CN219414809U - 一种有机废气催化燃烧装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种有机废气催化燃烧装置，包括底座以及固定在所述底座上表面的催化燃烧室和固定在所述底座上表面靠近所述催化燃烧室一侧的预热室，所述催化燃烧室和所述预热室之间固定有第一输气管，所述预热室的一侧固定有第二输气管，所述催化燃烧室的一侧固定有第三输气管，所述底座上安装有回流组件，通过设置了回流组件，在对机废气在催化燃烧过程中，所排出的气体经过废气检测器进行检测，所检测出有机气体燃烧不充分，含有一定有害物质，通过滞留室进行回流二次燃烧，直至有机废气充分燃烧，避免了有害气体排到外界，对环境造成污染，从而提高了装置的使用效果。

Description

一种有机废气催化燃烧装置

技术领域

本实用新型属于半导体尾气技术领域，具体涉及一种有机废气催化燃烧装置。

背景技术

随着现代工业日益的发展，有机废气对环境的污染越趋严重，治理有机废气的污染，净化人类的生存环境，已成为国人的共识在半导体制造中，生产过程中会产生大量的有机废气，对生产和员工造成巨大的影响；

经查公开(公告)号；CN212657743U，公开了一种高效有机废气催化燃烧装置，此技术中公开了“包括管道、操作仓、滤板、基座、过滤仓和定位块，所述管道固定安装在操作仓的左侧顶端，且操作仓内部上下两端设置有限位槽，所述操作仓的前端设置有挡板等技术方案，具有有利于对管道进行对接，同时也便于对装置进行拆卸，这样的卡合结构也对管道的密封性能有所提高，有利于防止废气的泄漏等技术效果”；

上述设计在使用时，虽然有利于对滤板的清理和更换，提高了整体操作的便捷性和稳定性以及有利于防止废气的泄漏，但是有机废气在催化燃烧过程中，当通入的废气较多时，可能对有机废气燃烧不充分，导致残留的一些有害气体排到外界，对环境造成污染，从而降低了装置的使用效果；

为解决上述问题，本申请中提出一种有机废气催化燃烧装置。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种有机废气催化燃烧装置，具有对有机废气充分燃烧，避免了有害气体排到外界，对环境造成污染，从而提高了装置的使用效果特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种有机废气催化燃烧装置，包括底座以及固定在所述底座上表面的催化燃烧室和固定在所述底座上表面靠近所述催化燃烧室一侧的预热室，所述催化燃烧室和所述预热室之间固定有第一输气管，所述预热室的一侧固定有第二输气管，所述催化燃烧室的一侧固定有第三输气管，所述底座上安装有回流组件；

所述回流组件包括固定在所述催化燃烧室上表面的滞留室以及固定在所述滞留室和所述第三输气管之间的回气管和固定在所述第三输气管表面靠近所述回气管一侧的废气检测器，所述滞留室的一侧固定有连接管A。

作为本实用新型一种有机废气催化燃烧装置优选的，所述连接管A的下方设置有输送气泵，所述连接管A远离所述滞留室的一端和所述输送气泵的输入端固定连接，所述输送气泵的输出端通过连接管和所述催化燃烧室固定连接。

作为本实用新型一种有机废气催化燃烧装置优选的，所述第三输气管表面靠近所述回气管的一侧固定有电磁控制阀A，所述回气管的表面固定有电磁控制阀B。

作为本实用新型一种有机废气催化燃烧装置优选的，所述第二输气管远离所述预热室的一端固定有过滤室，所述过滤室固定在所述底座的上表面，所述过滤室内部固定有过滤网，所述过滤室表面远离所述第二输气管的一侧固定有进气管。

作为本实用新型一种有机废气催化燃烧装置优选的，所述第三输气管远离所述催化燃烧室的一端固定有降温室，所述降温室固定在所述底座的上表面，所述降温室的一侧固定有水泵，所述水泵的输出端固定有排水管，所述排水管的另一端贯穿所述降温室的外部，并延伸至所述降温室的内部，并与所述降温室内部的喷水头固定连接，所述水泵的输入端固定有进水管，所述进水管的另一端和所述降温室固定连接，所述降温室表面远离所述第三输气管的一侧固定有出气管。

作为本实用新型一种有机废气催化燃烧装置优选的，还包括防堵组件，所述防堵组件包括设置在所述过滤室上方的多级推杆以及固定在所述多级推杆输出端的滑杆和固定在所述滑杆远离所述多级推杆一端的刮板，所述刮板和所述过滤网的表面相贴合。

作为本实用新型一种有机废气催化燃烧装置优选的，所述过滤室上表面靠近所述多级推杆的一侧固定有支架，所述多级推杆固定在所述支架的表面，所述过滤室表面靠近所述滑杆的一侧开设有滑槽，所述滑杆和所述过滤室通过此滑槽滑动连接，所述过滤室的一侧通过螺栓固定有盖板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

通过设置了回流组件，在对机废气在催化燃烧过程中，所排出的气体经过废气检测器进行检测，所检测出有机气体燃烧不充分，含有一定有害物质，通过滞留室进行回流二次燃烧，直至有机废气充分燃烧，避免了有害气体排到外界，对环境造成污染，从而提高了装置的使用效果，并且在此机构上加入了防堵组件，能够对滤网表面所过滤的杂质颗粒进行刮除，避免杂质颗粒附着在滤网表面，影响有机废气的通气效果，从能提高了装置的实用性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型中降温室的结构剖视图；

图3为本实用新型中整体的结构俯视图；

图4为本实用新型中过滤室的结构剖视图；

图中：

1、底座；2、催化燃烧室；3、预热室；4、第一输气管；5、第二输气管；6、第三输气管；

7、回流组件；71、滞留室；72、回气管；73、连接管A；74、输送气泵；75、废气检测器；76、控制阀A；77、控制阀B；78、过滤室；79、过滤网；711、进气管；712、降温室；713、排水管；714、喷水头；715、水泵；716、进水管；717、出气管；

8、防堵组件；81、支架；82、多级推杆；83、滑杆；84、刮板；85、盖板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例1

如图1所示：

一种有机废气催化燃烧装置，包括底座1以及固定在底座1上表面的催化燃烧室2和固定在底座1上表面靠近催化燃烧室2一侧的预热室3，催化燃烧室2和预热室3之间固定有第一输气管4，预热室3的一侧固定有第二输气管5，催化燃烧室2的一侧固定有第三输气管6。

本实施方案中：现有的装置{公开(公告)号}：CN212657743U，公开了：一种高效有机废气催化燃烧装置，关于此现有的主体本申请进行进一步改进，详情参阅下文公开技术；为解决此现有技术中存在的技术问题，如上文背景技术公开的“该设计虽然有利于对滤板的清理和更换，提高了整体操作的便捷性和稳定性以及有利于防止废气的泄漏，但是有机废气在催化燃烧过程中，当通入的废气较多时，可能对有机废气燃烧不充分，导致残留的一些有害气体排到外界，对环境造成污染，从而降低了装置的使用效果”，结合使用而言，此问题显然是现实存在且比较难以解决的问题，鉴此，为解决此技术问题，在本申请文件上加入了回流组件7和防堵组件8，本产品中所涉及的电力设备均通过外部电源供电。

进一步而言：

如图1、图2、图3和图4所示：

在底座1上安装有回流组件7，该回流组件7包括固定在催化燃烧室2上表面的滞留室71以及固定在滞留室71和第三输气管6之间的回气管72和固定在第三输气管6表面靠近回气管72一侧的废气检测器75，滞留室71的一侧固定有连接管A73。

本实施方案中：当对有机废气进行催化燃烧时，首先将有机废气经过第二输气管5排入至预热室3内，进行预加热，然后顺着第一输气管4排入至催化燃烧室2的内部，进行催化作用与废气燃烧，燃烧后的气体排放至第三输气管6内，并经过废气检测器75对燃烧的废气进行检测，当检测含有一定的有害气体时，使未充分燃烧的废气通过回气管72排入至滞留室71的内部，并通过连接管A73排入至催化燃烧室2的内部，进行回流二次燃烧，避免了有害气体排到外界，对环境造成污染，从而提高了装置的使用效果。

需要说明的是：废气检测器75还包括数据采集模块、通讯模块、接口模块、报警模块、显示模块，数据采集模块与光谱分析仪相连接，从后者接收频谱分析数据，通信模块经接口模块与数据采集模块相连，接收频谱分析数据并直接转发至远程服务器，来显示有机废气所残留的有害气体。

在一个可选的实施例中，连接管A73的下方设置有输送气泵74，连接管A73远离滞留室71的一端和输送气泵74的输入端固定连接，输送气泵74的输出端通过连接管和催化燃烧室2固定连接。

本实施例中：同时启动输送气泵74，使输送气泵74将滞留室71内部的废气抽出，并通过连接管A73排入至催化燃烧室2的内部，进行回流二次燃烧，此操作更加便捷实用。

在一个可选的实施例中，第三输气管6表面靠近回气管72的一侧固定有电磁控制阀A76，回气管72的表面固定有电磁控制阀B77。

本实施例中：当检测含有一定的有害气体时，同时关闭电磁控制阀A76，打开电磁控制阀B77，使未充分燃烧的废气通过回气管72排入至滞留室71的内部。

在一个可选的实施例中，第二输气管5远离预热室3的一端固定有过滤室78，过滤室78固定在底座1的上表面，过滤室78内部固定有过滤网79，过滤室78表面远离第二输气管5的一侧固定有进气管711。

本实施例中：将有机废气经过进气管711排入过滤室78的内部，然后通过过滤网79来对有机废气颗粒进行过滤，提高有机废气燃烧效果。

更进一步而言；

在一个可选的实施例中，第三输气管6远离催化燃烧室2的一端固定有降温室712，降温室712固定在底座1的上表面，降温室712的一侧固定有水泵715，水泵715的输出端固定有排水管713，排水管713的另一端贯穿降温室712的外部，并延伸至降温室712的内部，并与降温室712内部的喷水头714固定连接，水泵715的输入端固定有进水管716，进水管716的另一端和降温室712固定连接，降温室712表面远离第三输气管6的一侧固定有出气管717。

本实施例中：使充分燃烧的废气经过第三输气管6排入至降温室712内部，通过启动水泵715，使水泵715通过进水管716将降温室712内部底端的水抽出，并通过排水管713排入至喷水头714，并经过喷水头714进行排出，来对废气进行降温处理，所降温的废气经过出气管717排出，从而完成对有机废气的处理操作。

更进一步而言；

如图1和图4所示：

该有机废气催化燃烧装置，还包括防堵组件8，防堵组件8包括设置在过滤室78上方的多级推杆82以及固定在多级推杆82输出端的滑杆83和固定在滑杆83远离多级推杆82一端的刮板84，刮板84和过滤网79的表面相贴合，过滤室78上表面靠近多级推杆82的一侧固定有支架81，多级推杆82固定在支架81的表面，过滤室78表面靠近滑杆83的一侧开设有滑槽，滑杆83和过滤室78通过此滑槽滑动连接，过滤室78的一侧通过螺栓固定有盖板85。

本实施例中：通过过滤网79来对有机废气颗粒进行过滤，在过滤过程中，并启动多级推杆82，使多级推杆82带动滑杆83进行移动，通过滑杆83的移动带动刮板84进行移动，通过刮板84将过滤网79表面附着的杂质颗粒进行刮除，避免杂质颗粒附着在滤网表面，影响有机废气的通气效果，从能提高了装置的实用性，当需要对过滤杂质进行清理时，首先转动螺栓(图中未示出)，解除盖板85与过滤室78，将盖板85取下，然后便于将杂质取出。

本实用新型的工作原理及使用流程：当对有机废气进行催化燃烧时，首先将有机废气经过进气管711排入过滤室78的内部，然后通过过滤网79来对有机废气颗粒进行过滤，在过滤过程中，并启动多级推杆82，使多级推杆82带动滑杆83进行移动，通过滑杆83的移动带动刮板84进行移动，通过刮板84将过滤网79表面附着的杂质颗粒进行刮除，避免杂质颗粒附着在滤网表面，影响有机废气的通气效果，从能提高了装置的实用性，所过滤的废气通过第二输气管5排入至预热室3内，进行预加热，然后顺着第一输气管4排入至催化燃烧室2的内部，进行催化作用与废气燃烧，燃烧后的气体排放至第三输气管6内，并经过废气检测器75对燃烧的废气进行检测，当检测含有一定的有害气体时，同时关闭电磁控制阀A76，打开电磁控制阀B77，使未充分燃烧的废气通过回气管72排入至滞留室71的内部，同时启动输送气泵74，使输送气泵74将滞留室71内部的废气抽出，并通过连接管A73排入至催化燃烧室2的内部，进行回流二次燃烧，避免了有害气体排到外界，对环境造成污染，从而提高了装置的使用效果，当废气检测器75检测废气充分燃烧后，打开电磁控制阀A76，关闭电磁控制阀B77，使充分燃烧的废气经过第三输气管6排入至降温室712内部，通过启动水泵715，使水泵715通过进水管716将降温室712内部底端的水抽出，并通过排水管713排入至喷水头714，并经过喷水头714进行排出，来对废气进行降温处理，所降温的废气经过出气管717排出，从而完成对有机废气的处理操作。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种有机废气催化燃烧装置，包括底座(1)以及固定在所述底座(1)上表面的催化燃烧室(2)和固定在所述底座(1)上表面靠近所述催化燃烧室(2)一侧的预热室(3)，所述催化燃烧室(2)和所述预热室(3)之间固定有第一输气管(4)，所述预热室(3)的一侧固定有第二输气管(5)，所述催化燃烧室(2)的一侧固定有第三输气管(6)，其特征在于：所述底座(1)上安装有回流组件(7)；

所述回流组件(7)包括固定在所述催化燃烧室(2)上表面的滞留室(71)以及固定在所述滞留室(71)和所述第三输气管(6)之间的回气管(72)和固定在所述第三输气管(6)表面靠近所述回气管(72)一侧的废气检测器(75)，所述滞留室(71)的一侧固定有连接管A(73)。

2.根据权利要求1所述的有机废气催化燃烧装置，其特征在于：所述连接管A(73)的下方设置有输送气泵(74)，所述连接管A(73)远离所述滞留室(71)的一端和所述输送气泵(74)的输入端固定连接，所述输送气泵(74)的输出端通过连接管和所述催化燃烧室(2)固定连接。

3.根据权利要求2所述的有机废气催化燃烧装置，其特征在于：所述第三输气管(6)表面靠近所述回气管(72)的一侧固定有电磁控制阀A(76)，所述回气管(72)的表面固定有电磁控制阀B(77)。

4.根据权利要求3所述的有机废气催化燃烧装置，其特征在于：所述第二输气管(5)远离所述预热室(3)的一端固定有过滤室(78)，所述过滤室(78)固定在所述底座(1)的上表面，所述过滤室(78)内部固定有过滤网(79)，所述过滤室(78)表面远离所述第二输气管(5)的一侧固定有进气管(711)。

5.根据权利要求4所述的有机废气催化燃烧装置，其特征在于：所述第三输气管(6)远离所述催化燃烧室(2)的一端固定有降温室(712)，所述降温室(712)固定在所述底座(1)的上表面，所述降温室(712)的一侧固定有水泵(715)，所述水泵(715)的输出端固定有排水管(713)，所述排水管(713)的另一端贯穿所述降温室(712)的外部，并延伸至所述降温室(712)的内部，并与所述降温室(712)内部的喷水头(714)固定连接，所述水泵(715)的输入端固定有进水管(716)，所述进水管(716)的另一端和所述降温室(712)固定连接，所述降温室(712)表面远离所述第三输气管(6)的一侧固定有出气管(717)。

6.根据权利要求5所述的有机废气催化燃烧装置，其特征在于：还包括防堵组件(8)，所述防堵组件(8)包括设置在所述过滤室(78)上方的多级推杆(82)以及固定在所述多级推杆(82)输出端的滑杆(83)和固定在所述滑杆(83)远离所述多级推杆(82)一端的刮板(84)，所述刮板(84)和所述过滤网(79)的表面相贴合。

7.根据权利要求6所述的有机废气催化燃烧装置，其特征在于：所述过滤室(78)上表面靠近所述多级推杆(82)的一侧固定有支架(81)，所述多级推杆(82)固定在所述支架(81)的表面，所述过滤室(78)表面靠近所述滑杆(83)的一侧开设有滑槽，所述滑杆(83)和所述过滤室(78)通过此滑槽滑动连接，所述过滤室(78)的一侧通过螺栓固定有盖板(85)。