CN219350191U - 一种高低温均温晶圆吸盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及晶圆吸盘技术领域，具体而言，涉及一种高低温均温晶圆吸盘，包括面板模块、底座模块以及设置在两者的均温模块，均温模块采用双层式流道，均温模块上设有螺旋型流道a、螺旋型流道b，螺旋型流道a、螺旋型流道b连通且均与面板模块同轴；螺旋型流道a设有第一入口和第二入口，所述第一入口设置在螺旋型流道a的外侧，所述第二入口设置螺旋型流道a内侧，螺旋型流道b设有第一出口和第二出口，所述第一出口设置在螺旋型流道b的外侧，第二出口设置在螺旋型流道b的内侧，第二入口与第一出口连通。本实用新型设计了双层式流道，可以实现制冷剂在螺旋流道上从外而内旋进，再从内而外旋出，能最大程度降低能耗损失，保证均温效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆吸盘领域，具体而言，涉及一种高低温均温晶圆吸盘。
背景技术
晶圆吸盘主要是针对晶圆检测时，可以其限位作用。而现有技术中，为了后续工艺，往往需要控制晶圆温度。
现有技术晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘(申请号：CN202122617656.6)，公开了包括底板，底板上一体焊接中空的盖板，所述水冷盘内部设置有蛇形流道，所述蛇形流道的若干圈流道平行等距布置且均与盖板同轴，所述蛇形流道与外部进水管路、出水管路之间流通有冷却水，所述冷却水对位于所述水冷盘上的晶圆卡盘进行冷却。其目的在于提供一种晶圆卡盘能够得到均匀冷却且有效降低因冷却速率差引起晶圆卡盘热应力的产生的晶圆卡盘暂存冷却用水冷盘。但存在后续冷却效果下降，存在冷却不均的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种高低温均温晶圆吸盘，解决现有技术中冷却不均的问题。
为了实现上述目的，本申请实施例提供了如下技术方案：
一种高低温均温晶圆吸盘，包括面板模块、底座模块以及设置在两者的均温模块，所述面板模块用于放置晶圆，所述底座模块用于连接测试设备，所述均温模块包括依次设置的低温模块和高温模块，均温模块采用双层式流道，均温模块上设有螺旋型流道a、螺旋型流道b，螺旋型流道a、螺旋型流道b连通且均与面板模块同轴；螺旋型流道a设有第一入口和第二入口，所述第一入口设置在螺旋型流道a的外侧，所述第二入口设置螺旋型流道a内侧，螺旋型流道b设有第一出口和第二出口，所述第一出口设置在螺旋型流道b的外侧，第二出口设置在螺旋型流道b的内侧，第二入口与第一出口连通；螺旋型流道a连通有纵深设置的制冷剂入口，螺旋型流道b连通有纵深设置的制冷剂出口。
本实用新型相比现有技术的蛇形流道，单一进口和单一出口，随着制冷剂在蛇形流道中流动，其制冷效果减弱，存在晶圆冷却效果不一的技术问题，在此基础上，我们将原来单一的蛇形流道改进为双层式流道，上层流道为低温模块，下层流道为高温模块，利用螺旋流通a将制冷剂(选用水，但不限于水，其他可以制冷的流体亦可)从外到内盘旋而进，再利用螺旋流通b从内到外盘旋而出，且还设置了纵深型制冷剂入口，可以使制冷剂直接进到螺旋流通a内部，然后再螺旋流出，该设计能最大程度降低能耗损失，保证均温效果。
具体来说，当晶圆在较低温度时，可以加强制冷剂从第一入口进入，实现低温环境控制晶圆冷却，当晶圆在较高温度时，可以加强制冷剂从制冷剂入口进入，实现高温环境下控制晶圆冷却。
进一步来说，所述面板模块与均温模块通过钎焊方式连接。使得面板模块与均温模块相比螺纹连接更贴合，利于晶圆测试。
进一步来说，所述底座模块与均温模块通过螺纹方式连接。该连接方式快捷、方便。
进一步来说，所述制冷剂选用水。水具有可获取的便捷性和低成本性。
本实用新型的有益效果为：
1.本实用新型设计了双层式流道，可以实现制冷剂在螺旋流道上从外而内旋进，再从内而外旋出，能最大程度降低能耗损失，保证均温效果。
2.本实用新型设计了双层式流道，当晶圆在较低温度时，可以加强制冷剂从第一入口进入，实现低温环境控制晶圆冷却，当晶圆在较高温度时，可以加强制冷剂从制冷剂入口进入，实现高温环境下控制晶圆冷却。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型的结构示意图a；
图2是本实用新型的低温模块结构示意图；
图3是本实用新型的结构示意图b；
图4是本实用新型的高温模块示意图；
图5是本实用新型的高温模块流道原理示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
应注意到：相似的标号或字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
实施例
如图1、2所示，一种高低温均温晶圆吸盘，包括面板模块1、底座模块2以及设置在两者的均温模块3，所述面板模块1用于放置晶圆，所述底座模块2用于连接测试设备。本设计主要是针对均温模块3的改进。
均温模块3包括依次设置的低温模块31和高温模块32，低温模块31和高温模块32可采用钎焊工艺连接，低温模块31靠近面板模块1，高温模块32靠近底座模块2；特别的，本实用新型中均温模块3采用双层式流道，即分上下两层连通的流道，流道设置成螺旋型；具体设计如下，均温模块3上设有螺旋型流道a311、螺旋型流道b321，螺旋型流道a311、螺旋型流道b321连通且均与面板模块1同轴设置；螺旋型流道a311设有第一入口311-1和第二入口311-2，所述第一入口311-1设置在螺旋型流道a311的外侧，所述第二入口311-2设置在螺旋型流道a 311内侧，即通过第二入口311-2进入螺旋型流道b321，螺旋型流道b321设有第一出口321-1和第二出口321-2，所述第一出口321-1设置在螺旋型流道b321的外侧，第二出口321-2设置在螺旋型流道b321的内侧(制冷剂从第二入口311-2进入到第二出口321-2)，第二入口311-2与第二出口321-2连通；螺旋型流道a311连通有纵深设置的制冷剂入口4，螺旋型流道b321连通有纵深设置的制冷剂出口5。
本实用新型工作过程：制冷剂选用冷水，在需要对晶圆进行冷却时，冷水通过第一入口311-1进入螺旋型流道a 311内，利用螺旋型流道a 311往轴心处盘旋而进，实现对晶圆冷却，然后再通过第二入口311-2进入到第二出口321-2，从而进入到螺旋型流道b321，再从螺旋型流道b321从内向外盘旋而出，最终从第一出口321-1流出；同时，可通过制冷剂入口4使得冷水进入螺旋型流道a 311靠近轴心的一端，从而直接流通经第二入口311-2进入到第二出口321-2，制冷剂出口5可使得冷水从螺旋型流道b321靠近轴心的一端流出，即流经第二出口321-2的冷水可直接从制冷剂出口5流出，实现最大程度降低能耗损失，保证均温效果。
更好实施方式，当晶圆在较低温度时，加强冷水从第一入口311-2进入，利用螺旋型流道a 311往轴心处盘旋而进，再通过第二入口311-2进入到第二出口321-2，从而进入到螺旋型流道b321，再从螺旋型流道b321从内向外盘旋而出，最终从第一出口321-2流出，实现低温环境控制晶圆冷却。
当晶圆在较高温度时，加强冷水从制冷剂入口4进入，直接进入到螺旋型流道a311靠近轴心的一端，从而直接流通经第二入口311-2进入到第二出口321-2，在从纵深的制冷剂出口5直接流出，实现高温环境下控制晶圆冷却。
具体实施时，所述面板模块1与均温模块3通过钎焊方式连接。使得面板模块1与均温模块3相比螺纹连接更贴合，利于晶圆测试。
具体实施时，所述底座模块2与均温模块3通过螺纹方式连接。该连接方式快捷、方便。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种高低温均温晶圆吸盘，包括面板模块、底座模块以及设置在两者的均温模块，所述面板模块用于放置晶圆，所述底座模块用于连接测试设备，其特征在于，所述均温模块包括依次设置的低温模块和高温模块，均温模块采用双层式流道，均温模块上设有螺旋型流道a、螺旋型流道b，螺旋型流道a、螺旋型流道b连通且均与面板模块同轴；螺旋型流道a设有第一入口和第二入口，所述第一入口设置在螺旋型流道a的外侧，所述第二入口设置螺旋型流道a内侧，螺旋型流道b设有第一出口和第二出口，所述第一出口设置在螺旋型流道b的外侧，第二出口设置在螺旋型流道b的内侧，第二入口与第一出口连通；螺旋型流道a连通有纵深设置的制冷剂入口，螺旋型流道b连通有纵深设置的制冷剂出口。
2.根据权利要求1所述的一种高低温均温晶圆吸盘，其特征在于，所述面板模块与均温模块通过钎焊方式连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种高低温均温晶圆吸盘，其特征在于，所述底座模块与均温模块通过螺纹方式连接。
4.根据权利要求1所述的一种高低温均温晶圆吸盘，其特征在于，所述制冷剂选用水。
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