CN219342278U - 一种旋转式气相沉积炉用冷却机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种旋转式气相沉积炉用冷却机构。其技术方案包括：水箱、冷却罐和沉积炉本体，还包括用于封闭冷却罐两端的两个密封盖，所述冷却罐的两端开设有一号孔，两个所述密封盖的表面开设有三号孔。本实用新型具有的有益效果是：本装置在冷却罐的两端设置有可拆卸的密封盖，且冷却罐内底部还设置有引导沉积炉本体安装与拆卸的引导板，由此便可达到便于安装与拆卸沉积炉本体的效果，此外冷却罐中还安装有较长的圆弧板，大面积的圆弧板位于沉积炉上方再通过其底部多若干个排水孔可以有效的将冷却水均匀、大面积的洒在沉积炉上，由此便可以实现更加有效的散热效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种旋转式气相沉积炉用冷却机构。
背景技术
气相沉积是一种被广泛应用于生产复合材料的工艺方法，而旋转式气相沉积炉便是通过旋转运动来防止内部的复合材料堆积粘附，且沉积炉在高温反应工作后需要快速降温，由此来制备负极材料。
现有的旋转式气相沉积炉多使用自然冷却的方式，这种方法冷却时间长，且不能实现快速冷却的效果。根据公开号为CN212253683U所公开的一种旋转式气相沉积炉的冷却装置中，通过将热传导冷却机构和喷淋水冷却机构相结合，提高了旋转式气相沉积炉的散热速度，实现了快速冷却；该专利还具有以下弊端：上述专利中冷却筒的两端焊接有环形挡板，焊接的连接方式使得冷却筒其两端为密封状态且不能拆除，这就导致气相沉积炉难以从冷却筒内部拆除以及安装，且该专利中用于喷淋的喷头喷洒范围较窄，不能实现全面散热的效果。
实用新型内容
本实用新型的目的是针对背景技术中存在的问题，提出一种旋转式气相沉积炉用冷却机构。
本实用新型的技术方案：一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，包括水箱、冷却罐和沉积炉本体，还包括用于封闭冷却罐两端的两个密封盖，所述冷却罐的两端开设有一号孔，两个所述密封盖的表面开设有三号孔，所述密封盖通过三号孔与冷却罐两端的一号孔通过螺栓为可拆卸连接，所述密封盖的表面位于
另一组二号孔之间开设有通孔，所述通孔的内壁固定连接有滚珠轴承。
优选的，所述水箱的顶部固定连接有支撑柱，所述支撑柱的顶端与冷却罐固定连接。
优选的，所述水箱的顶部一侧固定连接有水泵，所述水泵的一端固定连接有导水管，所述导水管的一端延伸至水箱的内部，所述导水管延伸至冷却罐的上方的另一端固定连接有若干个输水管，所述输水管的一端均贯穿与冷却罐延伸至其内部固定连接有圆弧板，所述圆弧板的底部开设有若干个排水孔。
优选的，所述冷却罐的内底部两侧固定连接有安装柱，所述安装柱的顶端固定连接有引导板。
优选的，所述冷却罐的底部固定连接有两个排水管，所述排水管的一端与水箱固定连接。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益的技术效果：本装置在冷却罐的两端设置有可拆卸的密封盖，且冷却罐内底部还设置有引导沉积炉本体安装与拆卸的引导板，由此便可达到便于安装与拆卸沉积炉本体的效果，此外冷却罐中还安装有较长的圆弧板，大面积的圆弧板位于沉积炉上方再通过其底部多若干个排水孔可以有效的将冷却水均匀、大面积的洒在沉积炉上，由此便可以实现更加有效的散热效果。
附图说明
图1给出了本实用新型一种实施例的结构示意图；
图2为冷却罐分解结构示意图；
图3为密封盖立体结构示意图；
图4为圆弧板立体结构示意图。
附图标记：1、水箱；2、支撑柱；3、冷却罐；31、一号孔；32、安装柱；33、引导板；4、沉积炉本体；5、密封盖；51、通孔；52、三号孔；53、滚珠轴承；6、水泵；7、导水管；8、输水管；9、圆弧板；10、排水孔；11、排水管。
具体实施方式
下文结合附图和具体实施例对本实用新型的技术方案做进一步说明。
实施例一
如图1-3所示，本实用新型提出的一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，包括水箱1、冷却罐3和沉积炉本体4，还包括用于封闭冷却罐3两端的两个密封盖5，冷却罐3的两端开设有一号孔31，两个密封盖5的表面开设有三号孔52，密封盖5通过三号孔52与冷却罐3两端的一号孔31通过螺栓为可拆卸连接，由于长时间与水接触导致沉积炉外壁会有损坏，所以通过设计可拆卸的密封盖5便于操作者取出与安装沉积炉本体4，增加了本装置的便利性，冷却罐3的内底部两侧固定连接有安装柱32，安装柱32的顶端固定连接有引导板33，引导板33的设计用于在安装沉积炉时引导沉积炉进入到冷却罐3的内部，且引导板33底部的安装柱32还可以为沉积炉本体4提供支撑，密封盖5的表面位于另一组二号孔之间开设有通孔51，通孔51的内壁固定连接有滚珠轴承53，滚珠轴承53的设计用于辅助沉积炉本体4的旋转。
基于实施例一的工作原理是：在使用本装置前，首先将沉积炉本体4安装入冷却罐3内部，其具体的安装步骤是：首先将冷却罐3两端的密封盖5取出，然后将沉积炉本体4的一端插入冷却罐3内并放置在引导板33上，推动沉积炉本体4使得其另一端从冷却罐3的一端探出后，便可以将两个密封盖5上的通
孔51与沉积炉对应，密封板穿过沉积炉本体4后通过螺栓固定在冷却罐3的两端，由此便完成了安装工作。
实施例二
如图1和图4所示，基于实施例一的基础上，本实用新型提出的一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，水箱1的顶部固定连接有支撑柱2，支撑柱2的顶端与冷却罐3固定连接，支撑柱2用于支撑冷却罐3的重量，提高本装置的安全性，水箱1的顶部一侧固定连接有水泵6，水泵6的一端固定连接有导水管7，导水管7的一端延伸至水箱1的内部，导水管7延伸至冷却罐3的上方的另一端固定连接有若干个输水管8，输水管8的一端均贯穿与冷却罐3延伸至其内部固定连接有圆弧板9，圆弧板9的底部开设有若干个排水孔10，呈圆弧形状的板体可以覆盖冷却罐3顶部的大部分面积，且数个排水孔10的开设可将水流均匀的分散，配合自动旋转的沉积炉本体4可以实现将水流均匀的、大范围的喷洒到沉积炉的外壁上，由此来增加散热效果，冷却罐3的底部固定连接有两个排水管11，排水管11的一端与水箱1固定连接，排水管11的设计用于将冷却罐3内的水输送至水箱1中进行二次利用。
本实施例中，在使用本装置进行冷却工作时，首先启动水泵6将水箱1内的水抽出并通过导水管7以及输水管8输送至圆弧板9的内部，再通过圆弧板9底部的排水孔10滴落到旋转的沉积炉本体4表面，由此来对沉积炉进行散热工作，而使用过的水便可以通过排水管11排入水箱1中进行二次利用。
上述具体实施例仅仅是本实用新型的几种优选的实施例，基于本实用新型的技术方案和上述实施例的相关启示，本领域技术人员可以对上述具体实施例做出多种替代性的改进和组合。
Claims (5)
1.一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，包括水箱(1)、冷却罐(3)和沉积炉本体(4)，其特征在于：还包括用于封闭冷却罐(3)两端的两个密封盖(5)，所述冷却罐(3)的两端开设有一号孔(31)，两个所述密封盖(5)的表面开设有三号孔(52)，所述密封盖(5)通过三号孔(52)与冷却罐(3)两端的一号孔(31)通过螺栓为可拆卸连接，所述密封盖(5)的表面位于另一组二号孔之间开设有通孔(51)，所述通孔(51)的内壁固定连接有滚珠轴承(53)。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，其特征在于，所述水箱(1)的顶部固定连接有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)的顶端与冷却罐(3)固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，其特征在于，所述水箱(1)的顶部一侧固定连接有水泵(6)，所述水泵(6)的一端固定连接有导水管(7)，所述导水管(7)的一端延伸至水箱(1)的内部，所述导水管(7)延伸至冷却罐(3)的上方的另一端固定连接有若干个输水管(8)，所述输水管(8)的一端均贯穿与冷却罐(3)延伸至其内部固定连接有圆弧板(9)，所述圆弧板(9)的底部开设有若干个排水孔(10)。
4.根据权利要求1所述的一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，其特征在于，所述冷却罐(3)的内底部两侧固定连接有安装柱(32)，所述安装柱(32)的顶端固定连接有引导板(33)。
5.根据权利要求3所述的一种旋转式气相沉积炉用冷却机构，其特征在于，所述冷却罐(3)的底部固定连接有两个排水管(11)，所述排水管(11)的一端与水箱(1)固定连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320846026.2U CN219342278U (zh) | 2023-04-17 | 2023-04-17 | 一种旋转式气相沉积炉用冷却机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320846026.2U CN219342278U (zh) | 2023-04-17 | 2023-04-17 | 一种旋转式气相沉积炉用冷却机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN219342278U true CN219342278U (zh) | 2023-07-14 |
Family
ID=87076038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320846026.2U Active CN219342278U (zh) | 2023-04-17 | 2023-04-17 | 一种旋转式气相沉积炉用冷却机构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN219342278U (zh) |
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2023
- 2023-04-17 CN CN202320846026.2U patent/CN219342278U/zh active Active
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