CN219131925U - 一种单电机驱动行星式抛光装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种单电机驱动行星式抛光装置，属于机器人末端抛光装置技术领域，单电机驱动行星式抛光装置包括机架、驱动机构、行星轮机构，行星轮机构包括中心输出轴、中心轮组件、行星轮以及行星架组件，中心输出轴与驱动机构传动连接，中心轮组件的外齿端套接在中心输出轴的外圆面上，中心轮组件的内齿端的顶面与机架相固接，中心轮组件的外齿端以及中心轮组件的内齿端分别与行星轮的齿面相啮合，行星轮的中心套接在行星架组件的动力输入端上，行星架组件的动力输出端与抛光工具头相固接。本实用新型公开的单电机驱动行星式抛光装置，可保证面形误差收敛可控，保证传动过程更平稳可靠，进而提高工件表面磨抛加工质量。

Description

一种单电机驱动行星式抛光装置

技术领域

本实用新型涉及机器人末端抛光装置技术领域，尤其涉及一种单电机驱动行星式抛光装置。

背景技术

随着光学元件的应用愈发广泛，伴随着更高的表面质量要求，使得抛光过程更加复杂。目前，手工抛光存在工作效率低下，过度依赖劳动者经验，无法保证大批量加工中的精度要求。末端抛光装置是用于机床或者机器人在连续接触式抛光过程中改变工具与工件间运动方式和接触力大小的一种执行器，其性能对于提升抛光面形质量和拓展应用范围具有重要影响。

中国专利文献公开号CN217619918U公开的一种末端主动力控磨抛装置，包括连接法兰、两个导向组件、可反馈音圈电机位置的位移传感器、磨抛模块以及用于检测该磨抛模块接触力和力矩的力传感器；所述音圈电机包括定子和动子；所述导向组件对称分布在所述音圈电机的两侧，该导向组件包括导轨安装板、导轨及与该导轨滑动配合的滑块，所述导轨及滑块安装在该导轨安装板上；所述连接法兰下端同时与音圈电机的定子和导轨安装板连接，所述音圈电机的动子与所述滑块直接或间接连接；所述位移传感器设置在导向组件上，所述力传感器的一端连接音圈电机的动子，另一端连接所述磨抛模块。但是，上述末端主动力控磨抛装置的磨抛模块中，磨抛电机通过所述联轴器直接与磨抛主轴相连，通过磨抛电机输出轴直接带动磨抛盘转动以实现磨抛运动，此时，电机输出轴承载负荷过大，且轴受力集中，轴容易发生磨损，进而降低磨抛电机的传输可靠性和使用寿命。同时，采用电机直连磨抛盘的结构，传动过程易受外界干扰，传动颠簸振荡幅度大，且磨抛盘自转时越靠近中心线速度越小，导致面形误差容易发散，收敛性差，难以持续保持平稳的抛光压力，进一步降低工件磨抛加工质量。

实用新型内容

为了克服现有技术的缺陷，本实用新型所要解决的技术问题在于提出一种单电机驱动行星式抛光装置，采用单电机驱动行星轮系抛光方式加工工件表面，使单电机驱动行星式抛光装置可以保证面形误差收敛可控，保证传动过程更平稳可靠，进而提高工件表面磨抛加工质量。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供的一种单电机驱动行星式抛光装置，包括机架以及驱动机构，驱动机构固定在机架上，单电机驱动行星式抛光装置包括行星轮机构，驱动机构的动力输出端与行星轮机构的动力输入端传动连接，行星轮机构的动力输出端固接有抛光工具头，行星轮机构包括中心输出轴、中心轮组件、行星轮以及行星架组件，中心轮组件的内齿端的底面固接有第一轴承座，行星架组件通过第一轴承组件装配在第一轴承座内，中心输出轴的一端与驱动机构的动力输出端传动连接，中心输出轴的另一端通过第二轴承组件与行星架组件相连接，中心轮组件的外齿端套接在中心输出轴的外圆面上，中心轮组件的内齿端的顶面与机架相固接，中心轮组件的外齿端以及中心轮组件的内齿端分别与行星轮的齿面相啮合，行星轮的中心套接在行星架组件的动力输入端上，行星架组件的动力输出端与抛光工具头相固接。

本实用新型优选的技术方案在于，行星架组件包括抛光主轴、第二轴承座以及第三轴承组件，行星轮的中心套接在抛光主轴的动力输入端上，抛光主轴的动力输出端与抛光工具头相固接，中心输出轴的一端与驱动机构的动力输出端传动连接，中心输出轴的另一端通过第二轴承组件装配在第二轴承座内，抛光主轴的外圆面通过第三轴承组件装配在第二轴承座内，第二轴承座通过第一轴承组件装配在第一轴承座内。

本实用新型优选的技术方案在于，第二轴承座的底部固接有第三轴套，第三轴承组件的上端面与第二轴承座的内壁相贴合，第三轴承组件的下端面与第三轴套的一端相贴合。

本实用新型优选的技术方案在于，第二轴承座的底部固接有第二轴套，第二轴承组件的上端面与第二轴承座的内壁相贴合，第二轴承组件的下端面与第二轴套的一端相贴合。

本实用新型优选的技术方案在于，中心轮组件包括太阳轮以及内齿圈，太阳轮的中心套接在中心输出轴的外圆面上，内齿圈的顶面与机架相固接，内齿圈的底面与第一轴承座相固接，太阳轮的齿面以及内齿圈的齿面分别与行星轮的齿面相啮合。

本实用新型优选的技术方案在于，驱动机构包括伺服电机以及连接组件，伺服电机的顶部固定在机架上，伺服电机的动力输出端通过连接组件与中心输出轴的动力输入端传动连接。

本实用新型优选的技术方案在于，连接组件包括联轴器、第四轴承组件、第四轴套以及第三轴承座，第三轴承座固定在机架上，第四轴套固接在第三轴承座的底部，伺服电机的输出轴上端通过第四轴承组件装配在第三轴承座内，伺服电机的输出轴下端通过联轴器与中心输出轴的动力输入端传动连接，第四轴承组件的上端面与第三轴承座的内壁相贴合，第四轴承组件的下端面与第四轴套的一端相贴合。

本实用新型优选的技术方案在于，第一轴承座的底部固接有第一轴套，第二轴承座的底部固接有第五轴套，第一轴承座的内壁以及第二轴承座的内壁分别与第一轴承组件的上端面相贴合，第一轴套的一端以及第五轴套的一端分别与第一轴承组件的下端面相贴合。

本实用新型优选的技术方案在于，机架的顶部固接有六维力传感器。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型提供的单电机驱动行星式抛光装置，采用单电机驱动行星轮系抛光方式加工工件表面，抛光工具头在自转的同时又能实现公转，解决抛光工具头自转本身越靠近中心线速度越小的问题，使得面形误差收敛。

采用行星轮机构实现行星轮系运动，减轻驱动机构输出轴的受力，传递动力时受力分布更均匀分散，而不是集中受力于驱动机构的输出轴，减小驱动机构的载荷负担，降低驱动机构的磨损，从而提高使用寿命。且行星轮机构的内部布局损失小，传递动力时可功率分流，传递效率高，行星轮的接触面积大且始终啮合，磨损小，刚度和可靠性更高，保证传动过程更平稳可靠，可实现抛光工具头的自转和公转并且通过改变传动比可实现不同抛光要求，结合驻留时间算法可得到类高斯型去除函数，保证材料去除量的一致性，确保面形误差的收敛性。

六维力传感器用于检测抛光工具头与工件表面之间的接触力和力矩，能够同时测量装置受到的三个力分量和三个力矩分量，并将压力数据传递给外接的控制系统进行分析，结合六维力传感器的压力数据和控制系统的控制算法，可保持抛光压力稳定，可实现抛光压力在线调节，优化抛光工艺参数，提高表面抛光加工质量最终满足加工要求。

通过上述结构，使单电机驱动行星式抛光装置可以保证面形误差收敛可控，保证传动过程更平稳可靠，进而提高工件表面磨抛加工质量。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式中提供的单电机驱动行星式抛光装置的整体结构轴测示意图。

图2是本实用新型具体实施方式中提供的单电机驱动行星式抛光装置的结构主视图。

图3是图2中沿A-A方向的单电机驱动行星式抛光装置的结构剖视示意图。

图4是图3中B部分的单电机驱动行星式抛光装置的结构放大示意图。

图5是图3中C部分的单电机驱动行星式抛光装置的结构放大示意图。

图中：

机架1，驱动机构2，伺服电机21，连接组件22，联轴器221，第四轴承组件222，第四轴套223，第三轴承座224，行星轮机构3，中心输出轴31，中心轮组件32，太阳轮321，内齿圈322，行星轮33，行星架组件34，抛光主轴341，第二轴承座342，第三轴承组件343，第三轴套344，抛光工具头4，第一轴承座5，第一轴承组件6，第二轴承组件7，第二轴套70，第一轴套8，第五轴套9，六维力传感器10。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

如图1至图5所示，本实施例中提供的一种单电机驱动行星式抛光装置，包括机架1以及驱动机构2，驱动机构2固定在机架1上，驱动机构2用于驱动行星轮机构3进行运动，提供平稳持续的动力，机架1用于安装驱动机构2、行星轮机构3等元器件，起到定位和防护作用。为了使单电机驱动行星式抛光装置可以保证面形误差收敛可控，保证传动过程更平稳可靠，进而提高工件表面磨抛加工质量，进一步地，单电机驱动行星式抛光装置包括行星轮机构3，驱动机构2的动力输出端与行星轮机构3的动力输入端传动连接，行星轮机构3的动力输出端固接有抛光工具头4，行星轮机构3包括中心输出轴31、中心轮组件32、行星轮33以及行星架组件34，中心轮组件32的内齿端的底面固接有第一轴承座5，行星架组件34通过第一轴承组件6装配在第一轴承座5内，中心输出轴31的一端与驱动机构2的动力输出端传动连接，中心输出轴31的另一端通过第二轴承组件7与行星架组件34相连接，中心轮组件32的外齿端套接在中心输出轴31的外圆面上，中心轮组件32的内齿端的顶面与机架1相固接，中心轮组件32的外齿端以及中心轮组件32的内齿端分别与行星轮33的齿面相啮合，行星轮33的中心套接在行星架组件34的动力输入端上，行星架组件34的动力输出端与抛光工具头4相固接。驱动机构2启动，带动行星轮机构3做行星轮系运动，带动抛光工具头4同步做自转和公转运动，从而对待加工件实现磨抛加工。第一轴承组件6、第二轴承组件7等轴承件起到定位支承和保证轴平稳转动的作用，第一轴承座5起到定位装配轴承件的作用，本装置中各轴承组件均为防水轴承以降低抛光液飞溅带来的影响。其中，驱动机构2的动力输出端转动，可带动中心输出轴31同步转动，带动中心轮组件32的外齿端转动，从而带动行星轮33做自转运动，同时，行星轮33与中心轮组件32的内齿端啮合传动，使行星轮33可绕中心输出轴31的轴心同步做公转运动。行星轮33通过上述过程实现自转运动和公转运动，可带动行星架组件34同步运动，进而带动抛光工具头4同步做自转运动和公转运动。根据不同工件加工需求，可更换不同尺寸与材质的抛光工具头4。采用单电机驱动行星轮系抛光方式加工工件表面，抛光工具头4在自转的同时又能实现公转，解决抛光工具头4自转本身越靠近中心线速度越小的问题，使得面形误差收敛。采用行星轮机构3实现行星轮系运动，减轻驱动机构2输出轴的受力，传递动力时受力分布更均匀分散，而不是集中受力于驱动机构2的输出轴，减小驱动机构2的载荷负担，降低驱动机构2的磨损，从而提高使用寿命。且行星轮机构3的内部布局损失小，传递动力时可功率分流，传递效率高，行星轮33的接触面积大且始终啮合，磨损小，刚度和可靠性更高，保证传动过程更平稳可靠，可实现抛光工具头4的自转和公转并且通过改变传动比可实现不同抛光要求，结合驻留时间算法可得到类高斯型去除函数，保证材料去除量的一致性，确保面形误差的收敛性。其中，本装置的驱动机构2采用单电机驱动，机架1包括连接柱，驱动机构2周围设置有对称分布的连接柱，优化装置布线空间，减轻装置体积与质量，提升装置轻便性，降低控制系统布线复杂度。通过上述过程，使单电机驱动行星式抛光装置可以保证面形误差收敛可控，保证传动过程更平稳可靠，进而提高工件表面磨抛加工质量。

优选地，行星架组件34包括抛光主轴341、第二轴承座342以及第三轴承组件343，行星轮33的中心套接在抛光主轴341的动力输入端上，抛光主轴341的动力输出端与抛光工具头4相固接，中心输出轴31的一端与驱动机构2的动力输出端传动连接，中心输出轴31的另一端通过第二轴承组件7装配在第二轴承座342内，抛光主轴341的外圆面通过第三轴承组件343装配在第二轴承座342内，第二轴承座342通过第一轴承组件6装配在第一轴承座5内。行星轮33进行自转运动和公转运动，可带动抛光主轴341同步运动，进而带动抛光工具头4同步做自转运动和公转运动。其中，第二轴承座342以及第三轴承组件343，第二轴承组件7、第三轴承组件343等轴承件起到定位支承和保证轴平稳转动的作用，第一轴承座5、第二轴承座342等轴承座起到定位装配轴承件的作用。通过上述结构，可有效减少轴传动过程中出现的颠簸振荡，保证传动更平稳可靠。

优选地，第二轴承座342的底部固接有第三轴套344，第三轴承组件343的上端面与第二轴承座342的内壁相贴合，第三轴承组件343的下端面与第三轴套344的一端相贴合。通过设置第三轴套344，保证第三轴承组件343的定位更精准，且拆装方便。

优选地，第二轴承座342的底部固接有第二轴套70，第二轴承组件7的上端面与第二轴承座342的内壁相贴合，第二轴承组件7的下端面与第二轴套70的一端相贴合。通过设置第二轴套70，保证第二轴承组件7的定位更精准，且拆装方便。

优选地，中心轮组件32包括太阳轮321以及内齿圈322，太阳轮321的中心套接在中心输出轴31的外圆面上，内齿圈322的顶面与机架1相固接，内齿圈322的底面与第一轴承座5相固接，太阳轮321的齿面以及内齿圈322的齿面分别与行星轮33的齿面相啮合。中心输出轴31转动，带动太阳轮321同步转动，带动行星轮33实现自转，同时行星轮33与内齿圈322进行啮合传动，使得行星轮33可绕中心输出轴31的轴心做公转运动。通过上述结构，使中心轮组件32与行星轮33实现可靠配合，从而保证行星轮33自转和公转运动的平稳可靠。

优选地，驱动机构2包括伺服电机21以及连接组件22，伺服电机21的顶部固定在机架1上，伺服电机21的动力输出端通过连接组件22与中心输出轴31的动力输入端传动连接。伺服电机21启动后，伺服电机21的动力输入端通过连接组件22将动力传输给中心输出轴31，采用连接组件22进行连接，保证连接更稳固可靠，从而确保动力传输更平稳可靠。

优选地，连接组件22包括联轴器221、第四轴承组件222、第四轴套223以及第三轴承座224，第三轴承座224固定在机架1上，第四轴套223固接在第三轴承座224的底部，伺服电机21的输出轴上端通过第四轴承组件222装配在第三轴承座224内，伺服电机21的输出轴下端通过联轴器221与中心输出轴31的动力输入端传动连接，第四轴承组件222的上端面与第三轴承座224的内壁相贴合，第四轴承组件222的下端面与第四轴套223的一端相贴合。联轴器221用于将伺服电机21的输出轴与中心输出轴31联接，使之共同旋转以传递扭矩，在高速重载的动力传动中，联轴器221还有缓冲、减振和提高轴系动态性能的作用。第四轴承组件222起到定位支承和保证轴平稳转动的作用，第三轴承座224起到定位装配轴承件的作用，通过设置第四轴套223，保证第四轴承组件222的定位更精准，且拆装方便。通过上述结构，可有效减少轴传动过程中出现的颠簸振荡，保证传动更平稳可靠。

进一步地，机架1包括连接罩，连接罩的上端面与第三轴承座224固接且相互贴合，连接罩的下端面与中心轮组件32的内齿端的顶面(即内齿圈322的顶面)固接且相互贴合，伺服电机21的输出轴以及联轴器221被所述连接罩包围，连接罩既能将驱动机构2与行星轮机构3相连接，又能对联轴器221和伺服电机21起到保护作用。

优选地，第一轴承座5的底部固接有第一轴套8，第二轴承座342的底部固接有第五轴套9，第一轴承座5的内壁以及第二轴承座342的内壁分别与第一轴承组件6的上端面相贴合，第一轴套8的一端以及第五轴套9的一端分别与第一轴承组件6的下端面相贴合。通过设置第一轴套8以及第五轴套9，保证第一轴承组件6的定位更精准，且拆装方便。

优选地，机架1的顶部固接有六维力传感器10。六维力传感器10用于检测抛光工具头4与工件表面之间的接触力和力矩，能够同时测量装置受到的三个力分量和三个力矩分量，并将压力数据传递给外接的控制系统进行分析，结合六维力传感器10的压力数据和控制系统的控制算法，可保持抛光压力稳定，可实现抛光压力在线调节，优化抛光工艺参数，提高表面抛光加工质量最终满足加工要求。

本实用新型是通过优选实施例进行描述的，本领域技术人员知悉，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。本实用新型不受此处所公开的具体实施例的限制，其他落入本申请的权利要求内的实施例都属于本实用新型保护的范围。

应当注意的是，在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的部件或步骤。位于部件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的部件。本发明可以借助于包括有若干不同部件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不应理解为必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，凡依本实用新型申请专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属于本实用新型的涵盖范围。

Claims (9)

1.一种单电机驱动行星式抛光装置，包括机架(1)以及驱动机构(2)，所述驱动机构(2)固定在所述机架(1)上，其特征在于：

所述单电机驱动行星式抛光装置包括行星轮机构(3)；

所述驱动机构(2)的动力输出端与所述行星轮机构(3)的动力输入端传动连接；

所述行星轮机构(3)的动力输出端固接有抛光工具头(4)；

所述行星轮机构(3)包括中心输出轴(31)、中心轮组件(32)、行星轮(33)以及行星架组件(34)；

所述中心轮组件(32)的内齿端的底面固接有第一轴承座(5)；

所述行星架组件(34)通过第一轴承组件(6)装配在所述第一轴承座(5)内；

所述中心输出轴(31)的一端与所述驱动机构(2)的动力输出端传动连接，所述中心输出轴(31)的另一端通过第二轴承组件(7)与所述行星架组件(34)相连接；

所述中心轮组件(32)的外齿端套接在所述中心输出轴(31)的外圆面上，所述中心轮组件(32)的内齿端的顶面与所述机架(1)相固接；

所述中心轮组件(32)的外齿端以及所述中心轮组件(32)的内齿端分别与所述行星轮(33)的齿面相啮合；

所述行星轮(33)的中心套接在所述行星架组件(34)的动力输入端上，所述行星架组件(34)的动力输出端与所述抛光工具头(4)相固接。

2.根据权利要求1所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述行星架组件(34)包括抛光主轴(341)、第二轴承座(342)以及第三轴承组件(343)；

所述行星轮(33)的中心套接在所述抛光主轴(341)的动力输入端上，所述抛光主轴(341)的动力输出端与所述抛光工具头(4)相固接；

所述中心输出轴(31)的一端与所述驱动机构(2)的动力输出端传动连接，所述中心输出轴(31)的另一端通过所述第二轴承组件(7)装配在所述第二轴承座(342)内；

所述抛光主轴(341)的外圆面通过所述第三轴承组件(343)装配在所述第二轴承座(342)内；

所述第二轴承座(342)通过所述第一轴承组件(6)装配在所述第一轴承座(5)内。

3.根据权利要求2所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述第二轴承座(342)的底部固接有第三轴套(344)；

所述第三轴承组件(343)的上端面与所述第二轴承座(342)的内壁相贴合，所述第三轴承组件(343)的下端面与所述第三轴套(344)的一端相贴合。

4.根据权利要求2所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述第二轴承座(342)的底部固接有第二轴套(70)；

所述第二轴承组件(7)的上端面与所述第二轴承座(342)的内壁相贴合，所述第二轴承组件(7)的下端面与所述第二轴套(70)的一端相贴合。

5.根据权利要求1所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述中心轮组件(32)包括太阳轮(321)以及内齿圈(322)；

所述太阳轮(321)的中心套接在所述中心输出轴(31)的外圆面上；

所述内齿圈(322)的顶面与所述机架(1)相固接，所述内齿圈(322)的底面与所述第一轴承座(5)相固接；

所述太阳轮(321)的齿面以及所述内齿圈(322)的齿面分别与所述行星轮(33)的齿面相啮合。

6.根据权利要求1所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述驱动机构(2)包括伺服电机(21)以及连接组件(22)；

所述伺服电机(21)的顶部固定在所述机架(1)上；

所述伺服电机(21)的动力输出端通过所述连接组件(22)与所述中心输出轴(31)的动力输入端传动连接。

7.根据权利要求6所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述连接组件(22)包括联轴器(221)、第四轴承组件(222)、第四轴套(223)以及第三轴承座(224)；

所述第三轴承座(224)固定在所述机架(1)上，所述第四轴套(223)固接在所述第三轴承座(224)的底部；

所述伺服电机(21)的输出轴上端通过所述第四轴承组件(222)装配在所述第三轴承座(224)内，所述伺服电机(21)的输出轴下端通过所述联轴器(221)与所述中心输出轴(31)的动力输入端传动连接；

所述第四轴承组件(222)的上端面与所述第三轴承座(224)的内壁相贴合，所述第四轴承组件(222)的下端面与所述第四轴套(223)的一端相贴合。

8.根据权利要求2所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述第一轴承座(5)的底部固接有第一轴套(8)，所述第二轴承座(342)的底部固接有第五轴套(9)；

所述第一轴承座(5)的内壁以及所述第二轴承座(342)的内壁分别与所述第一轴承组件(6)的上端面相贴合，所述第一轴套(8)的一端以及所述第五轴套(9)的一端分别与所述第一轴承组件(6)的下端面相贴合。

9.根据权利要求1所述的单电机驱动行星式抛光装置，其特征在于：

所述机架(1)的顶部固接有六维力传感器(10)。

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