CN219276288U - 金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统 - Google Patents
金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型提出一种金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,包括有:轴箱冷却容器;轴箱冷却水路,连接在轴箱冷却容器和各个主辊轴承箱之间,用以将从轴箱冷却容器中输出且经过冷却的冷却液输送到各个主辊轴承箱对各个主辊轴承箱进行冷却;轴箱回水回路,用以将流经过各个主辊轴承箱的冷却液输送至轴箱冷却容器;切割液单元,切割液单元包括有:换热装置,连接在轴箱回水回路上,能够将各个主辊轴承箱释放到轴箱回水回路中的热量传递给切割液单元中的切割液。本实用新型提出的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,利用切片机轴承箱冷却系统的冷却液热量对切割液保持温度恒定,使切割液温度维持在设定范围内,保证切割液不变质,不分解。
Description
技术领域
本实用新型涉及金刚线晶硅切片机技术领域,具体涉及一种金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统的改进。
背景技术
切片机正常运行切割过程中,需要切削液对金刚线和硅片进行冷却和润滑,切削液是由切割液和纯水按一定的确定的比例配比而成。切割液具有不稳定性,在夏季温度超过30℃,冬季温度低于15℃时容易产生分解,变质。分解,变质后的切割液再和纯水混合而成切削液会对切片机切割硅片产生影响,容易形成线痕。
本背景技术所公开的上述信息仅仅用于增加对本申请背景技术的理解,因此,其可能包括不构成本领域普通技术人员已知的现有技术。
发明内容
本实用新型针对现有技术中切割液存在的上述技术问题,提出一种金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,利用切片机轴承箱冷却系统的冷却液热量使得切割液保持温度恒定,使切割液温度维持在设定范围内,保证切割液不变质,不分解,从而保证切割硅片正常进行。
为实现上述实用新型目的,本实用新型采用下述技术方案予以实现:
一种金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,包括有:
轴箱冷却单元,包括有:
轴箱冷却容器;
轴箱冷却水路,连接在轴箱冷却容器和各个主辊轴承箱之间,用以将从轴箱冷却容器中输出且经过冷却的冷却液输送到各个主辊轴承箱对各个主辊轴承箱进行冷却;
轴箱回水回路,用以将流经过各个主辊轴承箱的冷却液输送至轴箱冷却容器;
切割液单元,所述切割液单元包括有:
换热装置,连接在所述轴箱回水回路上,能够将各个主辊轴承箱释放到轴箱回水回路中的热量传递给切割液单元中的切割液。
在本申请的一些实施例中,还包括有冷却模块,用以和轴箱冷却水路进行热交换以冷却轴箱冷却水路中冷却液。
在本申请的一些实施例中,所述冷却模块包括有:冷水水路;
换热器,所述换热器同时连接在所述轴箱冷却水路和所述冷水水路上。
在本申请的一些实施例中,所述切割液单元包括有:切割液容器,在所述切割液容器底部设置有所述换热装置;
以及连接在所述切割液容器上的切割液输送管路,在所述切割液输送管路上设置有切割动力元件。
在本申请的一些实施例中,所述轴箱回水回路包括有:
总回水管;
以及和所述总回水管连接的第一回水回路;
第二回水回路,与第一回水回路并行排列布置,在所述第二回水回路上连接有所述换热装置和用以控制第二回水回路水流量的流量控制阀。
在本申请的一些实施例中,在所述换热装置和所述切割液容器之间设置有导热硅胶片,在所述切割液容器外侧覆盖有保温层。
在本申请的一些实施例中,还包括:主控器,在所述切割液容器内设置有温度传感器,所述主控器与所述温度传感器、流量控制阀通讯连接。
在本申请的一些实施例中,
所述换热装置包括有:
换热本体,在所述换热本体内设置有热流道组,所述热流道组包括有多条并行排列布置的流道,多条流道相互连通形成单一流向的流动通道,所述流动通道上设置有冷却液入口部和冷却液出口部。
在本申请的一些实施例中,还包括有安装支架,所述换热装置通过所述安装支架安装在所述切割液容器的底部。
在本申请的一些实施例中,所述切割液输送管路与切削液容器连通。
本实用新型的优点和积极效果:
本实用新型中金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,利用切片机的轴箱冷却单元中经过各个主辊的轴承箱的带有热量的冷却液输送到换热装置中,与切割液容器中的切割液进行热交换对切割液进行保温,使切割液温度维持在设定的温度范围内,保证切割液不变质,不分解,从而保证切割硅片的正常进行。
金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统利用冷却完轴承箱以后的带有热量的冷却液对切割液进行温度调节,实现了热量的再利用,不需要额外消耗电能,热能,具有节能环保,充分利用热能的效果。
结合附图阅读本实用新型的具体实施方式后,本实用新型的其他特点和优点将变得更加清楚。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统的整体结构示意图;
图2为本实用新型实施例金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统的轴箱冷却单元和轴承箱配合的结构示意图;
图3为本实用新型实施例金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统的切割液单元和轴箱冷却容器配合连接的结构示意图;
图4为本实用新型实施例金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统的切割液单元的结构示意图;
图5为本实用新型实施例金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统的换热装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是,在本实用新型的描述中,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖”、“横”、“内”、“外”等指示的方向或位置关系的术语是基于附图所示的方向或位置关系,这仅仅是为了便于描述,而不是指示或暗示所述装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
本实用新型提出一种金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统的实施例。
金刚线晶硅切片机包括有:轴承箱,轴承箱是一种轴承套外圆轴线与旋转中心轴轴线平行且重合的组合件,此组合件是切片机运转的核心组件,一台切片机一般附带4个轴承箱。
为实现对各个轴承箱的冷却降温,金刚线晶硅切片机相应的设置有轴箱冷却单元,轴箱冷却单元,主要用以对各个主辊对应的轴承箱进行降温。
其具体结构包括有:
轴箱冷却容器100;
轴箱冷却水路200,连接在轴箱冷却容器100和各个主辊的轴承箱之间,用以将从轴箱冷却容器100中输出且经过冷却的冷却液输送到各个主辊的轴承箱对各个主辊的轴承箱进行冷却;
轴箱回水回路300,用以将流经过各个主辊的轴承箱的冷却液输送至轴箱冷却容器100;
在本申请的一些实施例中,在轴箱冷却容器100和各个主辊的轴承箱之间的轴箱冷却水路200上还设置有冷却模块600,用以和轴箱冷却水路200进行热交换以冷却轴箱冷却水路200中的冷却液。
从轴箱冷却容器100中流出的冷却液会经过轴箱冷却水路200,在经过轴箱冷却水路200时,会通过冷却模块600进行热交换被冷却,被冷却后的冷却液被输送到各个主辊的轴承箱内对各个轴承箱进行冷却,流经过各个轴承箱的冷却液吸收轴承箱中的热量后从各个轴承箱中流出,从轴承箱中流出的冷却液吸收热量后温度升高,然后通过轴箱回水回路300再回流到轴箱冷却容器100中。
轴箱冷却容器100可选用轴箱冷却箱,为驱动冷却水的循环流动,在轴箱冷却水路200上还设置有轴箱动力元件,轴箱动力元件可选用轴箱动力泵,通过轴箱动力元件的作用可驱动冷却液在轴箱冷却水路200、轴箱回水回路300和轴箱冷却容器100之间循环流动。
经过各个轴承箱吸热后的冷却液回流到轴箱冷却容器100中后会在轴箱动力元件作用下继续从轴箱冷却容器100中流出,进入到轴箱冷却水路200中,经过轴箱冷却水路200时,会通过冷却模块600,经过冷却模块600时会和冷却模块600进行热交换,经过热交换的轴箱冷却水路200中冷却液温度降低,温度降低后的轴箱冷却水路200中的冷却液继续进入到各个主辊的轴承箱内对各个轴承箱进行冷却作业。
切割液单元400,用于存储输送切割液,切割液是一种主要介质,按一定比例与纯水混合后可形成切削液。切削液也是一种介质,由切割液和纯水混合后用来冷却和润滑金刚线、硅片。
切割液具有不稳定性,在夏季温度超过30℃,冬季温度低于15℃时容易产生分解,变质。分解,变质后的切割液再和纯水混合而成切削液会对切片机切割硅片产生影响,容易形成线痕。
所述切割液单元400包括有:
换热装置500,连接在所述轴箱回水回路300上,能够将各个主辊的轴承箱释放到轴箱回水回路300中的热量传递给切割液单元400中的切割液。
通过切割液单元400中的换热装置500,可将各个主辊的轴承箱中散发到轴箱回水回路300中的热量传递给切割液,使得切割液温度保持相对恒定。
在本申请的一些实施例中,所述切割液单元400包括有:切割液容器410以及连接在所述切割液容器410上的切割液输送管路420,在所述切割液容器410底部设置有所述换热装置500,在所述切割液输送管路420上设置有切割动力元件430。
在本申请的一些实施例中,所述切割液输送管路420与切削液容器910连通。
切割动力元件430为切割动力泵。
切割液输送管路420用于向切削液容器910中输送切割液。切割动力泵用以将切割液容器410中的切割液通过切割液输送管路420输送到切削液容器910中去。
切削液容器910上还连接有纯水输送管路,切割液和纯水均输送到切削液容器910中混合后形成切削液。
由于换热装置500连接在轴箱回水回路300上,从轴箱回水回路300中流动的带有热量的冷却液会进入到换热装置500内部,由于换热装置500位于切割液容器410内,流经过换热装置500的冷却液则会和位于切割液容器410中的切割液进行热交换,释放热量并将热量传递给切割液容器410中的切割液,使得切割液保持温度相对恒定,经过换热后的冷却液从换热装置500流出后会继续通过轴箱回水回路300回流到轴箱冷却容器100内部。
在本申请的一些实施例中,换热装置500包括有多块相互连接的换热板,多块换热板分别贴合切割液容器410的四周侧壁和底壁设置,在每一块换热板中均布置有换热流道,多块换热板的换热流道相互连通,在其中一块换热板上设置有换热流道入口,在另一块换热板上设置换热流道出口。
通过换热流道入口和换热流道出口分别和轴箱回水回路300连通。
在本申请的一些实施例中,多块换热板可在其内部单独设置换热通道,每个换热通道单独设置入口和出口,多块换热板呈并联连接,其入口均通过一入口总管和轴箱回水回路300连接,出口均通过一出口总管和轴箱回水回路300连接。
为实现换热装置500和轴箱回水回路300的连接,换热装置500两端分别连接进水组件和出水组件,进水组件包括有进水管段和进水管接头,出水组件包括有出水管段和出水管接头,在连接时,通过进水管接头和出水管接头连接到轴箱回水回路300上。
进水组件,用于轴承箱中的冷却液导入到换热装置500中。
出水组件,用于轴承箱的冷却水从换热装置500输送回到轴箱冷却系统中。
本实施例中金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统:利用切片机的轴箱冷却单元中经过各个主辊的轴承箱的带有热量的冷却液输送到换热装置500中,与切割液容器410中的切割液进行热交换对切割液进行保温,使切割液温度维持在设定的温度范围内,保证切割液不变质,不分解,从而保证切割硅片的正常进行。
本实施例中的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统利用冷却完轴承箱以后的带有热量的冷却液对切割液进行温度调节,实现了热量的再利用,不需要额外消耗电能,热能,具有节能环保,充分利用热能的效果。
在本申请的一些实施例中,所述冷却模块600包括有:冷水水路610;
换热装置500,所述换热装置500同时连接在所述轴箱冷却水路200和所述冷水水路610上。
冷水水路610包括有冷水进水管路和冷水出水管路。
换热器620具有2个换热通路,冷水进水管路和冷水出水管路连接在其中一根换热通路上;
轴箱冷却水路200则连接在换热器620的另一条换热通路上。
在本申请的一些实施例中,所述轴箱回水回路300包括有:
总回水管310;
以及和所述总回水管310连接的第一回水回路320;
第二回水回路330,与第一回水回路320并行排列布置,在所述第二回水回路330上连接有所述换热装置500和用以控制第二回水回路330水流量的流量控制阀340。
流经过各个主辊的轴承箱的冷却液全部汇流到总回水管310内,一部分通过第一回水回路320回流到轴箱冷却容器100中,另一部分则经过换热装置500和切割液进行热交换后再回流到轴箱冷却容器100中。
流量控制阀340为马达阀,用于控制冷却液进入到换热装置500的流量。
在本申请的一些实施例中,在所述换热装置500和所述切割液容器410之间设置有导热硅胶片700,在换热装置500和切割液箱之间粘贴导热硅胶片700,可使换热装置500中冷却液的热量快速传递到切割液容器410上,进而将热量快速传递到位于切割液容器410中的切割液上。
在本申请的一些实施例中,在所述切割液容器410外侧覆盖有保温层800。切割液容器410可选用切割液箱,切割液箱外部覆盖保温层800,用于降低环境温度对切割液箱内部的切割液温度的影响。
在本申请的一些实施例中,还包括:主控器,
为实现对切割液容器410中的切割液温度的检测,在所述切割液容器410内设置有温度传感器440,用于检测切割液箱内部切割液温度,并反馈温度信号给主控器。
所述主控器与所述温度传感器440、流量控制阀340通讯连接。
流量控制阀340主要用以对从轴承箱进入到换热装置500中的冷却液的流量进行控制,通过温度传感器440测量切割液箱内的实际温度,在主控器内可预存有设定温度,主控器能够对温度传感器440检测的温度值和设定温度的进行比较,通过比较反馈结果来控制流量控制阀340的开度。
流量控制阀340开度大,轴承箱冷却液进入到换热装置500的流量大,换板装置热交换能力加强,流量控制阀340开度小轴承箱冷却液流量小,换热装置500热交换能力减弱。
在本申请的一些实施例中,
所述换热装置500包括有:
换热本体,在所述换热本体内设置有热流道510组,所述热流道510组包括有多条并行排列布置的流道510,多条流道510相互连通形成单一流向的流动通道,所述流动通道上设置有冷却液入口部520和冷却液出口部530。
换热装置500可选用换热板成型,换热板材质为铝合金,镁合金,钛合金或者钛钯合金。冷却液出口部530分别为冷却液入水口和冷却液出水口。
流道510为在换热板内部开设的一定数量两端贯通的圆形通道,在成型时,用热流道丝堵将换热板的圆形通道封堵,使多个圆形通道形成单向的流动通道,仅仅保留一个冷却液入口部520和一个冷却液出口部530。
在本申请的一些实施例中,还包括有安装支架900,所述换热装置500通过所述安装支架900安装在所述切割液容器410的底部。安装支架900主要用于安装固定换热装置500。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,包括有:
轴箱冷却单元,包括有:
轴箱冷却容器;
轴箱冷却水路,连接在轴箱冷却容器和各个主辊的轴承箱之间,用以将从轴箱冷却容器中输出且经过冷却的冷却液输送到各个主辊的轴承箱对各个主辊的轴承箱进行冷却;
轴箱回水回路,用以将流经过各个主辊的轴承箱的冷却液输送至轴箱冷却容器;
切割液单元,所述切割液单元包括有:
换热装置,连接在所述轴箱回水回路上,能够将各个主辊的轴承箱释放到轴箱回水回路中的热量传递给切割液单元中的切割液。
2.根据权利要求1所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,还包括有:冷却模块,用以和轴箱冷却水路进行热交换以冷却轴箱冷却水路中冷却液。
3.根据权利要求2所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,所述冷却模块包括有:冷水水路;
换热器,所述换热器同时连接在所述轴箱冷却水路和所述冷水水路上。
4.根据权利要求2所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,所述切割液单元包括有:切割液容器,在所述切割液容器底部设置有所述换热装置;
以及连接在所述切割液容器上的切割液输送管路,在所述切割液输送管路上设置有切割动力元件。
5.根据权利要求2所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,所述轴箱回水回路包括有:
总回水管;
以及和所述总回水管连接的第一回水回路;
第二回水回路,与第一回水回路并行排列布置,在所述第二回水回路上连接有所述换热装置和用以控制第二回水回路水流量的流量控制阀。
6.根据权利要求4所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,在所述换热装置和所述切割液容器之间设置有导热硅胶片,在所述切割液容器外侧覆盖有保温层。
7.根据权利要求4所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,还包括:主控器,在所述切割液容器内设置有温度传感器,所述主控器与所述温度传感器、流量控制阀通讯连接。
8.根据权利要求2所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,
所述换热装置包括有:
换热本体,在所述换热本体内设置有热流道组,所述热流道组包括有多条并行排列布置的流道,多条流道相互连通形成单一流向的流动通道,所述流动通道上设置有冷却液入口部和冷却液出口部。
9.根据权利要求4所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,还包括有安装支架,所述换热装置通过所述安装支架安装在所述切割液容器的底部。
10.根据权利要求4所述的金刚线晶硅切片机的切割液温度调节系统,其特征在于,所述切割液输送管路与切削液容器连通。
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