CN219260190U - 一种石墨舟 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种石墨舟，包括：若干依次交错分布的石墨舟片和位于石墨舟片的两端且用于为其提供承载支点的承载装置；承载装置包括上下设置的两组导电安装架，导电安装架包括正极连接部和负极连接部，正极连接部和所述负极连接部之间通过绝缘件进行绝缘；正极连接部和负极连接部均包括多个石墨块以及石墨杆，在相邻的两个石墨舟片端部之间设置所述石墨块，石墨杆穿设于石墨舟片和石墨块将位于同一正极连接部或者负极连接部上的所有石墨舟片和石墨块串联固定；通过用两根石墨杆替换整根陶瓷杆，在不短路的情况下，起到增强导电性同时兼具支撑、带有韧性效果的作用，从而改善石墨舟因舟片与石墨块接触不好导致喷舟的现象，降低现场制程的返工率。

Description

一种石墨舟

技术领域

本申请涉及太阳能电池片生产技术领域，特别是涉及一种石墨舟。

背景技术

管式PECVD是当前光伏太阳能行业用于沉积钝化、减反射膜的主流机台，石墨舟是用于氮化硅薄膜沉积的工具载体，待工艺的硅片插贴在石墨舟片上，腔体内通入的特气在射频电源的作用下，被电离成等离子体，在电场的作用下做定向运动，沉积到硅片上形成氮化硅薄膜。

目前石墨舟的电极块使用的支撑杆为陶瓷杆，且全部为整根的，导电是靠舟片与石墨块接触导电，但由于在使用过程中往往由于螺母松动导致舟片与石墨块接触性变差而影响导电性，因此容易出现因导电性不好而导致的射频中断或打火喷舟的情况，产生镀膜沉积不良品；同时陶瓷杆韧性差会因热胀冷缩现象出现陶瓷杆断裂的情况；另外，由于石墨舟电极的接触方式，如果用整根的石墨杆做为支撑杆同时增强导电性，会由于正负极的短路，导致不能正常运行工艺。

实用新型内容

本申请提供一种石墨舟，为解决陶瓷杆支撑石墨块与石墨舟片导致导电性不好，产生镀膜沉积不良品，或是采用整根石墨杆支撑导致石墨舟正负极易短路，工艺不能正常运行的问题。

根据一些实施例，本申请提供了一种石墨舟，包括若干依次交错分布的石墨舟片和位于所述石墨舟片的两端且用于为其提供承载支点的承载装置，所述承载装置包括上下设置的两组导电安装架，所述导电安装架包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部和所述负极连接部之间通过绝缘件进行绝缘，正极连接部和所述负极连接部均包括多个石墨块以及石墨杆，在相邻的两个所述石墨舟片端部之间设置所述石墨块，所述石墨杆穿设于所述石墨舟片和石墨块将位于同一所述正极连接部或者所述负极连接部上的所有石墨舟片和石墨块串联固定。

优选的是，所述正极连接部和所述负极连接部的石墨杆均与所述绝缘件可拆卸链接。

优选的是，所述绝缘件包括绝缘环，所述正极连接部的石墨杆和所述负极连接部的石墨杆相互靠近的一端均套设于所述绝缘环内，且两根所述石墨杆的端部在所述绝缘环内彼此之间留有间隙。

优选的是，所述绝缘环的内周壁设置有内螺纹，所述石墨杆的外周壁设置有外螺纹，所述石墨杆螺纹连接于所述绝缘环内。

优选的是，所述绝缘环的内部设置有隔片，所述隔片将所述绝缘环的内部分隔为两部分，且分别用于供与所述正极连接部和所述负极连接部的石墨杆螺纹连接接。

优选的是，所述绝缘环设置为陶瓷环。

优选的是，所述正极连接部和所述负极连接部关于所述绝缘环中心对称设。

优选的是，所述正极连接部的石墨杆和所述负极连接部的石墨杆的长度相等。

优选的是，所述正极连接部和所述负极连接部上的石墨块还通过整根陶瓷杆串联固定，所述陶瓷杆和两根所述石墨杆并列设置。

优选的是，所述正极连接部和所述负极连接部的连接处还设置有隔离环，所述陶瓷杆穿设于所述隔离环内并将所有的所述石墨块串联固定。

本公开的实施例至少具有以下优点：

第一、通过两根石墨杆分别将位于同一正极连接部或者负极连接部上的多个石墨块和石墨舟片串联固定，并在正极连接部与负极连接部之间设置绝缘件进行绝缘，避免正极连接部和负极连接部上的石墨杆导电而出现短路；通过石墨杆的设置增强了石墨舟片与正极连接部或是负极连接部之间的接触程度，进而增强了导电性，一定程度上也降低了舟片与电极块接触不好引起的打火喷舟现象且石墨杆韧性比陶瓷杆强，避免了陶瓷杆因韧性差会因热胀冷缩现象出现陶瓷杆断裂的情况；

第二、两根石墨杆分别插入绝缘环中并抵接在绝缘环内部的隔片上与绝缘环螺纹连接，从而实现将正极连接部以及负极连接部之间隔离并连接，通过绝缘环连接两根石墨杆，可避免正极连接部与负极连接部出现短路问题，进而避免导致工艺不能正常运作。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例中改造前石墨舟的前视图；

图2是本申请实施例中改造后石墨舟的前视图；

图3是本申请实施例中石墨舟的局部俯视图；

图4是本申请实施例中两根石墨杆连接固定绝缘环的组装关系示意图；

图5是图4中的A部放大图；

图6是本申请实施例中陶瓷杆和隔离环的组装关系示意图；

图7是图6中的B部放大图。

附图说明：1、石墨舟；11、石墨舟片；2、陶瓷块；3、导电安装架；31、石墨块；32、石墨杆；4、绝缘环；41、隔片；5、陶瓷杆；6、隔离环。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本申请各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本申请的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合，相互引用。

请参照图1所示，现有的石墨舟1在炉管内是一前一后设置，但由于在使用过程中炉管内与石墨舟1的电极块接触的电极容易发生位移，不容易维修，因此将位于炉管内的电极挪到了炉口位置，并在正、负电极的接触部分通过陶瓷块2进行绝缘；针对此种结构设置的石墨舟通过使用两根并列设置的整根的陶瓷杆对石墨块进行支撑固定，导电是靠石墨舟片与石墨块接触导电，但往往由于在使用过程中设置在石墨块与石墨舟片之间的螺母松动导致石墨舟片与石墨块接触性变差而影响导电性，进而出现因导电性不好而导致的射频中断或打火喷舟的情况，产生镀膜沉积不良品；同时由于陶瓷杆韧性差会因热胀冷缩现象出现陶瓷杆断裂的情况；但是若都改为用整根的石墨杆做为支撑杆同时增强导电性，会由于正负极的短路，不能正常运行工艺。

因此，本实施例采用两根二分之一长度的增强导电性的石墨杆代替原来的其中一根等长的绝缘陶瓷杆，同时将原有用于绝缘的陶瓷块替换为内部中间隔离开且带丝扣螺纹的绝缘环，起到固定石墨杆及绝缘的作用；此种设计结构增强了石墨舟片与电极块之间的接触程度，增强了导电性，一定程度上降低了石墨舟片与电极块接触不好引起的打火喷舟现象，降低了不良品的产生引起的返工率增加。

以下结合附图对本实施例提供的一种石墨舟进行详细说明，参照图2所示，包括：若干依次交错分布的石墨舟片11和位于石墨舟片11的两端且用于为其提供承载支点的承载装置，承载装置包括上下设置的两组导电安装架3，每组导电安装架3均包括正极连接部和负极连接部，正极连接部和负极连接部之间通过绝缘件进行绝缘。

正极连接部和负极连接部均包括多个石墨块31以及石墨杆32，在相邻的两个石墨舟片11端部之间设置石墨块31，石墨块31上设有供石墨杆32穿设的第一穿孔，石墨杆32穿设于石墨舟片11和石墨块31的第一穿孔以将位于同一正极连接部或者负极连接部上的所有石墨舟片11和石墨块31串联固定。通过石墨块31以及石墨杆32的设置，将正极连接部以及负极连接部分别连接，通过石墨杆32的连接作用，增强石墨舟片11与石墨块31的导电性。

请参照图2、图3所示，正极连接部和负极连接部还通过一整根陶瓷杆5连接固定，陶瓷杆5和石墨杆32并列设置，石墨块31上还设有供陶瓷杆5穿设的第二穿孔，陶瓷杆5穿设于石墨舟片11和石墨块31的第二穿孔以将正极连接部和负极连接部上的所有石墨舟片11和石墨块31串联固定；因此在正极连接部和负极连接部不短路的情况下使用整根的陶瓷杆5进行支撑以及使用两根石墨杆32分别进行导电，因此既能提升整舟的导电性，同时又能兼顾良好的固定性。

请参照图3、图4以及图5所示，在本实施例中，需要说明的是，绝缘件设置于正极连接部和负极连接部连接的位置处，绝缘件设置为与两根石墨杆32相对应且均可拆卸链接。绝缘件包括绝缘环4，两根石墨杆32相互靠近的端部套设绝缘环4内且彼此之间留有间隙，该绝缘环4的内周壁设置有内螺纹，石墨杆32的外周壁设置有外螺纹，石墨杆32螺纹连接于绝缘环4内，从而实现石墨杆32与绝缘环4的可拆卸连接。另外，为了避免两根石墨杆32在绝缘环4内的短路，在该绝缘环4的内部设置有隔片41，隔片41将绝缘环4的内部分隔为两部分，且分别用于供与正极连接部和负极连接部的石墨杆32螺纹连接。

通过石墨杆32的设置，一方面增强了对石墨舟片11的支撑，同时也增强了石墨舟片11与正极连接部或是负极连接部之间的接触程度，进而增强了导电性，一定程度上也降低了石墨舟片11与电极块接触不好引起的打火喷舟现象。而采用内部带有隔片41的绝缘环4连接两根石墨杆32，可避免正极连接部与负极连接部出现短路问题，进而避免导致工艺不能正常运作。

请参照图3、图6以及图7所示，在正极连接部和负极连接部的连接处还设置有隔离环6，隔离环6和绝缘环4并列设置并且与陶瓷杆5相适配，陶瓷杆5穿设于正极连接部的石墨块31、隔离环6以及负极连接部的石墨块31以将所有的石墨块31串联固定。

这里的绝缘环4和隔离环6均设置为陶瓷环，也可以采用其他质地相对硬且可绝缘的材质设置为绝缘环4和隔离环6，本申请不做一一列举，只要在本申请实施例上述精神原则之内的，均属于本申请的保护范围。

作为一种可选的实施方式，参照图3所示，正极连接部和负极连接部关于绝缘环4中心对称设置，也即正极连接部的石墨杆32和负极连接部的石墨杆32的长度相等。在通过石墨杆32将石墨块31连接起来分别形成正极连接部和负极连接部后，正极连接部与负极连接部之间通过绝缘环4隔离。

本实施例的实施原理：在正极连接部与负极连接部之间设置绝缘环4，在正极连接部与负极连接部之间设置的绝缘环4的两端分别连接石墨杆32，石墨杆32的一端穿设过对应的正极连接部的多个石墨块31及石墨舟片11或是对应的负极连接部的多个石墨块31及石墨舟片11，从而将多个石墨块31、石墨舟片11相连，通过石墨杆32的设置增强了石墨舟片11与正极连接部或是负极连接部之间的接触程度，进而增强了导电性，一定程度上也降低了石墨舟片11与电极块接触不好引起的打火喷舟现象；石墨杆32的另一端分别插入绝缘环4中并抵接在绝缘环4内部的隔片41上与绝缘环4螺纹连接，从而实现将正极连接部以及负极连接部之间隔离并连接，通过绝缘环4连接两根石墨杆32，可避免正极连接部与负极连接部出现短路问题，进而避免导致工艺不能正常运作。

应当理解的是，本申请的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本申请的原理，而不构成对本申请的限制。因此，在不偏离本申请的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。此外，本申请所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (10)

1.一种石墨舟，其特征在于，包括：若干依次交错分布的石墨舟片(11)和位于所述石墨舟片(11)的两端且用于为其提供承载支点的承载装置；

所述承载装置包括上下设置的两组导电安装架(3)，所述导电安装架(3)包括正极连接部和负极连接部，所述正极连接部和所述负极连接部之间通过绝缘件进行绝缘；

所述正极连接部和所述负极连接部均包括多个石墨块(31)以及石墨杆(32)，在相邻的两个所述石墨舟片(11)端部之间设置所述石墨块(31)，所述石墨杆(32)穿设于所述石墨舟片(11)和石墨块(31)将位于同一所述正极连接部或者所述负极连接部上的所有石墨舟片(11)和石墨块(31)串联固定。

2.根据权利要求1所述的一种石墨舟，其特征在于，所述正极连接部和所述负极连接部的石墨杆(32)均与所述绝缘件可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的一种石墨舟，其特征在于，所述绝缘件包括绝缘环(4)，所述正极连接部的石墨杆(32)和所述负极连接部的石墨杆(32)相互靠近的一端均套设于所述绝缘环(4)内，且两根所述石墨杆(32)的端部在所述绝缘环(4)内彼此之间留有间隙。

4.根据权利要求3所述的一种石墨舟，其特征在于，所述绝缘环(4)的内周壁设置有内螺纹，所述石墨杆(32)的外周壁设置有外螺纹，所述石墨杆(32)螺纹连接于所述绝缘环(4)内。

5.根据权利要求4所述的一种石墨舟，其特征在于，所述绝缘环(4)的内部设置有隔片(41)，所述隔片(41)将所述绝缘环(4)的内部分隔为两部分，且分别用于供与所述正极连接部和所述负极连接部的石墨杆(32)螺纹连接。

6.根据权利要求3所述的一种石墨舟，其特征在于，所述绝缘环(4)设置为陶瓷环。

7.根据权利要求3-6中任意一项所述的一种石墨舟，其特征在于，所述正极连接部和所述负极连接部关于所述绝缘环(4)中心对称设置。

8.根据权利要求7所述的一种石墨舟，其特征在于，所述正极连接部的石墨杆(32)和所述负极连接部的石墨杆(32)的长度相等。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的一种石墨舟，其特征在于，所述正极连接部和所述负极连接部上的石墨块(31)还通过整根陶瓷杆(5)串联固定，所述陶瓷杆(5)和两根所述石墨杆(32)并列设置。

10.根据权利要求9所述的一种石墨舟，其特征在于，所述正极连接部和所述负极连接部的连接处还设置有隔离环(6)，所述陶瓷杆(5)穿设于所述隔离环(6)内并将所有的所述石墨块(31)串联固定。

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