工艺腔内的终点坐标，以保证在自动控制条件下，机械手能准确地完成去放晶圆的工作。除此以外，更换一次密封圈，设备停机时间长，严重影响设备的生产效率。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此，本实用新型的目的在于提供一种真空腔室的转接组件及其形成的半导体传输系统，借助伸缩管的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈的更换，显著提升了密封圈更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

为了实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种真空腔室的转接组件，所述转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈。

进一步的，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有用于容纳密封圈的凹槽。

进一步的，所述转接端面中设置有定位销钉，所述定位销钉位于伸缩管的外侧，所述真空腔室的入口或出口所在端面设置有与所述定位销钉相适配的定位孔。

进一步的，所述定位销钉均匀分布在转接端面中所述伸缩管的外侧。

进一步的，所述真空腔室的入口或出口为长方形，所述转接端面中伸缩管为长方体的伸缩管，所述转接端面为长方体。

一种半导体传输系统，包括如上所述的真空腔室的转接组件。

进一步的，包括工艺腔室和传输腔室，且所述工艺腔室和传输腔室的内部均为真空环境；所述工艺腔室和传输腔室中设置有对应的连接端口，所述连接端口之间设置有转接组件，所述转接组件中的两个转接端面分别可拆卸连接在工艺腔室和传输腔室的连接端口中。

进一步的，所述传输腔室和工艺腔室的连接端口中设置有密封圈。

进一步的，所述传输腔室为多边体，所述传输腔室的侧边设置有M个工艺腔室，所述传输腔室与M隔工艺腔室之间分别通过转接组件连接；M为大于0的整数。

本申请实施例提供的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点：本申请转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与所述真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈；本申请中远离真空腔室的转接端面可以固定在待固定的位置处，伸缩管具有弹性，且能够伸缩，当伸缩管位于伸长状态的时候，相当于将真空腔室的入口或出口进行了延伸，确保真空腔室的入口或出口能够密封连接在待固定的位置处，当伸缩管处于压缩状态的时候，转接端面可以从真空腔室中以拆卸下来，此时，真空腔室入口或出口处的密封圈可以实现更换；本申请正是借助伸缩管的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈的更换，显著提升了密封圈更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本实用新型的实施例，并与说明书一起用于解释本实用新型的原理。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

附图中：

图1为本申请中传输腔室和工艺腔室的连接示意图；

图2为本申请中传输腔室和工艺腔室的连接俯视图；

图3为本申请中转接组件的整体结构示意图；

图4为本申请中伸缩管处于拉伸状态时的示意图；

图5为本申请中伸缩管处于压缩状态时的示意图；

图6为实施例3中更换密封圈的流程示意图；

附图标记：11、传输腔室；12、工艺腔室；13、转接端面；14、伸缩管；15、定位销钉；16、密封圈。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。以下描述中，需要理解的是，“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”、“纵”、“横”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“头”、“尾”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系、以特定的方位构造和操作，仅是为了便于描述本技术方案，而不是指示所指的机构或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本实用新型的限制。

还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，“安装”、“相连”、“连接”、“固定”、“设置”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。当一个元件被称为在另一元件“上”或“下”时，该元件能够“直接地”或“间接地”位于另一元件之上，或者也可能存在一个或更多个居间元件。术语“第一”、“第二”、“第三”等仅是为了便于描述本技术方案，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量，由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、技术之类的具体细节，以便透彻理解本实用新型实施例。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本实用新型。在其它情况中，省略对众所周知的系统、机构、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本实用新型的描述。

实施例1

请参阅图1-图5，本申请提供的一种真空腔室的转接组件，转接组件包括伸缩管14以及位于伸缩管14两端的转接端面13，其中一个转接端面13与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，真空腔室中与转接端面13连接的面中设置有密封圈16。

本申请中远离真空腔室的转接端面13可以固定在待固定的位置处，伸缩管14具有弹性，且能够伸缩，当伸缩管14位于伸长状态的时候，相当于将真空腔室的入口或出口进行了延伸，确保真空腔室的入口或出口能够密封连接在待固定的位置处，当伸缩管14处于压缩状态的时候，转接端面13可以从真空腔室中以拆卸下来，此时，真空腔室入口或出口处的密封圈16可以实现更换；本申请正是借助伸缩管14的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管14处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈16的更换，显著提升了密封圈16更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

实施例2

请参阅图1-图5，本申请提供的一种真空腔室的转接组件，转接组件包括伸缩管14以及位于伸缩管14两端的转接端面13，其中一个转接端面13与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，真空腔室中与转接端面13连接的面中设置有密封圈16。

真空腔室中与转接端面13连接的面中设置有用于容纳密封圈16的凹槽，本申请定义真空腔室中与转接端面13连接的面中设置有连接端口，连接端口可以为真空腔室的入口或出口，用于将半导体产品搬出或者搬入真空腔室内部。连接端口需要实现真空腔室与其他腔室的连接，为了确保连接处的密封性能，本申请连接端口设置有放置密封圈16的凹槽，凹槽中设置有密封圈16。

为了实现转接组件与真空腔室的连接，本申请转接端面13中设置有定位销钉15，定位销钉15均匀分布在转接端面13中伸缩管14的外侧，真空腔室的入口或出口所在端面设置有与定位销钉15相适配的定位孔。当需要将真空腔室和转接组件固定在一起的时候，定位销钉15和定位孔紧固连接即可；当需要将转接组件从真空腔室中拆卸下来的时候，定位销钉15与定位孔脱离即可。

如图1-图5所示，当真空腔室的入口或出口为长方形时，真空腔室对应的连接端口也为长方形结构，此时，转接端面13中伸缩管14为长方体的伸缩管14，转接端面13为长方体。本申请中伸缩管14可以为能够伸长和压缩的任意材质，具体可以为波纹管。

本申请中远离真空腔室的转接端面13可以固定在待固定的位置处，伸缩管14具有弹性，且能够伸缩，当伸缩管14位于伸长状态的时候，相当于将真空腔室的入口或出口进行了延伸，确保真空腔室的入口或出口能够密封连接在待固定的位置处，当伸缩管14处于压缩状态的时候，转接端面13可以从真空腔室中以拆卸下来，此时，真空腔室入口或出口处的密封圈16可以实现更换；本申请正是借助伸缩管14的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管14处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈16的更换，显著提升了密封圈16更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

实施例3

请参阅图2-图5，本实施例提供的一种半导体传输系统，包括实施例2中所述的真空腔室的转接组件。

半导体传输系统具体包括工艺腔室12和传输腔室11，且工艺腔室12和传输腔室11的内部均为真空环境，即工艺腔室12和传输腔室11相当于实施例1和2中的真空腔室。

工艺腔室12和传输腔室11中设置有对应的连接端口，连接端口之间设置有转接组件，转接组件中的两个转接端面13分别可拆卸连接在工艺腔室12和传输腔室11的连接端口中。

本实施例中传输腔室11和工艺腔室12的连接端口中均设置有放置密封圈16的凹槽，凹槽中设置有密封圈16。

具体的，本申请传输腔室11为多边体，传输腔室11的侧边设置有M个工艺腔室12，传输腔室11与M隔工艺腔室12之间分别通过转接组件连接。例如传输腔室11为六边体结构，则可以在传输腔室11的六个侧面均设置连接端口，用于与六个工艺腔室12对接。

如图6所示，当传输腔室11和工艺腔室12正常运行的时候，二者通过转接组件进行连接，其中，转接组件两端的转接端面13分别与传输腔室11和工艺腔室12的连接端口固定连接，具体的，连接端口中设置有定位孔，转接端面13中设置有对应的定位销钉15，当定位销钉15紧固在定位孔中时，伸缩管14处于拉伸状态，通过转接组件可以实现传输腔室11和工艺腔室12的密封连接。传输腔室11和工艺腔室12的连接端口中设置有密封圈16。

当传输腔室11和工艺腔室12需要更换密封圈16的时候，将转接端面13中的定位销钉15从定位孔中取出，使得转接端面13和连接端口分离，此时转接组件可以从传输腔室11和工艺腔室12中拆卸下来；拆卸之后，对伸缩管14进行压缩，使得伸缩管14处于压缩状态，此时，传输腔室11和工艺腔室12的连接端口处由于伸缩管14的压缩，形成更换空间，在该空间内，可以实现连接端口密封圈16的更换。

需要说明的是，当只有传输腔室11或工艺腔室12需要更换密封圈16的时候，只需要将对应位置处的定位销钉15去除即可，通过转接端面13与传输腔室11或工艺腔室12的分离，以及伸缩管14的压缩，形成更换传输腔室11或工艺腔室12密封圈16的空间。

本申请正是借助伸缩管14的压缩和伸长，可以实现真空腔室的转接以及断开，当伸缩管14处于压缩状态时，可以为真空腔室的入口或出口提供操作场地，便于真空腔室入口或出口处密封圈16的更换，显著提升了密封圈16更换效率，减少设备停机时间，降低设备维修成本。

可以理解的，以上实施例仅表达了本实用新型的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制；应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，可以对上述技术特点进行自由组合，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围；因此，凡跟本实用新型权利要求范围所做的等同变换与修饰，均应属于本实用新型权利要求的涵盖范围。

Claims (9)

1.一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述转接组件包括伸缩管以及位于伸缩管两端的转接端面，其中一个转接端面与真空腔室的入口或出口可拆卸连接，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有密封圈。

2.根据权利要求1所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述真空腔室中与转接端面连接的面中设置有用于容纳密封圈的凹槽。

3.根据权利要求1所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述转接端面中设置有定位销钉，所述定位销钉位于伸缩管的外侧，所述真空腔室的入口或出口所在端面设置有与所述定位销钉相适配的定位孔。

4.根据权利要求3所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述定位销钉均匀分布在转接端面中所述伸缩管的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种真空腔室的转接组件，其特征在于，所述真空腔室的入口或出口为长方形，所述转接端面中伸缩管为长方体的伸缩管，所述转接端面为长方体。

6.一种半导体传输系统，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述的真空腔室的转接组件。

7.根据权利要求6所述的一种半导体传输系统，其特征在于，包括工艺腔室和传输腔室，且所述工艺腔室和传输腔室的内部均为真空环境；所述工艺腔室和传输腔室中设置有对应的连接端口，所述连接端口之间设置有转接组件，所述转接组件中的两个转接端面分别可拆卸连接在工艺腔室和传输腔室的连接端口中。

8.根据权利要求7所述的一种半导体传输系统，其特征在于，所述传输腔室和工艺腔室的连接端口中设置有密封圈。

9.根据权利要求7所述的一种半导体传输系统，其特征在于，所述传输腔室为多边体，所述传输腔室的侧边设置有M个工艺腔室，所述传输腔室与M个工艺腔室之间分别通过转接组件连接；M为大于0的整数。