CN219342281U - 喷淋冷却组件和气体喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种喷淋冷却组件及气体喷淋装置。喷淋冷却组件包括喷淋板，喷淋板包括中心区以及由内向外依次包围中心区的若干个闭合冷却区，若干个闭合冷却区至中心区的距离不断增大且互不重叠；每一个闭合冷却区内设有至少一组冷却通道，冷却通道分布在闭合冷却区的周向上并且将中心区包围；冷却通道包括至少一个输送通道，输送通道与闭合冷却区的闭合路径平行；冷却通道具有导入口和导出口，输送通道的两端分别与导入口和导出口连通；每个冷却通道的温度与其对应的晶圆区域温度相适应；中心区、若干个闭合冷却区的输送通道之间均匀分布有喷淋孔。本实用新型的喷淋冷却组件优化了喷淋板的温度控制能力，可以提升所沉积薄膜的质量。

Description

喷淋冷却组件和气体喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及半导体薄膜沉积技术领域，特别是涉及一种喷淋冷却组件及气体喷淋装置。

背景技术

在现有的半导体薄膜沉积设备的工艺过程中,往往需要在特定的温度场内将两种或多种气体切换通入反应腔，或同时通入反应腔进行薄膜沉积反应。该温度场通常以热辐射的形式影响喷淋装置，导致其温度过高，从而影响流经该喷淋装置的某些化学反应气体的稳定性。尤其是对于一些热分解温度较低的化学反应气体，这些化学反应气体进入反应腔之前就可能因为流经的喷淋装置的温度过高而导致其在喷淋装置内分解，从而形成大量的纳米/微米颗粒。这些纳米/微米颗粒会随着反应气体一起进入反应腔室并附着在晶圆的表面，导致沉积的薄膜产生大量的缺陷并对芯片的良率和可靠性产生不良影响。此外，大量的纳米/微米颗粒在喷淋装置内长期沉积会导致喷淋装置的化学反应气体输送孔道的堵塞，降低其喷淋装置的使用寿命和维护周期，从而降低生产效率。

传统技术中，为了解决喷淋装置温度过高的问题，喷淋装置内通常均匀分布多条平行的冷却管道，在冷却管道内通入冷却液或者冷却气，通过冷却通道散发的冷量将喷淋装置的温度降低。然而需要指出的是，整体降温的反应气体虽然不会再大量分解产生纳米/微米颗粒，但是受温度场影响晶圆表面的温度同样不均匀，反应气体在晶圆表面不同温度处的沉积速率不同，无法形成厚度均匀的半导体薄膜。

实用新型内容

基于此，本实用新型提出了一种喷淋冷却组件及气体喷淋装置，通过将喷淋冷却组件的喷淋板由中心向外分为多层闭合冷却区，并在每层闭合冷却区内设置温度可调的冷却通道，所有冷却通道的相邻的输送通道之间设置喷淋孔，并控制每个所述冷却通道的温度与其对应的晶圆区域温度相适应，使晶圆表面可以沉积厚度均匀的薄膜。

本实用新型一方面公开了一种喷淋冷却组件，所述喷淋冷却组件包括喷淋板，所述喷淋冷却组件包括喷淋板，所述喷淋板包括中心区以及由内向外依次包围所述中心区的若干个闭合冷却区，若干个所述闭合冷却区至所述中心区的距离不断增大且互不重叠；每一个所述闭合冷却区内设有至少一组冷却通道，所述冷却通道分布在所述闭合冷却区的周向上并且将所述中心区包围；所述冷却通道包括至少一个输送通道，所述输送通道与所述闭合冷却区的闭合路径平行；所述冷却通道具有导入口和导出口，所述输送通道的两端分别与所述导入口和所述导出口连通；每个所述冷却通道的温度与其对应的晶圆区域温度相适应；所述中心区、若干个所述闭合冷却区的所述输送通道之间均匀分布有喷淋孔。

在其中部分实施例中，所述中心区为圆形，所述闭合冷却区为与所述中心区同心的环形，所述冷却通道为与所述中心区同心的扇形，所述输送通道位于与所述中心区同心的圆上。

在其中部分实施例中，自所述中心区向外排布的相邻的所述输送通道之间设置有单排且沿着所述输送通道布置的所述喷淋孔。

在其中部分实施例中，同一组冷却通道内，当所述输送通道至少为两个时，自所述中心区向外排布的所述输送通道的长度逐渐增加。

在其中部分实施例中，同一个所述闭合冷却区内设置有至少两组所述冷却通道。

在其中部分实施例中，每一个所述闭合冷却区内设有数量相同且在周向上位置对应的所述冷却通道。

在其中部分实施例中，每一组所述冷却通道还包括导入通道和导出通道，所述导入通道将所述导入口与所述输送通道连通，所述导出通道将所述导出口与所述输送通道连通，所述导入口、所述导出口设置在所述喷淋板的外缘，所述导入通道、所述导出通道由内向外延伸。

在其中部分实施例中，所述导入通道或者所述导出通道与周向上相邻的所述导入通道或者所述导出通道之间设有单排的喷淋孔。

在其中部分实施例中，所述冷却通道为开设在所述喷淋板上的凹槽。

本实用新型另一方面公开了一种气体喷淋装置，包括均气系统以及前述任一所述的喷淋冷却组件，所述均气系统包括反应气体输出口，所述反应气体输出口与所述喷淋冷却组件的喷淋孔连通。

有益效果

本实用新型的喷淋冷却装置结合喷淋板的温度分布情况，将喷淋板由内至外分为多个闭合冷却区，并在每个闭合冷却区内设置具有独立导入口、导出口的冷却通道，在冷却通道的输送通道之间均匀分布喷淋孔，使得本实用新型的喷淋冷却组件可以对每组冷却通道进行单独调节，喷淋板上的不同冷却通道可以产生不同的冷量，设置每个所述冷却通道的温度与其对应的晶圆区域温度相适应，这就使得从每个冷却通道的喷淋孔喷出的反应气体温度与对应的晶圆区域温度相适应，从而实现不同冷却通道的喷淋孔喷出的反应气体可以在晶圆各位置的沉积速率相同，进而使得沉积装置通过使用这种喷淋冷却组件提升所沉积薄膜的质量。

附图说明

图1为部分实施例中本实用新型的所述喷淋冷却组件的示意图；

图2为部分实施例中本实用新型的所述喷淋冷却组件的冷却通道的示意图；

图3为部分实施例中本实用新型的气体喷淋装置的示意图；

图4为图3中本实用新型的气体喷淋装置的爆炸图；

其中，1为喷淋板，10为中心区，20为内层闭合冷却区，21为内层冷却通道，30为外层闭合冷却区，31为外层冷却通道，100为均气系统，110为顶部进气系统，120为初级均气板，130为二级均气板，200为喷淋冷却组件，210为内层导入口，211为内层导入通道，212为内层导入通道，213为内层导出通道，214为内层导出口，310为外层导入口，311为外层导入通道，312为外层导入通道，313为外层导出通道，314为外层导出口。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

参阅图1、图2，图1示出了本实用新型一实施例中的喷淋冷却组件的俯视示意图，图2是示出了图1中的喷淋冷却组件的立体示意图。本实用新型一实施例提供了的所述喷淋冷却组件包括喷淋板1，如图1所示，该喷淋板1为圆形，喷淋板1包括在喷淋板1中心位置用虚线圈出的中心区10，由中心区10向外依次设置了包围中心区10的若干个闭合冷却区，若干个闭合冷却区至中心区10的距离不断增大且互不重叠。具体来说，在如图1所示的实施例中，由中心区10向外依次设置了两个虚线圈，靠内的虚线圈与中心区10的虚线圈夹合形成内层闭合冷却区20，靠外的虚线圈与靠内的虚线圈夹合形成外层闭合冷却区30。

每一个闭合冷却区内设有至少一组分布在其周向上将所述中心区包围的冷却通道，所述冷却通道包括至少一段与所述闭合冷却区的闭合路径平行的输送通道，同一所述冷却通道的所述输送通道具有统一的导入口和导出口。所述中心区以及所述闭合冷却区内的所述输送通道之间均匀分布有喷淋孔。并且设置每个所述冷却通道的温度与其对应的晶圆区域温度相适应。

仍然结合图1、图2进行说明，在图示的部分实施例中，内层闭合冷却区20内设置有两组内层冷却通道21，两组内层冷却通道21沿着周向均匀分布将中心区10包围。类似地，外层闭合冷却区30内也设置了两组外层冷却通道31，两组外层冷却通道31沿着周向均匀分布将中心区10包围。如图2所示，内层冷却通道21内设置有四段弧形的内层输送通道212，这些弧形的内层输送通道212位于与环形的内层冷却通道21同心但半径不同的同心圆上；外层冷却通道31内则设置了两段弧形的外层输送通道312，这些外层输送通道312位于与环形的外层冷却通道31同心但半径不同的同心圆上。从图2可以看出，内层冷却通道21的四段内层输送通道212均与内层导入口210、内层导出口214连通，外层冷却通道31的两段外层输送通道312均与外层导入口310、外层导出口314连通。在喷淋板1上，中心区10、内层闭合冷却区20内的内层输送通道212之间、外层闭合冷却区30内的外层输送通道312之间、内层输送通道212与外层输送通道312之间均匀分布有喷淋孔11。设置内层冷却通道21与晶圆相对内侧、外层冷却通道31与晶圆相对外侧的温度相适应。

本实用新型的喷淋冷却组件通过将喷淋板1的中心区10的外部由内至外分为若干闭合冷却区，并在每个闭合冷却区内设置具有独立导入口、导出口的冷却通道，在冷却通道的输送通道之间均匀分布喷淋孔11，使得本实用新型的喷淋冷却组件可以对每组冷却通道进行单独调节，喷淋板1上的不同闭合冷却区产生不同的冷量，进而对从喷淋孔11喷出的反应气体的温度进行调节，使其与对应位置的晶圆温度相适应。

正如背景技术所说的，温度场影响下，不仅喷淋板1的温度不均匀，晶圆的温度同样不均匀，而且由于材质不同，喷淋板1的温度不均匀分布情况和晶圆的温度不均匀分布情况也不同。这就导致机械地控制从喷淋板1各处喷出的反应气体温度相同，并不能使得反应气体在晶圆上各个位置都可以沉积厚度均匀的半导体薄膜。为此，需要控制从喷淋板1各处喷出的反应气体温度不同，使各处反应气体温度与晶圆的温度分布情况相匹配。本实用新型的喷淋冷却组件在每个冷却通道的输送通道之间都均匀分布了喷淋孔11，这就使得从每个冷却通道喷出的反应气体温度都可以被直接控制，通过对各个冷却通道的冷量进行调节，不同冷却通道喷出的反应气体都可以与该部分冷却通道对应的晶圆部分的温度相匹配，反应气体可以在晶圆不同位置的沉积速率均相同，得到厚度高度一致的半导体薄膜。

需要说明的是，现有的沉积装置中，基座通常被设置为圆形以便基座可以绕其中心轴旋转，从而保证反应气体能够在基座上的晶圆充分均匀地混合，因此在本实用新型如图1、图2所示的部分实施例中，与基座对应的喷淋冷却组件的喷淋板1也被设置为圆形。在这情况下，如图1、图2所示，喷淋板1的中心区10为圆形，而依次包围中心区10的内层闭合冷却区20、外层闭合冷却区30则相应地被设置为环形，冷却通道被设置为与中心区10同心的扇形，输送通道被设置在与中心区10同心的圆上。但是这并不意味着本实用新型的喷淋板1必须如图1、图2所示进行布置。在其它实施例中,当喷淋冷却组件所朝向的基座的形状为正方形、多边形、或其他任意能够配合化学气相沉积装置的形状时，那么中心区10的外形则与基座的形状相同，依次包围中心区10的闭合冷却区则为与中心区10的外形相适应的闭合环状，冷却通道、输送通道也对应进行设置。在这些实施例中，本实用新型的喷淋冷却组件的功能原理、技术效果均与图1、图2所示的实施例相同，本领域技术人员通过领会图1、图2所示的实施例的意图，便可以根据实际情况对喷淋冷却组件进行设计，本申请在此不再赘述。

可以理解的，虽然图1、图2所示的闭合冷却区为两个，但实际上闭合冷却区可以为三个、四个或者更多。通过增加闭合冷却区的数量，可以将喷淋板1划分为更多温度控制区，使得喷淋板1可以针对晶圆的各个区域的温度分别进行精密调节，进一步提高晶圆上半导体薄膜的厚度均一性。

在部分优选的实施例中，自中心区10向外排布的相邻的输送通道之间设置有单排且沿着输送通道布置的所述喷淋孔。需要理解的是，此处所述的相邻的输送通道，一方面可以指同一组冷却通道内的相邻两段输送通道。具体来说，如图1、图2所示，内层闭合冷却区20的其中一个内层冷却通道21中的相邻两段内层输送通道212之间设置有单排且呈弧形排布的喷淋孔11。在另一方面，也可以指由内向外相邻排布的分别位于两个闭合冷却区的两个冷却通道的两段输送通道。具体来说，即外层闭合冷却区30的外层冷却通道31中最内侧的外层输送通道312与内层闭合冷却区20的内层冷却通道21中最外侧的内层输送通道212之间仅设置单排且呈弧形排布的喷淋孔11。为了避免歧义，这里的单排是指径向上相邻的输送通道之间的间距不足以并排设置两个喷淋孔11。

通过控制自中心区10向外排布的相邻的输送通道之间设置有单排且沿着输送通道布置的所述喷淋孔，可以确保喷淋板1上的每个喷淋孔11都与输送通道相邻，从而可以确保本实用新型的喷淋冷却组件可以对每个喷淋孔11的温度进行调节，尽可能地提高喷淋板1的温度控制能力。

在部分实施例中，同一组冷却通道内，当输送通道的数目至少为两个时，自所述中心区向外排布的所述输送通道的长度逐渐增加。在图2所示的实施例中，内层冷却通道21为扇形，且内层冷却通道21具有多个弧形的内层输送通道212，通过使多个内层输送通道212的长度由内至外不断增加，多个内层输送通道212的长度可以更好地适应扇形区域的形状，使得内层输送通道212能够充分分布于喷淋板1内，以便提高喷淋板1的温度控制能力。

可以理解的，虽然图1、图2所示的实施例中，无论是内层闭合冷却区20还是外层闭合冷却区30都设置了不止一组冷却通道，但实际上内层闭合冷却区20、外层闭合冷却区30均可以仅设置一组环形的冷却通道，这种喷淋冷却组件显然也可以实现分区温度控制的功能。但是在部分优选实施例中，同一个所述闭合冷却区内设置有至少两组所述冷却通道。相比每个闭合冷却区仅设置一组冷却通道，设置冷却管道的组数越多，同一闭合冷却区内的每个冷却管道的面积越小，换句话说，在冷却通道内流动的冷却剂所要流经的长度也越短，冷却剂在流动过程中的温度差异较小，从而使得冷却剂对喷淋板1的冷却更为均匀，可以更加准确地控制各部分的温度。

在部分实施例中，每一个所述闭合冷却区内设置有数量相同的且在周向上位置对应的所述冷却通道。以图1、图2所示的实施例为例，内层闭合冷却区20内设置有两组内层冷却通道21，每组内层冷却通道21大约为角度为180°的扇形，外层闭合冷却区30内同样设置有两组外层冷却通道31，每组外层冷却通道31也大约为角度为180°的扇形。每组外层冷却通道31在周向上都与一组内层冷却通道21对应。如此设置，外层冷却通道31以及内层冷却通道21的导入口以及导出口将可以集中设置在相邻的外层冷却通道31(相邻的内层冷却通道21)之间，避免侵占更多喷淋板1的空间。当然，在其他部分实施例中，每一个所述闭合冷却区内均设置一组冷却通道也可以实现类似效果，冷却通道的导入口和导出口可以集中设置在一起，同样可以避免侵占喷淋板1的空间。

具体地，在本实用新型的喷淋冷却组件中，每一组所述冷却通道还包括将所述导入口与所述输送通道连通的导入通道，以及将所述导出口与所述输送通道连通的导出通道；所述导入口、所述导出口设置在所述喷淋板的外缘，所述导入通道、所述导出通道由内向外延伸。在如图2所示的部分实施例中，内层冷却通道21包括内层导入通道211和内层导出通道213，内层导入通道211、内层导出通道213同时与4段内层导入通道212连通，内层导入通道211与内层导入口210相连通，内层导出通道213与内层导出口214连通。内层导入口210、内层导出口214设置在喷淋板1的外缘，内层导入通道211、内层导出通道213沿着喷淋板1的径向布置。类似地，外层冷却通道31包括外层导入通道311和外层导出通道313，外层导入通道311、外层导出通道313同时与4段外层输送通道312连通，内层导入通道211与外层导入口310相连通，外层导出通道313与外层导出口314连通。外层导入口310、外层导出口314设置在喷淋板1的外缘，外层导入通道311、外层导出通道313沿着喷淋板1的径向布置。

通过将所述导入口、所述导出口设置在所述喷淋板1的外缘，所述导入通道、所述导出通道由内向外延伸，一方面可以避免导入口、导出口、导入通道、导出通道对于喷淋板空间的占用，另一方面由内向外径向延伸的导入通道、导出通道的长度最短，可以保证冷却剂的冷却效果。

在部分优选的实施例中，所述导入通道/导出通道与在周向上相邻的所述导入通道/导出通道之间设有单排的喷淋孔11。在如图2所示的部分实施例中，两个内层导入通道211之间，内层导入通道211与外层导入通道311之间仅设置有单排的喷淋孔，两个内层导出通道213之间，内层导出通道213与外层导出通道313之间设有单排的喷淋孔11。这种设计进一步保证喷淋板1上的每一个喷淋孔11都能被冷却通道所覆盖，提高喷淋板1的温度控制能力。

可以理解的，本实用新型的喷淋冷却组件对于冷却通道具体如何设置并不加以严格限制。在部分实施例中，冷却通道可以为独立于喷淋板1的管道。优选的，冷却通道为开设在喷淋板1上的凹槽。如此设置，可以减少本实用新型的喷淋冷却组件的零件数量，增加一体性，提高使用时的稳定性。

本实用新型另一方面公开了一种气体喷淋装置，如图3所示，包括均气系统100以及前述任一所述的喷淋冷却组件200，均气系统100包括反应气体输出口，所述反应气体输出口与喷淋冷却组件200的喷淋孔11连通。本实用新型的气体喷淋装置通过使用前述的喷淋冷却组件200，反应气体经过均气系统100重新分布后依次通过反应气体输出口、喷淋孔11向外输出。在这过程中，反应气体中经过喷淋冷却组件200冷却后，对应着晶圆不同位置的不同温度，都可以使反应气体的温度与之相匹配，能够在晶圆上实现高品质的沉积。由于喷淋冷却组件200的具体结构、功能原理以及技术效果均在前文详细描述，在此便不再赘述。任何有关喷淋冷却组件的技术内容，均可参考前文的记载。

作为一种具体可实施的示例，如图4所示，均气系统100包括由上至下叠放的顶部进气系统110、初级均气板120和二级均气板130，顶部进气系统110具有进气口和出气口，顶部进气系统110与初级均气板120的上表面密封连接，使得出气口与初级均气板120上的气孔连通，初级均气板120的下表面又与二级均气板130的上表面密封连接，二级均气板130的下表面与本实用新型的所述喷淋冷却组件200密封连接，反应气体依次通过初级均气板120、二级均气板130上的气孔进入本实用新型的所述喷淋冷却组件200后，从喷淋冷却组件200的喷淋孔11向外输出。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种喷淋冷却组件，其特征在于，所述喷淋冷却组件包括喷淋板，所述喷淋板包括中心区以及由内向外依次包围所述中心区的若干个闭合冷却区，若干个所述闭合冷却区至所述中心区的距离不断增大且互不重叠；

每一个所述闭合冷却区内设有至少一组冷却通道，所述冷却通道分布在所述闭合冷却区的周向上并且将所述中心区包围；

所述冷却通道包括至少一个输送通道，所述输送通道与所述闭合冷却区的闭合路径平行；所述冷却通道具有导入口和导出口，所述输送通道的两端分别与所述导入口和所述导出口连通；每个所述冷却通道的温度与其对应的晶圆区域温度相适应；

所述中心区、若干个所述闭合冷却区的所述输送通道之间均匀分布有喷淋孔。

2.根据权利要求1所述的喷淋冷却组件，其特征在于，所述中心区为圆形，所述闭合冷却区为与所述中心区同心的环形，所述冷却通道为与所述中心区同心的扇形，所述输送通道位于与所述中心区同心的圆上。

3.根据权利要求1或2所述的喷淋冷却组件，其特征在于，自所述中心区向外相邻排布的所述输送通道之间设置有单排且沿着所述输送通道布置的所述喷淋孔。

4.根据权利要求1或2所述的喷淋冷却组件，其特征在于，同一组冷却通道内，当所述输送通道至少为两个时，自所述中心区向外排布的所述输送通道的长度逐渐增加。

5.根据权利要求1或2所述的喷淋冷却组件，其特征在于，同一个所述闭合冷却区内设置有至少两组所述冷却通道。

6.根据权利要求1或2所述的喷淋冷却组件，其特征在于，每一个所述闭合冷却区内设有数量相同且在周向上位置对应的所述冷却通道。

7.根据权利要求1或2所述的喷淋冷却组件，其特征在于，每一组所述冷却通道还包括导入通道和导出通道，所述导入通道将所述导入口与所述输送通道连通，所述导出通道将所述导出口与所述输送通道连通，所述导入口、所述导出口设置在所述喷淋板的外缘，所述导入通道、所述导出通道由内向外延伸。

8.根据权利要求7所述的喷淋冷却组件，其特征在于，所述导入通道或者所述导出通道与周向上相邻的所述导入通道或者所述导出通道之间设有单排的喷淋孔。

9.根据权利要求1或2所述的喷淋冷却组件，其特征在于，所述冷却通道为开设在所述喷淋板上的凹槽。

10.一种气体喷淋装置，其特征在于，包括均气系统以及权利要求1-9任一所述的喷淋冷却组件，所述均气系统包括反应气体输出口，所述反应气体输出口与所述喷淋冷却组件的喷淋孔连通。

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