CN219226252U - 一种晶圆搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆搬运装置。搬运装置包括：壳体；驱动部，驱动部设于壳体，驱动部包括皮带和同步轮，同步轮转动带动皮带移动；直线导轨，直线导轨设于壳体；搬运部，搬运部沿直线导轨滑动，搬运部与皮带配合连接，皮带移动可带动搬运部沿直线导轨滑动，搬运部包括导轨制动器；传感器，传感器设于壳体上靠近皮带和同步轮的一端，传感器用于检测皮带的运行状态；控制装置，控制装置与传感器和导轨制动器通信连接，控制装置通过接收传感器的信号来控制导轨制动器的开启。本实用新型解决的问题是：相关技术中的技术方案无法及时地检测皮带的状态，以保证晶圆搬运装置在运行过程中的安全性。

Description

一种晶圆搬运装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆搬运装置技术领域，具体而言，涉及一种晶圆搬运装置。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，在晶圆的制备过程中，一般通过晶圆搬运装置运输晶圆进行升降移动，以使晶圆实现正常的生产流程。晶圆搬运装置通过伺服电机带动皮带以实现升降移动，当皮带长时间运行后，容易出现磨损、松弛甚至断裂的情况，此时晶圆搬运装置在运动过程中容易出现紧急坠落事故。现有技术往往通过检测皮带是否断裂来控制晶圆搬运装置的防坠装置的启动，而皮带断裂往往代表其磨损已经非常严重，在之前的使用过程中已有很大的安全隐患。

由此可见，相关技术中存在的问题是：相关技术中的技术方案无法及时地检测皮带的状态，以保证晶圆搬运装置在运行过程中的安全性。

实用新型内容

本实用新型解决的问题是：相关技术中的技术方案无法及时地检测皮带的状态，以保证晶圆搬运装置在运行过程中的安全性。

为解决上述问题，本实用新型的实施例提供了一种晶圆搬运装置，搬运装置包括：壳体；驱动部，驱动部设于壳体，驱动部包括皮带和同步轮，同步轮转动带动皮带移动；直线导轨，直线导轨设于壳体；搬运部，搬运部沿直线导轨滑动，搬运部与皮带配合连接，皮带移动可带动搬运部沿直线导轨滑动，搬运部包括导轨制动器；传感器，传感器设于壳体上靠近皮带和同步轮的一端，传感器用于检测皮带的运行状态；控制装置，控制装置与传感器和导轨制动器通信连接，控制装置通过接收传感器的信号来控制导轨制动器的开启。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：由于皮带具有一定长度，因此当皮带上下移动时，皮带的中段可能出现一定幅度的振动，若传感器设于与皮带中段靠近的位置，会存在一定的检测误差；而本方案将传感器设置在壳体上靠近皮带和同步轮的位置，能够准确地检测出皮带本身存在的振动或异常状态；本方案能够有效防止搬运装置在运动过程中出现紧急坠落事故，本方案结构简单、稳定性好，具有快速、精准控制的优点。

在本实用新型的一个实施例中，传感器为激光位移传感器。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：激光位移传感器能够准确地检测出皮带在运行过程中的振动情况，进而有效地增加了本方案检测结构的可靠性。

在本实用新型的一个实施例中，传感器与皮带的间距小于或等于第一阈值。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：本实施例的方案能够帮助传感器更加准确地获取皮带的运行状态。

在本实用新型的一个实施例中，传感器与同步轮的间距小于或等于第二阈值。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：本实施例的方案能够帮助传感器更加准确地获取皮带的运行状态。

在本实用新型的一个实施例中，传感器与壳体之间可拆卸地连接。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：传感器与壳体之间可拆卸地连接，能够使传感器的安装、维修和拆卸更加方便，提高了其日常使用的便捷性。

在本实用新型的一个实施例中，驱动部包括：伺服电机，伺服电机与同步轮配合连接，伺服电机通过带动同步轮转动来带动皮带移动。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：晶圆搬运装置的皮带需要上下运动，通过伺服电机和同步轮驱动皮带能够高效地满足晶圆搬运装置的需求，伺服电机通过正转和反转来控制皮带的上下运动。

在本实用新型的一个实施例中，搬运装置包括：固定板，固定板用于连接搬运部和皮带，固定板与搬运部和皮带之间均为可拆卸地连接。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：固定板与搬运部和皮带之间均为可拆卸地连接，当需要更换皮带时，可以较为方便地进行拆卸更换，进而提升了搬运装置使用过程的便捷性。

在本实用新型的一个实施例中，固定板与搬运部和皮带之间均通过螺纹连接。

与现有技术相比，采用该技术方案所达到的技术效果：螺纹连接简单可靠，在保证搬运部和皮带之间连接的稳定性的前提下，也提升了其拆卸更换的便捷性。

附图说明

图1为本实用新型一些实施例的晶圆搬运装置的结构示意图之一；

图2为图1中A部分放大图；

图3为本实用新型一些实施例的晶圆搬运装置的结构示意图之二；

图4为图3中B部分放大图；

图5为本实用新型一些实施例的晶圆搬运装置的结构示意图之三；

图6为图5中C部分放大图。

附图标记说明：

100-壳体；200-驱动部；210-皮带；220-同步轮；230-伺服电机；300-直线导轨；400-搬运部；410-导轨制动器；500-传感器；600-固定板。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施例做详细的说明。

参见图1至图6，本实施例提供一种晶圆搬运装置，搬运装置包括：壳体100；驱动部200，驱动部200设于壳体100，驱动部200包括皮带210和同步轮220，同步轮220转动带动皮带210移动；直线导轨300，直线导轨300设于壳体100；搬运部400，搬运部400沿直线导轨300滑动，搬运部400与皮带210配合连接，皮带210移动可带动搬运部400沿直线导轨300滑动，搬运部400包括导轨制动器410；传感器500，传感器500设于壳体100上靠近皮带210和同步轮220的一端，传感器500用于检测皮带210的运行状态；控制装置，控制装置与传感器500和导轨制动器410通信连接，控制装置通过接收传感器500的信号来控制导轨制动器410的开启。

需要说明的是，本实用新型的搬运装置垂直于水平面上下运动。

在本实施例中，搬运装置包括壳体100；驱动部200设于壳体100，驱动部200用于驱动搬运装置的上下运动，驱动部200通过电机驱动同步轮220转动，进而带动皮带210移动，为搬运装置提供动力；直线导轨300设于壳体100；搬运部400沿直线导轨300滑动，搬运部400设有晶圆搬运结构，搬运部400与皮带210配合连接，皮带210移动可带动搬运部400沿直线导轨300滑动，搬运部400还包括导轨制动器410，导轨制动器410可通过夹紧直线导轨300实现制动功能，导轨制动器410工作时，搬运部400无法在直线导轨300上滑动；传感器500，传感器500设于壳体100上靠近皮带210和同步轮220的一端，搬运装置包括上下两端2个同步轮220，传感器500可设于上端也可设于下端，传感器500用于检测皮带210的运行状态；控制装置与传感器500和导轨制动器410通信连接，其连接方式可以是电线连接，也可通过电磁波无线连接。

在实际应用过程中，驱动部200驱动皮带210转动，皮带210带动搬运部400上下运动，皮带210在安全状态下处于拉紧状态，当皮带210长时间运行使用后，皮带210出现磨损、松弛甚至断裂的情况，当皮带210产生松弛甚至断裂情况时，皮带210的运行状态会出现波动，与其安全状态下的拉紧状态会存在不同，传感器500会检测出皮带210的位置发生了偏差，当偏差达到一定阈值时，传感器500会传输信号至控制装置，控制装置控制直线导轨300上的导轨制动器410进行制动，导轨制动器410内部的强力弹簧结构利用强大的摩擦力夹紧直线导轨300，防坠负载垂直掉落。

可以理解地，由于皮带210具有一定长度，因此当皮带210上下移动时，皮带210的中段可能出现一定幅度的振动，若传感器500设于与皮带210中段靠近的位置，会存在一定的检测误差；而本方案将传感器500设置在壳体100上靠近皮带210和同步轮220的位置，能够准确地检测出皮带210本身存在的振动或异常状态；本方案能够有效防止搬运装置在运动过程中出现紧急坠落事故，本方案结构简单、稳定性好，具有快速、精准控制的优点。

进一步地，传感器500为激光位移传感器。

可以理解地，激光位移传感器能够准确地检测出皮带210在运行过程中的振动情况，进而有效地增加了本方案检测结构的可靠性。

进一步地，传感器500与皮带210的间距小于或等于第一阈值。

在本实施例中，传感器500用于检测皮带210的运行状态，因此传感器500需要设置在靠近皮带210的位置。

优选地，第一阈值取值范围为2cm-3cm。

可以理解地，本实施例的方案能够帮助传感器500更加准确地获取皮带210的运行状态。

进一步地，传感器500与同步轮220的间距小于或等于第二阈值。

在本实施例中，由于皮带210具有一定长度，皮带210在靠近同步轮220的一端更加稳定，其运行时的振动幅度更小，靠近同步轮220的皮带210的运行状态能够反映皮带210真实运行状态。

优选地，第二阈值的取值范围为2cm-5cm。

可以理解地，本实施例的方案能够帮助传感器500更加准确地获取皮带210的运行状态。

进一步地，传感器500与壳体100之间可拆卸地连接。

优选的，传感器500与壳体100之间通过螺纹连接。

可以理解地，传感器500与壳体100之间可拆卸地连接，能够使传感器500的安装、维修和拆卸更加方便，提高了其日常使用的便捷性。

进一步地，驱动部200包括：伺服电机230，伺服电机230与同步轮220配合连接，伺服电机230通过带动同步轮220转动来带动皮带210移动。

可以理解地，晶圆搬运装置的皮带210需要上下运动，通过伺服电机230和同步轮220驱动皮带210能够高效地满足晶圆搬运装置的需求，伺服电机230通过正转和反转来控制皮带210的上下运动。

进一步地，搬运装置包括：固定板600，固定板600用于连接搬运部400和皮带210，固定板600与搬运部400和皮带210之间均为可拆卸地连接。

可以理解地，固定板600与搬运部400和皮带210之间均为可拆卸地连接，当需要更换皮带210时，可以较为方便地进行拆卸更换，进而提升了搬运装置使用过程的便捷性。

进一步地，固定板600与搬运部400和皮带210之间均通过螺纹连接。

可以理解地，螺纹连接简单可靠，在保证搬运部400和皮带210之间连接的稳定性的前提下，也提升了其拆卸更换的便捷性。

虽然本实用新型披露如上，但本实用新型并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本实用新型的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (8)

1.一种晶圆搬运装置，其特征在于，所述搬运装置包括：

壳体(100)；

驱动部(200)，所述驱动部(200)设于所述壳体(100)，所述驱动部(200)包括皮带(210)和同步轮(220)，所述同步轮(220)转动带动所述皮带(210)移动；

直线导轨(300)，所述直线导轨(300)设于所述壳体(100)；

搬运部(400)，所述搬运部(400)沿所述直线导轨(300)滑动，所述搬运部(400)与所述皮带(210)配合连接，所述皮带(210)移动可带动所述搬运部(400)沿所述直线导轨(300)滑动，所述搬运部(400)包括导轨制动器(410)；

传感器(500)，所述传感器(500)设于所述壳体(100)上靠近所述皮带(210)和所述同步轮(220)的一端，所述传感器(500)用于检测所述皮带(210)的运行状态；

控制装置，所述控制装置与所述传感器(500)和所述导轨制动器(410)通信连接，所述控制装置通过接收所述传感器(500)的信号来控制所述导轨制动器(410)的开启。

2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述传感器(500)为激光位移传感器。

3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述传感器(500)与所述皮带(210)的间距小于或等于第一阈值。

4.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述传感器(500)与所述同步轮(220)的间距小于或等于第二阈值。

5.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述传感器(500)与所述壳体(100)之间可拆卸地连接。

6.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述驱动部(200)包括：

伺服电机(230)，所述伺服电机(230)与所述同步轮(220)配合连接，所述伺服电机(230)通过带动所述同步轮(220)转动来带动所述皮带(210)移动。

7.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，所述搬运装置包括：

固定板(600)，所述固定板(600)用于连接所述搬运部(400)和所述皮带(210)，所述固定板(600)与所述搬运部(400)和所述皮带(210)之间均为可拆卸地连接。

8.根据权利要求7所述的搬运装置，其特征在于，所述固定板(600)与所述搬运部(400)和所述皮带(210)之间均通过螺纹连接。

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