CN219161928U - 一种粒子计数器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及粒子检测技术领域，具体公开了一种粒子计数器，包括壳体；光源组件；形成于壳体内设置在光源组件的输出光束传输光路上的散射腔；贯穿散射腔的腔壁，位于光束在散射腔内的传输光路两侧的进气管和出气管；光束的传输光路和待测气流流动路径的交叠区域形成光敏区域；与散射腔相结合的反射镜和光电探测器；设置在光源组件和光敏区域之间，沿散射腔内的传输光路设置且由光源组件延伸至散射腔内部的第一管道，以使光束经过第一管道入射至光敏区域。本申请的粒子计数器中设置由光源组件的光线输出端延伸至散射腔内部的第一管道，抑制了光束在散射腔内传输所产生的杂散光对粒子粒径检测的干扰，提升粒子计数器对粒子进行检测的准确性。

Description

一种粒子计数器

技术领域

本实用新型涉及粒子检测技术领域，特别是涉及一种粒子计数器。

背景技术

粒子计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器，分为激光粒子计数器和凝聚核粒子计数器两种，其中激光粒子计数器大致的工作过程是将含有需要检测的微粒的气体通过一束激光，使得该气体内的粒子对激光散射而形成散射光，该散射光的强度随微粒的表面积增加而增大；由此只需要对该散射光的强度进行检测，即可推知粒子的粒径大小。

但由于粒子计数器中光源输出的光束本身固有的发散性，导致收集到的散射光中不可避免的掺入光束发散的杂散光形成噪声，影响是否有粒子通过的判定以及粒子粒径大小的判定。

目前的粒子计数器中主要通过利用聚光镜对光束进行准直压缩、利用光栅抑制杂散光以及吸光涂层吸收一部分发散出去的杂散光，但这种方式抑制杂散光的效果并不理想。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种粒子计数器，在一定程度上抑制杂散光对粒子检测的干扰，从而提升粒子检测结果的准确性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种粒子计数器，包括：

壳体；

设置在所述壳体内部，用于输出光束的光源组件；

形成于所述壳体内部，且位于所述光源组件的输出光束形成的传输光路上的散射腔；

分别贯穿所述散射腔相对两侧的腔壁，且位于所述光束在所述散射腔内的传输光路两侧的进气管和出气管，以便待测气流经所述进气管和所述出气管贯穿流过所述散射腔；且所述光束的传输光路和所述待测气流流动路径的交叠区域形成光敏区域；

与所述散射腔相结合，位于所述光束在所述散射腔内的传输光路另外两侧的反射镜和光电探测器；

还包括设置在所述光源组件和所述光敏区域之间，沿所述光束在所述散射腔内的传输光路设置且由所述光源组件延伸至所述散射腔内部的第一管道，以使所述光源组件输出的光束经过所述第一管道入射至所述光敏区域。

在本申请的一种可选地实施例中，所述第一管道靠近所述光敏区域的端部和所述光敏区域的中心位置点之间的间距为0.9x～1.2x，其中，x为所述光敏区域沿所述光束传输方向的尺寸。

在本申请的一种可选地实施例中，所述第一管道的内壁设置有黑色吸光层。

在本申请的一种可选地实施例中，所述第一管道的内径尺寸沿所述光束传输方向缩小。

在本申请的一种可选地实施例中，所述第一管道为中间粗两端细的管道，所述第一管道的进光口尺寸不小于所述第一管道的出光口尺寸。

在本申请的一种可选地实施例中，还包括与所述第一管道相对设置在所述光敏区域的两侧，且由所述散射腔的腔壁延伸至所述散射腔内部的第二管道，以使所述光源组件输出的光束经过所述光敏区域后入射至所述第二管道。

在本申请的一种可选地实施例中，所述光源组件包括激光光源、设置在所述激光光源的输出光束的传输光路上的整形镜组，连接所述激光光源和所述整形镜组的第一光源通道，连接所述整形镜组和所述第一管道的端部的第二光源通道；

其中，所述激光光源设置在所述第一光源通道的一端内部；且所述激光光源输出的光束依次经过所述第一光源通道内部、所述整形镜组、所述第二光源通道内部并入射至所述第一管道内；

所述第一光源通道和所述第二光源通道的内壁上设置有黑色吸光层。

在本申请的一种可选地实施例中，所述第一管道至少部分端部套叠于所述第二光源通道内部；

或，所述第一管道背离所述光敏区域一端的端口与所述第二光源通道靠近所述光敏区域一端的端口贴合连接。

在本申请的一种可选地实施例中，还包括和所述第一管道交叉设置且和所述第一管道相互连通的支路管道。

本实用新型所提供的一种粒子计数器，包括壳体；设置在壳体内部，用于输出光束的光源组件；形成于壳体内部，且位于光源组件的输出光束形成的传输光路上的散射腔；分别贯穿散射腔相对两侧的腔壁，且位于光束在散射腔内的传输光路两侧的进气管和出气管，以便待测气流经进气管和出气管贯穿流过散射腔；且光束的传输光路和待测气流流动路径的交叠区域形成光敏区域；与散射腔相结合，位于光束在散射腔内的传输光路另外两侧的反射镜和光电探测器；还包括设置在光源组件和光敏区域之间，沿光束在散射腔内的传输光路设置且由光源组件延伸至散射腔内部的第一管道，以使光源组件输出的光束经过第一管道入射至光敏区域。

本申请所提供的粒子计数器中，将光源组件和光敏区域之间设置了第一管道，且该第一管道沿光源组件的光线输出端延伸至散射腔内部光敏区域所在位置，进而使得光源组件输出的光束通过第一管道传输至靠近光敏区域，进而对经过该光敏区域的粒子进行检测；因为第一管道延伸至散射腔内部靠近光敏区域所在位置，光束在传输至散射腔内之后入射到光敏区域之前均是在第一管道内传输，而未直接暴露于散射腔内的空间中，也就避免在这一段光路上光束传输过程中产生的杂散光入射至散射腔内，进而被光电探测器吸收检测的问题，也就抑制了光束在散射腔内传输所产生的杂散光对粒子粒径检测的干扰，从而在很大程度上提升粒子计数器对粒子进行检测的准确性。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请实施例提供的粒子计数器的一种剖面结构示意图；

图2为本申请实施例所提供的粒子技术器的另一剖面结构示意图。

具体实施方式

目前常规的粒子计数器中，主要是从抑制光束本身产生的杂散光的角度减少光束本身杂散光的干扰。但这种方式抑制杂散光的效果有限。

本申请中考虑到尽管光束的整个传输过程中均会产生杂散光，但能够被光电探测器所接收的杂散光主要是散热腔内的杂散光，由此，本申请中从避免光束在散射腔内传输时所产生的杂散光被光电传感器吸收的角度出发，设置阻挡杂散光向散射腔内的空间中传输的第一管道，进而达到排出杂散光干扰的目的，在一定程度上提升了粒子计数器检测粒子的准确性。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1和图2所示，图1为本申请实施例提供的粒子计数器的一种剖面结构示意图；图2为本申请实施例所提供的粒子技术器的另一剖面结构示意图。

在本申请的一种具体实施例中，该粒子计数器可以包括：

壳体10；

设置在壳体10内部，用于输出光束的光源组件20；

形成于壳体10内部，且位于光源组件20的输出光束形成的传输光路上的散射腔11；

分别贯穿散射腔11相对两侧的腔壁，且位于光束在散射腔11内的传输光路两侧的进气管12和出气管13，以便待测气流经进气管12和出气管13贯穿流过散射腔11；且光束的传输光路和待测气流流动路径的交叠区域形成光敏区域110；

与散射腔11相结合，位于光束在散射腔11内的传输光路另外两侧的反射镜14和光电探测器15；

还包括设置在光源组件20和光敏区域110之间，沿光束在散射腔11内的传输光路设置且由光源组件20延伸至散射腔11内部的第一管道31，以使光源组件20输出的光束经过第一管道31入射至光敏区域110。

可以理解的是，粒子计数器中除了需要设置光源组件20之外，还包括在壳体10上形成一个腔体空间作为散射腔11，这里这个腔体空间并不是密封的。贯穿散射腔11的腔壁设置有进气管12和出气管13。在实际应用中，壳体10外部的被测气流从该进气管12进入该散射腔11内经过光敏区域110，再流入出气管13后流出。参照图1可知，该进气管12和出气管13分别位于光敏区域110的两侧，且进气管12的出气口与出气管13的进气口优选共轴，进而使得经过进气管12流至光敏区域110的气流能够顺利流至出气管13内。需要说明的是，光束在光敏区域110照射被测气流中的粒子时形成的散射光量的大小与该粒子大小正相关。

在此基础上，还包括与该散射腔11结合设置的反射镜14和光电探测器15，且该反射镜14和光电探测器15也分别位于光敏区域110的两侧，可以理解的是，散射腔11的腔壁具有开口，反射镜14和光电探测器15通过腔壁的开口与散射腔11结合设置。例如，反射镜14和光电探测器15的中心轴线与进气管12和出气管13中心轴线可以正交设置，至少是交叉设置的，从而使得反射镜14和光电探测器15可以从不平行于气流流动方向的角度方向对光敏区域110所产生的散射光进行接收检测。另外，该反射镜14可以采用内凹曲面反射镜，例如半球面反射镜，主要对入射到反射镜14反射面的散射光进行汇聚并反射至光电探测器15，光电探测器15可采用光电倍增管、光电二极管等将光信号转化为电信号的器件，这里不做限定；可选地，可以在光敏区域110的两侧都设置反射镜14，即有一片反射镜14和光电探测器15在光敏区域110的同一侧，在光敏区域110的同一侧的反射镜14会将汇集的散射光投射到另一侧的反射镜14上，之后经过一次或多次反射被投射到光电探测器15上，此时，与光电探测器15在同一侧的反射镜14开设有通孔，用于光电探测器15嵌入该通孔的位置，反射的散射光通过该通孔投射到光电探测器15上。

此外，光源组件20输出的光束照射至光敏区域110，进而使得该光敏区域110的被测气流中的粒子能够对光束散射产生散射光。且光束入射至光敏区域110的方向应当是与进气管12和出气管13的中心轴线的方向不同，也与反射镜14和光电探测器15的中心轴线方向不同。在图1和图2所示的实施例中，该光束的传输方向垂直与光电探测器15和反射镜14的中心轴线方向、进气管12和出气管13的中心轴线方向两两垂直。

基于上述论述可知，在粒子计数器中光源组件20向散射腔11内的光敏区域110发射光束，而从进气管12内流出的气流也经过该光敏区域110，即可对光束产生散射，散射光一部分直接入射至光电探测器15，另一部分则入射至反射镜14被反射后入射至光电探测器15，进而实现对粒子的检测。

结合图1和图2所示可以确定，光敏区域110大致上位于散射腔11的中心位置，光束自光源组件20生成后在传播的过程中会不断的产生杂散光，尤其是光束在入射至散射腔11内之后产生的杂散光如果被光电探测器15接收，则会干扰对被测气流中粒子的检测。

为此，本实施例中进一步地设置了第一管道31，该第一管道31设置在光源组件20和光敏区域110之间，沿光束传播方向设置且由光源组件20延伸至散射腔11内部，也即光束在散射腔11内传输的过程中，是经第一管道31内传输的，光束的传播路径并非完全直接暴露在散射腔11的空间内，也就使得光束本身产生的杂散光因为第一管道31的阻挡无法直接扩散到散射腔11内的空间中，而是束缚于第一管道31内，从而在很大程度上抑制光束产生的杂散光对粒子检测的干扰。

可以理解的是，本实施例中所指的第一管道31沿光束在散射腔11内的传输光路设置且由光源组件20的光线输出端延伸至散射腔11内光敏区域110所在位置，但第一管道31靠近光敏区域110的端部并非位于光敏区域110内，显然这会对被测气流的流动产生干扰；而是该第一管道31在靠近光敏区域110的一端的靠近该光敏区域110，或者是说离光敏区域110的距离较近；总之，要尽可能的减少光束直接暴露在散射腔11内的光程，又要避免第一管道31的端部阻碍被测气流流经该光敏区域110。在本申请的一种可选地实施例中，该第一管道31靠近光敏区域110的端部和光敏区域110的中心位置电之间的间距为0.9x～1.2x，其中，x为光敏区域沿光束传输方向的尺寸。

尽管光束在第一管道31内传输过程中，第一管道31的管壁阻挡了光束本身产生的杂散光直接入射到散射腔11内，但第一管道31靠近光敏区域110的端部设有容纳光束输出的端口；这也就导致存在部分杂散光可能在第一管道31内反射或多次反射之后从该端口输出至散射腔11内。为此，在本申请的另一可选地实施例中，还可以进一步地在第一管道31的内壁上设置黑色吸光层，对向第一管道31的内壁上入射的杂散光进行吸收，从而在一定程度上减少杂散光从第一管道31的端口溢出或者溢出的杂散光的能量，进而进一步地减少杂散光对粒子检测的干扰。

在此基础上，除了可以在第一管道31内壁设置黑色吸光层从而减少杂散光从第一管道31的端口射出之后，还可以通过对第一管道31的结构进行特殊的设置，以减少第一管道31内杂散光的输出。通常，可以将该第一管道31设置为内径尺寸匀直的管道。在本申请的一种可选地实施例中，可以将该第一管道31设置为内径尺寸沿光束传输方向减小；具体可以是逐渐减小也可以是存在内径尺寸陡降，例如，可以将第一管道31的内壁沿光束传输方向设置为锥型面的内壁，又或者多段管道内壁以阶梯状连接不断缩小内径尺寸。

其次，该第一管道31也可以设置为中间粗两端细的管道，且沿光束传输方向，第一管道31的进光口尺寸大于等于第一管道32的出光口尺寸。也即是说该第一管道31内形成了一个中间粗两端细的空腔，显然，杂散光在该第一管道31内传输时从较小的端口输出的概率也相对较少，从而达到抑制杂散光的目的。

此外，在本申请的另一可选地的实施例中，还可以进一步地包括第一管道31的内壁为非光滑内壁，例如具有螺纹、凹凸。相对于光滑内壁而言，不平整的内壁可以启到对杂散光进行漫反射的作用，进一步地抑制杂散光从第一管道31的端口输出。

基于粒子计数器的常规结构可知，在散射腔11的腔壁上，光敏区域背离光源组件20的一侧还设置有光陷阱16，该光陷阱16的作用主要是接收并移除经过光敏区域110之后的光束，避免其在散射腔11内反复反射干扰粒子检测。但该光陷阱16和光敏区域110之间也存在一定的间距，由此可见光束在经过光敏区域110之后向光陷阱16传输过程中同样是存在直接暴露于散射腔11内的光路，显然在这一区段光路传输的光束同样会产生杂散光进而对粒子检测产生干扰，为此，在本申请的又一实施例中，还可以进一步地包括：

与第一管道31相对设置在光敏区域110的两侧，且由散射腔11的腔壁延伸至散射腔11内部的第二管道32，经第二管道32出射后的光束入射光陷阱16并被光陷阱16接收并移除。可以理解的是第二管道32位于光敏区域110与光陷阱之间，散射腔11的腔壁开设有用于安装第二管道32和光陷阱16的开口，以使光源组件20输出的光束经过光敏区域110后入射至第二管道32。

可以理解的是，第二管道32可以通过连接于散射腔11腔壁，例如与散射腔11腔壁固定后延伸至散射腔11内，该第二管道32和第一管道31的作用相同，均是为了抑制光束在散射腔11内传输过程中产生的杂散光在散射腔11内传输进而影响粒子检测。因此该第二管道32靠近光敏区域110的端部和光敏区域110之间的距离，与第一管道31靠近光敏区域110的端部和光敏区域110之间的距离相同或近似，对此本实施例中不再赘述。

并且，该第二管道32的内壁上同样可以设置黑色吸光层；另外，该第二管道32的内壁也可以设置呈锥型内壁，可以设置为靠近光敏区域110一端的内径尺寸小而另一端内径尺寸大。对于第二管道32内还包括其他和第一管道31类似的结构设置，本实施例中不再一一论述。

如前所述，对于输出光束的光源组件20主要包括激光光源以及设置在激光光源21输出的光束的传输光路上的整形镜组22，在此基础上还可以进一步地包括：

连接激光光源21和整形镜组22的第一光源通道23，连接整形镜组22和第一管道31的端部的第二光源通道24；

其中，激光光源21设置在第一光源通道23的一端内部；且激光光源21输出的光束依次经过第一光源通道23内部、整形镜组22、第二光源通道24内部并入射至第一管道31内；

第一光源通道23和第二光源通道24的内壁上设置有黑色吸光层。

可以理解的是，设置于壳体10内部的光源组件并非绝对意义上的使光源组件20完全处于壳体10内部，例如激光光源21可以位于壳体10的一端，其激光光源21发光的部分完全处于壳体10内部而其他诸如激光光源21功率调节机构的位置可以不做严格限制；设置在光源组件20和光敏区域110之间的第一管道31也并非需要第一管道31绝对意义上位于两者之间，例如第一管道31可与光源组件20部分套叠。

本实施例中的整形镜组22具体可以是准直透镜组或其他类似的透镜组，主要用于对光束进行准直和压缩，具体的可选自非球面镜、柱面镜、球面镜中的一种或多种。对于激光光源21输出的光束而言，靠近激光光源21的光路区间内，产生的杂散光也相对较多，为了避免该杂散光沿第一管道31进入散射腔11，可以进一步地在激光光源21和整形镜组22之间设置第一光源通道23以及在整形镜组22和第一管道31之间设置第二光源通道24，并且在第一光源通道23和第二光源通道24的内壁上设置有黑色吸光层，实现对该光源组件20内的杂散光的吸收，从而进一步地抑制杂散光对粒子检测的影响。

可以理解的是，黑色吸光层可通过对第一光源通道23、第二光源通道24、第一管道31、第二管道32进行发黑工艺处理获取，也可以通过涂覆超黑涂层等吸光性材料获取，这里不做特异性限制。

可选地，第一管道31至少部分套叠于第二光源通道24内部；

或，第一管道31背离光敏区域110一端的端口与第二光源通道24靠近光敏区域110一端的端口贴合连接。

第二光源通道24和第一管道21均是管状结构且相互连接，在实际应用中，二者相互连接的端部可以至少部分套接连接。

此外，在本申请的一种可选地实施例中，还可以直接将第二光源通道24和第一管道31之间设置为一体成型的结构，对此，本申请中不具体限制。

基于上述任意实施例，进一步地，除了对第一管道31的内壁进行特殊的结构设置，以减少杂散光向散射腔内入射之外，在本申请的另一可选地实施例中，还可以进一步地包括：

和第一管道31交叉设置且和第一管道31相互连通的支路管道40。

例如图1所示，第一管道31至少部分套叠于第二光源通道24内部，支路管道40可以和第一管道31交叉且相互连通设置。

参照图1，在图1所示的实施例中，该支路管道40在第一管道31靠近光源组件20的一端相互垂直交叉设置，形成一个十字形交叉管道.由此。当光束经过第一管道31内产生的散射光即可在一定程度上向支路管道40内传输，显然沿支路管道40内传输的杂散光，难以再重新回到第一管道31内，也就不可能通过沿第一管道31的内壁反复反射后从第一管道31的端口输出，由此也可以抑制杂散光进入到散射腔内。需要说明的是，支路管道40并非是一个开放式的管道，而是两端封闭的管道，因此当开设于壳体10的支路管道40在壳体10上有与壳体外10部连通的开口时，需要该开口进行封闭，可利用非透光板材、非透光胶带等。

此外，在本申请的一种可选地实施例中，对于上述和第一管道31交叉连通的支路管道40也可以是和第二光源通道24之间相互连通。

并且为了避免光束传输过程中产生的杂散光对粒子检测产生干扰，在本申请的一种可选地实施例中，可以设置更多个支路管道40，各个支路管道40可以是和第一光源通道23相连通、和第二光源通道24相连通、或者是第一光源通道23、第二光源通道24以及第一管道31上均连通有多个支路管道40等等，只要壳体10内的空间允许即可，对此本申请中不做限制。

综上所示，本申请的粒子计数器中将光源组件和光敏区域之间设置了第一管道，且该第一管道沿光束在散射腔内的传输光路设置且由光源组件的光线输出端延伸至散射腔内，进而使得光源组件输出的光束通过第一管道传输至光敏区域，也即是说，光束在传输至散射腔内之后入射到光敏区域之前均是在第一管道内传输，而未直接暴露于散射腔内的空间中，也就避免在这一段光路上光束传输过程中产生的杂散光入射至散射腔内，进而被光电探测器吸收检测的问题，抑制了光束在散射腔内传输产生的杂散光对粒子粒径检测的干扰，从而在很大程度上提升粒子计数器对粒子进行检测的准确性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。另外，本申请实施例提供的上述技术方案中与现有技术中对应技术方案实现原理一致的部分并未详细说明，以免过多赘述。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (9)

1.一种粒子计数器，其特征在于，包括：

壳体；

设置在所述壳体内部，用于输出光束的光源组件；

形成于所述壳体内部，且位于所述光源组件的输出光束形成的传输光路上的散射腔；

分别贯穿所述散射腔相对两侧的腔壁，且位于所述光束在所述散射腔内的传输光路两侧的进气管和出气管，以便待测气流经所述进气管和所述出气管贯穿流过所述散射腔；且所述光束的传输光路和所述待测气流流动路径的交叠区域形成光敏区域；

与所述散射腔相结合，位于所述光束在所述散射腔内的传输光路另外两侧的反射镜和光电探测器；

还包括设置在所述光源组件和所述光敏区域之间，沿所述光束在所述散射腔内的传输光路设置且由所述光源组件延伸至所述散射腔内部的第一管道，以使所述光源组件输出的光束经过所述第一管道入射至所述光敏区域。

2.如权利要求1所述的粒子计数器，其特征在于，所述第一管道靠近所述光敏区域的端部和所述光敏区域的中心位置点之间的间距为0.9x～1.2x，其中，x为所述光敏区域沿所述光束传输方向的尺寸。

3.如权利要求1所述的粒子计数器，其特征在于，所述第一管道的内壁设置有黑色吸光层。

4.如权利要求1所述的粒子计数器，其特征在于，所述第一管道的内径尺寸沿所述光束传输方向缩小。

5.如权利要求1所述的粒子计数器，其特征在于，所述第一管道为中间粗两端细的管道，所述第一管道的进光口尺寸不小于所述第一管道的出光口尺寸。

6.如权利要求1所述的粒子计数器，其特征在于，还包括与所述第一管道相对设置在所述光敏区域的两侧，且由所述散射腔的腔壁延伸至所述散射腔内部的第二管道，以使所述光源组件输出的光束经过所述光敏区域后入射至所述第二管道。

7.如权利要求1所述的粒子计数器，其特征在于，所述光源组件包括激光光源、设置在所述激光光源的输出光束的传输光路上的整形镜组，连接所述激光光源和所述整形镜组的第一光源通道，连接所述整形镜组和所述第一管道的端部的第二光源通道；

其中，所述激光光源设置在所述第一光源通道的一端内部；且所述激光光源输出的光束依次经过所述第一光源通道内部、所述整形镜组、所述第二光源通道内部并入射至所述第一管道内；

所述第一光源通道和所述第二光源通道的内壁上设置有黑色吸光层。

8.如权利要求7所述的粒子计数器，其特征在于，所述第一管道至少部分端部套叠于所述第二光源通道内部；

或，所述第一管道背离所述光敏区域一端的端口与所述第二光源通道靠近所述光敏区域一端的端口贴合连接。

9.如权利要求1至8任一项所述的粒子计数器，其特征在于，还包括和所述第一管道交叉设置且和所述第一管道相互连通的支路管道。

Images