CN219121841U - 一种tem样品成像的载网支持膜 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种TEM样品成像的载网支持膜,应用于透射电镜检测分析领域,包括:载网和用于容纳TEM样品的凹槽碳膜;凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜,多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合;凹槽碳膜覆盖于载网表面。本实用新型通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜,作为凹槽碳膜,并将凹槽碳膜覆盖于载网表面,能够避免TEM样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题,省略了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪的步骤,进而避免了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险,提高了TEM样品成像的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及透射电镜检测分析领域,特别涉及一种TEM样品成像的载网支持膜。
背景技术
目前常用的碳支持膜为圆形,没有统一定义好的正方向,每次TEM样品被放在碳支持膜上的方向是随机的,需要借助TEM自带的软件V-look系统对抓取到的TEM样品图片旋转剪裁,系统存在将目标区域剪裁掉的风险,增加了TEM样品成像的难度,降低了TEM样品成像的效率。
实用新型内容
有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种TEM样品成像的载网支持膜,解决了现有技术中TEM样品被放在碳支持膜上的方向是随机的,在借助TEM自带的软件V-look系统对抓取到的TEM样品图片旋转剪裁时,系统存在将目标区域剪裁掉的风险的问题。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种TEM样品成像的载网支持膜,包括:
载网和用于容纳所述TEM样品的凹槽碳膜;
所述凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜,所述多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合;
所述凹槽碳膜覆盖于所述载网表面。
可选的,所述载网预设位置处开有载网豁口。
可选的,所述载网在所述载网中心沿所述矩形凹槽的轴线的垂直方向的边缘处,开有所述载网豁口。
可选的,所述凹槽碳膜开有碳膜豁口,所述凹槽碳膜在与所述载网贴合时,所述碳膜豁口的轴线与所述载网豁口的轴线垂直或重合。
可选的,包括:
沿所述矩形凹槽轴线方向,相邻所述矩形凹槽之间的间距相等;
沿垂直于所述矩形凹槽轴线方向,相邻所述矩形凹槽之间的间距相等。
可选的,所述载网为铜质载网。
可选的,所述载网,包括:
网状部件和环状的支撑部件;
所述网状部件设置在所述支撑部件内侧,与所述支撑部件连接。
可选的,包括:
碳膜固定部件,所述碳膜固定部件与所述载网连接。
可选的,包括:
所述碳膜固定部件一端与所述载网一端卡接连接;
所述碳膜固定部件另一端与所述载网另一端铰接连接。
可见,本实用新型通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜,作为凹槽碳膜,并将凹槽碳膜覆盖于载网表面,能够避免TEM样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题,省略了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪的步骤,进而避免了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险,提高了TEM样品成像的效率。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本实用新型实施例提供的一种TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图;
图2为本实用新型实施例提供的一种设置有载网豁口的TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图;
图3为本实用新型实施例提供的一种设置有载网豁口和碳膜豁口的TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图;
附图1-3中,附图标记说明如下:
1-载网,11-载网豁口;
2-凹槽碳膜,21-碳膜豁口;
3-矩形凹槽。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例1:
请参考图1,图1为本实用新型实施例提供的一种TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图。该载网支持膜可以包括:
载网1和用于容纳TEM样品的凹槽碳膜2;
凹槽碳膜2为具有多个矩形凹槽3的碳支持膜,多个矩形凹槽3的轴线相互平行或重合;
凹槽碳膜2覆盖于载网1表面。
需要进行说明的是,本实施例中在将TEM样品放入凹槽碳膜2中时,具体的,每一个矩形凹槽3容纳一个TEM样品,且TEM样品通过与凹槽碳膜2的黏附作用,固定于矩形凹槽3中。TEM样品为矩形结构,通过多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合,将TEM样品利用黏附作用固定于矩形凹槽3中,能够保证TEM样品在凹槽碳膜2中方向一致。
需要进行说明的是,本实施例中载网1可以是铜质载网,也可以是镍质载网,还可以是钼质载网,本实施例并不对载网1的具体构造进行限定。
本实施例并不限定凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量。例如,凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量可以是100个,凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量也可以是150个,凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量还可以是200个。本实施例并不限定凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量的设定依据。例如,凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量可以根据同一批次需要检测的TEM样品的数量进行设定,可以是同一批次需要检测的TEM样品的数量越多,凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量越多;也可以是根据凹槽碳膜2相对于TEM样品的面积进行设定,可以是凹槽碳膜2相对于TEM样品的面积越大,凹槽碳膜2中矩形凹槽3的数量越多。本实施例并不限定凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3尺寸种类,只要是能够完成对TEM样品沿预设方向进行拍取图像的操作即可。例如,凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸种类可以是1个,即凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸相同;凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸也可以2个,即凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3按尺寸分为2类,每类包含预设数量的矩形凹槽2;凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸也可以3个,即凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3按尺寸分为3类。需要进行说明的是,本实施例中凹槽碳膜2中多个矩形凹槽3的尺寸种类是根据TEM样品的种类进行设定的。
进一步地,为了保证碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向一致,上述载网1预设位置处可以开有载网豁口11。具体请参考图2,图2为本实用新型实施例提供的一种设置有载网豁口的TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图。
本实施例并不限定载网1预设位置的具体位置,只要是能够保证碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向一致即可。例如,可以是将载网1中心沿矩形凹槽3的轴线的方向的边缘处,作为载网1的预设位置,也可以将载网1中心沿与矩形凹槽3的轴线夹角为预设角度值的方向的边缘处,作为载网1的预设位置。本实施例并不限定载网1预设位置的数量,只要是能够保证碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向一致即可。例如,载网1预设位置的数量可以是1个,载网1预设位置的数量也以是2个,载网1预设位置的数量还可以是3个。本实施例并不限定载网豁口11的具体形状,只要是能够保证碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向一致即可。例如,载网豁口11可以是圆形结构,载网豁口11也可以是矩形结构,载网豁口11还可以是其他不规则形状结构。
进一步地,为了保证TEM样品成像中矩形凹槽3成像后为未倾斜图像,提高TEM样品成像的效率,上述载网1可以在载网1中心沿矩形凹槽3的轴线的垂直方向的边缘处,开有载网豁口11。
进一步地,为了提高凹槽碳膜2中矩形凹槽3的整齐度,提高TEM样品成像后的图像质量,提高用户的使用体验,上述TEM样品成像的载网支持膜,可以包括:
沿矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距相等;
沿垂直于矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距相等。
本实施例并不限定沿矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距,只要是能够保证TEM样品成像后的图像质量不受间距影响即可。例如,沿矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距可以是0.05毫米;沿矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距也可以是0.1毫米;沿矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距还可以是0.15毫米。本实施例并不限定沿垂直于矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距,只要是能够保证TEM样品成像后的图像质量不受间距影响即可。例如,沿垂直于矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距可以是0.1毫米;沿垂直于矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距也可以是0.15毫米;沿垂直于矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距可以是0.2毫米。
进一步地,为了降低TEM样品成像的载网支持膜的制备成本,上述载网1可以为铜质载网。
进一步地,为了提高载网1的结构分散性,降低载网支持膜制备工艺的难度,上述载网1,可以包括以下部件:
网状部件和环状的支撑部件;
网状部件设置在支撑部件内侧,与支撑部件连接。
需要进行说明的是,本实施例中网状部件与环状的支撑部件可以分离制备,在分别制备完成后整合为载网1。本实施例中网状部件为通过金属制成的存在多个网孔的网状部件。
应用本实用新型提供的TEM样品成像的载网支持膜,通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜,作为凹槽碳膜,并将凹槽碳膜覆盖于载网表面,能够避免TEM样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题,省略了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪的步骤,进而避免了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险,提高了TEM样品成像的效率。通过在载网1预设位置处开有载网豁口11,保证了碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向一致;通过载网1在载网1中心沿矩形凹槽3的轴线的垂直方向的边缘处,开有载网豁口11,保证了TEM样品成像中矩形凹槽3成像后为未倾斜图像,提高了TEM样品成像的效率;通过沿矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距相等,以及沿垂直于矩形凹槽3轴线方向,相邻矩形凹槽3之间的间距相等的方式,提高了凹槽碳膜2中矩形凹槽3的整齐度,提高了TEM样品成像后的图像质量,进而提高了用户的使用体验;通过将载网1设置为铜质载网,降低了TEM样品成像的载网支持膜的制备成本;载网1由网状部件和环状的支撑部件组成的方式,提高了载网1的结构分散性,降低了载网支持膜制备工艺的难度。
实施例2:
请参考图3,图3为本实用新型实施例提供的一种设置有载网豁口和碳膜豁口的TEM样品成像的载网支持膜俯视结构示意图。该载网支持膜可以包括:
载网1和用于容纳TEM样品的凹槽碳膜2;
凹槽碳膜2为具有多个矩形凹槽3的碳支持膜,多个矩形凹槽3的轴线相互平行或重合;载网1预设位置处开有载网豁口11;凹槽碳膜2开有碳膜豁口21,凹槽碳膜2在与载网1贴合时,碳膜豁口21的轴线与载网豁口11的轴线垂直或重合。
凹槽碳膜2覆盖于载网1表面。
本实施例并不限定碳膜豁口21的数量,只要是能够保证凹槽碳膜2与载网1贴合时,凹槽碳膜2中矩形凹槽3与载网豁口11间相对位置不发生改变即可。例如,碳膜豁口21的数量可以是1个,碳膜豁口21的数量也以是2个,碳膜豁口21的数量还可以是3个。本实施例并不限定碳膜豁口21的具体形状,只要是能够保证凹槽碳膜2与载网1贴合时,凹槽碳膜2中矩形凹槽3与载网豁口11间相对位置不发生改变即可。例如,碳膜豁口21可以是圆形结构,碳膜豁口21也可以是矩形结构,碳膜豁口21还可以是其他不规则形状结构。为了提高载网豁口11与碳膜豁口21的辨识度,本实施例可以将载网豁口11和碳膜豁口21设置为相同形状。
进一步地,为了保证凹槽碳膜2与载网1固定,可以包括:
碳膜固定部件,该碳膜固定部件与载网1连接。
进一步地,为了提高碳膜固定部件使用的灵活性,可以包括:
碳膜固定部件一端与载网1一端卡接连接;
碳膜固定部件另一端与载网1另一端铰接连接。
需要进行说明的是,本实施例中碳膜固定部件一端与载网1一端通过卡接部件进行连接,碳膜固定部件另一端通过铰接部件与载网1另一端连接。
应用本实用新型实施例提供的TEM样品成像的载网支持膜,通过将设置有多个轴线相互平行或重合的矩形凹槽的碳膜,作为凹槽碳膜,并将凹槽碳膜覆盖于载网表面,能够避免TEM样品被放在碳支持膜上无法按预设方向放置的问题,省略了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪的步骤,进而避免了对抓取到的TEM样品图片进行旋转裁剪过程中将目标区域剪裁掉的风险,提高了TEM样品成像的效率;通过在载网1预设位置处开有载网豁口11,保证了碳支持膜每次放入TEM样品杆的方向一致,在凹槽碳膜2开有碳膜豁口21,且凹槽碳膜2在与载网1贴合时,碳膜豁口21的轴线与载网豁口11的轴线垂直或重合,保证了当凹槽碳膜2与载网1贴合时,凹槽碳膜2中矩形凹槽3与载网豁口11间相对位置不发生改变。通过与载网1连接碳膜固定部件,保证了凹槽碳膜2与载网1固定;通过碳膜固定部件一端与载网1一端卡接连接,另一端与载网1另一端铰接连接,提高了碳膜固定部件使用的灵活性。
为了使本实用新型更便于理解,基于TEM样品成像的载网支持膜的TEM样品成像过程,具体可以包括:
步骤S1,将凹槽碳膜平整地放在pick up系统的光学显微镜的视野下,定义所述载网豁口的方向为正方向。
步骤S2,以凹槽碳膜正方向的方位为基准,将聚焦离子束制成的TEM样品利用pickup系统中玻璃针管通过静电吸附力把TEM样品提取出来并有序放置在凹槽碳膜的矩形凹槽中,实现样品统一方向放置。
步骤S3,将承载TEM样品的凹槽碳膜按照定义的正方向放入TEM样品杆中,并使载网豁口位于TEM样品杆的指定位置,对凹槽碳膜中矩形凹槽内的TEM样品进行成像处理。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述,每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处,各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。
最后,还需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系属于仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或者操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其他任何变体意在涵盖非排他性的包含。
以上对本实用新型所提供的一种TEM样品成像的载网支持膜进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想;同时,对于本领域的一般技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,综上所述,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (9)
1.一种TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,包括:
载网和用于容纳所述TEM样品的凹槽碳膜;
所述凹槽碳膜为具有多个矩形凹槽的碳支持膜,所述多个矩形凹槽的轴线相互平行或重合;
所述凹槽碳膜覆盖于所述载网表面。
2.根据权利要求1所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,所述载网预设位置处开有载网豁口。
3.根据权利要求2所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,所述载网在所述载网中心沿所述矩形凹槽的轴线的垂直方向的边缘处,开有所述载网豁口。
4.根据权利要求2所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,所述凹槽碳膜开有碳膜豁口,所述凹槽碳膜在与所述载网贴合时,所述碳膜豁口的轴线与所述载网豁口的轴线垂直或重合。
5.根据权利要求1所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,包括:
沿所述矩形凹槽轴线方向,相邻所述矩形凹槽之间的间距相等;
沿垂直于所述矩形凹槽轴线方向,相邻所述矩形凹槽之间的间距相等。
6.根据权利要求1所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,所述载网为铜质载网。
7.根据权利要求1所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,所述载网,包括:
网状部件和环状的支撑部件;
所述网状部件设置在所述支撑部件内侧,与所述支撑部件连接。
8.根据权利要求1所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,包括:
碳膜固定部件,所述碳膜固定部件与所述载网连接。
9.根据权利要求8所述的TEM样品成像的载网支持膜,其特征在于,包括:
所述碳膜固定部件一端与所述载网一端卡接连接;
所述碳膜固定部件另一端与所述载网另一端铰接连接。
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