CN219413391U - 一种气浮隔振装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种气浮隔振装置，包括气撑组件和气撑底座；气撑组件与气撑底座可拆卸连接；气撑组件的远离气撑底座的一端设置有目标支撑位，气浮隔振装置能够通过目标支撑位支撑第一目标对象；气撑组件与气撑底座连接后形成可密封气室，可密封气室内的目标气体能够减缓目标支撑位的运动行程。本申请提供的气浮隔振装置不仅能够减缓目标支撑位的运动行程，进而实现对第一目标对象的气浮隔振，而且能够实现气撑组件与气撑底座的快速安装与拆卸，进而提高气浮隔振装置的维修便利性，同时降低维修成本。

Description

一种气浮隔振装置

技术领域

本申请涉及隔振技术领域，特别涉及一种气浮隔振装置。

背景技术

气浮隔振装置一般应用于光学平台的支撑场景。通过气浮隔振装置对光学平台的气浮支撑，实现对承载于光学平台上的精密光学仪器隔振。

气浮隔振装置在使用时，气浮隔振装置气室内的气体能够间接的气浮支撑光学平台；为增强气浮隔振装置气室的密封性和简化气浮隔振装置的结构，现有技术通常采用一体式气室，但是一体式气室易引入维修操作复杂和维修成本高等问题。

实用新型内容

本申请提供了一种气浮隔振装置，能够实现气撑组件与气撑底座的快速安装与拆卸，进而提高气浮隔振装置的维修便利性，同时降低维修成本。

本申请提供一种气浮隔振装置，包括气撑组件和气撑底座；

所述气撑组件与所述气撑底座可拆卸连接；

所述气撑组件的远离所述气撑底座的一端设置有目标支撑位，所述气浮隔振装置能够通过所述目标支撑位支撑第一目标对象；

所述气撑组件与所述气撑底座连接后形成可密封气室，所述可密封气室内的目标气体能够减缓所述目标支撑位的运动行程。

进一步的，所述气撑组件包括气撑主体和支撑件；

所述气撑主体与所述气撑底座可拆卸连接；

所述目标支撑位设置于所述支撑件上，所述支撑件能够相对于所述气撑主体限位运动。

进一步的，所述气撑组件还包括限位件，所述限位件与所述气撑主体可拆卸连接，所述限位件与所述支撑件限位连接。

进一步的，所述气撑主体与所述限位件围合形成限位腔，所述支撑件能够在所述限位腔内运动。

进一步的，所述气撑组件还包括弹性支撑件；

所述弹性支撑件与所述气撑主体可拆卸连接，所述弹性支撑件与所述支撑件的远离所述目标支撑位的一端抵接。

进一步的，所述可密封气室包括连通的第一气室和第二气室；

所述弹性支撑件与所述气撑主体围合形成所述第一气室，所述气撑底座与所述气撑主体围合形成所述第二气室；

所述第二气室的体积大于所述第一气室。

进一步的，所述气撑主体设有气室间隔结构；

所述气室间隔结构分隔所述第一气室和所述第二气室；

所述气室间隔结构上设置有多个通气孔，所述第一气室与所述第二气室通过所述多个通气孔连通。

进一步的，所述支撑件上设置有第一限位结构，所述限位件上设置有与所述第一限位结构相匹配的第二限位结构；

所述支撑件与所述限位件通过所述第一限位结构与所述第二限位结构限位连接，所述第一限位结构和所述第二限位结构能够限制所述支撑件的运动行程。

进一步的，所述支撑件朝向所述弹性支撑件的一端的端缘设置有圆角结构。

进一步的，所述气浮隔振装置还包括密封件；

所述密封件设置于所述气撑主体与所述气撑底座之间，所述密封件的一端与所述气撑主体抵接，所述密封件的另一端与所述气撑底座抵接。

进一步的，所述气撑主体与所述气撑底座上，二者择一的设置有密封安装位，所述密封件至少部分容置于所述密封安装位内。

进一步的，所述通气孔的孔径小于或等于预设值，所述预设值为0.8-1.2mm。

进一步的，所述支撑件的外周壁与所述限位件间隙配合。

进一步的，所述气撑底座至少满足下述特征之一：

所述气撑底座为莱洛三角形底座；

所述气撑底座上设置有多个目标安装位，所述气浮隔振装置能够通过所述多个目标安装位可拆卸连接于第二目标对象上。

本申请提供的一种气浮隔振装置，具有如下有益效果：

本申请的气浮隔振装置包括气撑组件和气撑底座，气撑组件与气撑底座可拆卸连接,如此，能够实现气撑组件与气撑底座的快速安装与拆卸，进而提高气浮隔振装置的维修便利性，同时降低维修成本；气撑组件的远离气撑底座的一端设置有目标支撑位，气浮隔振装置能够通过目标支撑位支撑第一目标对象；气撑组件与气撑底座连接后形成可密封气室，可密封气室内的目标气体能够减缓目标支撑位的运动行程，进而实现对第一目标对象的气浮隔振。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的一种气浮隔振装置的第一状态剖视图；

图2为本申请实施例提供的一种气浮隔振装置的第二状态剖视图；

图3为本申请实施例提供的一种气浮隔振装置的局部剖视图；

图4为本申请实施例提供的一种气浮隔振装置的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的一种气浮隔振装置的分解示意图；

图6为本申请实施例提供的一种气撑底座的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的一种气撑主体的仰视图；

图8为本申请实施例提供的一种气撑主体的俯视图；

图9为本申请实施例提供的一种支撑件的剖视图；

图10为本申请实施例提供的一种限位件的剖视图；

图11为本申请实施例提供的一种弹性支撑件的结构示意图。

以下对附图作补充说明：

10-气撑组件；11-目标支撑位；12-气撑主体；121-气室间隔结构；1211-通气孔；122-密封安装位；123-进气口；124-第三连接位；13-支撑件；131-第一限位结构；132-圆角结构；14-限位件；141-第二限位结构；142-第四连接位；143-支撑件伸出口；144-连接部；145-限位部；146-加强结构；15-弹性支撑件；151-第五连接位；16-第一连接位；20-气撑底座；21-目标安装位；22-第二连接位；30-可密封气室；31-第一气室；32-第二气室；40-密封件；50-第一紧固件；60-第二紧固件；70-限位腔。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

此处所称的“一个实施例”或“实施例”是指可包含于本申请至少一个实现方式中的特定特征、结构或特性。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含的包括一个或者更多个该特征。而且，术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

以下结合附图1-11介绍本申请实施例中的技术方案，本申请实施例中的技术方案可以应用于光学平台的支撑场景。

请参见图1-6，本申请实施例提供了一种气浮隔振装置，包括气撑组件10和气撑底座20；气撑组件10与气撑底座20可拆卸连接；气撑组件10的远离气撑底座20的一端设置有目标支撑位11，气浮隔振装置能够通过目标支撑位11支撑第一目标对象；气撑组件10与气撑底座20连接后形成可密封气室30，可密封气室30内的目标气体能够减缓目标支撑位11的运动行程。

进一步的，请参见图1-3、图6和图7，气撑组件10的朝向气撑底座20的一端设置有多个第一连接位16，相应的，气撑底座20设置有与第一连接位16相匹配的多个第二连接位22；气撑组件10与气撑底座20通过多个第一连接位16和多个第二连接位22可拆卸连接。如此，能够提高气浮隔振装置的维修便利性，以及能够降低气浮隔振装置的维修成本。

在一些具体的实施例中，请参见图1-3，气浮隔振装置还包括多个第一紧固件50；第一连接位16可以为第一螺纹连接孔，第二连接位22可以为第一光孔，第一紧固件50能够穿过第一光孔后与第一螺纹连接孔螺接，如此，实现气撑组件10与气撑底座20的可拆卸连接。

示例性的，在气撑底座20需要维修时，可以便利的拆卸下气撑底座20以进行维修；在气撑底座20需要更换时，可以便利的拆卸下气撑底座20以进行更换，而无需更换整个气浮隔振装置。

需要说明的是，第一连接位16的数量、第二连接位22的数量和第一紧固件50的数量一致；第一连接位16的数量、第二连接位22的数量和第一紧固件50的数量根据实际情况而定，本申请对第一连接位16的数量、第二连接位22的数量和第一紧固件50的数量不做限定。

一些实施例中，请参见图1、图2和图9，气撑组件10的顶端凸出设置有目标支撑位11，目标支撑位11用于支撑第一目标对象；可密封气室30内的目标气体能够减缓目标支撑位11的运动行程，进而能够减缓第一目标对象的运动行程，以实现对第一目标对象的气浮隔振。

可以理解的是，第一目标对象可以为光学平台。

本申请的气浮隔振装置包括气撑组件10和气撑底座20；气撑组件10与气撑底座20可拆卸连接,如此，能够实现气撑组件10与气撑底座20的快速安装与拆卸，进而提高气浮隔振装置的维修便利性，同时降低维修成本；气撑组件10的远离气撑底座20的一端设置有目标支撑位11，气浮隔振装置能够通过目标支撑位11支撑第一目标对象；气撑组件10与气撑底座20连接后形成可密封气室30，可密封气室30内的目标气体能够减缓目标支撑位11的运动行程，进而实现对第一目标对象的气浮隔振。

本申请实施例中，请参见图1-5，气撑组件10包括气撑主体12和支撑件13；气撑主体12与气撑底座20可拆卸连接；目标支撑位11设置于支撑件13上，支撑件13能够相对于气撑主体12限位运动。

进一步的，请参见图1-3和图7，多个第一连接位16设置于气撑主体12的朝向气撑底座20的一端上；目标支撑位11设置于支撑件13的远离气撑底座20的一端上。

进一步的，请参见图1-3，气撑主体12上设置有进气口123，目标气体能够通过进气口123进入可密封气室30内，并气浮支撑支撑件13；在可密封气室30内的目标气体的气浮支撑下，支撑件13能够相对于气撑主体12限位运动，以减缓目标支撑位11的运动行程，进而实现对第一目标对象的隔振。

本申请实施例中，请参见图1-5和图10，气撑组件10还包括限位件14，限位件14与气撑主体12可拆卸连接，限位件14与支撑件13限位连接。

进一步的，气撑主体12的朝向限位件14的一端上设置有多个第三连接位124，相应的，限位件14上设置有与第三连接位124相匹配的多个第四连接位142；气撑主体12与限位件14通过多个第三连接位124和多个第四连接位142可拆卸连接。

在一些具体的实施例中，请参见图1-5，气浮隔振装置还包括多个第二紧固件60；第三连接位124可以为第二螺纹连接孔，第四连接位142可以为第二光孔，第二紧固件60能够穿过第二光孔后与第二螺纹连接孔螺接，如此，实现限位件14与气撑主体12的可拆卸连接。

进一步的，支撑件13能够相对于气撑主体12运动，至与限位件14抵接。限位件14能够限制支撑件13的运动行程，如此，能够防止支撑件13的脱出，进而提高气浮隔振装置的稳定性。

本申请实施例中，请参见图3，气撑主体12与限位件14围合形成限位腔70，支撑件13能够在限位腔70内运动。如此，实现限位件14与支撑件13的限位连接。

进一步的，请参见图3，气撑主体12的朝向限位件14的一端与限位件14的朝向气撑主体12的一端围合形成限位腔70，支撑件13至少部分容置于限位腔70内。

进一步的，请参见图1-3和图10，限位件14的远离气撑底座20的一端具有支撑件伸出口143，支撑件13的远离气撑底座20的一端能够从支撑件伸出口143伸出，并支撑第一目标对象，即目标支撑位11能够从支撑件伸出口143伸出。

本申请实施例中，请参见图1-3、图9和图10，支撑件13上设置有第一限位结构131，限位件14上设置有与第一限位结构131相匹配的第二限位结构141；支撑件13与限位件14通过第一限位结构131与第二限位结构141限位连接，第一限位结构131和第二限位结构141能够限制支撑件13的运动行程。

进一步的，请参见图1，支撑件13能够相对于限位件14运动至第一限位结构131与第二限位结构141抵接，以限制支撑件13的运动行程，进而防止支撑件13从限位腔70中脱出。

在一些具体的实施例中，请参见图1-3、图9和图10，第一限位结构131可以为第一限位肩，第二限位结构141可以为第二限位肩，第一限位肩与第二限位肩的抵接能够限制支撑件13的脱出。

本申请实施例中，请参见图1-3和图10，限位件14包括连接部144和限位部145，多个第四连接位142设置于连接部144上；第二限位结构141设置于限位部145上；连接部144和限位部145的朝向限位腔70的连接处设置有加强结构146。

在一些具体的实施例中，请参见图10，加强结构146可以为倒角结构，即连接部144和限位部145的朝向限位腔70的连接处设置有倒角结构，如此，能够提高连接部144和限位部145的连接处的结构强度。

本申请实施例中，请参见图1-5和图11，气撑组件10还包括弹性支撑件15；弹性支撑件15与气撑主体12可拆卸连接，弹性支撑件15与支撑件13的远离目标支撑位11的一端抵接。

进一步的，请参见图1-5，弹性支撑件15设置于限位件14和气撑主体12之间，限位件14、弹性支撑件15和气撑主体12可拆卸连接。

进一步的，请参见图1-3、图5和图11，弹性支撑件15上设置有与第三连接位124相匹配的多个第五连接位151，弹性支撑件15与气撑主体12通过多个第五连接位151和多个第三连接位124可拆卸连接。

在一些具体的实施例中，第五连接位151可以为第三光孔，第二紧固件60能够穿过第二光孔和第三光孔后与第二螺纹连接孔螺接，如此，实现限位件14、弹性支撑件15与气撑主体12的可拆卸连接。

进一步的，可密封气室30内的目标气体能够气浮支撑弹性支撑件15，以使弹性支撑件15弹性支撑支撑件13；在弹性支撑件15的弹性支撑下，支撑件13能够相对于限位件14限位运动，以减缓目标支撑位11的运动行程，进而实现对第一目标对象的隔振。

进一步的，弹性支撑件15可以为耐压效果好和密封效果好的弹性膜，优选的，弹性支撑件15可以为橡胶膜。

本申请实施例中，请参见图1-3，可密封气室30包括连通的第一气室31和第二气室32；弹性支撑件15与气撑主体12围合形成第一气室31，气撑底座20与气撑主体12围合形成第二气室32。

进一步的，请参见图1-3，弹性支撑件15与气撑主体12的远离气撑底座20的一端围合形成第一气室31；气撑底座20与气撑主体12的靠近气撑底座20的一端围合形成第二气室32；第一气室31和第二气室32连通。

进一步的，请参见图1-3，进气口123设置于第二气室32的气室壁上，即进气口123与第二气室32直接连通。

具体的，目标气体能够通过进气口123进入第二气室32，进而进入第一气室31内，并气浮支撑支撑件13，如此，能够减小目标气体的充入而带来的支撑件13的晃动，从而提高气浮隔振装置的气浮支撑的稳定性。

进一步的，通气管路通过进气口123向第二气室32充入目标气体；进气口123远离气撑底座20设置，如此，便于通气管路的布设。

请参见图1-3，第二气室32的体积大于第一气室31，且与现有技术相比，本申请实施例中的第一气室31较大，如此，能够进一步减小目标气体的充入而带来的支撑件13的晃动，从而进一步提高气浮隔振装置的气浮支撑的稳定性。

本申请实施例中，请参见图1-3、图7和图8，气撑主体12设有气室间隔结构121；气室间隔结构121分隔第一气室31和第二气室32；气室间隔结构121上设置有多个通气孔1211，第一气室31与第二气室32通过多个通气孔1211连通。

具体的，气室间隔结构121将可密封气室30分隔为第一气室31和第二气室32；通过在气室间隔结构121上设置多个通气孔1211，实现第一气室31与第二气室32的连通。

在一些具体的实施例中，气室间隔结构121可以为隔层结构；通气孔1211可以为贯穿隔层结构的通孔。

本申请实施例中，通气孔1211的孔径小于或等于预设值，预设值为0.8-1.2mm。

优选的，预设值可以为1mm；与现有技术相比，通气孔1211的孔径较小，如此，能够减小第二气室32中的目标气体经通气孔1211进入第一气室31后对支撑件13气浮支撑浮动的剧烈程度，进而改善对第一目标对象的气浮隔振效果。

本申请实施例中，请参见图1、图2和图9，支撑件13朝向弹性支撑件15的一端的端缘设置有圆角结构132。

具体的，请参见图9，支撑件13的与弹性支撑件15接触的端缘设置有圆角结构132，以使支撑件13的与弹性支撑件15接触的端缘圆滑，进而防止支撑件13的朝向弹性支撑件15的一端的端缘破坏弹性支撑件15，以提高弹性支撑件15的使用寿命。

本申请实施例中，请参见图1-6，气撑底座20上设置有多个目标安装位21；气浮隔振装置能够通过多个目标安装位21可拆卸连接于第二目标对象上。

具体的，目标安装位21可以为第四光孔。

在一些具体的实施例中，第二目标对象可以为支撑框架，第一目标对象可以为光学平台；气浮隔振装置能够通过多个目标安装位21吊装于支撑框架上，并通过目标支撑位11气浮支撑光学平台。

本申请实施例中，请参见图1-3和图5，气浮隔振装置还包括密封件40；密封件40设置于气撑主体12与气撑底座20之间，密封件40的一端与气撑主体12抵接，密封件40的另一端与气撑底座20抵接。

如此，能够实现对第二气室32的密封，进而能够提高气浮隔振装置对第一目标对象的气浮隔振的效果。

具体的，密封件40可以为密封圈。

本申请实施例中，气撑主体12与气撑底座20上，二者择一的设置有密封安装位122，密封件40至少部分容置于密封安装位122内。

一些实施例中，请参见图1-3，气撑主体12的朝向气撑底座20的一端上设置有密封安装位122。

另一些实施例中，气撑底座20的朝向气撑主体12的一端上设置有密封安装位122。

具体的，密封安装位122可以为与密封件40相匹配的环状凹槽。

本申请实施例中，请参见图1和图2，支撑件13的外周壁与限位件14间隙配合。

进一步的，请参见图1和图2，支撑件13的外周壁与限位件14间存在间隙，如此，支撑件13能够相对于限位件14沿水平方向和/或竖直方向限位运动。

进一步的，支撑件13的外周壁与限位件14沿水平方向间隙配合，即支撑件13的外周壁与限位件14沿水平方向存在间隙，如此，实现支撑件13能够相对于限位件14沿水平方向限位运动。

一些实施例中，多个气浮隔振装置间隔吊装于第二目标对象上；在具体的使用过程中，需要分别调整多个气浮隔振装置中的支撑件13相对于第二目标对象的高度，以保证多个气浮隔振装置支撑第一目标对象的水平度。

本申请实施例中，支撑件13的浮动高度受到限位件14的限制，如此，便于分别调节多个气浮隔振装置中的支撑件13的相对于第二目标对象的高度，以保证多个气浮隔振装置支撑第一目标对象的水平度。

具体的，通过调节充入可密封气室30内的目标气体的充气量来调节支撑件13相对于气撑主体12的高度，以实现支撑件13相对于第二目标对象的高度调节。第二目标对象可以为支撑框架。

本申请实施例中，请参见图4和图6，气撑底座20为莱洛三角形底座。

相应的，气撑底座20上设置有三个目标安装位21，三个目标安装位21分别设置于莱洛三角形底座的三个角上。如此，能够在满足气撑底座20结构强度的前提下，减小气撑底座20的空间占用，以使气浮隔振装置的结构紧凑。

本申请实施例提供的气浮隔振装置具有如下有益效果：

1.气撑组件10与气撑底座20可拆卸连接，如此，能够实现气撑组件与气撑底座的快速安装与拆卸，进而提高气浮隔振装置的维修便利性，同时降低维修成本。

2.气撑主体12设有气室间隔结构121，气室间隔结构121将可密封气室30分隔为第一气室31和第二气室32；气室间隔结构121上设置有多个通气孔1211，第一气室31与第二气室32通过多个通气孔1211连通；第二气室32的体积大于第一气室31；如此，能够显著的减小目标气体的充入而带来的支撑件13的晃动，从而显著的提高气浮隔振装置的气浮支撑的稳定性。

3.通气孔1211的孔径小于或等于预设值，预设值为0.8-1.2mm，如此，能够减小第二气室32中的目标气体经通气孔1211进入第一气室31后对支撑件13气浮支撑浮动的剧烈程度，进而改善对第一目标对象的气浮隔振效果。

4.目标支撑位11的浮动高度受到限位件14的限制，如此，便于分别调节多个气浮隔振装置中的支撑件13的相对于第二目标对象的高度，以保证多个气浮隔振装置支撑第一目标对象的水平度。

以下基于上述技术方案介绍本申请的具体实施例。

实施例一

请参见图1-11，实施例一提供了一种气浮隔振装置，包括气撑组件10和气撑底座20；气撑组件10与气撑底座20可拆卸连接；气撑组件10的远离气撑底座20的一端设置有目标支撑位11，气浮隔振装置能够通过目标支撑位11支撑第一目标对象；气撑组件10与气撑底座20连接后形成可密封气室30，可密封气室30内的目标气体能够减缓目标支撑位11的运动行程。

气撑组件10包括气撑主体12、支撑件13、限位件14和弹性支撑件15。

气撑主体12的朝向气撑底座20的一端设置有八个第一连接位16，相应的，气撑底座20设置有与第一连接位16相匹配的八个第二连接位22；气撑主体12与气撑底座20通过八个第一连接位16和八个第二连接位22可拆卸连接。

气浮隔振装置还包括八个第一紧固件50，第一紧固件50能够穿过第二连接位22后与第一连接位16螺接。

气撑主体12的朝向限位件14的一端上设置有八个第三连接位124，相应的，限位件14上设置有与第三连接位124相匹配的八个第四连接位142；气撑主体12与限位件14通过八个第三连接位124和八个第四连接位142可拆卸连接。

弹性支撑件15设置于限位件14和气撑主体12之间；弹性支撑件15上设置有与第三连接位124相匹配的八个第五连接位151，弹性支撑件15与气撑主体12通过八个第五连接位151和八个第三连接位124可拆卸连接。

气浮隔振装置还包括八个第二紧固件60；第二紧固件60能够穿过第四连接位142和第五连接位151后与第三连接位124螺接。

气撑主体12的朝向限位件14的一端与限位件14的朝向气撑主体12的一端围合形成限位腔70，支撑件13至少部分容置于限位腔70内；支撑件13能够在限位腔70内运动。

限位件14的远离气撑底座20的一端具有支撑件伸出口143，支撑件13的远离气撑底座20的一端能够从支撑件伸出口143伸出，并支撑第一目标对象。

支撑件13上设置有第一限位结构131，限位件14上设置有与第一限位结构131相匹配的第二限位结构141；支撑件13能够相对于限位件14运动至第一限位结构131与第二限位结构141抵接，以限制支撑件13的运动行程。

限位件14包括连接部144和限位部145，八个第四连接位142设置于连接部144上；第二限位结构141设置于限位部145上；连接部144和限位部145的朝向限位腔70的连接处设置有倒角结构。

支撑件13的外周壁与限位件14间隙配合，支撑件13能够相对于限位件14沿水平方向和/或竖直方向限位运动。

弹性支撑件15与支撑件13的远离目标支撑位11的一端抵接；可密封气室30内的目标气体能够气浮支撑弹性支撑件15，以使弹性支撑件15弹性支撑支撑件13。

支撑件13的与弹性支撑件15接触的端缘设置有圆角结构132，以使支撑件13的与弹性支撑件15接触的端缘圆滑，进而防止支撑件13的朝向弹性支撑件15的一端的端缘破坏弹性支撑件15。

气撑主体12设有气室间隔结构121，气室间隔结构121将可密封气室30分隔为第一气室31和第二气室32；气室间隔结构121上设置有多个通气孔1211，第一气室31与第二气室32通过多个通气孔1211连通。

通气孔1211的孔径为0.8mm。

弹性支撑件15与气撑主体12的远离气撑底座20的一端围合形成第一气室31；气撑底座20与气撑主体12的靠近气撑底座20的一端围合形成第二气室32；第二气室32的体积大于第一气室31。

第二气室32的气室壁的远离气撑底座20的上部设置有进气口123，目标气体能够通过进气口123进入第二气室32，进而进入第一气室31内，并气浮支撑支撑件13。

气浮隔振装置还包括密封件40；密封件40设置于气撑主体12与气撑底座20之间；气撑主体12的朝向气撑底座20的一端上设置有环状凹槽，密封件40至少部分容置于环状凹槽内；密封件40的一端与气撑主体12抵接，密封件40的另一端与气撑底座20抵接，从而实现密封效果。

气撑底座20为莱洛三角形底座，气撑底座20上设置有三个目标安装位21，三个目标安装位21分别设置于莱洛三角形底座的三个角上。气浮隔振装置能够通过三个目标安装位21可拆卸连接于第二目标对象上。

第一目标对象为光学平台，第二目标对象为支撑框架；气浮隔振装置能够通过三个目标安装位21吊装于支撑框架上，并通过目标支撑位11气浮支撑光学平台。

通过调节充入可密封气室30内的目标气体的充气量来调节支撑件13相对于气撑主体12的浮动高度，以实现支撑件13相对于第二目标对象的高度调节。

实施例二

实施例二和实施例一的不同之处在于密封件40的固定设置和通气孔1211的孔径大小设置，实施例二与实施例一的相同之处在此不再赘述，现对实施例二与实施例一的不同之处进行如下说明：

气撑底座20的朝向气撑主体12的一端上设置有环状凹槽，密封件40至少部分容置于环状凹槽内；密封件40的一端与气撑主体12抵接，密封件40的另一端与气撑底座20抵接。

通气孔1211的孔径为0.7mm。

以上仅为本申请的较佳实施例，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种气浮隔振装置，其特征在于，包括气撑组件(10)和气撑底座(20)；

所述气撑组件(10)与所述气撑底座(20)可拆卸连接；

所述气撑组件(10)的远离所述气撑底座(20)的一端设置有目标支撑位(11)，所述气浮隔振装置能够通过所述目标支撑位(11)支撑第一目标对象；

所述气撑组件(10)与所述气撑底座(20)连接后形成可密封气室(30)，所述可密封气室(30)内的目标气体能够减缓所述目标支撑位(11)的运动行程。

2.根据权利要求1所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气撑组件(10)包括气撑主体(12)和支撑件(13)；

所述气撑主体(12)与所述气撑底座(20)可拆卸连接；

所述目标支撑位(11)设置于所述支撑件(13)上，所述支撑件(13)能够相对于所述气撑主体(12)限位运动。

3.根据权利要求2所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气撑组件(10)还包括限位件(14)，所述限位件(14)与所述气撑主体(12)可拆卸连接，所述限位件(14)与所述支撑件(13)限位连接。

4.根据权利要求3所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气撑主体(12)与所述限位件(14)围合形成限位腔(70)，所述支撑件(13)能够在所述限位腔(70)内运动。

5.根据权利要求2所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气撑组件(10)还包括弹性支撑件(15)；

所述弹性支撑件(15)与所述气撑主体(12)可拆卸连接，所述弹性支撑件(15)与所述支撑件(13)的远离所述目标支撑位(11)的一端抵接。

6.根据权利要求5所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述可密封气室(30)包括连通的第一气室(31)和第二气室(32)；

所述弹性支撑件(15)与所述气撑主体(12)围合形成所述第一气室(31)，所述气撑底座(20)与所述气撑主体(12)围合形成所述第二气室(32)；

所述第二气室(32)的体积大于所述第一气室(31)。

7.根据权利要求6所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气撑主体(12)设有气室间隔结构(121)；

所述气室间隔结构(121)分隔所述第一气室(31)和所述第二气室(32)；

所述气室间隔结构(121)上设置有多个通气孔(1211)，所述第一气室(31)与所述第二气室(32)通过所述多个通气孔(1211)连通。

8.根据权利要求3或4所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述支撑件(13)上设置有第一限位结构(131)，所述限位件(14)上设置有与所述第一限位结构(131)相匹配的第二限位结构(141)；

所述支撑件(13)与所述限位件(14)通过所述第一限位结构(131)与所述第二限位结构(141)限位连接，所述第一限位结构(131)和所述第二限位结构(141)能够限制所述支撑件(13)的运动行程。

9.根据权利要求5-7中任一项所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述支撑件(13)朝向所述弹性支撑件(15)的一端的端缘设置有圆角结构(132)。

10.根据权利要求2-7中任一项所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气浮隔振装置还包括密封件(40)；

所述密封件(40)设置于所述气撑主体(12)与所述气撑底座(20)之间，所述密封件(40)的一端与所述气撑主体(12)抵接，所述密封件(40)的另一端与所述气撑底座(20)抵接。

11.根据权利要求10所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气撑主体(12)与所述气撑底座(20)上，二者择一的设置有密封安装位(122)，所述密封件(40)至少部分容置于所述密封安装位(122)内。

12.根据权利要求7所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述通气孔(1211)的孔径小于或等于预设值，所述预设值为0.8-1.2mm。

13.根据权利要求3或4所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述支撑件(13)的外周壁与所述限位件(14)间隙配合。

14.根据权利要求1-7中任一项所述的气浮隔振装置，其特征在于，所述气撑底座(20)至少满足下述特征之一：

所述气撑底座(20)为莱洛三角形底座；

所述气撑底座(20)上设置有多个目标安装位(21)，所述气浮隔振装置能够通过所述多个目标安装位(21)可拆卸连接于第二目标对象上。