CN2191933Y

CN2191933Y - 旋片直联干式全无油真空泵

Info

Publication number: CN2191933Y
Application number: CN 94211067
Authority: CN
Inventors: 徐懋瑞
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1994-05-10
Filing date: 1994-05-10
Publication date: 1995-03-15
Anticipated expiration: 2004-05-10

Abstract

旋片直联干式全无油真空泵由定子、偏心转子、旋片及左右法兰盘等构成，将进气口和出气口均开设在定子的一侧法兰盘上，二者相对定子中心线构成的夹角为120°，这样使泵腔内的压力均匀，降低振动噪声；转子上的四个旋片槽互为正交T型设置，转子上旋片的外端具有一非对称直角弧凸，使旋片磨损最小，从而合理解决了泵体做干摩擦时的热平衡问题；此外，转子旋片采用自润滑性能好且强度高的浸渍型石墨材料制作，可有效地降低气隙噪声。

Description

本实用新型涉及一种通过改变缸体容积排除气体以获得粗（低）真空的装置，具体地说是一种不以油为工作介质亦无须油润滑的旋片直联干式全无油真空泵。本实用新型所述的产品适合于在电子、医疗、印刷及超净半导体工业领域的吸附、提升、固定硅片等工艺装备中配套使用，特别适合于在小型台式或立式胶印机以及其它的一些现代办公设备中配套使用。

过去用于上述各领域的真空泵一般多为老式的以油为工作介质的机械泵、或不以油为工作介质但需靠油润滑的无油泵以及靠皮带传动的非直联式无油泵。机械泵的最大缺点就是存在油的污染、噪声大、振动大、需频繁更换工作介质以及因油封老化而常常出现漏油现象。普通的无油泵虽不以油为工作介质，但仍需极少量的润滑油做为润滑剂，污染和噪声大的问题未得到明显改观。非直联式无油泵则需要用皮带轮或减速装置连接，体积大、传动复杂，又要经常更换皮带，使用很不方便。近年来，国外如美国、日本等一些国家研制出的无油真空泵虽使上述现象获得了很大改善，但国外市场上现有的此类产品在具体结构设计上仍有不近合理之处，具体归结为：1.配气系统即泵体进气口和出气口的设置位置不合理，造成进气不充分并使进气口内外的气体压差较大，产生较大的振动噪声；2.旋片与定子壳腔内壁间的旋转封合接触不佳，使旋片沿定子内壁高速旋转时的干摩擦加剧，导致泵体的温升值较高（电机定子中部表面温升值在40～50℃），往往在定子端盖的外侧还要另设散热片；3.旋片由普通石墨材料制作，经较长时间运行后容易产生塑性变形而出现气隙噪声。

本实用新型的目的是提供一种在产品配气系统和旋片设计结构上均做出改进了的旋片直联干式全无油真空泵，用以克服现有产品使用效果的不足，尤其是噪声高和温升值高的不足。

用于实现上述发明目的的技术解决方案是这样的：将进气口和出气口均开设在定子的一侧端盖上，二者相对定子中心线（即端盖中心点）构成的夹角为120°；转子上的四个旋片槽互为正交T型设置，装放于旋片槽内的转子旋片的外端具有一非对称直角弧凸，使旋片与定子内壁间的摩擦接触面减小，进而使二者间作干摩擦时的发热量减少；此外，转子旋片采用自润滑性能好且强度高的浸渍型石墨材料制作，降低气隙噪声。

本实用新型所述的旋片直联干式全无油真空泵其噪声比从国外引进的无油真空泵低，转子上旋片端部结构改进后使电机定子中部表面温升值降到30～38℃，实现了在1400转／分高转速下的直联传动。该装置的体积小、造型美观大方、结构紧凑，其各项性能指标均优于市场上现有的同类产品。

以下将结合附图对本实用新型的技术方案做进一步说明。

图1是旋片直联干式全无油真空泵的整机系统示意图。

图2是图1的侧向结构示意图。

图3是图1沿A－A线的剖视结构图。

图4是做为定子端盖的右法兰盘示意图（图1的B－B剖面图）。

图5是转子上旋片的结构示意图。

如图所示：这种用于获得粗（低）真空的旋片直联干式全无油真空泵具有一个柱壳状定子1以及一个偏心安装在定子1内的转子3，图2及图3中转子的正常工作旋向为顺时针方向。在转子3的侧壁上对称开有四个用于装放旋片4的旋片槽2。在定子1的两端各设有一个法兰盘5、6。在远离电机7侧的法兰盘6上设有进气口8和出气口9，进气口8和出气口9分别对称排列在定子1中心线（即法兰盘6上中心点）左右夹角60°的位置（见图2和图4），这样设置可使真空泵最大限度地吸进气体、降低进气口内外的压差、减小噪声量级，同时也使结构更为简单化。转子3上的四个旋片槽2互为正交T型设置（见图2和图3）。装放于旋片槽2内的旋片4的外端具有一非对称直角弧凸41，所述旋片弧凸41的后部与前部的线宽比为1：2.7，后张角与前张角均为45°（见图5），如此设计使旋片磨损最小并使泵干摩擦的温升值降低在电机定子允许的温升值内，从而省去了定子外面的散热片。转子旋片4采用自润滑性能好且强度高的浸渍型石墨材料制作，该材料除具有气密性好、化学稳定性好、耐腐蚀和热膨胀系数小等优点外，它的机械性能亦优于一般的石墨材料，经长时间工作运行后，其塑性变形仍不明显，因而也就有效地降低了气隙噪声的发生。

Claims

1、一种用于获得粗(低)真空的旋片直联干式全无油真空泵，具有一个柱壳状定子(1)以及一个偏心安装在定子(1)内的转子(3)，在转子(3)的侧壁上对称开有四个旋片槽(2)，在定子(1)的两端各设有一个法兰盘(5、6)，其特征是：

1.1在远离电机(7)侧的法兰盘(6)上设有进气口(8)和出气口(9)，二者相对定子中心线构成的夹角为120°；

1.2四个旋片槽(2)互为正交T型设置，装放于旋片槽(2)内的旋片(4)的外端具有一非对称直角弧凸(41)。

2、如权利要求1规定的旋片直联干式全无油真空泵，其特征是所述旋片弧凸（41）的后部与前部的线宽比为1：2.7，后张角与前张角均为45°。

3、如权利要求1或2规定的旋片直联干式全无油真空泵，其特征是旋片（4）由浸渍型石墨材料制作。