CN219368361U - 一种便于清洁的扩散炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及扩散炉领域，特别涉及一种便于清洁的扩散炉，包括炉管、炉门组件、吸尘嘴和清洁机构，所述炉门组件包括炉门和设于炉门一侧的支撑架，所述炉管设有炉腔和与炉腔连通的炉口，所述支撑架通过炉口插设于炉腔内，所述支撑架通过炉门带动能于炉腔内移动；所述吸尘嘴安装于支撑架上，以使吸尘嘴能于炉腔内移动；所述炉门设有清洁口，所述吸尘嘴设有吸尘腔和吸气口，所述炉腔、吸气口、吸尘腔、清洁口和清洁机构依次连通。采用本实用新型，减少炉内灰尘，除尘效果好，除尘效率高。

Description

一种便于清洁的扩散炉

技术领域

本实用新型涉及扩散炉领域，特别涉及一种便于清洁的扩散炉。

背景技术

扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。扩散炉包括了炉管和炉门，炉门上设有支撑架，硅片安装在支撑架上，炉门在滑动平台的带动下可沿炉管的轴向移动，从而带动硅片进入或拉出炉管。炉管设有气管，通过气管向炉内通入气体，硅片则在炉管内与各种气体在加热的状态下发生反应，反应的过程中会产生灰尘。现有的扩散炉不清洁，造成了炉管内的灰尘越积越多，灰尘会污染硅片。

申请号为201820818651.5的专利公开了“中频炉除尘设备”，包括集尘罩和吸尘管，所述集尘罩顶部中心处嵌有吸尘管，且吸尘管的底端焊接有第一集尘口，所述吸尘管底端一侧表壁上焊接有第二集尘口，所述吸尘管顶端连接有排尘总管，所述集尘罩内表壁上嵌有密封圈，所述集尘罩前表面开口处通过铰链转动连接有密封门，所述吸尘管与排尘总管的连接处固定有吸气管，且吸气管内部通过固定架螺栓固定有吸气扇，所述排尘总管的外表壁上套接有固定环，所述吸尘管内部卡接有初级滤网，所述集尘罩底端焊接有环形管，且环形管通过连接杆焊接有固定座。

该专利采用的是集尘罩和吸尘管，吸尘管固定在集尘罩上，吸尘管上设有两个集尘口。吸尘管固定在集尘罩内固定的位置，通过气压差将吸附在集尘罩壁内的灰尘吸向集尘口内。这样就会将集尘罩内的灰尘扬起，有可能使灰尘跑到集尘罩外，造成其他罩外污染，也增加了除尘的时间。而且，由于集尘罩壁到集尘口之间存在一定的距离，因而需要增大吸力才能保证灰尘吸入吸尘管内，造成的能耗增大。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于，提供一种便于清洁的扩散炉，减少炉内灰尘，除尘效果好，除尘效率高。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种便于清洁的扩散炉，包括炉管、炉门组件、吸尘嘴和清洁机构，所述炉门组件包括炉门和设于炉门一侧的支撑架，所述炉管设有炉腔和与炉腔连通的炉口，所述支撑架通过炉口插设于炉腔内，所述支撑架通过炉门带动能于炉腔内移动；

所述吸尘嘴安装于支撑架上，以使吸尘嘴能于炉腔内移动；

所述炉门设有清洁口，所述吸尘嘴设有吸尘腔和吸气口，所述炉腔、吸气口、吸尘腔、清洁口和清洁机构依次连通。

作为上述方案的改进，所述吸气口沿吸尘嘴的周向设置。

作为上述方案的改进，所述炉管和吸尘嘴的横截面在同一平面上。

作为上述方案的改进，还包括吸尘管，所述吸尘管的两端分别与炉门和吸尘嘴连接；

所述吸尘嘴设有与吸尘腔连通的吸尘口，所述吸尘口通过吸尘管与清洁口连通。

作为上述方案的改进，所述吸尘嘴设有缺口，所述吸尘嘴通过缺口卡设于支撑架上。

作为上述方案的改进，所述炉门另一侧设有清洁管，所述清洁管的一端与清洁口连通。

作为上述方案的改进，所述清洁管的另一端与清洁机构连通，所述清洁机构和清洁管可拆卸连接。

作为上述方案的改进，所述清洁管的另一端设有用于封闭清洁管的封盖，所述清洁管和封盖可拆卸连接。

作为上述方案的改进，所述吸尘嘴和支撑架可拆卸连接。

作为上述方案的改进，所述清洁机构为吸尘器。

实施本实用新型，具有如下有益效果：

本实用新型在原有的支撑架上安装有吸尘嘴，吸尘嘴利用支撑架可随炉门移动来带动其在炉管内移动，同时，吸尘嘴通过炉门与清洁机构连接，向炉管内吸气，炉管内壁和底部的灰尘则随吸气口进入吸尘腔内收集，最后由清洁机构吸走。由于吸尘嘴可在炉管内移动，吸尘嘴所经过的位置的灰尘均能从吸气口吸入到吸尘嘴内，减少灰尘要经过的行程，既降低了清洁机构的能耗，又避免灰尘在炉管内扬尘而可能造成二次污染和炉管外污染，同时还缩短除尘时间，除尘效果也更好。

附图说明

图1是本实用新型便于清洁扩散炉处于工作状态时的结构示意图；

图2是本实用新型便于清洁扩散炉处于清洁状态时的结构示意图；

图3是图1的剖视图；

图4是图1炉门组件和吸尘嘴的连接结构示意图；

图5是图4吸尘嘴的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述。仅此声明，本实用新型在文中出现或即将出现的上、下、左、右、前、后、内、外等方位用词，仅以本实用新型的附图为基准，其并不是对本实用新型的具体限定。

参见图1-5所示，本实用新型公开了一种便于清洁的扩散炉，包括炉管1、炉门组件、吸尘嘴4和清洁机构(图中未示)，所述炉门组件包括炉门2和设于炉门2一侧的支撑架3，所述炉管1设有炉腔11和与炉腔11连通的炉口12，所述支撑架3通过炉口12插设于炉腔11内，所述支撑架3通过炉门2带动能于炉腔11内移动。

所述吸尘嘴4安装于支撑架3上，以使吸尘嘴4能于炉腔11内移动。

所述炉门2设有清洁口(图中未示)，所述吸尘嘴4设有吸尘腔41和吸气口42，所述炉腔11、吸气口42、吸尘腔41、清洁口和清洁机构依次连通。

本实用新型在原有的支撑架上安装有吸尘嘴，吸尘嘴利用支撑架可随炉门移动来带动其在炉管内移动，同时，吸尘嘴通过炉门与清洁机构连接，向炉管内吸气，炉管内壁和底部的灰尘则随吸气口进入吸尘腔内收集，最后由清洁机构吸走。由于吸尘嘴可在炉管内移动，吸尘嘴所经过的位置的灰尘均能从吸气口吸入到吸尘嘴内，减少灰尘要经过的行程，既降低了清洁机构的能耗，又避免灰尘在炉管内扬尘而可能造成二次污染和炉管外污染，同时还缩短除尘时间，除尘效果也更好。

其中，所述炉腔11和吸尘嘴4的横截面形状和大小相适配。

优选地，所述清洁机构为吸尘器，但不以此为限。

优选地，所述吸气口42沿吸尘嘴4的周向设置，即吸气口42朝向炉管1内壁，使得吸气口和炉管内壁距离更短，减少灰尘经过的行程，减少灰尘扬尘的空间范围，避免灰尘可能造成二次污染和炉管外污染，同时还缩短除尘时间，除尘效果也更好。

优选地，所述炉管1和吸尘嘴4的横截面在同一平面上，保证吸附力的平衡性。

进一步，如图2-4所示，本实用新型还包括吸尘管5，所述吸尘管5的两端分别与炉门2和吸尘嘴4连接。所述吸尘嘴4设有与吸尘腔41连通的吸尘口43，所述吸尘口43通过吸尘管5与清洁口连通。因此，所述炉腔11、吸气口42、吸尘腔41、吸尘口43、吸尘管5、清洁口和清洁机构依次连通。灰尘从炉腔中依次经过吸气口、吸尘腔、吸尘口、吸尘管和清洁口，最后由清洁机构收集起来，从而达到对炉管内除尘的目的。可见，通过吸尘管将吸尘嘴所收集的灰尘输送到炉门的清洁口处，再从清洁口输送到清洁机构内，使吸尘嘴能随支撑架进入到炉管深处，有效地除去炉管内各位置的的灰尘，从而保证除尘效果好、除尘效率高。

优选地，如图3-5所示，所述吸尘嘴4设有缺口44，所述吸尘嘴4通过缺口44卡设于支撑架3上。更佳地，所述缺口44和支撑架3过盈配合。吸尘嘴通过缺口安装在支撑架上，过盈配合能保证支撑架在炉腔内移动的过程中，吸尘嘴不会移位，保证吸尘嘴和支撑架连接的可靠性，从而保证除尘效果的有效性。

再进一步，如图2、4所示，所述炉门2另一侧设有清洁管6，所述清洁管6的一端与清洁口连通。清洁管的设置，便于炉门与清洁机构连接。

如图1所示，当扩散炉处于工作状态、无需清洁时，所述清洁管6的另一端设有用于封闭清洁管6的封盖7，所述清洁管6和封盖7可拆卸连接。封盖的设置避免炉管漏气，保证扩散炉顺利运作。优选地，所述封盖7和清洁管6之间设有密封圈(图中未示)，保证封盖和清洁管之间的密封效果。如图2所示，当扩散炉需要清洁时，所述清洁管6的另一端与清洁机构连通，所述清洁机构和清洁管6可拆卸连接。清洁机构通过清洁管实现与炉门的连接，便于与清洁口连通。安装时，将封盖拆下来，再装上清洁机构，然后再安装上吸尘嘴和吸尘管，启动清洁机构，便能实现除尘。

优选地，所述清洁管6为向炉腔11内的相反方向延伸设置，即清洁管6设于炉门2的外侧，这样既可使密封圈远离高温区，有效实现密封，又便于安装清洁机构。

优选地，所述吸尘嘴4、吸尘管5和清洁管6均由不锈钢材料制成。

优选地，所述吸尘嘴4和支撑架3可拆卸连接。

如图1所示，扩散炉处于工作状态时，封盖7封闭炉门2上的清洁管6，支撑架3上安装有硅片。通过滑动平台移动炉门，将硅片推入炉腔11内，使硅片与炉管1内气体在加热状态下进行反应。如图2所示，扩散炉处于清洁状态时，卸下封盖7和硅片，在清洁管6上安装上清洁机构，在支撑架3上安装上吸尘嘴4和吸尘管5，启动清洁机构，并通过滑动平台移动炉门，使吸尘嘴4在炉腔11内移动，从而将炉管底部和侧壁的灰尘吸走。除尘完毕后，可拆除清洁机构、吸尘嘴和吸尘管，重新装上封盖和硅片，便能使扩散炉再次进入工作状态，这样便轻易地对炉管进行清洁，又不会影响扩散炉的正常运作，且除尘效果好，除尘效率高。

综上所述，本实用新型提供一种便于清洁的扩散炉，减少炉内灰尘，除尘效果好，除尘效率高。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种便于清洁的扩散炉，其特征在于，包括炉管、炉门组件、吸尘嘴和清洁机构，所述炉门组件包括炉门和设于炉门一侧的支撑架，所述炉管设有炉腔和与炉腔连通的炉口，所述支撑架通过炉口插设于炉腔内，所述支撑架通过炉门带动能于炉腔内移动；

所述吸尘嘴安装于支撑架上，以使吸尘嘴能于炉腔内移动；

所述炉门设有清洁口，所述吸尘嘴设有吸尘腔和吸气口，所述炉腔、吸气口、吸尘腔、清洁口和清洁机构依次连通。

2.如权利要求1所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述吸气口沿吸尘嘴的周向设置。

3.如权利要求2所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述炉管和吸尘嘴的横截面在同一平面上。

4.如权利要求1所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，还包括吸尘管，所述吸尘管的两端分别与炉门和吸尘嘴连接；

所述吸尘嘴设有与吸尘腔连通的吸尘口，所述吸尘口通过吸尘管与清洁口连通。

5.如权利要求1所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述吸尘嘴设有缺口，所述吸尘嘴通过缺口卡设于支撑架上。

6.如权利要求1所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述炉门另一侧设有清洁管，所述清洁管的一端与清洁口连通。

7.如权利要求6所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述清洁管的另一端与清洁机构连通，所述清洁机构和清洁管可拆卸连接。

8.如权利要求6所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述清洁管的另一端设有用于封闭清洁管的封盖，所述清洁管和封盖可拆卸连接。

9.如权利要求1所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述吸尘嘴和支撑架可拆卸连接。

10.如权利要求1-9中任一项所述的便于清洁的扩散炉，其特征在于，所述清洁机构为吸尘器。