CN219177972U - 石英加热器 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种石英加热器。一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在加热壳体内的加热装置，加热壳体上设置有进气口和出气口；还包括：一缠绕管，设置在加热壳体内，两端口分别连通进气口和出气口，缠绕管为采用石英制成的石英管。本实用新型在现有的加热壳体内增设缠绕管，该缠绕管内流通惰性气体，惰性气体隔着缠绕管在加热壳体内进行热交换，由于缠绕管采用的是石英管，即使加热装置是金属加热器，由于惰性气体本身并没有直接与加热壳体接触，因此可保证不会因为金属析出而污染惰性气体。

Description

石英加热器

技术领域

本实用新型属于半导体加工技术领域，具体涉及一种石英加热器。

背景技术

半导体产品在生产过程中需要采用高纯度惰性气体，如99.999％的氮气进行加热。由于金属加热器的加热效率高等原因，在惰性气体在加热时，通常都采用金属加热器，但是现有的金属加热器在使用时会有金属析出，导致金属离子超标，直接影响了半导体产品的良率，甚至产生报废。

实用新型内容

本实用新型针对现有的金属加热器在加热惰性气体时容易因金属析出而影响被加热的半导体产品的技术问题，目的在于提供一种石英加热器。

一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在所述加热壳体内的加热装置，所述加热壳体上设置有进气口和出气口；

还包括：

一缠绕管，设置在所述加热壳体内，两端口分别连通所述进气口和所述出气口，所述缠绕管为采用石英制成的石英管。

本实用新型在现有的加热壳体内增设缠绕管，该缠绕管内流通惰性气体，惰性气体隔着缠绕管在加热壳体内进行热交换，由于缠绕管采用的是石英管，即使加热装置是金属加热器，由于惰性气体本身并没有直接与加热壳体接触，因此可保证不会因为金属析出而污染惰性气体。

作为优选方案，所述缠绕管采用99.99％纯度的高纯石英制成的石英管。

作为优选方案，所述缠绕管采用螺旋式缠绕在所述加热装置外。以增加惰性气体在加热壳体内的热交换表面积。

作为优选方案，还包括：

一第一热电偶，监控端设置在所述加热壳体内，位于所述加热装置侧边，用于监控所述加热装置的加热温度；

一第二热电偶，监控端设置在所述加热壳体内，位于所述出气口处，用于监控所述出气口的出口温度。

作为优选方案，所述加热装置采用红外加热装置，所述加热装置包括但不限于采用加热丝、加热棒或加热管中的任意一种，所述加热装置的一端可拆卸的插入于所述加热壳体内，所述加热装置的另一端作为接线端伸出于所述加热壳体。

作为优选方案，所述加热装置的另一端通过固定块固定在所述加热壳体上。

作为优选方案，所述加热装置的另一端外罩设有接线保护罩。

作为优选方案，所述加热壳体内设置有热交换腔，所述加热装置和所述缠绕管设置在所述热交换腔内；

在所述热交换腔外包覆有保温层，所述保温层外包覆有保护层，所述保护层作为所述加热壳体的外壁。

作为优选方案，所述加热壳体的外壁上设置有散热口。

作为优选方案，所述加热壳体上设置有用于固定所述加热壳体的固定支架。

本实用新型的积极进步效果在于：本实用新型采用石英加热器，具有如下优点：

1、缠绕管采用石英管将被加热的气体和金属类加热装置隔开，即能实现高效的加热，又避免了因金属析出至气体导致半导体产品的良率。

2、缠绕管采用螺旋式缠绕在加热装置外，一方面可大大增加热交换表面积，另一方面绕加热装置设置，热交换效率高。

3、第一热电偶用于监控加热装置的加热温度，以作为保护作用，避免加热装置加热温度过高。第二热电偶用于监控出气口的出口温度，用于实时控制流出的气体保持在需要的温度。

4、加热装置可根据需要采用不同规格型号，只要能加热即可，且可拆卸的方式，便于维护。

附图说明

图1为本实用新型的一种结构示意图；

图2为图1的A-A剖视图；

图3为图1的俯视图；

图4为图1的侧视图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本实用新型。

参照图1至图4，一种石英加热器，包括加热壳体1、加热装置2和缠绕管3。

本发明的加热壳体1上设置有进气口11和出气口12。

在一些实施例中，加热壳体1内设置有热交换腔13，该热交换腔13用于热交换使用，加热装置2和缠绕管3设置在热交换腔13内。在热交换腔13外包覆有保温层14，保温层14采用现有保温材料制成，以便于避免热交换腔13的热量流失，保温层14外包覆有保护层15，保护层15作为加热壳体1的外壁。保护层15可以为金属或非金属材料制成。

在一些实施例中，加热壳体1的外壁上设置有散热口16，以用于在无需加热时的散热作用。

在一些实施例中，加热壳体1上设置有用于固定加热壳体1的固定支架17，以通过固定支架17将加热壳体1进行固定。

本发明的加热装置2设置在加热壳体1内，当加热壳体1内设置有热交换腔13时，加热装置2设置在热交换腔13内。

在一些实施例中，加热装置2采用红外加热装置，红外加热的方式比传统加热方式使用寿命更长，可高达3倍以上。加热装置2包括但不限于采用加热丝、加热棒或加热管中的任意一种，加热装置2的一端可拆卸的插入于加热壳体1内，加热装置2的另一端作为接线端伸出于加热壳体1。

如图2中所示，加热装置2采用一根单独的红外加热棒，红外加热棒几乎整体插入于加热壳体1内，仅剩另一端的接线端伸出于加热壳体1，以用于接线使用。

在一些实施例中，加热装置2的另一端通过固定块4固定在加热壳体1上，以便于可拆卸及更好的固定。

在一些实施例中，加热装置2的另一端外罩设有接线保护罩5，以便于保护接线端。

本发明的缠绕管3设置在加热壳体1内，当加热壳体1内设置有热交换腔13时，缠绕管3设置在热交换腔13内。缠绕管3的两端口分别连通进气口11和出气口12，具体的，可直接将缠绕管3的两端口分别密封插接在进气口11和出气口12内，这样外部的管路只要与进气口11和出气口12连接，即可实现与缠绕管3的两端口连接。

本发明的缠绕管3为采用石英制成的石英管。具体使用时，气体经进气口11进入缠绕管3内，气体在加热壳体1内隔着缠绕管3在加热壳体1内进行热交换，由于缠绕管3采用的是石英管，即使加热装置2是金属加热器，由于气体本身并没有直接与加热壳体1接触，因此可保证不会因为金属析出而污染惰性气体。

在一些实施例中，缠绕管3采用99.99％纯度的高纯石英制成的石英管。

在一些实施例中，缠绕管3采用螺旋式缠绕在加热装置2外。以增加惰性气体在加热壳体1内的热交换表面积。具体的，加热装置2在可拆卸的插入于加热壳体1内时，插入在缠绕管3中。

在一些实施例中，本发明的石英加热器还包括第一热电偶61和第二热电偶62，第一热电偶61的监控端设置在加热壳体1内，第一热电偶61位于加热装置2侧边，第一热电偶61用于监控加热装置2的加热温度。第二热电偶62的监控端设置在加热壳体1内，第二热电偶62位于出气口12处，第二热电偶62用于监控出气口12的出口温度。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.一种石英加热器，包括一加热壳体、设置在所述加热壳体内的加热装置，所述加热壳体上设置有进气口和出气口；

其特征在于，还包括：

一缠绕管，设置在所述加热壳体内，两端口分别连通所述进气口和所述出气口，所述缠绕管为采用石英制成的石英管。

2.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述缠绕管采用99.99％纯度的高纯石英制成的石英管。

3.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述缠绕管采用螺旋式缠绕在所述加热装置外。

4.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，还包括：

一第一热电偶，监控端设置在所述加热壳体内，位于所述加热装置侧边；

一第二热电偶，监控端设置在所述加热壳体内，位于所述出气口处。

5.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述加热装置采用红外加热装置，所述加热装置采用加热丝、加热棒或加热管中的任意一种，所述加热装置的一端可拆卸的插入于所述加热壳体内，所述加热装置的另一端作为接线端伸出于所述加热壳体。

6.如权利要求5所述的石英加热器，其特征在于，所述加热装置的另一端通过固定块固定在所述加热壳体上。

7.如权利要求5所述的石英加热器，其特征在于，所述加热装置的另一端外罩设有接线保护罩。

8.如权利要求1至7中任意一项所述的石英加热器，其特征在于，所述加热壳体内设置有热交换腔，所述加热装置和所述缠绕管设置在所述热交换腔内；

在所述热交换腔外包覆有保温层，所述保温层外包覆有保护层，所述保护层作为所述加热壳体的外壁。

9.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述加热壳体的外壁上设置有散热口。

10.如权利要求1所述的石英加热器，其特征在于，所述加热壳体上设置有用于固定所述加热壳体的固定支架。

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